日立S4800扫描电子显微镜
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1 日立S-4800的基本原理和结构
分子泵+机械泵
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1 日立S-4800的基本原理和结构
扫描电镜的电子束激发源
发卡式钨灯丝 （热电子发射电子枪 ）
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冷场发射灯丝 （冷场发射电子枪）
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1 日立S-4800的基本原理和结构
SE(U)
SE(U,LA0)
SE(U,LA100)
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SE(U,HA)
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1 日立S-4800的基本原理和结构 日立S-4800 Super EXB各种模式的信号接收量
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BSE的激发原理
1 日立S-4800的基本原理和结构
背散射电子是指被固体样品中的原子核反弹回来的一部分入射电子。 包括弹性背散射电子和非弹性背散射电子.从数量上看，弹性背散射电子远比 非弹性背散射电子所占的份额多。背散射电子能量在数千到数万电子伏。
背散射电子的产生范围在1000 Å到1 μm深，由于背散射电子的产额 随原子序数的增加而增加，所以，利用背散射电子作为成像信号不仅能分析 形貌特征，也可用来显示原子序数衬度，定性地进行成分分析。
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电子显微镜的历史
1932年鲁斯卡发明创制了第一台透射电子显微镜实 验装置(TEM)。
1965 年英国剑桥仪器公司生产第一台商品扫描电镜， 之后与X射线分析系统(EDS、WDS) 结合，形成各种 不同分析型电子显微镜。
1986年，宾尼格和罗雷尔先后研制成功扫描隧道电 子显微镜(STM)和原于力电子显微镜(AFM)，使人类 的视野得到进一步的扩展。
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1 日立S-4800的基本原理和结构
SE和BSE的电子能量幅度
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1 日立S-4800的基本原理和结构
SE图像
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日立S4800扫描电子显微镜
葛泳 2012.6.29
• 一、日立S-4800的基本原理和结构 • 二、日立S-4800的操作和应用技术 • 三、日立S-4800的基本维护
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高角度 BSE
SE 低角度 BSE
更低角度 BSE
样品
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1 日立S-4800的基本原理和结构
SE
SE+BSE
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1 日立S-4800的基本原理和结构
BSE
BSE+SE
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BSE图像
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1 日立S-4800的基本原理和结构
Al合金的背散射电子图像
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1 日立S-4800的基本原理和结构
日立S-4800冷场发射扫描电镜的外观
电子枪 能谱仪
离子泵 样品交换仓 轨迹球 显示单元
冷阱
控制板
样品仓
