喷雾热解法制备的γ-Gd2S3薄膜的物性研究
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喷雾热分解法制备ITO薄膜及其光电性能研究
ｉ ｆ ｍ ｒ ７ ａ ｄ ３ ７ １ ／ ｒ ｓ ｅ ｔ ｅｙ ｌ ｗｅｅ ９ ％ ｎ ８ ５２ Ｄ， ｅ ｐ ｃ ｉ ｌ ． ｖ
Ｋｅ ｗｏ ｄ ：ｓ ｒ ｙ ｐ ｒｌ ｓｓ Ｉ Ｏ ｔ ｉ ｌ ｐ ｏｏ ｌ ｃｒ ｒ ｐ ｒ ｅ ｙ ｒ ｓ ｐ ａ ｙ ｏ ｙ ｉ； Ｔ ｈ ｎ ｆ ｍ； ｈ ｔｅ ｅ ｔ ｃ ｐ ｏ ｅ ｉ ｓ ｉ ｉ ｔ
收稿 日期 ：０ １０ — ３ ２ １－ ８ ２ 基金项 目： 北京市教育委员会科技发展计划资助项 目
（ Ｍ ０ １０ ７ ０ Ｋ ２ １ １０ ０ ４）
ｗ ｒ ｓｆ ｌ ｗｉ ｇ ｔ ｅ ｓ ｂ ｔａｅ ｔ ｍｐ ｒ ｔ ｒ ｓ ３ ０Ｃ， ｈ ａｒｅ ａ ｏ ｆ ｈ ｉ ａ Ｌ。 ｎ ， ｈ ｎ ｅ ｌ ｇ ｔｍｐ ｒ ｅ ｅ ａ ｏｌ ｎ ： ｈ ｕ ｓｒ ｔ ｅ ｅ ａｕ ｅ ｉ ０ ￣ ｔ ｅ ｃ ｒ ｒｇ ｓｆ ｗ ｏ ｅ ａｒｗ ｓ １ ｍｉ ～ ｔ ｅ ａ ｎ ａ ｉ ｅ ｅ － ｏ ｉ ｌ ｔ ｎ
第 ９卷第 ２期 ２１ ０ ２年 ４月
纳米加 工 工艺
Ｎａ ｏ ｐ ｏ ｅ ｓｎ ｅ ｈ ｉ ｕ ｎ — ｒ ｃ ｓ ｉｇ Ｔ ｃ ｎ ｑ ｅ
Ｖｏ ． ． １ Ｎｏ２ ９
Ａｐ ｌ２ ２ ｉ ｒ ０１
喷雾热分解法制备 Ｉ Ｏ薄膜及其 Ｔ 光电性能研究水
周 洋，武光 明，高德 文 ，邢光建 ，朱艳 英 ，张志乾 ，曹阳
３ ７ １ ／３ ８ ５ － Ｅ。 １
关键词 ：喷雾热分解 ；ＩＯ Ｔ 薄膜 ；光电性能 Ｐｒ ｐ ｒ ｔｏ ｆＩ ｅ ａ ａ ｉｎ ｏ ＴＯ ｉ ｌ ｓｂ ｐ ａ ｙ ｏ ｙ ｉ ａ ｄ Ｔｈ ｎ Ｆｉ ｙ Ｓ ｒ ｙ Ｐ ｒ ｌ ｓｓ ｎ ｍ
ｉｓＰｈｙ ｉ ａ ｏ ｒ ｉｓ ｔ ｓｃ ｌＰｒ ｐｅ ｔｅ
喷雾热解法合成球形(Y,Gd)BO3：Eu荧光粉的研究
维普资讯
第２ ５卷
Ｖ １２ ｏ．５
第 ２期
Ｎ ２ ｏ．
中 国 稀 土 学 报
Ｊ ＯＵＲＮＡＬ ＯＦＴＨＥ ＣＨＩ ＮＥＳ Ｅ ＲＡＲＥ ＥＡＲＴ Ｓ Ｉ ＴＹ Ｈ ＯＣ Ｅ
２０ ０ ７年 ４月
Ａｐ ｒ．２ ０ ０ ７
作者简介 ： 邓新荣 （９ ６ ， ，江西黎川人 ， １７ 一） 男 博士研究生
于 合成 多组分 复合 氧化 物粉体 材料 ，如 ：ＹＯ ：ｕ Ｅ ， Ｇ ２３Ｅ ，Ｂ Ｍｇ １Ｏ７Ｅ ｄＯ ： ｕ ａ Ａ ： ｕ等 Ｊ Ｊ ｏ １ 。本 文 采 用 喷
雾 热解法 合 成 （ Ｙ，Ｇ ） Ｏ ： ｕ荧 光 粉 体 材 料 。重 ｄ Ｂ Ｅ 点讨 论 了制 备 条件 特 别 是 后 处 理 温 度 和 硼 酸 的用 量 对最终 产 物 的结 晶 、颗 粒 形 貌 以及 发光 性 能 的
影 响 ， 与 常规 固相 反 应方 法 制 备 的样 品进 行 了 并
比较 。
Hale Waihona Puke 到（ ， ｄ Ｂ ３Ｅ 粉体 。 Ｙ Ｇ ）Ｏ ：ｕ
１ ３ 分 析测试 ．
１ 实 验
收稿 日期 ：２０ ０ ６—０ ５—０ ； 订 日期 ： ０ ６一ｌ —３ ８修 ２０ １ Ｏ
（ Ｇ ） Ｏ ：ｕ样 品 的 形 貌 特 征 分 析 采 用 日 Ｙ， ｄ Ｂ Ｅ
等离子 体显 示板 （Ｄ ） Ｐ Ｐ 被认 为是数 字信 息领域
１ １ 试剂 与仪器 ．
最有应用前景 的大平 面显示器 ， 是大屏幕挂壁彩
色 电视 的首 选 。因 （ Ｙ，Ｇ ） Ｏ ： ｕ荧 光 粉 在 真 空 ｄ Ｂ Ｅ
试剂为光谱纯级 ＹＯ ， ｄＯ 和 Ｅ ３ Ａ Ｇ ３ ｕＯ ， Ｒ级
第２ ５卷
Ｖ １２ ｏ．５
第 ２期
Ｎ ２ ｏ．
中 国 稀 土 学 报
Ｊ ＯＵＲＮＡＬ ＯＦＴＨＥ ＣＨＩ ＮＥＳ Ｅ ＲＡＲＥ ＥＡＲＴ Ｓ Ｉ ＴＹ Ｈ ＯＣ Ｅ
２０ ０ ７年 ４月
Ａｐ ｒ．２ ０ ０ ７
作者简介 ： 邓新荣 （９ ６ ， ，江西黎川人 ， １７ 一） 男 博士研究生
于 合成 多组分 复合 氧化 物粉体 材料 ，如 ：ＹＯ ：ｕ Ｅ ， Ｇ ２３Ｅ ，Ｂ Ｍｇ １Ｏ７Ｅ ｄＯ ： ｕ ａ Ａ ： ｕ等 Ｊ Ｊ ｏ １ 。本 文 采 用 喷
雾 热解法 合 成 （ Ｙ，Ｇ ） Ｏ ： ｕ荧 光 粉 体 材 料 。重 ｄ Ｂ Ｅ 点讨 论 了制 备 条件 特 别 是 后 处 理 温 度 和 硼 酸 的用 量 对最终 产 物 的结 晶 、颗 粒 形 貌 以及 发光 性 能 的
