3-32-M-J-COMM-014 48所捷佳伟创扩散炉换源作业指导书 A5
捷佳伟创晶体硅电池高温扩散炉的培训资料课件
自动机械手实现自动装卸舟功能，实现高度自动 化
炉体加热部分
主要工艺控制点：
炉门 炉体（热电偶 加热丝） 温控表主要参数设置方法
炉体加热部分
1） 功率部件
电，
变压器为低压大电流输出，原边以380V三相供
设备中任意一管工作，都不影响电网负荷的平衡。
采用
周波过零触发技术，克服了对电网的二次谐波干扰。
二：按住∠mode键3秒以上：ATU=ON。CH1， CH2分别进行自整定。先
在本地控制的模式下进行CH2的自总定，完毕后在远程模式下进行CH1 的自总定。PID参数自总定完成。
A-M手动/自动切换 r-5:RUN/STOP切换
r-L 本地/远程控制选择
三．一边按set键一边按＞mode键：
在每层相应的前面板上，分布有 触摸屏，状态指示灯、报警器、急停开 关和控制开关。
控制部分是我们调节工艺参数的 主要途径。
控制部分
工控机软件功能强大,人机接口界面友好:
⑴有工艺程序集中编辑功能。
⑵有计算机手动调试界面。
⑶工艺运行中,可方便地实现跳步﹑在线编辑﹑修改。
⑷具有程序断点启动功能。
10.932 10.932
10.932
中(偏差6µV）
靠炉口(偏差4µV）
炉门
设备中炉门 对于工艺的影响是比 较的，如果接近炉口 的方阻大量出现偏高， 且片内的方阻出现上 下分层现象，都是炉 门没关紧引起的
加热点（6个）
炉体加热部分
该部分主要配置 有： 炉管 控温热电偶、 超温保护热电偶
（5个）热电偶（外偶的分布位置由5个控温点组成）
4 恒温区长度及精度（动态,即模拟工艺状态）： 350～600℃ ≤±1℃/1100mm
回流炉作业指导书
回流炉作业指导书一、概述回流炉是一种用于加热和燃烧工艺中废气的设备，其主要功能是回收热能并减少污染物的排放。
本作业指导书旨在提供回流炉的操作指导和安全注意事项，以确保作业人员的安全和设备的正常运行。
二、操作指导1. 准备工作在进行回流炉作业之前，作业人员应先进行以下准备工作：- 确保所有操作人员已经接受过相关的培训，并具备操作回流炉所需的技能和知识；- 确保回流炉的供电和燃气系统正常运行，并且各种安全设施完好；- 检查回流炉的热交换器和管道是否清洁，并清除任何堵塞物；- 确保回流炉的控制系统和仪表工作正常，并进行必要的校准。
2. 操作步骤按照以下步骤进行回流炉的操作：- 打开回流炉的主电源，确保电源稳定；- 打开燃气供应阀门，并调节燃气流量到适当的水平；- 打开点火装置，并点火燃烧器，确保燃烧器点火成功；- 监测回流炉的温度和压力，确保它们在安全范围内；- 根据需要调节燃气流量和燃烧器的火焰大小，以达到所需的加热效果；- 定期检查回流炉的运行状态，包括温度、压力、燃气流量等，并进行必要的调整；- 在作业结束时，先关闭燃气供应阀门，然后关闭回流炉的主电源。
三、安全注意事项在进行回流炉作业时，必须遵守以下安全注意事项：1. 穿戴个人防护装备，包括耐高温手套、防护眼镜、防护服等；2. 确保作业区域通风良好，以防止有害气体积聚；3. 注意回流炉的温度和压力，避免触摸热表面或过高压力的部件；4. 不要将易燃物品放置在回流炉附近，以防止火灾；5. 确保回流炉的燃气系统正常运行，避免燃气泄漏；6. 在操作回流炉时，严禁饮酒或服用药物，以免影响判断力和反应能力；7. 在异常情况下，立即停止作业并报告相关人员，不得擅自处理。