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1 日立S-4800的基本原理和结构
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1 日立S-4800的基本原理和结构
电场力和磁场力偏转二次电子信号
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S4800可侦测信号
入射电子
1 日立S-4800的基本原理和结构
由于它发自试样表面层，入射电子还没有较多次散射，因此产生 二次电子的面积与入射电子的照射面积没多大区别。所以二次电子的分辨 率较高，一般可达到50-100 Å。
扫描电子显微镜的分辨率通常就是二次电子分辨率。二次电子产 额随原于序数的变化不明显，它主要取决于表面形貌。
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1 日立S-4800的基本原理和结构
放大倍数的计算方式
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1 日立S-4800的基本原理和结构 通过电场力和磁场力平衡入射电子束
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2 日立S-4800的操作和应用技术
主要内容
2.1 样品制备的注意事项； 2.2 扫描电镜最基本的操作：调焦消像散，对中； 2.3 下列参数选择对图像的影响：加速电压，工作 距离，上下探头的选择； 2.4 荷电的产生原因及解决方法； 2.5 污染的产生原因及避免方法； 2.6日立S-4800的STEM附件 2.7 减速模式介绍。
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1.日立S4800的基本原理和结构
入射电子束在样品中激发出的各种信号
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SE的激发原理
1 日立S-4800的基本原理和结构
二次电子（SE）是指被入射电子轰击出来的核外电子。携带有样 品的表面形貌信息,通常来自样品表面5-50 nm的区域，能量为0-50 eV。
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扫描电镜的电子束激发源
1 日立S-4800的基本原理和结构
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扫描电镜的电子束激发源
1 日立S-4800的基本原理和结构
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1 日立S-4800的基本原理和结构 不同类型物镜对样品尺寸的影响
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• 一、日立S-4800的基本原理和结构 • 二、日立S-4800的操作和应用技术 • 三、日立S-4800的基本维护
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2 日立S-4800的操作和应用技术
如何获得更高分辨率的图像？？
1．降低透镜的球像差以获得小的电子束斑尺寸 2．提高电子枪的亮度 3．提高对成像信息的接收效率 4．提高样品室的清洁真空度 5．尽量减小外界振动干扰 6．计算机控制调节图像的质量
S4800扫描电镜(SEM)操作手册
观测条件的选择
2、工作距离（WD）的设定 WD(working distance)是指物镜下端面到 焦点面之间的距离。 WD越小，图像的分辨率越高，而景深越浅。 做能谱时，WD必须设定为15mm。
观测条件的选择
3、探测器的选择 S－4800配备有上下两个二次电子探测器， 在WD较小时(<5)，推荐使用上探测器， 在WD较大时(>10)，推荐使用下探测器。 如果选择MIX，则同时使用两个探测器， 在整个WD的可变范围内，信号量不会发 生极端的变化。
2、加载样品
3）将样品架插入样品室
插入样品之前需要确认： (a)样品台的位置处于交换位置，并且没有处于锁定状态（Lock开关的灯 不亮） (b)加速电压处于OFF状态
