真空检漏vacuum leak detection
真空泄漏检测方法
真空泄漏检测方法真空泄漏检测方法引言真空技术在许多应用领域扮演着重要角色，如航天、电子设备制造和化学工程等。
确保真空系统的安全和可靠运行对于这些领域至关重要。
而真空泄漏则是真空系统中常见的问题，因此采用适当的检测方法非常关键。
方法一：气泡检漏法气泡检漏法是一种常用的真空泄漏检测方法，主要用于大型真空系统或外部表面不易检测的装置。
具体步骤如下：1.将试件浸入具有良好润湿性的水槽中。
2.在试件表面均匀涂抹一层薄薄的肥皂水或其他可形成气泡的液体。
3.通过真空泵抽取系统中的气体，观察涂层表面是否冒泡。
4.如果在某些部位冒泡，说明该部位存在泄漏。
气泡检漏法的优点是操作简单，不需要专门的设备，但其缺点是不适用于高真空系统。
方法二：氦质谱检漏法氦质谱检漏法是一种高灵敏度的真空泄漏检测方法，适用于高真空和超高真空系统。
具体步骤如下：1.将氦气注入待检测系统。
2.使用气质谱仪检测系统中是否存在氦气泄漏。
3.如果氦气在某些部位检测到，则该部位存在泄漏。
氦质谱检漏法的优点是能够检测极小的泄漏量，缺点是设备价格较高，操作技术要求较高。
方法三：静态漏率检漏法静态漏率检漏法是一种常用的真空泄漏检测方法，适用于大型真空系统。
具体步骤如下：1.关闭真空系统的所有阀门，记录系统的初始压力。
2.在一定时间内观察系统的压力变化，计算泄漏速率。
3.如果泄漏速率超过设定的阈值，则说明系统存在泄漏。
静态漏率检漏法的优点是能够定量评估泄漏问题，缺点是需要较长的检测时间。
方法四：红外检漏法红外检漏法是一种适用于可见光透明材料的真空泄漏检测方法，如玻璃或有机材料。
具体步骤如下：1.使用红外摄像机或红外热像仪对待检测系统进行拍摄。
2.通过红外辐射检测系统中是否存在泄漏点。
3.如果出现辐射异常的区域，则可能存在泄漏。
红外检漏法的优点是无需接触待检测系统，可实时监测泄漏情况，缺点是需要专门的设备。
结论根据需求和实际情况，可以选择适合的真空泄漏检测方法。
真空泵检漏的主要流程
真空泵检漏的主要流程The main process of vacuum pump leak detection is crucial for maintaining the efficiency and performance of vacuum systems. 真空泵检漏的主要流程对于保持真空系统的效率和性能至关重要。
Leak detection is essential in ensuring that the vacuum pump operates at its optimum level and prevents any potential damage or hazards that may arise from leaks.检漏是确保真空泵以最佳水平运行，并防止由泄漏可能引起的任何潜在损害或危险，是至关重要的。
The process involves a systematic approach to identifying and locating any leaks within the vacuum system.该流程涉及系统性的方法来识别和定位真空系统中的任何泄漏。
This requires a combination of methods and techniques to thoroughly inspect the system and pinpoint any areas of concern.这需要结合各种方法和技术来彻底检查系统，并找出任何值得关注的地方。
The first step in the vacuum pump leak detection process is to conduct a visual inspection of the entire vacuum system. 真空泵检漏流程的第一步是对整个真空系统进行目视检查。
This involves examining all the components and connections for any signs of damage, wear, or potential leaks.这包括检查所有的部件和连接是否存在任何损坏、磨损或潜在泄漏的迹象。
真空检漏方法
真空检漏方法真空检漏方法是指在低压环境下，通过检查气体泄漏的方式来确定系统的完整性和可靠性。
在各种工业和实验室应用中，真空检漏是非常常见的，以确保制造过程、实验设备或机械系统的性能和稳定性。
本文将详细介绍10种真空检漏方法及其优缺点，以帮助读者更好地了解这方面的知识。
1. 毛细管测量法毛细管测量法是一种基于液体的检漏方法，其原理是通过液体的自吸作用，在低压条件下观察气体泄漏。
此方法根据毛细管长度和内径的关系，可以确定检测范围和检测灵敏度。
