捷佳创DS-300A扩散炉左手
四十八所扩散作业指导书现场版本_图文.
规范四十八所扩散炉常规维护项目的操作二、适用范围适用于佳诚太阳能有限公司电池车间扩散一到四线工序三、规范性引用文件四十八所扩散炉操作说明书四、职责设备人员:1、检查温控仪表及热电偶是否正常2、检查触摸屏是否偏移,矫正3、检查电气线路按钮开关及指示灯是否正常4、检查插片房风机是否正常5、检查变压器及炉体接线端子是否老化、发黑等现象6、保养完后,确认每台炉管加热、流量正常工艺人员:1、负责协助生产拆装废液瓶夹子2、检查有毒气体管道密封性和老化程度,是否需要更换生产员工:1、检查传动是否平滑,有无震动和异响,加润滑油2、清理净化滤网,必要时更换3、清理废气室及废气管滴下的偏磷酸4、检查恒温水槽不锈钢源瓶座是否有积水,清理5、检查恒温水槽液位是否过低;控温等是否正常6、检查气路是否有漏气现象,更换卡套和四通阀7、检查废液瓶内废液,是否需要清理五、设备主要技术参数 :六、设备介绍与操作1.1总体结构总体结构分为四大部分,见平面安装图 1,从右到左为:控制部分、推舟净化部分、电阻加热炉部分、气源部分。
图 1 软着陆扩散炉平面安装图1.2分部件结构1.2.1工控机控制框图见图 2。
图 2在控制柜的底层, 安装有四管控制系统的推舟控制装置、保护电路、电路转接控制板及各层的开关、保险等 , 前盖板上装有三相电源指示灯及照明、净化、抽风开关等。
该柜内有 220V 的交流电,也有 15V 、 5V 直流电和控制信号线,检修时请注意区分及安全,谨防接错和短路。
1.2.2推舟净化部分推舟净化柜的顶部装有照明灯;正面是悬臂桨推拉舟机构,推舟水平运动采用步进电机 +减速机 +同步带 +同步带轮的传动机构,推动悬臂桨水平移动;推舟垂直运动采用步进电机 +减速机 +升降机的驱动机构,推动推舟底板整体上下移动。
导轨的两端和上下运动的两端都装有限位开关和极限保护开关。
靠近炉口的净化柜顶部设有漏斗状的抽气罩,与外接抽风系统连接后,用来排掉出舟时散发的大量高温有毒气体。
最新捷佳伟创晶体硅电池高温扩散炉的培训资料
DS-300A型管式高温扩散炉
控制部分
推舟净化部分
炉体加热部分
气源部分
控制部分
位于控制柜的计算机控制系统分布 于各个层面，但每个层面的控制系统都 是相对的独立部分，每层控制对应推舟、 炉温及气路部分，是扩散/氧化系统的控 制中心。 在每层相应的前面板上，分布有触摸 屏，状态指示灯、报警器、急停开关和 控制开关。 控制部分是我们调节工艺参数的主要 途径。
技术特点——5段自动适时恒温区
+ + + + +
温变器
温控仪
温度设定值
4~20mA输入
PID1
PID2
4~20mA输出
触发器
温度串级控制示意图
380V 380V 380V
技术特点——工艺舟软着陆
技术特点——数字化控制，消除了模拟变量传输的干 扰 悬臂桨的进出料运动与软着陆的上下运动，均运 用通讯控制的256细分马达驱动器，防止运动过 程中的阻步、丢步现象，从而确保机械运动的高 度稳定与重复性。
炉门炉体热电偶加热丝温控表主要参数设置方法109301093010937109351093510939109341094010939109341093210933109361093210932设备中炉门对于工艺的影响是比较的如果接近炉口的方阻大量出现偏高且片内的方阻出现上下分层现象都是炉门没关紧引起的5个热电偶外偶的分布位置由5个控温点组成该部分主要配置炉管控温热电偶超温保护热电偶加热点6个五块温控表相对应五个温度点
注意事项
首先进行第二通道的PID,这个时候,第二通道一定是在本地摸式. 1. 设定为本地模式。・・・・・・・・・・・・・・ r-L = LoC 2. 设定第二通道的设定値的温度。・・・・・・・ 2. SV = 目标温度 3. 进行第二通道的AT(自整定演算)。 ・・・・・・・ 2.ATU = on 整定完成后,进行第一通道的自整定, 这个是在串级的情况下做自整 定: 1. 从 本地模式 设定为 远程模式。・・・・・・・・・・ r-L = rEM 2. 设定主的设定値的温度。・・・・・・・・・・・・・・ 1. SV = 目标温度 3. 进行第二通道的AT(自整定演算)。 ・・・・・・・ 1.ATU = on
光伏工艺
一、工艺简介太阳能电池生产工艺一般分为：扩散前清洗、扩散、扩散后清洗、刻蚀、PECVD，丝网印刷，烧结，分类检测和封装。
扩散前清洗的目的在于制绒，就是把相对光滑的原材料硅片的表面通过强酸和强碱腐蚀，使其凸凹不平，变得粗糙，形成漫反射，减少直射到硅片表面的太阳能的损失。
相关设备有无锡瑞宝，德国RENA，深圳捷佳创，这些设备中最好的是RENA，因为他不光卖设备，还卖制绒工艺的专利。
所使用的介质有HF，HCL，HNO3，NaOH，Na2SiO3和乙醇等。
动力源有自来水，纯水，压缩空气，氮气，工艺冷却水，废水，热排风和酸排风。
扩散的目的在于形成PN结。
硅片含硼，是P型结物质，需要往里面掺杂磷，使电子发生移动，形成PN结空穴。
所使用的介质有POCL3，N2，O2。
动力源有压缩空气，氮气，工艺冷却水，热排风和有机排风。
使用的设备是高温扩散炉，厂商有SVCS，TEMPRESS，长沙48所等。
该道工艺有洁净要求，需要在洁净室内运行。
因为扩散炉内的石英管需要清洗，所以需要增加一种石英管清洗机。
扩散后清洗的目的在于洗去扩散时形成的磷硅玻璃，即SiO2和P2O5的混合物，所以扩散后清洗机又叫做去磷硅玻璃清洗机。
动力源有氮气，压缩空气，纯水，HF，热排风，酸排风，废水等。
设备有深圳捷佳创。
刻蚀的目的在于把硅片的边缘PN结断开，防止短路。
目前国内所使用的设备几乎都是长沙48所的。
动力源有CF4，N2，NH3，热排风，有机排风。
PECVD的目的在于镀氮化硅薄膜，增加折射率，同时掺杂H元素，使缺陷减少，还可以保护硅片。
所用设备有德国的ROTH&RAW平板式PECVD设备，还有CENTROTHERMO的管式PECVD设备。
动力源有SiH4，NH3，氮气，压缩空气，工艺冷却水，热排风，硅烷排风等。
丝网印刷的目的在于印刷导电电极。
先印背面，再印正面。
目前国内大多数厂家使用设备是意大利的BACCINI印刷线。
动力源有真空，压缩空气，热排风，有机排风等。
捷佳伟创晶体硅电池高温扩散炉的培训资料 ppt课件
制作单位：深圳捷佳伟创集团公司
日期；二零一一年四月二十五日
ppt课件
1
目录
1设备介绍
2设备结构
3工艺控制
4人员操作
5设备的保养
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2
设备介绍
1设备用途
2产品特点
3主要技术指标
4技术特点
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3
设备用途
晶体硅太阳能电池制造中硅片的扩散掺杂
通过扩散所形成的PN结，就是晶体硅太阳 能电池的核心
太阳光照到PN结上，产生电子的定向移动， 产生电流
ppt课件
4
产品特点
串级温度控制精度高，恒温区稳定、真实 工艺舟软着陆 闭管扩散 工艺气体流量精确 性价比高 具备手动/自动功能
