扩散炉石英管安装

扩散炉石英管安装
力诺光伏设备管理部
潘学兴
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初定位
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定位
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密封
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安装炉门
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z 石英管的进入：将石英管从loading box
送入炉管内部，如图1所示：
图1
注意：石英管进入炉管时，尾
端的进气管旋转至上方，以免在推入石英管时碰坏。

然后轻轻将石英管推入炉管内部。

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初定位
z石英管的进入：当石英管尾端超出炉管3-5cm时，停止推入。

将尾端进
气管轻轻旋转至底部。

如图2所示：
注意：尾端超出炉管尾端3-5cm而不是机
器外壳。

注意：将进气管轻轻旋转到下方。

用力
时，旋转石英管体而不是进气管。

图2
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1
z 石英管的初定位：将石英棉填入石英管顶端与炉管间的空隙处，使其固定。

如图3所示：
图3
注意：填入石英棉时不要将石英棉填到加热丝处，尾端处理同前端一样也需要填入石英棉。

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z 石英管的初定位：用尺子测量石英管两侧与炉管之间的距离并填入石英棉。

如图4所示：
图4
注意：当位于同一水平线上的两侧与炉管的距离相同时既是炉管中心位置。

在此处填入少量石英棉，若一边距离大于另一边，可在距离小的一侧填入石英棉将石英管”挤”
到中心位置。

定位测量的点为四个：十点钟，两点钟，四点钟，八点钟。

尾端处理也是如此。

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初定位
初定位完成的效果如图5、6所示：
图5图6
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2
z 石英管定位：用尾端端盖将石英管推到正确位置。

端盖如图7所示：
图7
注意：在将端盖放到石英管为
短时要特别小心，以防将进气管、尾气管碰坏。

双手摊开用力推回至端盖与炉管外沿之间无缝隙为止。

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2
z 石英管尾端找平：用水平尺在进气管与热电偶管上进行找平。

如图8所示：
图8
注意：此时在尾端已无法
旋转石英管，若不平只能在石英管管口旋转找平。

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2
z 石英管尾端的定位：找平后测量尾气管到两侧金属外壳的距离。

如图9所示：
图9
注意：尾气管距离
任意一侧边缘的距离为159-160mm ，如有太大差距则用石英棉填充将石英管
“挤”到正确位置。

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定位
z石英管端口的定位：测量石英管上下左右四点到金属外壳螺口中心的位置，如图10所示：
注意：石英管左右距螺口的距
离为33mm，上端距金属外壳
边缘的距离为31mm，下端距
金属外壳的距离为23mm。

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定位
z石英管的固定：确定好管口、尾端的位置及水平后在为填入石英棉的空隙中填入石英棉。

固定石英管的位置。

如图11、12所示：
2
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定位
z石英管的找平：在固定好石英管的位置之后将，水平仪放入石英管内进行找平。

炉体的找平调节螺栓在furnace正面。

如图13所示：
注意：此时只能调节尾端的调
节螺栓，因为管口的位置已经
确定不能变更。

在结束定位后，要用无尘布及
酒精清洁石英管内外壁。

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密封
z尾端密封：将定位时使用的尾端端盖盖在石英管尾端。

用固定底片固定住即可。

如图14所示：
注意：在端盖下凹的部分铺上少
量石英棉，要保证石英棉的厚度
一致。

大约在2mm左右。

进气管与端盖口之间的距离要均
匀不要使一边间隙很大，另一边
没有间隙。

用固定底片固定好后，固定底片
的螺丝不能拧的太紧。

在尾气管、进气管与端盖之间的
间隙中填入石英棉。

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密封
z管口密封：在端口垫上两层石英垫圈，然后垫上陶瓷圈。

石英垫圈如图15所示：
图15 石英垫圈
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密封
z管口密封：在端口垫上两层石英垫圈，然后垫上陶瓷圈。

效果如图16所示：
注意：当垫上陶瓷圈后仍需
再垫上1-2层石英垫圈。

让石
英垫圈与金属外壳在同一平
面上。

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z 管口密封：用金属端盖固定并找平。

效果如图17所示：
图17
注意：金属端盖与石英垫圈之间还有四
层方形的石英垫圈。

如图18
所示：在找平时先按上金属端盖上的上下两个螺母。

图18
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3
z 管口密封：端口排风装置安装。

如图
19所示：
图19
注意：此端口排风装置也需要找平，
其方法与金属端盖找平方法相同。

不再赘述。

密封完成后，要对金属表面进行清洁。

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炉门的安装：将炉门支撑杆推知如图
20所示位置并用工具定位在该位置：
图20
注意：此位置必须固
定牢固防止安装炉门时炉门掉落摔碎。

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4
炉门的安装：将炉门固定在支架上。

如图21所示：
图21
注意：固定炉门后，
关闭炉门，若位置不对，可以调节炉门上的调节螺栓。

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安装炉门
炉门的安装：安装后效果如图22所示：
图22。