该方法需要人工监控，并且无法检测气体泄漏。
2. 红外检测法红外检测法是一种利用红外辐射来检测气体泄漏的方法。
此方法适用于检测有机化学物质的泄漏，如氨、甲烷、丙烷等。
不适用于空气、氮气等无机气体的检测。
3. 热模反应法热模反应法是一种利用气体反应产生的热量来检测气体泄漏的方法。
该方法可以检测气体泄漏，但不适用于检测液体泄漏或固体泄漏。
4. 电离检测法电离检测法是一种通过检测气体电离程度来检测有机和无机气体泄漏的方法。
该方法可以检测非常小的气体泄漏，但不适用于在低压环境中进行检测。
5. 质谱检测法质谱检测法是一种利用离子化技术来检测气体稳定同位素的方法。
此方法非常适用于检测裂解气体。
6. 超声波检测法超声波检测法是一种利用超声波传递来检测密封件泄漏的方法。
此方法适用于密封不良的工业及实验室装置。
7. 气泡法气泡法是一种利用液体变色或产生气泡来检测气体泄漏的方法。
该方法适用于低压系统泄漏的检测，但需要密封很好的试验装置。
8. 空气泄漏检测法空气泄漏检测法是一种利用带氦气的空气进行检测的方法。
该方法适用于检测低压和高压系统的泄漏，但需要设备完好，要求技术人员熟练。
9. 低压检测法低压检测法是一种利用负压来检测气体泄漏的方法。
该方法适用于检测低压系统的泄漏。
该方法需要大量的设备和人力。
10. 总量检测法总量检测法是一种利用气体浓度变化来检测气体泄漏的方法。
此方法适用于气体排放监测。
医疗器械包装材料真空泄漏实验方法
医疗器械包装材料真空泄漏实验方法Medical device packaging is critical to maintaining the sterility and safety of medical equipment. One important quality control test for medical device packaging materials is the vacuum leakage test. This test is designed to ensure that the packaging materials effectively maintain a vacuum seal, preventing any potential contamination of the medical devices within.医疗器械包装对于保持医疗设备的无菌和安全至关重要。
医疗器械包装材料的一个重要质量控制测试是真空泄露测试。
这一测试旨在确保包装材料能够有效地保持真空密封，防止可能导致医疗器械受到污染。
The process of conducting a vacuum leakage test involves placing the medical device packaging in a vacuum chamber and creating a significant vacuum within the chamber. Once the desired vacuum level is achieved, the packaging is closely monitored for any signs of leakage. This may involve visual inspection, the use of specialized equipment to detect any changes in pressure, or the application of a dye solution to the packaging to reveal any potential leaks.进行真空泄漏测试的过程包括将医疗器械包装放置在真空室中并在室内创建显著真空。
真空室检漏的原理和方法
真空室检漏的原理和方法
真空室检漏的原理是通过检测真空室内的气体流量或压力变化，来确定是否存在漏气现象。
如果真空室存在漏气，那么气体将从漏气处流入真空室，导致真空室内压力升高或降低，或者导致气体流量异常。
真空室检漏的方法有以下几种：
1. 压差法：将真空室密封后，测量其初始压力和经过一段时间后的压力，如果压力差超过了一定范围，则说明存在漏气。
2. 气泡法：在真空室内充入一定量的水或其他液体，然后密封真空室并抽真空，观察液体中是否出现气泡，如果有气泡出现则说明存在漏气。
3. 灵敏度法：利用高灵敏度的气体检测器检测真空室内的气体浓度，如果气体浓度超过了一定范围，则说明存在漏气。
4. 声波法：利用声波检测器检测真空室周围是否存在异常的声波信号，如果存在异常信号则说明存在漏气。
以上是真空室检漏的原理和几种常见方法，不同的方法适用于不同的应用场景和检测对象，需要根据实际情况选择适合的检漏方法。
真空检漏方案
真空检漏方案下载温馨提示:该文档是我店铺精心编制而成，希望大家下载以后，能够帮助大家解决实际的问题。