ppt课件
5
主要技术指标
1 电阻率误差范围：±5 o hms/sq
净化系统
限位p保pt课护件开关
SIC 桨
17
推舟净化部分
精密直线导轨副配合精密丝杆副传动 步进电机及数字通讯驱动器作驱动 计算机通过通讯方式给驱动器发出控制信号 可精确控制步进电机256细分，达到稳定可靠转
速
推舟的速度在20～ 1000mm/min内无级变化 工艺反应过程中，悬臂桨外置，实现真正的闭管
B．最大降温速率：
C．RT→1100℃≤90min
6 具有自动斜率升温及恒温功能。
7 设置有超温、断偶、断点启动等自动保护系统
8 送舟方式：采用SiC悬臂桨自动送片机构，舟速20～1000mm/min连续可调，可选自 动装卸舟
9 配备快速冷却系统
10 工艺方式：软着陆＋闭管扩散（最大装片量400片/批）
多晶电池扩散工序工艺标准
1 范围本标准制定了Tempress/Centrotherm/捷佳创DS-300A扩散炉的扩散参数、加工步骤、过程控制要点以及检测项目等内容。
本标准适用于作为多晶电池扩散工序作业指导书、检验规范编制的依据。
2 引用文件C-IS-008《多晶电池生产各工序工艺技术参数》3 产品或在制品生产环境3.1 环境要求：级别：三千级；温度范围18℃--25℃，湿度:40%--70%.3.2 外围要求：3.2.1 Tempress扩散炉外围要求排风要求：废排压力：≤-20mmH203.2.2 Centrotherm扩散炉外围要求3.2.2.1 排风要求总排风：大于1000m³/h单体：大于1000m³/h气柜废排：大于1000m³/hHousing：大于1000m³/h鼓泡器：大于1000m³/h3.2.2.2冷却水要求进水要求：温度：15℃--25℃，最高27℃，最小流量65L/min，去除悬浮物和颗粒，最大压强8bar绝对值出水要求：比进水至少小4Bar，温度最高40℃3.2.2.3 气体要求压缩空气：无水、无油，压力4Bar—8Bar工艺气体的纯度至少达到99.9999%，半导体级要求氮气压强：400kpa—1000kpa氧气压强：400kpa—1000kpa3.2.3捷佳创扩散炉冷却水：软水，温度：18℃--26℃，水压：4Bar--8Bar工艺气体的纯度至少达到99.9999%，半导体级要求氮气压强：400kPa--1000kPa氧气压强：400kPa--1000kPa3.2.3捷佳创扩散炉冷却水：软水，温度：18℃--26℃，水压：0.2MPa--0.4MPa氮气：0.3MPa--0.6MPa压缩空气:0.4MPa--0.6MPa废气排气口: 大于250㎡/h排气口：大于300㎡/h4 安全防护措施着装要求：戴手套、口罩，穿净化服。
5 工艺准备及易耗品Centrotherm扩散炉及机械手、tempress扩散炉、捷佳创扩散炉、方块电阻测试仪、石英舟、防热手套、橡胶手套、口罩、少子寿命测试仪、R2D机械手。
POWER WAVE S700 强波焊机操作手冊说明书
操作手冊註冊您的機器：/register 授權維修服務商及經銷商位置查詢：/locatorIMC10144-C| 發行日期5月17日© Lincoln Global, Inc. All Rights Reserved.適用機型編號：11957, 12503, 12740如需幫助，請撥打1.888.935.3877詢問維修服務代表營業時間：週一至週五上午8:00 至下午6:00 （美國東部時間）非營業時間：請登錄 ，使用「向專家詢問」服務。
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A-2安全注意事項........................................................................................................................A-3合適的位置，起吊.........................................................................................................A-3疊放...............................................................................................................................A-3倾斜...............................................................................................................................A-3輸入與接地連接.............................................................................................................A-3機器接地........................................................................................................................A-3輸入連接...............................................................................................................................A-4輸入端熔斷器和電源線..................................................................................................A-4輸入電壓選擇.................................................................................................................A-4重新連接圖...........................................................................................................................A-5高頻保護........................................................................................................................A-5系統概述與接線圖.................................................................................................................A-5接線圖..............................................................................................................A-6 至A-13建議的工件電纜規格....................................................................................................A-14輸出電纜指南......................................................................................................................