四、常见故障处理在回流炉作业过程中，可能会遇到一些常见故障，如燃烧器点火失败、燃气供应中断等。
对于这些故障，作业人员应按照以下步骤进行处理：1. 燃烧器点火失败：- 检查燃气供应是否正常，确保燃气流量充足；- 检查点火装置是否工作正常，如有故障，及时更换或修理；- 清洁燃烧器和点火装置，以确保无堵塞或污染。
扩散标准作业
扩散基本作业
将扩散碎片、返工片放入指定场所，碎片 要按大于1/2和小于1/2分开放，填写好工 序流程卡和生产记录，要注明时间和操作 者，时间一定要准确，以便于以后查询， 将扩散后的硅片放入刻蚀传递窗口，关上 传递窗(扩散后的硅片要禁止堆积过高) 。
测方块电阻作业
将扩散好的硅片从桨上取下放在卸片台 上冷却，待硅片充分冷却后，用石英吸 笔在石英舟上等距离的抽取5片扩散面朝 炉内的硅片。将取出的硅片拿到四探针 测试仪处，打开四探针测试仪的电源 （初次测量时需预热十五分钟）正常生 产时可待机。
扩散基本作业
用带有舟叉套管的舟叉取一石英舟到装 片台上准备插片。在插片前要先检查一 下石英舟是否完好，如有裂痕要及时作 醒目标识并隔离。扩散装片采用双片单 面扩散，即在同一槽内同时插入二片硅 片，边装片边检查硅片绒面状况，有绒 面问题的要及时挑出。
扩散基本作业
将插好硅片的石英舟放至指定地点，等 待空闲的石英管，待桨完全退到外面后， 把装满硅片的舟放到碳化硅浆上，同时放 上石英档板，选择好工艺号，要选择符合 当前所做的硅片的工艺，按确定按钮，开 始运行工艺。
石英管的拆卸
先确认工艺不在运行，确认并关闭所有气 体（O2、小N2、大N2），将源瓶的阀门 旋紧，将碳化硅桨退出冷却，关闭加热电 源，待冷却至100度以下，将石英管、碳 化硅桨、石英门等按顺序卸下，将石英管 放入指定大纸箱，清洗之前要先确认管、 桨、石英门等，是否有裂纹、破损，两人 一人一头将装有石英管的纸箱抬到石英管 清洗机旁，将石英管轻轻放下。
扩散标准作业
扩散间工艺流程 扩散炉开关机作业 扩散基本作业 测方块电阻作业 扩散间换源作业 石英管清洗作业
扩散工艺流程
TCA清洗 → 饱和 → 装片 → 送 片 → 回温 → 扩散 → 关源、退舟 → 方块电阻测量→ 卸片
扩散炉维修手册分解
M5111-4W/UM系列高温扩散/氧化系统维修手册中国电子科技集团公司第四十八研究所2007年2月目录1．设备型号涵义 (1)1.1型号的组成 (1)1.2各代号涵义 (1)2．电气图纸的代号规定 (2)2.1电气制图代号定义 (2)2.2元器件编号规定 (3)2.3电气接线编号规定 (3)2.4电气转接端口定义 (3)2.5计算机转接端口定义 (7)3．故障判别与维修 (11)3.1温度控制系统 (11)3.1.1温控仪上显示oooo (11)3.1.2炉子不能升温 (11)3.1.3面板上的超温指示灯亮 (12)3.1.4炉温失控 (12)3.1.5面板上的短路指示灯亮 (13)3.2自动推拉舟系统 (13)3.2.1不能自动进出舟 (13)3.2.2不能自动停舟 (14)3.3气体流量控制系统 (14)3.3.1气动阀不能受控打开 (14)3.3.2触摸屏上无气体流量显示 (14)3.3.3气体流量总是显示最大值 (15)3.3.4气体流量显示值波动大 (15)3.4 H/O合成氧化系统 (16)3.4.1火不能点燃 (16)3.4.2系统误报警 (16)1．