文档下载后可定制随意修改，请根据实际需要进行相应的调整和使用，谢谢!Download Tip: This document has been carefully written by the editor. I hope that after you download, they can help you solve practical problems. After downloading, the document can be customized and modified. Please adjust and use it according to actual needs. Thank you!真空检漏方案简述：①系统预处理：确保被检系统清洁无杂质，关闭所有阀门，断开非检测部分，为检漏创造良好条件。
②抽真空：连接真空泵，对系统进行抽真空处理，直至达到预定真空度，通常远低于工作真空范围，以暴露微小漏点。
③保压监测：停止抽真空，保持系统真空状态，观察真空表或使用真空计持续监测真空度变化，记录时间-真空度曲线。
④氦质谱检测（如有条件）：注入少量氦气或使用氦气喷枪扫描可疑区域，利用氦质谱检漏仪检测氦气浓度，精准定位漏点。
⑤压力变化分析：根据真空保持时间内的压力下降速率，判断是否存在漏点及其大致泄漏率，快速泄漏需立即查找，缓慢泄漏可延长监测时间。
⑥漏点标识与记录：发现漏点后，使用标记笔或标签进行标注，记录漏点位置、漏率大小，为后续维修提供依据。
⑦重复检测：对已修复的部位重新进行抽真空及检漏，直至确认无漏点存在。
⑧恢复系统：完成全部检漏并确认合格后，缓慢向系统充入工作介质，恢复至正常工作状态，检查有无异常。
⑨总结报告：整理检漏过程数据，编写检漏报告，总结漏点原因及修复措施，提出预防建议。
真空检漏概述
8放射性同位素检漏法——将少量的放射性材料放入被检件中并密封好，如有漏孔便会有射线泄露出来，从而在外面用特殊的射线探测仪指示出来。放射性同位素检漏法在背压检漏法中应用的相当成功。
9慢性气体的加速检漏法——将管子置于高压的氩气中，管内的压力上升率会比在空气中快得多，这便是慢性气体的加速检漏法的理论依据。
②真空检漏法——将被检漏真空容器和敏感元件，抽成真空状态，然后将示漏物质依次施加在可疑部位，若有漏孔，示漏物质将进入容器内，被敏感元件所发现。③背压检漏法——有三个步骤：充压，净化，检漏。
二：各种检漏方法
1静态升压法——把容器抽到一定的压力后，关闭阀门，隔离真空室和真空泵，测量容器内的压力变化。
一般常用的静态升压法有以下两种：①辅助真空罩法——可以排除放气的干扰；②压力平衡法——可以测量那些不能安装真空规管的被检件的漏率。
电气系统的核心是质谱室的供电和测量。辅助真空系统，它具有预抽被检件，保证检漏仪真空度，进行气体分流等功能。对于体积小，漏气小的系统可以不选用辅助真空系统，对于体积大，漏气大的系统需要选用辅助真空系统。
③氦质谱检漏仪的灵敏度：对于氦质谱检漏仪有三种灵敏度——漏率灵敏度，记作 ；分压比灵敏度，记作 ；检漏灵敏度，氦质谱检漏仪在实际检漏条件下所能达到的灵敏度，记作 。当氦质谱检漏仪安装在真空系统的不同位置时，所能达到的检漏灵敏度是不同的。
2气泡检漏法——在被检件中充入一定压力的示漏气体后放入水中，气体将通过漏孔进入水中，形成气泡，从而判断漏孔的有无及其位置和大小。属于压力检漏法。一般有以下两种：①水槽法——适用于小型器件；②皂膜法——适用于尺寸较大的器件。
3氨气检漏法——把被检件抽真空，在其外壁可疑位置上贴上显影带，然后在其内部充入高于大气压的氨气，当有漏孔时，氨气会漏出并进入显影带，使其变色。具体步骤为：清洁处理——贴显影带——充氨——排氨。
真空检漏仪原理
真空检漏仪原理
真空检漏仪原理
真空检漏仪（测漏仪）是指用于检测真空系统中的微小漏气流量的仪器。
它可以测量空气、氧气、氢气、氦气、二氧化碳和其他气体的漏损流量，以及水蒸汽、有机液体和液氨的漏损流量。
真空检漏仪动作原理：
1.将真空泵连接到检漏仪，打开检漏仪的电源开关，打开检漏仪的真空开关，将真空泵的输出头接上检漏仪的输入口；
2.打开检漏仪的保护气源开关，检漏仪内部的真空流路形成气路，聚焦板的放大器启动，促使检漏仪内部的真空流路发生流动；
3.当要测试物体接上检漏仪的接口时，真空流路中的漏气会进入检漏仪，由于聚焦板放大器的作用，漏气会被放大，出现在观察窗上；
4.如果漏气量比较大，在观察窗上会出现明显的漏气气泡，当漏气量小时，就有可能出现漏气气泡的抖动，抖动的程度可以作为检测漏气量的依据；
5.漏气检测完毕后，及时关闭检漏仪的真空开关，并断开真空泵，以免造成对真空设备的损害。
- 1 -。
真空技术真空设备的检漏方法选择
真空技术真空设备的检漏方法选择真空技术是指在一个封闭的空间内，将压力降至低于大气压的状态下进行实验或加工制造的一种工艺。