（1）按交换室操作部分的AIR键，使交换室放气； （2）峰鸣器响后（对应键的灯不闪），将交换室打 开； （3）轻轻推入交换棒，此时保证交换棒后端的旋钮 处于UNLOCK状态； （4）用一只手拿着交换棒的旋钮，另一只手将样品 插入交换棒中；
观测条件的选择
1、加速电压的选择 从电子光学的角度讲，随着加速电压的升 高，电镜的分辨率也提高，但是电压越高，电 子束在样品中扩散范围就越大，同时放电和辐 照损伤现象也越严重。因此要根据样品的种类 及所要得到的信息，适当地选择加速电压。对 于导电性好的样品，可以选择较高的加速电压； 相反，对于导电性较差的样品，则应选择较低 的加速电压。
样品台旋转Rotation——R (360°连续)
样品台
样品台以通过其表面中心的法线为轴做平面内 旋转，是靠马达驱动的（自动）。
样品台旋转Rotation——R
Eucentric：当选中时，表示样品台旋转后， 观察区域仍然保持在当前位置。 Abs：绝对角度 正值0~360° Rel：相对角度（始终以当前位置为0） 可以输入正值0~360 °(顺时针) 负值0~-360 °(逆时针)
S4800扫描电镜(SEM)操作手册
4、调节电子光学系统
加高压后即可寻找感兴趣的区域观察图像了。为了获得高质 量的图像，通常要进行电子光学系统的调节，也称为合轴 或对中(Alignment)。
（1）点击ALIGN键，出现合轴画面 （2）主要的合轴有： a.电子束合轴：Beam Align 目标：把光圈调到中心 b.物镜光栏合轴：Aperture Align 目标：把图像晃动量调到最小 c.象差校正合轴：Stigma Align X，Y 目标：把图像晃动量调到最小 （3）操作：调节操作面板的STIGMA/ALIGNMENT X 和Y
（9）按顺时针方向旋转交换棒至UNLOCK位置， 卸下样品，然后将交换棒完全拉出；
（10）按CLOSE键，气阀关闭。
3、加高压及条件设定
1）设定样品尺寸 点击STAGE设定键，在SPECIMEN窗口画面，点
击SET键，设定样品的尺寸。 2）设定加速高压和发射电流 点击加速电压显示部分，设定所需要的加速电压和
1、启动操作程序PC－SEM
打开显示器Display的开关； 系统启动，要求输入系统的用户名和密码； 核实用户名和密码后，电镜操作程序PC－
SEM自动启动，要求输入程序的用户名和 密码； 核实用户名和密码后，电镜操作程序打开。
2、加载样品
1）将样品装在样品托（specimen stub)上 （1）根据样品大小选择合适尺寸的样品托
观测条件的选择
2、工作距离（WD）的设定 WD(working distance)是指物镜下端面到
焦点面之间的距离。 WD越小，图像的分辨率越高，而景深越浅。 做能谱时，WD必须设定为15mm。
观测条件的选择
3、探测器的选择 S－4800配备有上下两个二次电子探测器， 在WD较小时(<5)，推荐使用上探测器， 在WD较大时(>10)，推荐使用下探测器。 如果选择MIX，则同时使用两个探测器， 在整个WD的可变范围内，信号量不会发 生极端的变化。
HITACHI S4800扫描电子显微镜操作规程
HITACHI H-7650 透射电镜操作规程编号: QW148 HITACHI S4800扫描电子显微镜操作规程样品准备及要求:1.含水样品测试前必须干燥，样品要尽量的小，多孔样品做之前一般要烘两到三天;2.粉末样品测试时尽量用最少量的样品，否则容易使电镜污染;3.严禁观察磁性样品;4.样品须处于样品台中央位置，样品表面平坦，样品厚度不可太大。
操作步骤:一、开机顺序1. 开墙上主机电源的开关，开启冷却循环水;2. 将仪器后面板处的主电源开关(Main Power) 打开，之后按下Reset键;3.启动Evac Power，等待TMP指示正常后顺序打开IP1、IP2 和IP3的电源开关:4.达到真空度要求后，开启操作台电源，PC机自动启动进入Windows操作系统，并自动运行S-4800操作程序，此时点击OK (没有密码)后自动进入S 4800操作软件。