设备型号涵义1.1 型号的组成按照部颁标准，我所高温扩散/氧化系统的型号由如下代号组成：M 5 1 11 — 4 W / UM型所企业代号（中国电子科技集团公司第48所）特点代号设计顺序号主参数（1100℃）品种代号（扩散设备）形式代号（掺杂设备）类别代号（表面处理和薄膜淀积设备）1.2 各代号涵义M 薄膜淀积设备5 掺杂设备1 扩散掺杂设备13 主参数，最高使用温度1300℃1 炉膛有效内径φ150mm，适用于3〞硅片工艺2 炉膛有效内径φ180mm，适用于4〞硅片工艺3 炉膛有效内径φ250mm，适用于6〞硅片工艺4 炉膛有效内径φ300mm，适用于8〞硅片工艺W 微控H 悬臂舟A 内燃式B 外燃式S 双温区2．电气图纸的代号规定2.1电气制图代号定义按照国家电气制图标准，我所常用电气图纸器件代号如下：2.2元器件编号规定* * * * *0—公共器件，1—下层，2—中下层，3—中上层，4—上层 1—电控柜，2—净化台，3—炉体柜，4—气源柜如电控柜中下层第5号插头座编号为：X1205 ；净化台照明开关的编号为：S20052.3电气接线编号规定* * * * *001～099 ；其他线号从101～999 。
CETC48扩散工序作业指导书
流至刻蚀：
1. 填写流程卡和汇总表，进行相关登记。 2. 打开通往刻蚀的传递窗，将盛满硅片的花篮以及流程卡放 于传递窗中，等待刻蚀。 版本 日期 A/0 2013-3-19 A/1 2015-10-24 更改内容 增加自动上下料设备
第 7 页 共 8 页
版本
日期
更改内容 制订 签名 日期 审核 批准
1、 头发不得外露； 2、 戴活性炭口罩； 3、 衣领需粘紧； 4、 衣 服 拉 链 拉 到 最上端； 5、 佩戴工作手套； 6、穿专用无尘鞋。
1、 风 淋门 为单向 门 不得同时打开， 风 淋时将门关紧； 2、 进 扩散 车间必 须 风淋 15 秒，严禁 擅自修改时间； 3、工作鞋必须踏在粘 尘垫上粘尘。粘尘 垫须及时更换。
炉口位置
3. 注意舟的放置方向
窄边
第 4 页 共 8 页
CETC48 扩散工序作业指导书
工位名称
工艺运 行
文件编号 版本/版次 型号
DT/TEC W-003 12 A/1 CETC48 扩散炉
运行工艺
工时（秒）
N/A
运行工艺：
是 运行
1. 2. 3.
将石英舟全部放满就可以进行工艺（选择运行工艺文件） ； 系统界面：按“是”进入下一步骤； 在点击运行按钮，即可进入自动工艺；
工装穿戴：
1. 穿好无尘服、无尘鞋，一次性橡胶手套。 2. 禁止不配戴手套或配戴脏污手套接触硅片表面、石英制 品、镊子、承载盒及真空垫板。严禁使用脏污的石英制品、 镊子、承载盒及真空垫板接触硅片。
风淋要求：
风淋要求 1. 进入扩散间必须按照规定吹风淋，严禁不吹风淋直接进入 扩散间。 2. 每天上班前应对车间进行清扫，包括地面、风淋室、传递 窗、插片台、暗房、卸片台等。其中石英吸笔及钢化玻璃 台面要用酒精擦洗。
四十八所扩散作业指导书现场版本_图文.