在真空技术中，保持设备封闭和稳定的真空状态非常重要。
因此，选择合适的检漏方法是确保真空设备正常运行的关键。
常用的真空设备的检漏方法主要有以下几种：1.比较法：比较法是指将待检设备与已知正常的参考设备进行对比。
常用的比较法包括浸泡法和测漏仪法。
-浸泡法：将设备放置在相同密封条件下的液体中，观察是否有气泡产生。
当设备有漏气时，气泡会从设备表面冒出，可以通过观察气泡数量和冒出位置来检测漏点。
-测漏仪法：使用专业的测漏仪器进行检测。
常用的测漏仪包括氦气质谱仪和气泵测漏仪。
氦气质谱仪是目前最常用的检漏仪器，它使氦气充入设备中，然后使用质谱仪检测设备外部是否有泄漏的氦气。
2.物理法：物理法是指通过物理性质的变化来检测漏点。
常用的物理法包括泡沫法和红外法。
-泡沫法：在待检设备上覆盖一层泡沫液体，并观察是否有气泡生成。
当设备有漏气时，气泡会从设备表面冒出，可以通过观察气泡数量和冒出位置来检测漏点。
-红外法：使用红外检测仪来检测设备外部的热点。
当设备有漏气时，漏出的气体会导致周围温度变化，红外检测仪可以通过检测温度变化来确定漏点位置。
3.质谱法：质谱法是指使用质谱仪来检测漏点。
常用的质谱法包括速度导向调谐仪和质谱单元法。
-速度导向调谐仪：该方法使用氦气注入设备，并利用调谐器检测氦气流速，当气体泄漏时，氦气流速会发生变化，通过检测这种变化来确定漏点的位置。
-质谱单元法：该方法使用质谱仪来检测漏点。
质谱单元会检测气体中的杂质，当设备有漏气时，漏出的气体会导致杂质浓度变化，质谱单元可以通过检测杂质浓度的变化来确定漏点位置。
选择合适的检漏方法需要考虑以下几个因素：1.设备的要求：不同的真空设备对检漏方法的要求不同，需要根据设备的特点选择合适的方法。
例如，一些设备对泄漏的最小值有严格的要求，可以选择敏感度高的测漏仪器。
真空检漏技术及相关术语汇总
5.检漏及有关术语5.1漏孔5.1.1漏孔leaks：在真空技术中,在压力或浓度差的作用下,使气体从壁的一侧通到另一侧的孔洞、孔隙、渗透元件或封闭器壁上的其它结构。
5.1.2通道漏孔channel leak：可以把它理想地当做长毛细管的由一个或多个不连续通道组成的一种漏孔。
5.1.3 薄膜漏孔membrane leak：气体通过渗透穿过薄膜的一种漏孔。
5.1.4分子漏孔molecular leak：漏孔的质量流率正比于流动气体分子质量平方根的倒数的一种漏孔。
5.1.5粘滞漏孔vixcous leak：漏孔的质量流率正比于流动气体粘度的倒数的一种漏孔。
5.1.6校准漏孔calibrated leak：在规定条件下，对于一种规定气体提供已知质量流率的一种漏孔。
5.1.7标准漏孔reference leak ：在规定条件下（入口压力为100kPa±5%，温度为23±7℃），漏率是已知的一种校准用的漏孔。
5.1.8虚漏virtual leak：在系统内，由于气体或蒸汽的放出引起的压力增加。
5.1.9漏率leak rate：在规定条件下，一种特定气体通过漏孔的流量。
5.1.10标准空气漏率standard air leak rate：在规定的标准状态下，露点低于-25℃的空气通过一个漏孔的流量。
5.1.11等值标准空气漏率equivalent standard air leak rate：对于低于10-7到10-8Pa?m3?s-1标准空气漏率的分子漏孔，氦（分子量4）流过这样的漏孔比空气（分子量290）更快，即氦流率对应于较小的空气漏率，在规定条件下，等值标准空气漏率为√4/29=0.37氦漏率。
5.1.12探索（示漏）气体；用来对真空系统进行检漏的气体。
5.2本底5.2.1本底background：一般地在没有注入探索气体时，检漏仪给出的总的指示。
5.2.2探索气体本底search gas background ：由于从检漏仪壁或检漏系统放出探索气体所造成的本底。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
三、质谱仪检漏法
• 氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检 漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。 是真空检漏技术中灵敏度最高，用得最普遍的检 漏仪器。 • 氦质谱检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。 • 单级磁偏转型仪器灵敏度为lO-9～10-12Pam3／s， 广泛地用于各种真空系统及零部件的检漏。 • 双级串联磁偏转型仪器与单级磁偏转型仪器相比 较，本底噪声显著减小．其灵敏度可达10-14～1015Pam3／s，适用于超高真空系统、零部件及元 器件的检漏。
P· e· – Q· = –V· S dt dt dP