電纜電感及其對焊接的影響.......................................................................................................A-16遠程感應引線技術規範................................................................................................A-16多電弧系統的電壓感應注意事項..................................................................................A-17圓周型應用..................................................................................................................A-18控制電纜連接......................................................................................................................A-19 ________________________________________________________________________________操作..............................................................................................................................第B部分安全注意事項........................................................................................................................B-1電源啟動次序.................................................................................................................B-1占空比...........................................................................................................................B-1圖形符號................................................................................................................B-1, B-2產品描述...............................................................................................................................B-3建議工序和設備....................................................................................................................B-3設備限制...............................................................................................................................B-3設計特點...............................................................................................................................B-4機箱前部控制裝置.................................................................................................................B-5機箱後部控制裝置.................................................................................................................B-6常用焊接工序.............................................................................................................B-7 至B-9 ________________________________________________________________________________附件................................................................................................................第C部分套件、選配件和附件..............................................................................................C-1現場安裝選項.........................................................................................................C-1 ________________________________________________________________________維護................................................................................................................第D部分安全注意事項........................................................................................................................D-1目視檢查...............................................................................................................................D-1日常維護...............................................................................................................................D-1定期維護...............................................................................................................................D-1校準的技術規範....................................................................................................................D-1 ________________________________________________________________________________故障處理...............................................................................................................第E部分安全注意事項.........................................................................................................E-1如何使用故障處理指南...........................................................................................E-1借助LED 狀態燈進行系統問題的故障排除...................................................................E-2, E-3故障處理指南..................................................................................................E-4, E-5 ________________________________________________________________________________接線圖及尺寸示意圖.............................................................................................第F部分________________________________________________________________________零件資訊頁......................................................................................................................P-721 系列_______________________________________________________________________________POWER WAVE ®S700技術規範- POWER WAVE® S700建議輸入電線和熔斷器規格輸入電壓/ 三相/ 頻率380/3/50460/3/60500/3/60575/3/60延時型熔斷器或斷路器2電流強度（安培）9080706075C 型管路銅線（AWG美規）（IEC）40C 規格電線(104°F) 環境溫度6 (16)6 (16)8 (10)8 (10)最大輸入安培75625750額定輸出電源- 輸入電壓和電流型號K3279-1K3279-2占空比100% 額定值工序GMAWGMAW-PGTAWSMAW （手弧焊）FCAW-GSFCAW-SS輸入安培55/46/42/38待機功率（瓦）205W （關閉風扇時）360W （啟用風扇時）額定輸出時的功率因素0.95輸入電壓±10%380-415/440-460/500/5751. 基於美國國家電氣規範2. 也被稱為「逆時」或「熱/磁性」斷路器；具有延遲跳閘功能的斷路器跳閘作用隨著電流的增強而降低。
四十八所扩散炉教程
18
2.方块电阻的异常.
方块电阻的异常在扩散间异常中是占很大比例,方块电阻的异常的种类、可
能的原因及解决措施如下: (1)整舟方块电阻高 可能的原因：1.大氮保护开着。2.四探针测试仪没有调整好（如电流）或 故障3. 源量过少.4.扩散温度低. 解决方法：1.关闭大氮保护.2.按要求调整或让相关人员维修3. 让员工经常 检查源瓶，按要求更换源瓶.4.调整扩散温度. (2)整舟方块电阻低 可能的原因：1.换源后没有及时降低温度.2. .四探针测试仪没有调整好.3. 工艺运行完该出舟时，因其他原因没有退舟，导致扩散后的片子长时间处 在高温的管子里.4.恒温箱缺水或各种故障导致的温度升高.5. 误用方块电阻 低的工艺号.6.二次扩散.7.扩散温度高. 解决方法：1. 换源后按要求调整温度.2. 按要求调整并定时确认.3.员工应 经常关注各个扩散管的运行状态，及时发现问题.4.添水或通知设备维修.5. 让员工按流程卡上标注的工艺运行.6. 属于员工误操作.返工.7.调整扩散温 度.
按照每立方米（或每升）空气中，大于等于0.5μm的尘粒数量来划分
8
人员方面 1.扩散间员工出扩散间必须穿鞋套.其他岗位、部门员工
进入扩散间必须按要求穿洁净服、戴鞋套 2.进入扩散间时要风淋30s 3.严禁同时打开传递窗及风淋门;传递窗的两边不能同时 打开 4.员工工作服穿着整洁,头发严禁露在衣服外面 5.清洗间小车禁止推入扩散间使用 6.袖子不能高挽
可能的原因：1.进舟时间设定短.2.限位开关故障.3. 丝杠故障. 处理措施： 1.设定合适的进舟时间.2.3.通知设备人 员维修.