规范四十八所扩散炉常规维护项目的操作二、适用范围适用于佳诚太阳能有限公司电池车间扩散一到四线工序三、规范性引用文件四十八所扩散炉操作说明书四、职责设备人员:1、检查温控仪表及热电偶是否正常2、检查触摸屏是否偏移,矫正3、检查电气线路按钮开关及指示灯是否正常4、检查插片房风机是否正常5、检查变压器及炉体接线端子是否老化、发黑等现象6、保养完后,确认每台炉管加热、流量正常工艺人员:1、负责协助生产拆装废液瓶夹子2、检查有毒气体管道密封性和老化程度,是否需要更换生产员工:1、检查传动是否平滑,有无震动和异响,加润滑油2、清理净化滤网,必要时更换3、清理废气室及废气管滴下的偏磷酸4、检查恒温水槽不锈钢源瓶座是否有积水,清理5、检查恒温水槽液位是否过低;控温等是否正常6、检查气路是否有漏气现象,更换卡套和四通阀7、检查废液瓶内废液,是否需要清理五、设备主要技术参数 :六、设备介绍与操作1.1总体结构总体结构分为四大部分,见平面安装图 1,从右到左为:控制部分、推舟净化部分、电阻加热炉部分、气源部分。
图 1 软着陆扩散炉平面安装图1.2分部件结构1.2.1工控机控制框图见图 2。
图 2在控制柜的底层, 安装有四管控制系统的推舟控制装置、保护电路、电路转接控制板及各层的开关、保险等 , 前盖板上装有三相电源指示灯及照明、净化、抽风开关等。
该柜内有 220V 的交流电,也有 15V 、 5V 直流电和控制信号线,检修时请注意区分及安全,谨防接错和短路。
1.2.2推舟净化部分推舟净化柜的顶部装有照明灯;正面是悬臂桨推拉舟机构,推舟水平运动采用步进电机 +减速机 +同步带 +同步带轮的传动机构,推动悬臂桨水平移动;推舟垂直运动采用步进电机 +减速机 +升降机的驱动机构,推动推舟底板整体上下移动。
导轨的两端和上下运动的两端都装有限位开关和极限保护开关。
靠近炉口的净化柜顶部设有漏斗状的抽气罩,与外接抽风系统连接后,用来排掉出舟时散发的大量高温有毒气体。
扩散炉(48所)简介-alan
一、扩散工艺原理 二、四探针原理 三、扩散装置示意图 四、P2O5，Cl2Leabharlann 性质 五、高温氧化/扩散系统的设备简介
扩散的工艺原理
∗ 制造PN结原理：实质上就是想办法使受主杂质(P型)， 在半导体晶体内的一个区域中占优势，而使施主杂 质(N型)在半导体内的另外一个区域中占优势，这样 就在一块完整的半导体晶体中实现了P型和N型半导 体的接触，而此时半导体晶体内部就形成PN结。 ∗ 利用磷原子(N型) 向晶硅片(P型)内部扩散的方法， 改变晶硅片表面层的导电类型，从而形成PN结。这 就是用POCl3液态源扩散法制造P-N结的基本原理。
Chint Solar Confidential
11
高温氧化/扩散系统的设备简介 高温氧化 扩散系统的设备简介
• 气源气路
O2 MFC
小N2 MFC
大N2 MFC
Chint Solar Confidential
12
高温氧化/扩散系统的设备简介 高温氧化 扩散系统的设备简介
• 闭管的炉体尾部气路
尾气液收集瓶 尾气排放管道
气源进气口
炉体尾气管
Chint Solar Confidential
7
高温氧化/扩散系统的设备简介 高温氧化 扩散系统的设备简介
• 控制部分： 控制部分：
位于控制柜的计算机控制系统分布在各个层面，而每个层面的控制系统都是相 对的独立部分，每层控制对应层的推舟、炉温及气路部分，是扩散/氧化系统的控 制中心。 在每层相应的前面板上， 左侧分布15寸触摸屏，右侧 分布状态指示灯、报警器、 急停开关和控制开关。
Cl2