Where P:Pressure; Se:Effective pumping speed V: Volume; Q: leak, outgassing & permeation
Continuation of general introduction
• (2)玻璃真空系统的检漏 将高频火花检漏器的放电簧F沿着已抽空的玻 璃系统外表面慢慢移动，没有漏孔时放电火花束 呈杂乱分散状态，当遇到漏孔时火花束集中成一 条细束，且指向系统上亮点(漏孔内空气电离率远 远大于玻璃的结果)，该亮点就是漏孔的位置。 (3)金属真空系统的检漏 各种气体和蒸汽的辉光放电颜色如表3。选用 表中示漏物质施加在金属真空系统的可疑处，用 高频火花检漏器激发系统上玻璃质规管或盲管内 的气体，使之放电，观察放电颜色的变化便可实 现检漏。这种方法的工作压力为5×10-1～102Pa， 检漏灵敏度为10-3Pam3／s。
5.4 真空检漏法
• 真空检漏法：被检件和检漏器的敏感元件处于真空状态， 在被检件的外部施加示漏物质，如果有漏孔，示漏物质就 会通过漏孔进入被检件和敏感元件的空间，由敏感元件检 测出示漏物质，从而可以判定漏孔的存在位置及漏率的大 小，这就是真空检漏法。 • 一. 高频火花检漏法 • 二. 真空计检漏法 • 三、质谱仪检漏法 • 1．工作原理 • 2．示漏气体 • 3．检漏方法 • 4．性能指标
* Straight line 1 : the rise of pressure is produced only by real leaks. * Curve 2 : the rise of pressure by outgassing * Curve 3 : the rise of pressure by a combined effect (leak, outgassing and penetration).
Continuation of general introduction
(c ) The pressure rise is produced by the gas which penetrates through leak ,which evolves from the walls( outgassing and vapor) and which enteres by permeation (see page 111).
二. 卤素检漏法
用含有卤素(氟、氯、溴、碘)的气体为示漏气体 的检漏仪器称为卤素检漏仪 。
分两类： 其一为传感器(即探头)与被检件相连接的称为固 定式(也称内探头式)卤素检漏仪； 其二为传感器(即吸枪)在被检件外部搜索的称为 便携式(也称外探头式)卤素检漏仪。
示漏气体： 氟里昂、氯仿、碘仿、四氯化碳等，其中氯里昂 12最好 ；
卤素检漏仪灵敏度可达3.2×lO-9Pam3／s。
二. 卤素检漏法
• 工作原理与结构
• 金属铂在800～900 oC温度下会发生正离子 发射，当遇到卤素气体时，这种发射会急剧增 加。这就是所谓的“卤素效应”，利用此效应 制成的卤素检漏仪的结构示意图如图所示。
三、氨检漏法
示漏气体：氨（碱性） 外涂试剂或贴试纸（溴酚蓝最好） 原理：漏孔处变色 灵敏度： 大于5*10-6 torr l/s的漏孔，0.5h； 5*10-7 ------1*10-6 torr l/s的漏孔，2---4h； 10-8 torr l/s的漏孔，10h以上。 优点：简单方便，灵敏度高，一次充氨可以检完 所有部位。 缺点：有毒！不能用于铜银等金属容器。
一. 高频火花检漏法
• 高频火花检漏器是个高频高压对地 放电器件，可以用于真空检漏。 • (1)工作原理与结构 图9示出一种电容，电感串联谐振 式高频火花检漏器的原理图。接通K， 当接触器CD闭合时，电流流经L1、 CD，电流很大，L1产生足够大的电 磁力吸引CD断开，于是形成L1、C、 L2的回路。由于阻抗增加，电流减 小导致电磁力下降。从而使CD重新 闭合。如此反复，在L2上施加高频 脉冲电压，因此高压线圈L3便感应 出高频高压脉冲电压。而L3的一端 对地放电产生高频火花击穿现象。 这就是高频火花检漏器的工作原理。
Table of leak rate specifications
Leak detection
• Section 2. Basic principle of the leak detection methods • (a) The aim of leak detection: To find exact situation of the leak. • (b) The principle of the leak : • Pressure difference : e.g. Testing for the leak of tire of a bicycle.