影 响 ， 与 常规 固相 反 应方 法 制 备 的样 品进 行 了 并
比较 。
Hale Waihona Puke 到（ ， ｄ Ｂ ３Ｅ 粉体 。 Ｙ Ｇ ）Ｏ ：ｕ
１ ３ 分 析测试 ．
１ 实 验
收稿 日期 ：２０ ０ ６—０ ５—０ ； 订 日期 ： ０ ６一ｌ —３ ８修 ２０ １ Ｏ
（ Ｇ ） Ｏ ：ｕ样 品 的 形 貌 特 征 分 析 采 用 日 Ｙ， ｄ Ｂ Ｅ
等离子 体显 示板 （Ｄ ） Ｐ Ｐ 被认 为是数 字信 息领域
１ １ 试剂 与仪器 ．
最有应用前景 的大平 面显示器 ， 是大屏幕挂壁彩
色 电视 的首 选 。因 （ Ｙ，Ｇ ） Ｏ ： ｕ荧 光 粉 在 真 空 ｄ Ｂ Ｅ
试剂为光谱纯级 ＹＯ ， ｄＯ 和 Ｅ ３ Ａ Ｇ ３ ｕＯ ， Ｒ级
超声喷雾热分解法制备p型ZnO多晶薄膜及其光致发光性能研究
摘 要
采 用超 声喷 雾热 分解 法 ， 室温 下在玻 璃 衬 底上 沉 积 了 Ｎ Ａ 共 掺 杂 的 Ｐ Ｚ Ｏ 薄膜 。采 用 Ｘ Ｄ —ｌ 型 ｎ Ｒ
和 Ｓ Ｍ 测试手段 对 薄膜进 行 了晶体结 构和表 面形 貌 的表征 ， Ｅ 结果表 明所制 备 的 薄膜 为六 角 纤锌 矿 结构 的 Ｚ Ｏ ｎ 薄膜 ， 面均 匀， 表 结构 致 密 ， 有 强烈的 呈 Ｃ 垂直 于衬 底 的 （０ ） 具 轴 ０ ２ 择优 取 向。对 薄膜 进 行 了电 学测试 和 光 致发
光性 ￣ ａ 试 ， 对薄膜 的光 致发光 性能进 行 了研 究。 ｇ＇ 并 ｌ
关 键 词 ＺＯ Ｐ ｎ 型传导 喷雾热分解 ＇＿ ｌ ＮＡ 共掺 光致发光
文献标识码 ： Ａ 中 图分 类 号 ： ８ ０４４
Ｇｒ ｗｔ ｎｄ Ｐｈｏ ｏ ｕ ｉ ｅ ｃ ｎｃ ｆ Ｐ ｔ ｐｅ Ｚｎ ｂ ｔ ａ ｏ ｉ ｐ ａ ｒ ｌ ｓ ｓ ｏ ｈａ ｔ ｌ ｍ ｎ ｓ ｅ ｅ ｏ —ｙ Ｏ ｙ Ｕｌｒ ｓ ｎ ｃ Ｓ ｒ ｙ Ｐｙ ｏ ｙ ｉ
共掺 杂法 ｌ １ 。通 过与 Ⅲ族元 素共 掺 杂可 以进 一步 提 高 Ｎ 的
固溶度 。因此 ， Ｎ掺 杂和 Ｎ一 Ⅲ族元 素共掺 杂 已成为 目前获得
ｐ型 掺 杂 的主 要 途 径 ｌ 。 目前 ， 关 Ｚ Ｏ 的 Ｎ— ＿ 、 ８ 有 ｎ Ｇａｇ Ｎ— ｊ Ｉｌ 和 Ｎ— ［３ 掺 的研究 都有 报道 。 ｎ１ 胡 Ａ１４ １共
超 声喷 雾热分 解法制 备 Ｐ型 Ｚ Ｏ 多晶 薄膜及 其光 致发 光性 能研 究／ ｎ 郑春蕊
・ ５ ３・
超 声 喷 雾 热分 解 法 制备 Ｐ型 Ｚ Ｏ 多晶薄 膜 及 其光 致 发 光性 能研 究 ｎ
甩胶喷雾热分解法制备ITO薄膜及光电性能研究
ｃ ｒｉｒ ｇ ｓ ｆｏ ｏ ｈｅ ｉ ｓ Ｌ／ ｉ ｔ ｅ ｔｍ ｉｉ ａ ｅ ｆｔ ｓ ｌ ｔｏ ｓ ０．ｍ ｌｍｉ ，ａ ｇ ｐａｔｃｅ ｖ ｌｃｔ ｓ ａ ｒｅ ａ ｌｗ ｆ ｔ ａｒ ｗａ ７ ｒ ｎ ｈ ａｏ ｚｎｇ ｒ ｔ ｏ ｈｅ ｏ ｕ ｉｎ ｗａ ２ ／ ｎ ｎｄ ｆ ｒｉ ｌ ｅｏ ｉｙ ｗａ ａ ｏ
０ ｍ／ ｉ、雾粒速 度３ ｍ ｓ 薄膜 的沉积 时间为 ５ ｉ，薄膜 厚度 约 １０ｎ ． ｌ ｎ ２ ｍ ．／ ５ 。 ｍｎ ００ｍ，最低 电阻率 为
０７ ＂０ Ｑ・ｍ，薄膜 在 可 见 光 范 围 （ 长 在 ４０ ７ ０ ｍ 内平 均透 光 率 为 ８．％。衬 底 温 度在 ．５ １一 ｃ 波 ０ — ０ｎ ） ７２
ａ ｔ ｎｄ ｉｓ Ｐｈｙ ｉ ａ ｏ ｒ ｉ ｓ ｓｃ ｌＰｒ ｐｅ ｔｅ
ＴＯＮＧ ｈ ｉ， Ｗ Ｕ ａ ｇ Ｓ ｕａ Ｇｕ ｎ —ｍｉ ｇ ， ＺＨＵ ｎ ｙ ｎ ３ ＺＨＡＮＧ ｉ ｑ ａ ｎａ Ｙａ — ｉ ｇ ， Ｚｈ － ｉ ｎ ，
Ｙ ｉｇｊ Ａ ｈ ａｇ ＡＮＢｎ－ｉ ，Ｃ ＯＣ ｕｎ２ ａ
２ ０Ｃ ０ ｏ以上 时呈现 立 方相 结构 。
关键词： 甩胶喷雾热分解法；ＩＯ Ｔ 薄膜 ；光电性能
Ｐｒ ｐ ｒ ｔｏ ｆＩ ｅ ａ ａ ｉ ｎ ｏ ＴＯ ｉ ｉ ｓｂ ｐ ｎ Ｓ ｒ ｙ Ｐｙ ｏ ｙ ｉ Ｔｈ ｎ Ｆ ，北 京 １０２） １ ￣ｒ － ００９ （． 北京 石 油化 工学 院 ，北京 １２ １） ２ ０６７ （． 北 京理 工 大学 ， 北京 １０８） ３ ０ ０１
摘 要 ： 按Ｉ ： （ 质 的 量 比） ＝ ：， ＩＣ ４ ｎＳ 物 ｎ ９１ ｎ １ Ｈ Ｏ和Ｓ Ｃ４５ ： ・ ｎ １＂Ｈ Ｏ为前 驱 物 ，采 用 自制 甩胶 喷 雾