①颜色\气味\状态：通常情况下为有刺激性气味 黄绿色的气体。 ②密度：比空气密度大，标况时 是ρ=M/V(m)=(71g/mol)/(22.4L/mol)=3.17g/L 。 ③易 液化。熔沸点较低，在101kPa下，熔点-107.1°C， 沸点-34.6°C，降温加压可将氯气液化为液氯，液 氯即Cl2，其与氯气物理性质不同，但化学性质基 本相同。 ④溶解性：可溶于水，且易溶于有机溶 剂，难溶于饱和食盐水。1体积水在常温下可溶解2 体积氯气，形成氯水，密度为3.170g/L。
捷佳创DS-300A扩散炉左手
Shenzhen S.C Exact Equipment Co.,Ltd
DS-300A 扩散炉 使用说明书
用户名称：泰州德通电气有限公司
市
捷
佳
伟
深
圳
地址：广东省深圳市宝安区沙井镇蚝四林坡坑工业区（南安科技园）A4 栋 电话：0755－81449726 传真：0755－81449925 邮编：518104 Http： E-mail：weichuang@
司 （
技
公
有
限
石英 石英
电 子
PC31.8-15C PC31.8-16A PC31.8-17A PC31.8-19A PC31.8-22C PC31.8-23A PC31.8-27A PC31.8-30A PC31.8-31A PC31.8-46 PC31.8-48A
设
PC31.8-14B
备
GE214 GE214 石英 GE214 石英 石英 石英 石英 石英 石英 石英 石英
司 （
9、电控转接板接线图
电 子
8、PLC 与继电器接线图
设
备
7、PLC I/O 表电控部分转接板线图
有
6、电控转接板接线图
限
公
技
10、炉门电磁阀与检测开关接线图
微
12、温控表接线图
佳
伟
11、驱动器与行程/光电开关接线图
创
14、元器件接地线图
圳
市
13、工控机接线图
捷
DS-300A 扩散炉技术手册
深
服务热线：0755-81449726
DS-300A 扩散炉技术手册
创
微
深圳市捷佳伟创微电子设备有限公司
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工位名称
扩散换源
工时
N/A
型号
一.目的 为了规范换源过程，以达到安全生产的要求，特制定本作业指导书。
二.范围 适用于扩散间48所/捷佳伟创扩散炉换源过程。
图片示范
序号 作业步骤
作业要点
防毒
捷佳创扩散炉 异常处理
防化服
耐酸碱
1
防护准备
穿好防化服、防化靴，带好防毒面具、耐酸碱 工装若有破损，则更换新
3
开箱 位是否有裂纹，阀门是否有松动等异常现象，
第 1与页源瓶，搬共运 4 确页认无异常后方能进行源瓶转运。
常情况，应依照《扩散间源 瓶事故处理作业规范》进行
4.将源瓶转运至扩散间指定位置，换源结束后 处理。
1
3
5 工位名称
1
手提 包装袋
手托 瓶底
先关
进气阀
2
后关 出气阀
先撤 4
进气管
后撤 出气管
2.进出气导气软管安装:
先安装出气导管，再安装进气导管。
操作时，一只手扶住进出气口阀门，另一只手
4
拧下该阀门螺帽，确认导气软管内没有水和其
他污染物，将螺帽套入导气软管，导气软管缓
慢插入阀门进出口后，拧紧螺帽。
注意：导气软管插入源瓶阀门时，一定要缓慢
5
源瓶 装入设备
均匀用力，严禁用力过大，以防止将石英气管 折断。 3.导气软管安装效果的确认:
进出气
6
移出 旧源瓶
扩散换源 图片示范
双手捏住玻璃 气管根部
源瓶转移
勿对玻璃气管有 扳压力量
剪开捷内包佳创扩散炉换源作3.检业查确指认源导瓶是书否完好，是否有渗漏出现，
装袋再次
源瓶瓶体是否有裂纹，玻璃直管与瓶体连接部
检查源瓶