• 四、各种效应的利用
• 五、检漏器的性能指标
• 漏孔的气流特性
气体流经漏孔的过程是很复杂的，可能包含有粘滞流、过 渡流及分子流三种流动状态。
• 检漏方法的分类
充压检漏法、真空检漏法及其它检漏法
Chapter 5 Leak Detection
• Section 1. General introduction
• • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • • •
5.1 概述 一.真空检漏的意义 二. 真空系统漏气的判断 三. 漏孔大小的表示 四．容许漏率 5.2 检漏的基本原理 一. 压强差的作用 二. 示漏气体与探测器 三、检漏方法的响应过程 四、各种效应的利用 五、检漏器的性能指标 5.3 压力检漏法 一. 打气检漏法 二. 卤素检漏法 三、氨检漏法 5.4 真空检漏法 一. 高频火花检漏法 二. 真空计检漏法 三、质谱仪检漏法 1．工作原理 2．示漏气体 3．检漏方法 4．性能指标
In this technique the test gas is filled into the system under test and a detector probe connected to the leak detector is passed over the suspected area to receive the test gas escaping through the leak.
表3 各种气体和蒸汽的辉光放电颜色
气体 空气
放电颜色 玫瑰红
蒸气 水银
放电颜色 蓝绿
氮气
氧气
金红
淡黄
水
真空油脂
天蓝
淡蓝（有荧 光）
氢气 二氧化碳 氦气 氖气 氩气
浅红 白蓝 紫红 鲜红 深红
酒精 乙醚 丙酮 苯 甲醇
淡蓝 淡蓝灰 蓝 蓝 蓝
二. 真空计检漏法
• 热传导真空计 • 电离计 • 示漏气体：H2,CO2,丁烷，丙酮，乙醚，酒精
• The detector probe :
5.3 压力检漏法
• 压力检漏法（ 充压检漏法）：在被检件内部充入 一定压力的示漏物质，如果被检件上有漏孔，示 漏物质便从漏孔漏出，用一定的方法或仪器在被 检件外部检测出从漏孔漏出的示漏物质，从而判 定漏孔的存在、位置及漏率的大小，此即充压检 漏法。 • 一. 打气检漏法 • 二. 卤素检漏法 • 三、氨检漏法
Continuation of general introduction
• 3. The leak rate
(a) Definition : The leak rate is the quantity of gas (in PV units) per unit time into the flowing vacuum system at a certain conditions.
1．工作原理与结构
• 氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电 离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。
• 在离化室N内，气体电离成正离子，在电场作用下离子聚焦 成束。并在加速电压作用下以一定的速度经过加速极S1的 缝隙进入分析器。在均匀磁场的作用下，具有一定速度的 离子将按圆形轨迹运动，其偏转半径可按式（5）计算。 可见，当B和U为定值时，不同质荷比me-1的离子束的 偏转半径R不同。仪器的B和R是固定的，调节加速电压U 使氦离子束[图中(me-1)2]恰好通过出口缝隙S2，到达收集 器D，形成离子流并由放大器放大。使其由输出表和音响指 示反映出来；而不同于氦质荷比的离子束[(me-1)1(me-1)3] 因其偏转半径与仪器的R值不同无法通过出口缝隙S2，所 以被分离出来。(me-1)2=4，即He+的质荷比，除He+之外， C卅很少，可忽略。
5.2 检漏的基本原理
检漏目的：
• 一. 压强差的作用 P1>P2； P1<P2 e.g. Testing for the leak of tire of a bicycle. 缺点：不能检测微小漏孔
• 二. 示漏气体与探测器 • 示漏气体：卤素 ；放射元素；氨气等 • 探测器： 电离计等；
• 三、检漏方法的响应过程 • 立刻响应；响应较快稳定；响应很慢稳定； • 探查法
Continuation of the principle of leak detection