０ ｍ／ ｉ、雾粒速 度３ ｍ ｓ 薄膜 的沉积 时间为 ５ ｉ，薄膜 厚度 约 １０ｎ ． ｌ ｎ ２ ｍ ．／ ５ 。 ｍｎ ００ｍ，最低 电阻率 为
０７ ＂０ Ｑ・ｍ，薄膜 在 可 见 光 范 围 （ 长 在 ４０ ７ ０ ｍ 内平 均透 光 率 为 ８．％。衬 底 温 度在 ．５ １一 ｃ 波 ０ — ０ｎ ） ７２
ａ ｔ ｎｄ ｉｓ Ｐｈｙ ｉ ａ ｏ ｒ ｉ ｓ ｓｃ ｌＰｒ ｐｅ ｔｅ
ＴＯＮＧ ｈ ｉ， Ｗ Ｕ ａ ｇ Ｓ ｕａ Ｇｕ ｎ —ｍｉ ｇ ， ＺＨＵ ｎ ｙ ｎ ３ ＺＨＡＮＧ ｉ ｑ ａ ｎａ Ｙａ — ｉ ｇ ， Ｚｈ － ｉ ｎ ，
Ｙ ｉｇｊ Ａ ｈ ａｇ ＡＮＢｎ－ｉ ，Ｃ ＯＣ ｕｎ２ ａ
２ ０Ｃ ０ ｏ以上 时呈现 立 方相 结构 。
关键词： 甩胶喷雾热分解法；ＩＯ Ｔ 薄膜 ；光电性能
Ｐｒ ｐ ｒ ｔｏ ｆＩ ｅ ａ ａ ｉ ｎ ｏ ＴＯ ｉ ｉ ｓｂ ｐ ｎ Ｓ ｒ ｙ Ｐｙ ｏ ｙ ｉ Ｔｈ ｎ Ｆ ，北 京 １０２） １ ￣ｒ － ００９ （． 北京 石 油化 工学 院 ，北京 １２ １） ２ ０６７ （． 北 京理 工 大学 ， 北京 １０８） ３ ０ ０１
摘 要 ： 按Ｉ ： （ 质 的 量 比） ＝ ：， ＩＣ ４ ｎＳ 物 ｎ ９１ ｎ １ Ｈ Ｏ和Ｓ Ｃ４５ ： ・ ｎ １＂Ｈ Ｏ为前 驱 物 ，采 用 自制 甩胶 喷 雾
喷雾热分解法合成BaTiO_3超细粉末及其形貌控制
李 启厚 一 高 宇波 刘 志 宏 刘 智 勇 李 玉虎
（ 中南 大 学 冶金 科 学 与 工 程 学 院 ， 沙 长 ： 以 钛 酸 四异 丙 酯 （ ＴＰ 及 醋 酸 钡 为 前驱 体 ， 用 超 声 喷 雾 热 分 解 法 制 备 了钛 酸钡 超 细 粉 体 。 在 分 Ｔ Ｉ） 采
ｅｆｃ ｆｄ ｆｅｅ ａ ａ ｔｒ ｎ ｔ ｅ ｈａａ ｔｒｓｉｓ ｏ ｅ ｕ ｔｎｔｐａｔｃ ｅ ｓ ｉ ｖ ｓｉ ａｅ ｓ ｓｅ ｔ ａｌ ． Ｔｈ ｅ ｕｌ ｆｅ ｔｏ ｉｆｒ ｎｔｐ ｒ ｍｅｅ ｓ ｏ ｈ ｃ ｒｃｅ ｉｔｃ ｆｒ ｓ ｌａ ｒｉｌｓ ｗａ ｎ ｅ ｔｇ ｔｄ ｙ ｔ ｍａｉ ｌｙ ｃ ｅｒｓ ｔ ｓ
第 ２ 卷 第 ４期 ８ ２１ ０ ０年 ８月
粉 末 冶 金 技 术
Ｐｏｗｄｅ ｅ ａ ｌ ｒ ｙ Ｔｅ ｈｎｏ ｏ ｒ Ｍ ｔ ｌｕ ｇ ｃ ｌ ｇｙ
Ｖｏ． ８，Ｎｏ ４ １２ ． Ａｕ ． ０１ ｇ２ ０
喷雾 热分 解 法合 成 Ｂ ＴＯ ａ ｉ３超 细 粉末 及 其 形貌 控 制
析 了 ＢＴＯ ａｉ 粉体 喷雾 合 成 机 理 的 基 础上 ， 察 了 反应 温度 、 驱 体 溶 液 浓 度 、 液 流 量 和 载气 流 量 等 工 艺 参 考 前 溶 数对 粉 体 粒 度 和 形 貌 的影 响 。结 果 表 明 ： 应 温 度 、 驱 体 溶 液 浓 度 、 液 流 量 及 载 气 流量 与产 物 颗 粒 的 粒 度 反 前 溶
ｓ ｏ ｔａ ａ ａ ｔｒ ｕ ｈ ｓｔ ｍｐ ｒ ｔ ｅ， ｅ ｕｒｏ ｏ ｕｉ ｎ ｏ ｅ ｔａｉｎ， ｓ ｌ ｉｎ ｆ ｅ ｒｔ ｈ ｗ ｈ ｔｐ ｒ ｍｅｅ ｓｓ ｃ ａ ｅ ｅ ａｕｒ ｐｒｃ ｓ ｒｓ ｌ ｔｏ ｃ ｎｃ ｎ ｒ ｔ ｏ ｏｕｔ ｅ ｄ ａ ｅ， ａ ｃ ｒｉｒ ｇ ｓ ｌｗ ｏ ｎｄ ａｒｅ ａ ｆｏ ｒｔ ｒ ｌｓ ｌ ｅａｅ ｏ ｔ ｅｐａ ｉｌ ｉｅ ａ ｄ ｄ ｓｒｂ ｔｏ ａｅａ ｅ ｃｏ ｅｙ ｒ ｌｔｄ ｔ ｈ ｒ ｃｅ ｓｚ ｎ ｉｔｉ ｕ ｉｎ，ｄｅ ｓｔ ｔ ｎｉ ｙ，ｓ ｅ ｉｉｙ，ｐ ｉｙ，ｅｙ ｔ ｌ ｎ ｔ ｆｂ ｒｕ ｔｔｎ ｔ ｐｈ ｒｃｔ ｕｒｔ ｒ ｓａｌ ｉｙｏ ａ ｉｍ ｉ ａ ｅ ｉ ａ ｐ ｒｉｌｓ Ｓ ｅ ｉａ Ｔ Ｏ３ｐ ｗｄ ｒ ｔ ｎ ａ ｅ ａ ｅ ｓｚ ｆ２． ｍ ，ｕｎｆ ｒ ｓｚ ｓｒｂ ｔｏ ａｔｃ ｅ ． ｐｈ ｒｃ ｌＢａ ｉ ｏ ｅ ｓｗｉｈ ａ ｖ ｒ ｇ ｉｅ ｏ ４１ ｘ ｉｏ ｍ ｉｅ ｄｉｔｉ ｕ ｉｎ，ｇ ｏ ｒｓａｌｎ ｔ ｎ ｏ ｄ ｅｙ ｔｌｉｉｙ ａ ｄ ｆ ｗ ｓ ｌ ａ ｄ ｅ ｈｅｌ ｎ ｈｏｅ ｃ ｎ ｓ ｌｓ ａ ｂｅ ｂ ａｎ ｄ ｎｄ ｒ ｈ ｅ ｐｅｉ ｎ ａ ｃ ｎｄｔｏ ｏ ｒ ａ ｔ ｒ ｅ ｐ ｒｔ ｒ ９ ｏ ｔ ｉｅ ｕ ｅ ｔｅ ｘ ｒｍｅ ｔｌ ｏ ｉｉｎ ｆ ｅ ｃ ｏ ｔｍ ｅ ａｕ ｅ ００￣ ， ｐｒｃ ｒｏ Ｃ ｅ ｕｓｒ ｓ ｌｔｏ ｏ ｃ ｎ ｒｔｏ ．１ ｏ／Ｌ，ｓ ｌ ｉｎ ｆｏ ｒｔ ｍｌ ｏｕ ｉｎ ｃ ｎ ｅ ｔａ ｉｎ ０ ｌ ｍ ｏｕｔ ｗ ａｅ ２ ／ｍｉ ｎｄ ｃ ｒｉｒｇ ｓｆｏ ａｅ ／ｍｉ ｏ ｌ ｎ ａ ａ ｒｅ ａ ｌ ｗ ｒ ｔ２Ｌ ｎ． Ｋｅ ｙ ｗｏｒ ｄｓ：ｓ ｒ ｙ ｐ ｒｌ ｓｓ ｐ ｏ ｅ ｓ；ｂ ｒｕｍ ｉ ｎ ｔ ａ ｔｃｅ ｐ ａ ｙ ｏｙ ｉ ｒ ｃ ｓ ａｉ ｔｔ ａ ｅ ｐ ｒｉｌｓ；ｍ ｏ ｈ ｌｇ ｏ ｔｏ ａ ｐ ｏｏ ｙ ｃ ｎｒ ｌ