二、样品安装1.在实验台上事先粘好样品，并用高度规检测其高度;2.装样品前确认工轴、WD,x,y以及Rotation是否复位(Z轴=8，WD=8，x=25，y=25，Rotation=0)，如未复位，将其复位;3.点击样品交换室的Air键，当听到笛的一声后轻轻的拉开样品交换室;4.将样品杆手柄处于Unlock位置，把样品机座装于样杆的香蕉头处并转动手柄到Lock位置;5.轻轻推住样品交换室，点击Evac键，抽好真空后点市Open键，样品交换室与样品室间的闸门自动打开;5. 轻轻的推动样品杆的手柄将样品送至于样品台上，旋转手柄至Unlock, 拉出样品杆，最后点击Close关闭阀门，安装样品结束。
三、图像观察1.加高压后即可进行调试观察;2.首先在TV1模式下找到所要观察的区域;3.在高倍下用coarse键粗聚焦，然后用fine键细调聚焦，直到图像清楚;4.放回到观察倍数，用ABC或手动调到适合的对比度:5. 在SLOW模式下观察调试后的图像，不合适重新执行步骤2，3，若合适即可拍照。
日立S4800扫描电镜中文使用手册
一、介绍Hitachi S-4800场发射扫描电镜采用了新型ExB式探测器和电子束减速功能,提高了图象质量(15 kV下分辨率1 nm)，尤其是将低加速电压下的图象质量提高到了新的水平(1 kV下1.4 nm)；新型的透镜系统，提高了高分辨模式、高速流模式、大工作距离模式、磁性样品模式等多种工作模式，使其能够精确和清楚地捕捉最短暂的瞬间。
二、操作说明1．开机（1）日常开机：打开Display的开关，PC自动开机进入用户界面并自动运行PC_SEM程序，以空口令登入。
（2）完全关闭电源后开机：接通配电盘电源→拔上MAIN Swith 开关→按一下Reset按钮，→将MAIN控制面板上EVAC POWER按至ON，SC EVAC指示灯处于常绿状态后，等半小时→按下Display开关至ON, PC 自动开机进入用户界面并自动运行PC_SEM程序，以空口令登入。
2．图像观察（1）装入样品制样→把样品托装入样品座，并用标尺确定高度、旋紧→按AIR按钮→将样品座插在样品交换杆上，并锁紧→将交换杆拉至尽头卡紧，关闭交换室→按下EVAC按钮→按下OPEN 按钮打开MV-1后，推进交换杆，旋转样品杆UNLOCK位置后拉出交换杆→按下CLOSE 按钮。
（2）图像观察及保存SC真空恢复正常后（显示为L E-3）→选择适当的加速电压（Vacc）→加高压→在低倍、TV模式下将图像调节清楚→聚焦、消象散→Slow3确认图像质量→点击Capture按钮拍照→点击右下方Save按钮→选择保存位置、使用者及样品信息，保存。
（3）结束观察点击OFF按钮关闭加速高压→将放大倍率还原设至×1.00K→按操作界面上home使样品台回到初始位置→依照装入样品的方式反序取出样品。
3．关机（1）日常关机退出PC_SEM程序→退出Windows XP系统→关闭DISPLAY（2）完全关机短时间关机：退出PC_SEM程序→退出Windows XP系统→关闭DISPLAY→关闭EVAC→等待约35分钟后Multi Indicator区域显示“POFF”→关闭MAIN SWITCH→关闭电源总开关。
S4800扫描电镜(SEM)操作手册
• 如您的样品带有磁性或操作过程中遇到意外情况， 请垂询技术员彭开武/郭延军
（ Tel: 82545516 ）。
启动操作程序PC－SEM 加载样品
加高压及条件设定 调节电子光学系统
观察样品 记录图像 图像处理 SEM数据管理器 取出样品 刻录光盘 结束操作
采用慢扫描的方式能够提高图像的信噪比，从而提高图像的 质量，因此通常采用慢扫描方式记录图像。但是扫描速度越慢， 样品的放电现象越显著。所以，如果样品放电现象比较严重， 不能采用慢扫描方式记录图像，这时可以采用多次快速扫描叠 加的方式记录图像，同样可以提高信噪比。但是对于漂移明显 的样品无法采用这种技术。对于既放电又漂移的样品，采用单 次快速扫描的方式反而可以获得最高质量的图像。
倾转注意：
a)千万不要超过允许的倾转范围，为了安全起见， 不要倾转到极限，应留有一定的余量（至少1 °）
b)如果进行了倾转操作，当结束操作后使样品台回 到交换位置时，一定要先把T调回到0，然后再调Z 到8mm。
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可编辑
3）将样品架插入样品室
插入样品之前需要确认：
(a)样品台的位置处于交换位置，并且没有处于锁定状态（Lock开关的灯不 亮）
(b)加速电压处于OFF状态
（1）按交换室操作部分的AIR键，使交换室放气；