3
开箱 位是否有裂纹，阀门是否有松动等异常现象， 与源瓶搬运 确认无异常后方能进行源瓶转运。
操作时必须一只手扶住阀门，另一只手顺时针 源瓶散发出刺激性气味或发
关闭该阀门的旋钮。确认进出气阀门为完全关 现源瓶阀门接口处有冒烟、
闭状态后，方可撤出导气管。
断裂等异常状况，应依照
3.撤出进出气导气软管:
《扩散间源瓶事故处理作业
先撤出进气导管，再撤出出气导管。
规范》进行处理。
确认进出气阀门完全关闭后，一只手捏住进 2.检查进出气导气软管内，
手套。
工装。
防化靴
托住瓶底
拇指和食指捏紧 进出气口阀门
中指和无名指夹紧 进出气玻璃管根部
1
打开包 2
装盒取
出海绵
版本 3
首检
日期
更改内容
图片示范
版本
手提 4
包装袋
剪开内包 装袋再次 检查源瓶
2
3液位检查记录表》。
2.检查源瓶液位时，应确认没有运行工艺。一 检查源瓶液位时，若发现
源瓶转运过程中，如遇异 常情况，应依照《扩散间源 瓶事故处理作业规范》进行 处理。
4
第 4 页，共 4 页
阻大小是否正常。
1.首管运行时，扩散设备若 出现报警等异常,则立即停 止当前工艺,并通知设备人 员处理；禁止不通知设备或 工艺人员的情况下,私自消 除报警。 2.跟踪首管方块电阻变化情 况，如有异常，及时通知工 艺人员处理。
2
8
旧源瓶 退回仓库
将更换后的旧源瓶，使用小推车交给物料人 员及时退回仓库。转运过程中，小推车应缓慢 推行，避免颠簸。
2.源瓶转运过程中，如遇异 常情况，应依照《扩散间源 瓶事故处理作业规范》进行
4.将源瓶转运至扩散间指定位置，换源结束后 处理。
将旧源瓶立即退回仓库。转运过程中，小推车
应缓慢推行，避免颠簸，禁止改变路线或中途
1逗.留确。认待换源炉管没有运行工艺。
2.关闭阀门:先关进气阀门，再关出气阀门。 1.源瓶撤出设备时，若发现
只手托住源瓶底部，另一只手捏住进出气管的 源瓶散发出刺激性气味或发
观察源瓶液 根部，将源瓶垂直向上，缓慢提出恒温槽。观 现源瓶阀门接口处有冒烟、
位，确认待换 察液面与进气管（瓶内长管）口的距离是否小 断裂等异常状况，应依照
源炉管
于2cm，若小于2cm则需更换新源。
EHS制订之《扩散间源瓶事
3.换源过程中，必须由两人（监管人和操作 故处理作业规范》具体事项
严禁用力 过大
后接 出气管
先开出 气阀门
后开进 气阀门
扩散换源 图片示范
气体流 量设置
鼓泡
1
填写换 液记录
1.从源瓶小推车内取出新源瓶:
双手捏住新源瓶进出气管根部，保证源瓶的
垂直状态，缓慢从小推车源瓶放置槽内取出，
正放（瓶底朝下，阀门朝上）于恒温槽内。
捷佳创扩散炉换源作业指导书 （注意：将源瓶垂直提出源瓶放置槽时，不能 对进出气管有内外扳压的力量。）
有裂纹或泄漏等异常现象， 则应依照《扩散间源瓶事故 处理作业规范》进行处理。
快用另一只手托住瓶底，缓慢从箱内取出,轻轻
放置于平整的防滑桌面上，用剪刀剪开内包装
袋。
更改内容
作业步骤
作业要点
异常处理
3.检查确认源瓶是否完好，是否有渗漏出现，
源瓶瓶体是否有裂纹，玻璃直管与瓶体连接部 2.源瓶转运过程中，如遇异
液记录
修改 温度
旧瓶 入箱
盖上 海绵
1
盖好 包装袋
整箱
3 入库
捷佳创扩散炉换源作业指导书
1.鼓泡实验成功后，填写《扩散间源瓶换液记
7
填写换液记录 并跟踪首管设
备运行状态
录》（3-32-M-J-COMM-014-01）；并通知工艺 人员适当调整扩散工艺温度。 2.跟踪确认新源更换后，首管的设备运行状态 是否良好,源瓶和恒温槽是否正常工作,方块电
操作时必须一只手扶住阀门，另一只手逆时针