（ 中南 大 学 冶金 科 学 与 工 程 学 院 ， 沙 长 ： 以 钛 酸 四异 丙 酯 （ ＴＰ 及 醋 酸 钡 为 前驱 体 ， 用 超 声 喷 雾 热 分 解 法 制 备 了钛 酸钡 超 细 粉 体 。 在 分 Ｔ Ｉ） 采
ｅｆｃ ｆｄ ｆｅｅ ａ ａ ｔｒ ｎ ｔ ｅ ｈａａ ｔｒｓｉｓ ｏ ｅ ｕ ｔｎｔｐａｔｃ ｅ ｓ ｉ ｖ ｓｉ ａｅ ｓ ｓｅ ｔ ａｌ ． Ｔｈ ｅ ｕｌ ｆｅ ｔｏ ｉｆｒ ｎｔｐ ｒ ｍｅｅ ｓ ｏ ｈ ｃ ｒｃｅ ｉｔｃ ｆｒ ｓ ｌａ ｒｉｌｓ ｗａ ｎ ｅ ｔｇ ｔｄ ｙ ｔ ｍａｉ ｌｙ ｃ ｅｒｓ ｔ ｓ
第 ２ 卷 第 ４期 ８ ２１ ０ ０年 ８月
粉 末 冶 金 技 术
Ｐｏｗｄｅ ｅ ａ ｌ ｒ ｙ Ｔｅ ｈｎｏ ｏ ｒ Ｍ ｔ ｌｕ ｇ ｃ ｌ ｇｙ
Ｖｏ． ８，Ｎｏ ４ １２ ． Ａｕ ． ０１ ｇ２ ０
喷雾 热分 解 法合 成 Ｂ ＴＯ ａ ｉ３超 细 粉末 及 其 形貌 控 制
析 了 ＢＴＯ ａｉ 粉体 喷雾 合 成 机 理 的 基 础上 ， 察 了 反应 温度 、 驱 体 溶 液 浓 度 、 液 流 量 和 载气 流 量 等 工 艺 参 考 前 溶 数对 粉 体 粒 度 和 形 貌 的影 响 。结 果 表 明 ： 应 温 度 、 驱 体 溶 液 浓 度 、 液 流 量 及 载 气 流量 与产 物 颗 粒 的 粒 度 反 前 溶
ｓ ｏ ｔａ ａ ａ ｔｒ ｕ ｈ ｓｔ ｍｐ ｒ ｔ ｅ， ｅ ｕｒｏ ｏ ｕｉ ｎ ｏ ｅ ｔａｉｎ， ｓ ｌ ｉｎ ｆ ｅ ｒｔ ｈ ｗ ｈ ｔｐ ｒ ｍｅｅ ｓｓ ｃ ａ ｅ ｅ ａｕｒ ｐｒｃ ｓ ｒｓ ｌ ｔｏ ｃ ｎｃ ｎ ｒ ｔ ｏ ｏｕｔ ｅ ｄ ａ ｅ， ａ ｃ ｒｉｒ ｇ ｓ ｌｗ ｏ ｎｄ ａｒｅ ａ ｆｏ ｒｔ ｒ ｌｓ ｌ ｅａｅ ｏ ｔ ｅｐａ ｉｌ ｉｅ ａ ｄ ｄ ｓｒｂ ｔｏ ａｅａ ｅ ｃｏ ｅｙ ｒ ｌｔｄ ｔ ｈ ｒ ｃｅ ｓｚ ｎ ｉｔｉ ｕ ｉｎ，ｄｅ ｓｔ ｔ ｎｉ ｙ，ｓ ｅ ｉｉｙ，ｐ ｉｙ，ｅｙ ｔ ｌ ｎ ｔ ｆｂ ｒｕ ｔｔｎ ｔ ｐｈ ｒｃｔ ｕｒｔ ｒ ｓａｌ ｉｙｏ ａ ｉｍ ｉ ａ ｅ ｉ ａ ｐ ｒｉｌｓ Ｓ ｅ ｉａ Ｔ Ｏ３ｐ ｗｄ ｒ ｔ ｎ ａ ｅ ａ ｅ ｓｚ ｆ２． ｍ ，ｕｎｆ ｒ ｓｚ ｓｒｂ ｔｏ ａｔｃ ｅ ． ｐｈ ｒｃ ｌＢａ ｉ ｏ ｅ ｓｗｉｈ ａ ｖ ｒ ｇ ｉｅ ｏ ４１ ｘ ｉｏ ｍ ｉｅ ｄｉｔｉ ｕ ｉｎ，ｇ ｏ ｒｓａｌｎ ｔ ｎ ｏ ｄ ｅｙ ｔｌｉｉｙ ａ ｄ ｆ ｗ ｓ ｌ ａ ｄ ｅ ｈｅｌ ｎ ｈｏｅ ｃ ｎ ｓ ｌｓ ａ ｂｅ ｂ ａｎ ｄ ｎｄ ｒ ｈ ｅ ｐｅｉ ｎ ａ ｃ ｎｄｔｏ ｏ ｒ ａ ｔ ｒ ｅ ｐ ｒｔ ｒ ９ ｏ ｔ ｉｅ ｕ ｅ ｔｅ ｘ ｒｍｅ ｔｌ ｏ ｉｉｎ ｆ ｅ ｃ ｏ ｔｍ ｅ ａｕ ｅ ００￣ ， ｐｒｃ ｒｏ Ｃ ｅ ｕｓｒ ｓ ｌｔｏ ｏ ｃ ｎ ｒｔｏ ．１ ｏ／Ｌ，ｓ ｌ ｉｎ ｆｏ ｒｔ ｍｌ ｏｕ ｉｎ ｃ ｎ ｅ ｔａ ｉｎ ０ ｌ ｍ ｏｕｔ ｗ ａｅ ２ ／ｍｉ ｎｄ ｃ ｒｉｒｇ ｓｆｏ ａｅ ／ｍｉ ｏ ｌ ｎ ａ ａ ｒｅ ａ ｌ ｗ ｒ ｔ２Ｌ ｎ． Ｋｅ ｙ ｗｏｒ ｄｓ：ｓ ｒ ｙ ｐ ｒｌ ｓｓ ｐ ｏ ｅ ｓ；ｂ ｒｕｍ ｉ ｎ ｔ ａ ｔｃｅ ｐ ａ ｙ ｏｙ ｉ ｒ ｃ ｓ ａｉ ｔｔ ａ ｅ ｐ ｒｉｌｓ；ｍ ｏ ｈ ｌｇ ｏ ｔｏ ａ ｐ ｏｏ ｙ ｃ ｎｒ ｌ
喷雾热解法制备SnO2薄膜的结构及性能研究
时 ， 电阻 率 反 而 升 高 ；从 图 Ｉ 还 可 以看 到 薄膜 在 ｝ Ｊ 根据在 线生产 镀膜 玻璃 的特 点 ，本研 究 以无机 ５ ０℃后 电阻率 随载流 子浓 度 的变 化 不人 ，保 持在 ０ 金属 盐Ｓ ＣＩ・ Ｈ Ｏ和 Ｔ业 乙醇 为原料 ，配￥ Ｓ Ｏ ｌ 个 ／ 。 ｌ 个 ／ ，温 度 继 续 升 高 后 电阻 率 下 ｎ ２ ２ ￣ｎ ２ Ｊ ０ ｍ ～ ０ 。 ｍ 溶胶 ，作 为低辐射 玻璃 的喷涂液 ，首 先将一 定量 的 Ｓ ＣＩ ２ ： ｎ ・ Ｈ Ｏ按物质 的量 比ｌ： ０ 于 乙醇 ，然后在 ３溶 ６ ０℃下搅 拌 ，最 终 得 到浅 黄色 澄 清 透 明 的Ｓ ２ ｎ 溶 Ｏ 胶 。在Ｔ燥 箱 分 别将氯 化锑 、三氟 乙酸 与无水 乙 醇 混合 、搅 拌 ｌ ｎ，然 后 各 自按一 定 比例 加 入 ０ｍｉ