24
6.有关三氯氧磷方面的异常：
(1).有三氯氧磷的气味.(冒烟)
可能的原因：1.炉门密封不严. 2.气路部分连接不紧密.3.抽风小. 4.当有扩散管运行 到通扩散小氮时，其他管出舟，造成抽风相对小.5.石英炉门有缺口.6.源瓶的阀门装反 并且没有检查出来.导致三氯氧磷以液态进入石英管内. 处理措施： 1.通知设备人员调整.2.安装源瓶及四通等气路时要确保连接紧密.3.通知设 施人员处理.4.合理安排进出舟时间.5.通知设备人员更换后运行清洗工艺.6.换源时按要 求认真操作.
水气化HOOK UP标单
11.1 压缩空气
12
昆山台顺石墨舟烘干箱 PGO201
DN40
DN50 DN50 DN25 DN50 DN25 1/2'PFA 1/2'PFA 1/2'PFA
ф10 ф10 DN25 DN25 DN50 DN50 DN25 1/2'PFA
外径d=32mm 外径d=40mm
d=50mm DN40 DN40 DN40
49.1 CDA
49.2 N2氮气
49.3 DI水
1/4" 3/8"
ф40
ф10 ф10 ф10 ф30
ф10 ф10 ф10 ф30
ф10 ф10 ф10 ф30
ф10 ф10 ф10 ф30
ф10 ф10 ф10 ф30
ф10 ф10 ф10 ф30
ф10 ф10 ф10 ф30
ф10 ф10 ф10
5.9 IPA
5.10 HF
5.11 HCL
6
捷佳创磷硅玻璃清洗机 KPS201
6.1 N2氮气
6.2 CDA
6.3 纯水
6.4 废水drain
6.5 废水drain
6.6 废酸
6.7 废酸
6.8 HF
7
SMD多晶制绒机 CTE202
7.1 CDA
7.2 纯水
7.3 废酸排放 7.4 废水排放 7.5 废酸排放 7.6 废碱排放
40.3 SiH4硅烷
40.4 NH3氨气
CT Pump
40.5 硅烷尾气排放
40.6 N2氮气
41
七星PECVD PPE201
41.1 CDA
41.2 SIH4
41.3 NH3
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DS-300A 扩散炉 使用说明书
用户名称：泰州德通电气有限公司
市
捷
佳
伟
深
圳
地址：广东省深圳市宝安区沙井镇蚝四林坡坑工业区（南安科技园）A4 栋 电话：0755－81449726 传真：0755－81449925 邮编：518104 Http： E-mail：weichuang@
司 （
技
公
有
限
石英 石英
电 子
PC31.8-15C PC31.8-16A PC31.8-17A PC31.8-19A PC31.8-22C PC31.8-23A PC31.8-27A PC31.8-30A PC31.8-31A PC31.8-46 PC31.8-48A
设
PC31.8-14B
备
GE214 GE214 石英 GE214 石英 石英 石英 石英 石英 石英 石英 石英
司 （
9、电控转接板接线图
电 子
8、PLC 与继电器接线图
设
备
7、PLC I/O 表电控部分转接板线图
有
6、电控转接板接线图
限
公
技
10、炉门电磁阀与检测开关接线图
微
12、温控表接线图
佳
伟
11、驱动器与行程/光电开关接线图
创
14、元器件接地线图
圳
市
13、工控机接线图
捷
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深
服务热线：0755-81449726
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创
微
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有
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术 资
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料
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致泰州德通电气有限公司：
感谢贵司选择深圳市捷佳伟创微电子设备有限公司（）的产品，我 司成立于 2007 年 6 月，是深圳市捷佳创精密设备有限公司与国内一流的太阳能设备研发专 家联合成立的一家高新技术企业。 公司专业从事太阳能电池片关键工艺设备的研发、生产、销售与技术推广，致力于开发
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术 资
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外购件说明书目录
1.2 PLC FX1N 使用说明书 1.3 MS3ST10 三相步进电机驱动器 1.4 数字质量流量控制器使用说明书
限
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深圳市捷佳伟创微电子设备有限公司 2010 年
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深圳市捷佳伟创微电子设备有限公司自成立以来，不断引进、消化、吸收国内外先进技
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术 资
出具备最新技术性能与最优价格的管式高温扩散炉、等离子体刻蚀机、管式 PECVD 和烧结
料
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2
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术 资
5
料
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1、设备使用说明书