开启该阀门的旋钮。确认出进气阀门为完全开
启状态后，方可启动使用。
1.安装进出气导气管时，若 导气软管口径小于阀门口 径，则需更换新源瓶或通知 设备部门人员更换新导气软 管。 2.换源时，恒温槽水位不得 淹没到阀门位置；安装进出 气导管时，应再次检查PF软 管是否干燥无异物，确认洁 净后方可进行安装。 3.单向阀若装反或软管一端 与炉管连接端松动，则停止 换源并通知设备人员处理。 4.源瓶装入设备时，若发现 设备出现报警等异常状况， 则应立即中止工艺,并及时 通知设备人员处理,禁止不 通知设备或工艺人员的情况 下,私自消除报警。 5.换源时,源瓶散发出刺激 性气味或发现源瓶阀门接口 处有冒烟、气泡、断裂等异 常现象，立即取出源瓶，具 体应依照《扩散间源瓶事故
6
确认螺帽拧紧后，用一只手扶住阀门，另一 只手轻轻拔动该阀门连接的进出气导管。若可
以拔动，则说明导气管安装不合格，需重新安
装。
4.阀门开启:
开启阀门前，应检查单向阀是否装反，软管
一端与炉管连接端有无松动，设备有无报警等
8
异常，确定无异常后方可开启阀门。 开启阀门时，应先开启出气阀门，再开启进气
阀门。
处理作业规范》进行处理。
工时 序号
86 2
N/A 作业步骤
鼓泡实验
型号 作业要点
48所/捷佳伟创扩散炉 异常处理
再次确认，进出气导管安装正确，阀门完 全开启，源瓶装入设备中无异常后，做源瓶鼓 泡实验。 1.设置大N流量为25000sccm。 2.设置干氧流量为2000sccm。 3.设置小N流量为500sccm。 4.观察源瓶内是否有均匀的鼓泡现象。
员）在现场，换源后由监管人和操作员共同检 进行处理。
查换源是否合格，并填写《扩散间源瓶换液记
录》；监管人必须具备可熟练换源的能力。
换源过程中，由监管人进行全程监管确认，
并填写《扩散间三氯氧磷换源操作检查表》。
1.开箱后取出包装箱内海绵，首先检查源瓶是 1.开箱检查时，若发现源瓶
开箱 与源瓶搬运
否散发出刺激性气味，内包装袋是否有发黑、 发黄，标签是否有被腐蚀等泄漏现象。 2.确认源瓶无异常后，一只手提内包装袋，尽
垂直状态，缓慢从小推车源瓶放置槽内取出，
1.安装进出气导气管时，若 导气软管口径小于阀门口
正放（瓶底朝下，阀门朝上）于恒温槽内。 径，则需更换新源瓶或通知
（注意：将源瓶垂直提出源瓶放置槽时，不能 设备部门人员更换新导气软
对进出气管有内外扳压的力量。）
管。
2.进出气导气软管安装: 先安装出气导管，再安装进气导管。
5.撤出源瓶:
将装好进出气口阀门螺帽的源瓶，一只手托
住源瓶底部，另一只手捏住石英气管的根部，
将源瓶垂直向上缓慢提出恒温槽。将回收源瓶
装入塑料袋内，并轻轻放入转运小推车内的源
瓶放置槽，保持正放，即瓶底朝下，阀门朝上
。
工时
N/A
序号 作业步骤
型号 作业要点
48所/捷佳伟创扩散炉 异常处理
2
1.从源瓶小推车内取出新源瓶: 双手捏住新源瓶进出气管根部，保证源瓶的
第
填写换液记录
并3 跟页踪，首共管设4
备运行状态
录》（3-32-M-J-COMM-014-01）；并通知工艺
人2页.员跟适踪当确调认整新扩源散更工换艺后温，度首。管的设备运行状态
是否良好,源瓶和恒温槽是否正常工作,方块电
出现报警等异常,则立即停 止当前工艺,并通知设备人 员处理；禁止不通知设备或 工艺人员的情况下,私自消 除报警。
出气口阀门，另一手拧开阀门进出气口阀门螺 有无水或其他污染物，若发
帽，撤出导管，再将螺帽装回该阀门上。撤出 现导气软管内有异物，则需
4
源瓶
源瓶的导气管端口严禁接触水或污染物。
撤出设备 4.对接进出气导管:
通知设备部人员更换新的进 出气导气软管。