种 比较 理 想 的低 辐 射 膜 Ｊ 。
透 过 率 ，通 过 型 号 为Ａｍｒｙ１ ０ 的扫 描 电子显 微 ａ ０ ０ 镜 观 察 薄 膜 的表 面 形 貌 ，采 用 ｖ ｉｄ ｒ ａ ｗ法 ， ａ ｅ ｕ ｌ ０ ＨＥ （ ｌＥ ｆ ｔ６ ４ 测 试 仪 测 定 霍 尔 系数 ：薄 ＭＳＨａｌ ｆ ｃ７ Ｏ １ ｅ
、 ０ ．８ Ｎ Ｏ２ １ ． １ Ｄ ｅ ．２ ０ ｃ ０ ８
喷雾 热解 法 制备 Ｓ Ｏ 薄膜 的结构 及 性 能 研 究 ｎ ２
郅 晓 ，赵高扬 ，雷静果 ，张生国
（． １ 西安理 工大学 材料科 学与 工程 学院，陕西 西安 ７０ ４ ； ． １０ ８ ２洛阳理工学院 材料 科学与工程 系， 河南 洛阳 ４ １２ ： ７ ０３
基 金项 目： 国家 自然科 学基金 项 目《００ ０ ９； ９ ４ １ ０）河南省安全 图１ 温度对Ｓ Ｏ！ ｎ 薄膜电阻率、载流子浓度和迁移率的影响
喷雾热分解法制备TiO2薄膜及光催化性能的研究
ＷＵ Ｇ ａ ｇ ｍｉｇ Ｘ Ｎ ｕ ｎ －ｉ ， Ｉ Ｎ ｉＨＡ ｉ， Ｕ ｅ ｐ ｎ ｕ ｎ － ｎ ， Ｉ Ｇ Ｇ ａ ｇ ｊ ｎ ＪＡ Ｇ Ｗｅ， Ｎ Ｂｎ Ｓ Ｎ Ｄ — ｅ ｇ ａ
（ｅ ｉ ｓｔｔ ｏ ｅｒｃ ｅ ｉａ Ｔ ｃ ｎ ｌ ｙ Ｂ ｉｎ １ ２ １ ， Ｃ ｉａ Ｂ ｉｎ Ｉ ｔｕｅ ｆ ｔ ｈ ｍ ｃｌ ｅｈ ｏｏ ， ｅ ｉｇ ｊｇ ｎ ｉ Ｐ ｏ ｇ ｊ ０ ６ ７ ｈｎ ） 一
能， 究了薄膜性能和制备条件之间的关系， 研 从而为制备高质量薄膜提供一定的理论指导。
关键 词 ： 雾热解 法 ；ＴＯ 薄膜 ；光催 化 喷 ｉ２
Ｓ ｕ ｙ ｏ ｈ ｔ ｃ ｔ ｌ ｓｓＰ ｏ ｅ ｔ ｓ ａ ｄ Ｐ ｅ ａ ａ ｉ ｎ ｏ ｔ ｄ ｆＰ ｏ ｏ ａ ａｙ ｉ ｒ ｐ ｒｉ ｎ ｒ ｐ ｒ ｔ ｆ ｅ ｏ Ｔｉ ｈ ｎ Ｆｉ ｙ Ｓ ｒ ｙ ｐ ｒ ｌ ｓｓ Ｏ２ｔ ｉ ｌ ｍｓｂ ｐ ａ — ａ ａ ｙ ｉ
来 发 现 ＴＯ 薄 膜 材 料 所 具 有 的 高 的 光 催 化 氧 化 ｉ
定配 比的前 驱体溶液雾 化成微米级 的气溶胶液 滴， 用载气夹载雾滴到高温热分解炉中， 经过干燥 固化 、 热分解 、 锻烧烧结等工艺 ， 得到产品颗粒【。 】 ０ １
１ 实 验
ＴＯ 溶胶 配 置 ： 约 １０ ｉ 将 ０ｍＬ无 水 乙醇 倒 人 烧
武光明 ， 邢光建 ， 江 伟 ， 韩
（ 京石 油４ － 学院 ， 北 京 北 ￣Ｙ － －
彬 ， 孙德鹏
１２ １） ０ ６７
摘
要 ： 用喷雾热解法， 利 通过改变工艺参数获得 了一 系列 ＴＯ 薄膜 ， ｉ 并且研究 了这些薄膜结构
和影 薄膜的性 能， ｉ 通过分析不同制备条件下薄膜的性
喷雾热解法合成球形(Y,Gd)BO3：Eu荧光粉
助
硝酸 溶液体系 的 ｐ 为 ２５ Ｈ ．。按照上 述步骤配制 好另 一 种溶 液 ，加入氨水控 制 ｐ Ｈ范 围为 ４ 。 ～５ 首先将 炉温 升至 一定温 度 ，本试 验 设定 为 ９ ０ ０ ℃， 将 按照化学计 量比配制 的前 驱体溶 液加入 到雾化槽 ， 将 载气 系统启动 并保 持一定 空气流量 ，启动 雾化器 。溶液 由雾化 形 成大量 微 小液 滴组 成 的气 溶胶 经载 气流 送入 设定好温度 的石英反应管 中 ，经过 蒸发 、干燥 、分解 、 煅烧 等过程后 得到荧光粉前 驱物颗 粒 ， 通过 收集系统 收 集。 再将得 到的前驱物颗 粒经过后 续热处 理使其进 一步 结晶完善获得（ ，ｄＢ ３ ｕ 物 。 ＹＧ ） Ｏ ： 产 Ｅ
法是将前驱体溶液雾化为几微米到几十微 米的液滴 ， 液滴
＋收 到稿 件 日期 ：２０ ．３１ ０ ７０ ，３ 通 讯作 者 ： 曹雁 冰 作 者 简 介 ：曹 雁冰 （ ９２ ） １８ 一 ，男 ， 山东 人 ，在 读 博士 ，研 究 方 向 为功 能材 料 的制 备 。
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曹 雁冰 等 ：喷雾 热 解法 合 成球 形 （ ， ｄＢ ： ｕ 光 粉 ＹＧ ） Ｏ３ 荧 Ｅ
喷雾热解 法合成球 形（，ｄＢ ：ｕ荧光粉 ＹＧ ） Ｏ３ Ｅ