exact
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DS-300A 扩散炉
2、安装说明书
圳
市
地址：广东省深圳市宝安区沙井镇蚝四林坡坑工业区（南安科技园）A4 栋 电话：0755－81449726 传真：0755－81449925 邮编：518104 Http:
炉，以满足市场需求。
术，锐意创新，不断提高设备工艺技术，现已成功为晶澳太阳能、保定天威英利、常州天合 光能、苏州阿特斯、中芯国际、比亚迪、无锡鑫特尔、浙江索日、浙江弘晨、浙江尖山、格
场占有率飞速扩大。
深
传真号码：0755-81449925 电子邮箱：weichuang@
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术 资
PC22.6.2-2JL PC22.6.2-3JL
PC22.6.2-4JL PC22.6.2-5JL PC22.6.2-6JL PC22.6.2-7JL PC22.6.2-8JL PC22.6.2-9JL PC22.6.2-10JL PC22.6.2-11JL PC22.6.2-12JL PC22.6.2-13JL PC22.6.2-14JL
料
1、总电源进出线接线图
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技术图册目录二
PC31.8-1A PC31.8-5C 2、舟托架 3、接液瓶 4、进气接管
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8、125 方片舟 9、石英挡板 10、舟叉套管
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微
电 子
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备
有
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司 （
技
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术 资
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3、技术图册
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5、外购件说明书
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… ……………………………………………… …… … …8
料
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3. 技术图册 …………………………………………………………… … . …. …7
…10
服务热线：0755-81449726
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）
exact
Shenzhen S.C Exact Equipment Co.,Ltd
DS-300A 扩散炉
配件清单一
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 石英炉门 舟托架 接液瓶 进气接管 炉内排废管 排废冷却瓶 156 方片舟 125 方片舟 石英挡板 舟叉套管 PC31.8-1A PC31.8-5C PC31.8-6A PC31.8-7A PC31.8-8A PC31.8-9A 石英 GE214 石英 石英
DS-300A 扩散炉技术手册
深
圳
市
捷
佳
伟
创
微
电 子
设
1.7 HA400/HA900 使用说明书
备
有
1.6 工控机说明书
限
1.5 电力调整器说明书
公
司 （
技
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术 资
13
料
1.1 珀尔帖低温恒温水槽使用说明书
）
exact
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DS-300A 扩散炉 技术手册目录
1. 设备使用说明书…………………………………………………………………5 2. 安装说明书………………………………………………………………………6
技术图册目录二
………………… ……………………………… …… ……9
配件清单一………………… ……………………………………………………11
DS-300A 扩散炉技术手册
深
圳
市
捷
佳
伟
创
微
电 子
限
检验人员签名： 检验日期：2010 年 月 日
公
司 （
技
服务热线：0755-81449726
术 资
3
料
准予出厂，特发此证。
）
我公司生产的 DS-300A 扩散炉设备经检验合格，
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创
微
带进气嘴炉内热偶管
捷
佳
石英凳
伟
市
深
圳
90 源瓶 球碗堵头 炉体石英管
喷淋式进气管 4.76 石英叉 压力控制进气管
DS-300A 扩散炉技术手册
服务热线：0755-81449726
术 资
1 1 1 1 1 1 2 2 2 2 2 1 1 1 1 1 1 1
11
料
序号
名称
图号
材料
数量
）
备注
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DS-300A 扩散炉
深
圳
市
地址：广东省深圳市宝安区沙井镇蚝四林坡坑工业区（南安科技园）A4 栋 电话：0755－81449726 传真：0755－81449925 邮编：518104 Http：