曹雁冰 ，胡 国荣，彭忠 东，邓新 荣，李 国
（ 中南大 学 冶金科 学与工程 学院 ，湖南 长沙 ４ ０ ８ ） １０ ３
３ 可 以获得 结 晶 良好 的所 需纯相物质 。同时也 考察 了 ｈ
激 活剂浓度对 （ Ｇ ） Ｏ ：ｕ荧光粉体发 光强度 的影响； Ｙ， ｄＢ ３ Ｅ
在优 化 的掺 杂浓度 下 ， 采用氨 水 改性 的前驱体 溶液经过
超声喷雾热解法制备SnS薄膜的物性研究
较大 。
关键词 Ｓ Ｓ ｎ ；薄膜 ； 超声喷雾热解法 ； 前驱液浓度 中图分类号 ： ３ ． ０４ ３ １ 文献标识码 ：Ａ Ｄ ：１． ９ ４ｊｉ ｎ １０ —５ ３ ２ １ ）０２ ６—４ ＯＩ ０ ３６ ／．ｓ ． ０ ００ ９ （０ １ １—６ ４０ ｓ 配 比浓度的前 驱液 在惰性气体携带运输 的条件下来 制备 Ｓ Ｓ ｎ 薄膜 。 采用 Ｘ Ｄ（ ＿Ｑ系列 Ｄ ００Ｘ射线 衍射仪 ） Ｅ Ｒ Ｙ４ Ｘ１０ ，Ｓ Ｍ （ ４０ Ｓ ８０扫描隧道 显微 镜） 其结 构 、表 【 形 貌 等进行 了表 ｙ 对 ｆ ｌ ｉ 征 。 日本 岛津公 司生产 的 ＵＶ ２ ０ 用 －１ ０紫外 分 光光 度讣测 堪 薄膜透过谱 。 用不 同配 比浓度 的前驱 液所 制备 的 Ｓ Ｓ薄膜来 制备 厂 ｎ 器件 ， 采用 Ａ ｉ ｎ 的 ４ ５Ｃ半导体性 测试仪 测量器 件 的暗 ｇｌ ｔ ｅ １５ ｌ － Ｖ特性和 Ｃ Ｖ特性 。 －
ｅｍａｌ ｅｚｉ２ ＠ ｙ ｈ ｏ ｃｍ．ｎ － ｉ ｉ ３ ８ ａ ｏ． ｏ ｃ ：ｌ ｈ
ｅｍａｌ ｙ ｔｎ ｐｎ ＠ １３ ＣＮ － ｉ ｂａ ｇ ｉｇ ６ ．Ｏ ：
超 声 喷 雾热解 法制 备 Ｓ Ｓ薄膜 的物性 研 究 ｎ
唐 萍 ， 黎 兵 ， 智 雷 ， 良桓 ， 冯 蔡亚平 ， 郑家贵，张静全 ， 李 卫 ，武莉莉 ，曾广根
四川大学材料科学 与工程学院 ，四川 成都 ６０ ６ １ ０４
摘
要
用超声喷雾热解法制备 Ｓ Ｓ多 晶薄膜 ， 比了三种 不 同前 驱液配 比浓度 对 Ｓ Ｓ薄膜性 能 的影响 。 ｎ 对 ｎ
（ 图 １和 图 ２所示 ） 如 。
１ 实验部分
用硫脲 十四氯化锡 ＋去 离子水作 为反应前驱液 ，用不 同
关键词 Ｓ Ｓ ｎ ；薄膜 ； 超声喷雾热解法 ； 前驱液浓度 中图分类号 ： ３ ． ０４ ３ １ 文献标识码 ：Ａ Ｄ ：１． ９ ４ｊｉ ｎ １０ —５ ３ ２ １ ）０２ ６—４ ＯＩ ０ ３６ ／．ｓ ． ０ ００ ９ （０ １ １—６ ４０ ｓ 配 比浓度的前 驱液 在惰性气体携带运输 的条件下来 制备 Ｓ Ｓ ｎ 薄膜 。 采用 Ｘ Ｄ（ ＿Ｑ系列 Ｄ ００Ｘ射线 衍射仪 ） Ｅ Ｒ Ｙ４ Ｘ１０ ，Ｓ Ｍ （ ４０ Ｓ ８０扫描隧道 显微 镜） 其结 构 、表 【 形 貌 等进行 了表 ｙ 对 ｆ ｌ ｉ 征 。 日本 岛津公 司生产 的 ＵＶ ２ ０ 用 －１ ０紫外 分 光光 度讣测 堪 薄膜透过谱 。 用不 同配 比浓度 的前驱 液所 制备 的 Ｓ Ｓ薄膜来 制备 厂 ｎ 器件 ， 采用 Ａ ｉ ｎ 的 ４ ５Ｃ半导体性 测试仪 测量器 件 的暗 ｇｌ ｔ ｅ １５ ｌ － Ｖ特性和 Ｃ Ｖ特性 。 －
ｅｍａｌ ｅｚｉ２ ＠ ｙ ｈ ｏ ｃｍ．ｎ － ｉ ｉ ３ ８ ａ ｏ． ｏ ｃ ：ｌ ｈ
ｅｍａｌ ｙ ｔｎ ｐｎ ＠ １３ ＣＮ － ｉ ｂａ ｇ ｉｇ ６ ．Ｏ ：
超 声 喷 雾热解 法制 备 Ｓ Ｓ薄膜 的物性 研 究 ｎ
唐 萍 ， 黎 兵 ， 智 雷 ， 良桓 ， 冯 蔡亚平 ， 郑家贵，张静全 ， 李 卫 ，武莉莉 ，曾广根
四川大学材料科学 与工程学院 ，四川 成都 ６０ ６ １ ０４
摘
要
用超声喷雾热解法制备 Ｓ Ｓ多 晶薄膜 ， 比了三种 不 同前 驱液配 比浓度 对 Ｓ Ｓ薄膜性 能 的影响 。 ｎ 对 ｎ
（ 图 １和 图 ２所示 ） 如 。
１ 实验部分
用硫脲 十四氯化锡 ＋去 离子水作 为反应前驱液 ，用不 同
用喷雾热分解方法制备PZT薄膜及其铁电特性的研究
用喷雾热分解方法制备PZT薄膜及其铁电特性的研究
朱江;武光明;邢光建;吕爱君
【期刊名称】《纳米科技》
【年(卷),期】2008(005)003
【摘要】用喷雾热分解方法制备PZT薄膜,由TGA和DTA确定其退火温度,由XRD和SEM研究其结构特性,用电容-电压技术研究其铁电特性,研究发现:Sawyer-Tower桥测定的C-V曲线与电容-电压技术的结果不同,其铁电性质如电滞回线、Ec和Pr、回线中心的位移、对称性等依赖于测量频率.
【总页数】6页(P44-49)
【作者】朱江;武光明;邢光建;吕爱君
【作者单位】北京石油化工学院,北京,102617;北京石油化工学院,北京,102617;北京石油化工学院,北京,102617;北京石油化工学院,北京,102617
【正文语种】中文
【中图分类】O484
【相关文献】
1.注射超声喷雾热分解方法制备ZnO薄膜研究 [J], 朱江;佟帅;高德文;张志乾;颜炳嘉;孙凯;武光明
2.SOL-GEL方法制备PZT铁电薄膜新方法及铁电特性研究 [J], 颜雷;汤庭鳌;黄维宁;姜国宝;程旭;姚海平;钟琪
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5.后续热处理配合PLD制备铁电PZT薄膜及其工艺优化研究 [J], 许华平;郑立荣因版权原因，仅展示原文概要，查看原文内容请购买。
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关 键 词 喷雾 热 解 硫 族 化 合 物 薄 膜 介 电特 性 光 吸 收
Ｃｈ ｒ ｃ ｅ ｓ ｏ — Ｇｄ ３Ｆ ｌ ｐ ｓｔ ｄ ｂ ｐ ａ ｒ ｌ ｓｓ ａ ａ ｔ ｒ ｆ ２ ｉ Ｄｅ ｏ ｉｅ ｙ Ｓ ｒ ｙ Ｐｙ ｏ ｙ ｉ Ｓ ｍ
Ｚ ｏ ｅ ｈ ｕ Ｚｈ ｎ
．
Ｋｅ ｗｏ ｄ ｓ ｌｉ ａ ｏ ｌ ｙ ｒ ｓ ｕｆ ｎ ｄ ｎ ｆ ｍ ｓ ｒｙ ｐ ｒ ｌｓｓ ｄ ｅｅ ｔ ｃｃ ｎ ｔｎ ｖｓｂ ｅ ａ ｓ ｒ ｔ ｎ ｉ ｐ ａ ｙ ｙ ｉ ｉｌｃｒ ｏ ｓａ ｔ ｏ ｉ ｉｉｌ ｂ ｏ ｉ ｐ ｏ
稀 土的倍半 硫化 物 Ｌ ２３ Ｌ ：Ｌ ～Ｄ ） ｎｓ（ ｎ ｎ ｙ 系列在 常
薄 膜 的物 性 研 究
周 朕
（ 淮海 工学 院数理 科学 系 ， 苏 连云 港 ２ ２０ ） 江 ２０ ５
摘要 用 喷雾 热 解 法 ， 玻 璃衬 底 上 沉 积得 到 了 ７ ａＳ 纳米 多 晶薄 膜 。通 过 Ｌ Ｒ仪 和 紫 外可 见 光分 光 计 对 样 品 的 物 在 一Ｇ ２３ Ｃ
压下 有 ３种类 型 ， 在所 有 已知 ３种类 型 的稀 土倍半 硫
液雾 化后用两个 分离的喷嘴分别将其 喷射到 温度保 持 在 ２０～３０Ｃ的衬 底上 ， ８ ５ｏ 流速 为 ２ ／ ｉ 气 的作 ～３Ｌ ｒｎ载 ａ 用下， 最后沉积得 到平滑均匀 的 一Ｇ ３ ｄＳ 薄膜 。 利用 Ｌ Ｒ仪 （ ｇｅｔ１４ １ ２４ Ｃ 和 紫外 Ｃ Ａ ｉｎ ６５ Ｂ ４ ８ Ａ Ｌ Ｒ） ｌ
可见 光分光 计对 样 品进 行 了介 电和 光 吸收 性 质 的 研
究。
化物 中 ， 有 具
Ｐ 结 构 的 相 因其 在 热 学 、 电子 ４ 光
学、 激光 技术 和压 电传感 器 中的潜 在用途 而得 到 了极
大 的关 注 ｌ 。具有 Ｔ ３４ 构 的 一Ｇ ２３不但 是 卜 ｈＰ 结 ｄｓ
宽带 （ ～３ｅ 高 电阻 （ ０ ｃ 的半 导体 ， 是 远 ２ Ｖ） １ｍ Ｑ・ｍ） 还 红外 传输 材料 Ｊ ７。值 得 注意 的是 ， 少有人 进行 相倍 半 硫化 物介 电特性 方 面 的研 究 工作 。本 文进 行 了对 用 超声 喷雾 热解法 制备 的 一Ｇ ３ 米 薄膜 的介 电 ｄＳ 纳
性进 行 了测试 ， 果 表 明 ： 一 ｓ 纳米 多 晶 薄膜 的介 电 常数 与 常 规 材料 有 较 大 差 异 ， 结 ７ ３ 特别 是 在 低频 范 围 内 ， 价 于 双 层 等
电介 质 模 型 ， 其响 应 行 为类 似 于 德 拜 驰豫 ； 征 吸 收 区处 在 可 见光 范 围 内 ， 常 规 ７ ａＳ 吸收 谱 相 比发 生 了红 移 。 本 与 一Ｇ ２３
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第２ ０卷第 ９期 ２０ ０ ６年 ９月
化工 日 刊 寸
Ｃｈ ｍ ｉ ｌ ｎ ｕ ｔ Ｔ ｍｅ ｅ ｃ ｄ ｓ Ｈ ｉ ｓ ａ Ｉ
Ｖｏ ． ０ ． １２ Ｎｏ． ９
Ｓｅ ９． ００ ｐ． ２ ６
喷 雾 热 解 法 制 备 的 一Ｇ ２ ３ ｄ Ｓ
Ａｂｓｒ ｃ Ｎａ ｏ ｈ ｓ ｏｙ ｔｌｉｅ ｔｉ ｌ ｒ ｅ ｏ ｉ ｄ ｂ ｏ— ａｌｄ ａ ｙ ｃ ｒ ｎ ｕ ｕ ｓ ｌ ａ ｏ ｉ ｐ ｙ ｐ ｒ ｌ ｔａ ｔ ｎ ｐ ａ ｅ ｐ ｌｓｓｌｎ ｈ ｎ ｆ ｍｓｗｅｅ ｄ ｐ ｓｔ ｙ ａｓ －ｃ ｌ ｓ ｎ ｈ ｏ ｏ ｓｐ ｌｅ ｕｔ ｓ ｎ ｃｓ ｒ ｙ － ｉ ｅ ｅ ｒ ａ ｏ － ｙ ｉ ｔ ｏ ｎ ｇａｓ ｓ ｂｌｃｒｃ ｔｓ ｘｕ ｅ ａ ｄ Ｒａ ｎ ｓ ｅ ｔｕ ． Ｔ ｅ ｔｃ ｎ ｃ ｓｓｍｅｈ ｄ ｏ ｌ ｕ ｓｒ ｔｓ Ｔ ｅ ｆ ｍ ｗｅｅ ｃ ａ ａ ｔｒｚ ｄ ｂ ｅｅ ｔ ｅ ｔｆ ｔ ｒ ｎ ｍａ ｐ ｃｒ ｍ ｈ ｅ ｈ ｉａ ｓ ｉｓ ｉ ｉ ｌ ｃ ｎ ｉ ｏ ｓｌａ ｉ ｇ ｔ ｐ ｉ ｌｐ ｒｏｍａ ｃ ｒ ｄ ｎ ｉ ｅ ｈ ｅｄ ｅｅ ｔ ｃ ｃ ｎ ｔｎ ｆｎ ｏ ｌ ｄｆｅｅ ｔｆｏ ｃ ｍｍ ｅ ｔｒ— ｏ ｄ ｔ ｎ ｅ ｎ ｏ ｏ ｔｍ ｅ ｒ ｎ ｅｗｅ ｅｉ ｅ ｔ ｄ．Ｔ ｉｌｃｒ ｏ ｓａ ｔｏ ａ ｆ ｍ ｉ ｒｎ ｒｍ ｏ ｉ ｓ ａ ｆ ｉ ｆ ｉ ｎ ｉ ｎｍ ｅ ａ ｉ ａｓ，ｅ ｐ ｃａｙ ｄ ｒ ｇ ｌｗ ｒｑ ｅ ｃ ，ｉ ｅｄ ｅｅ ｔ ｃｏ ｏ ｂｅ ｌｙ ｒ ｏ ｓｒ ｃ ｔ ｂ ｅ ｒｌｘ ｔｏ Ｉ ｔ ｎ ｉ ｂ ｏｐ ｉｎ ｒ ・ ｌ ｓ ｅ ｉ ｕ ｎ ｏ ｆｅ ｕ ｎ ｙ ｌｋ ｉｌｃｒ ｆｄ ｕ ｌ ａ ｅ ｓｃ ｎ ｔ ｔｗｉ ｍｅ ｙ ｅａ ａｉｎ． ｒ ｓｃ ａ ｓ ｒｔｏ ｅ ｌ ｉ ｉ ｕ ｈ ｎ ｉ ｇｏ ｉ ｎ ｖｓｂ ｅｓ ｅ ｔ ｍ ｄ ｈ ｖ ｅ ｈｆ ｅ ｅ ｔ ｉｎ ｌｅ ｉ ｉｉ ｌ ｐ ｃｒ ｕ ｎ ａ ａ ｅ ｒ ｄ ｓ ｉ ｆ ｃ ． ｔ
（ ｅａ ｍ ｎ ｏ Ｍａ ｅ ａｉ ｎ ｈｓ ｓ Ｈ ａ ａ Ｉｓｔｔ ｏ ｅｈ ｏ ｇ ，ｉ ｇ ｉ ｙｎａｇ２ ２０ ） Ｄ ｐｒ ｅｔ ｆ ｔ ｍ ｔｓａｄＰ ｙｉ ， ｕｉ ｉｎｔｕｅ ｆ ｃｎ ｌ ｙ Ｊ ｎｓ Ｌａ ｕ ｇｎ ２０ ５ ｔ ｈ ｃ ｃ ｈ ｉ Ｔ ｏ ａ ｕ ｎ
特性和 光 吸收方 面的研 究 。
日 墨塑过
２． 介 电 测 量 和 分 析 １
室温 下 ， 们研究 了不 同频率 下玻璃 和薄 膜双 层 我
Ｃｈ ｒ ｃ ｅ ｓ ｏ — Ｇｄ ３Ｆ ｌ ｐ ｓｔ ｄ ｂ ｐ ａ ｒ ｌ ｓｓ ａ ａ ｔ ｒ ｆ ２ ｉ Ｄｅ ｏ ｉｅ ｙ Ｓ ｒ ｙ Ｐｙ ｏ ｙ ｉ Ｓ ｍ
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稀 土的倍半 硫化 物 Ｌ ２３ Ｌ ：Ｌ ～Ｄ ） ｎｓ（ ｎ ｎ ｙ 系列在 常
薄 膜 的物 性 研 究
周 朕
（ 淮海 工学 院数理 科学 系 ， 苏 连云 港 ２ ２０ ） 江 ２０ ５
摘要 用 喷雾 热 解 法 ， 玻 璃衬 底 上 沉 积得 到 了 ７ ａＳ 纳米 多 晶薄 膜 。通 过 Ｌ Ｒ仪 和 紫 外可 见 光分 光 计 对 样 品 的 物 在 一Ｇ ２３ Ｃ
压下 有 ３种类 型 ， 在所 有 已知 ３种类 型 的稀 土倍半 硫
液雾 化后用两个 分离的喷嘴分别将其 喷射到 温度保 持 在 ２０～３０Ｃ的衬 底上 ， ８ ５ｏ 流速 为 ２ ／ ｉ 气 的作 ～３Ｌ ｒｎ载 ａ 用下， 最后沉积得 到平滑均匀 的 一Ｇ ３ ｄＳ 薄膜 。 利用 Ｌ Ｒ仪 （ ｇｅｔ１４ １ ２４ Ｃ 和 紫外 Ｃ Ａ ｉｎ ６５ Ｂ ４ ８ Ａ Ｌ Ｒ） ｌ
可见 光分光 计对 样 品进 行 了介 电和 光 吸收 性 质 的 研
究。
化物 中 ， 有 具
Ｐ 结 构 的 相 因其 在 热 学 、 电子 ４ 光
学、 激光 技术 和压 电传感 器 中的潜 在用途 而得 到 了极
大 的关 注 ｌ 。具有 Ｔ ３４ 构 的 一Ｇ ２３不但 是 卜 ｈＰ 结 ｄｓ
宽带 （ ～３ｅ 高 电阻 （ ０ ｃ 的半 导体 ， 是 远 ２ Ｖ） １ｍ Ｑ・ｍ） 还 红外 传输 材料 Ｊ ７。值 得 注意 的是 ， 少有人 进行 相倍 半 硫化 物介 电特性 方 面 的研 究 工作 。本 文进 行 了对 用 超声 喷雾 热解法 制备 的 一Ｇ ３ 米 薄膜 的介 电 ｄＳ 纳
性进 行 了测试 ， 果 表 明 ： 一 ｓ 纳米 多 晶 薄膜 的介 电 常数 与 常 规 材料 有 较 大 差 异 ， 结 ７ ３ 特别 是 在 低频 范 围 内 ， 价 于 双 层 等
电介 质 模 型 ， 其响 应 行 为类 似 于 德 拜 驰豫 ； 征 吸 收 区处 在 可 见光 范 围 内 ， 常 规 ７ ａＳ 吸收 谱 相 比发 生 了红 移 。 本 与 一Ｇ ２３
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第２ ０卷第 ９期 ２０ ０ ６年 ９月
化工 日 刊 寸
Ｃｈ ｍ ｉ ｌ ｎ ｕ ｔ Ｔ ｍｅ ｅ ｃ ｄ ｓ Ｈ ｉ ｓ ａ Ｉ
Ｖｏ ． ０ ． １２ Ｎｏ． ９
Ｓｅ ９． ００ ｐ． ２ ６
喷 雾 热 解 法 制 备 的 一Ｇ ２ ３ ｄ Ｓ
Ａｂｓｒ ｃ Ｎａ ｏ ｈ ｓ ｏｙ ｔｌｉｅ ｔｉ ｌ ｒ ｅ ｏ ｉ ｄ ｂ ｏ— ａｌｄ ａ ｙ ｃ ｒ ｎ ｕ ｕ ｓ ｌ ａ ｏ ｉ ｐ ｙ ｐ ｒ ｌ ｔａ ｔ ｎ ｐ ａ ｅ ｐ ｌｓｓｌｎ ｈ ｎ ｆ ｍｓｗｅｅ ｄ ｐ ｓｔ ｙ ａｓ －ｃ ｌ ｓ ｎ ｈ ｏ ｏ ｓｐ ｌｅ ｕｔ ｓ ｎ ｃｓ ｒ ｙ － ｉ ｅ ｅ ｒ ａ ｏ － ｙ ｉ ｔ ｏ ｎ ｇａｓ ｓ ｂｌｃｒｃ ｔｓ ｘｕ ｅ ａ ｄ Ｒａ ｎ ｓ ｅ ｔｕ ． Ｔ ｅ ｔｃ ｎ ｃ ｓｓｍｅｈ ｄ ｏ ｌ ｕ ｓｒ ｔｓ Ｔ ｅ ｆ ｍ ｗｅｅ ｃ ａ ａ ｔｒｚ ｄ ｂ ｅｅ ｔ ｅ ｔｆ ｔ ｒ ｎ ｍａ ｐ ｃｒ ｍ ｈ ｅ ｈ ｉａ ｓ ｉｓ ｉ ｉ ｌ ｃ ｎ ｉ ｏ ｓｌａ ｉ ｇ ｔ ｐ ｉ ｌｐ ｒｏｍａ ｃ ｒ ｄ ｎ ｉ ｅ ｈ ｅｄ ｅｅ ｔ ｃ ｃ ｎ ｔｎ ｆｎ ｏ ｌ ｄｆｅｅ ｔｆｏ ｃ ｍｍ ｅ ｔｒ— ｏ ｄ ｔ ｎ ｅ ｎ ｏ ｏ ｔｍ ｅ ｒ ｎ ｅｗｅ ｅｉ ｅ ｔ ｄ．Ｔ ｉｌｃｒ ｏ ｓａ ｔｏ ａ ｆ ｍ ｉ ｒｎ ｒｍ ｏ ｉ ｓ ａ ｆ ｉ ｆ ｉ ｎ ｉ ｎｍ ｅ ａ ｉ ａｓ，ｅ ｐ ｃａｙ ｄ ｒ ｇ ｌｗ ｒｑ ｅ ｃ ，ｉ ｅｄ ｅｅ ｔ ｃｏ ｏ ｂｅ ｌｙ ｒ ｏ ｓｒ ｃ ｔ ｂ ｅ ｒｌｘ ｔｏ Ｉ ｔ ｎ ｉ ｂ ｏｐ ｉｎ ｒ ・ ｌ ｓ ｅ ｉ ｕ ｎ ｏ ｆｅ ｕ ｎ ｙ ｌｋ ｉｌｃｒ ｆｄ ｕ ｌ ａ ｅ ｓｃ ｎ ｔ ｔｗｉ ｍｅ ｙ ｅａ ａｉｎ． ｒ ｓｃ ａ ｓ ｒｔｏ ｅ ｌ ｉ ｉ ｕ ｈ ｎ ｉ ｇｏ ｉ ｎ ｖｓｂ ｅｓ ｅ ｔ ｍ ｄ ｈ ｖ ｅ ｈｆ ｅ ｅ ｔ ｉｎ ｌｅ ｉ ｉｉ ｌ ｐ ｃｒ ｕ ｎ ａ ａ ｅ ｒ ｄ ｓ ｉ ｆ ｃ ． ｔ
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特性和 光 吸收方 面的研 究 。
日 墨塑过
２． 介 电 测 量 和 分 析 １
室温 下 ， 们研究 了不 同频率 下玻璃 和薄 膜双 层 我