（2）峰鸣器响后（对应键的灯不闪），将交换室打 开；
（3）轻轻推入交换棒，此时保证交换棒后端的旋钮 处于UNLOCK状态；
样品台
样品台以通过其表面中心的法线为轴做平面内 旋转，是靠马达驱动的（自动）。
Eucentric：当选中时，表示样品台旋转后，观察区域仍然保 持在当前位置。
S-4800扫描电镜操作步骤
扫描电镜S-4800操作规程一、日常开机打开Display开关，电脑自动开机进入s-4800用户界面，PC_SEM程序自运行，点击确认进入软件界面。
二、装样品1.将样品台装在样品座上，根据标尺调整高度及确认样品位置后旋紧。
2.按下AIR键，当AIR灯变绿时拉开样品交换室，水平向前推出交换杆，把样品座插在交换杆上，逆时针旋转交换杆（即按照杆上的标示转至LOCK）锁定样品座后，将交换杆水平向后拉回原处。
3.关闭交换室，按下EV AC键，当EV AC绿灯亮时，按OPEN键至绿灯亮样品室阀门自动打开。
4.水平插入交换杆，直至样品座被卡紧为止，顺时针旋转交换杆（即按照杆上的标示转至UNLOCK）后水平向后拉回原处，点CLOSE键至绿灯亮样品室阀门自动关闭。
三、图像观察1.加高压点击屏幕左上方的高压控制窗口，弹出HV Control对话窗。
选择合适的观察电压和电流，点击ON，弹出提示样品高度的对话框，点击确定出现HV ON 提示条，待图像出现后，关闭HV Control对话窗。
2.在低倍、TV模式下，找到所要观察的样品，点击H/L按钮切换到高倍模式，通过调节样品位置，找到所要观察的视场。
3.聚焦、消像散选好视场后，放大到合适的倍数聚焦消像散。
先调节聚焦粗调和细调旋钮，使图像达到最佳状态，若图像有拉长现象，则需进行消像散。
调节STIGMATOR/ALIGNMENT X使图像在水平方向的拉长消失，再调节STIGMATOR/ALIGNMENT Y使图像在垂直方向的拉长消失。
4.图像采集及保存用A.B.C.键或BRIGHTNISS/CONTRAST旋钮自动或手动调节图像的对比度和亮度，扫描速度变为慢扫，点击抓拍按钮进行采集。
采集后暂时存放在窗口下侧，选中要保存的图像，点击Save，弹出Image Save对话框，输入文件名，选好存储位置保存即可。
5.对中调整改变加速电压和电流时，或图像在高倍聚焦发生漂移时，需要进行对中调整，方法如下：(1)选取样品上一个具有明显特征的位置放在视场中心。
S-4800日立扫描电子显微镜(SEM)简易操作指南(通用版)
S-4800日立扫描电子显微镜（SEM）简易操作指南一、开机前准备1.1制备样品（带口罩与手套进行）SEM样品制备相对简单，原则上只要能放入样品室的样品，都可进行观察。
但需注意以下事项：a)样品在物理上和化学上必须要保持稳定，在真空中和电子束轰击下不挥发或变形，没有腐蚀性和放射性。
（通常是干燥固体。
）b)由于光源是电子，样品必须导电，非导电样品可喷镀金膜。
金膜在一定程度上会影响样品原有形貌。
（若样品本身导电，衬底不导电，如蓝宝石上的ZnO，只需用导电胶把样品表面连到样品台。
）c)由于物镜有强磁性，带有磁性的样品制样必须非常小心，防止在强磁场中样品被吸入物镜或分散在样品室中。
通常磁性样品必须退磁，且工作距离（WD）须大于8mm。
具体操作过程：(1) 按待测样品数量选择样品台，（支持直径d=5mm,15mm,1 inch,2 inch等规格，若要观测截面可选择带角度的样品台）。
(2) 剪一小段导电胶，粘到样品台上。
若样品为粉末，则把粉末撒到导电胶上，用吸耳球或高压氮气吹扫掉导电胶上未粘紧的粉末；若是块状样品，则把样品牢牢粘到导电胶上，用手轻轻推，样品不会左右晃动。
（为观测时方便定位，将样品排列成行（或列），并在行下方（或列左侧）标上数字编号。
）(3) 样品粘贴完成后，用吸耳球或高压氮气吹扫掉样品台上的粉末、灰尘、水珠、唾沫等（会影响照片质量，甚至使真空度下降而无法加高压，推荐认真执行。
）1.2查看真空度打开前面板盖，点击MODE按钮直至IP1指示灯闪，在登记表记下MULT INDICATOR数码显示管的读数，同理读取IP2，IP3并记录。
确认IP1<2E-7，IP2<2E-6，IP3<5E-5。
（通常情况都是IP1显示0E-8，IP2显示0E-8，IP3显示0E-8或aE-7,1<a<9。
）如图1所示：图1 按MODE读取IP1-IP3二、开机操作2.1开机a)开启冷却循环水电源，循环水温度显示应在15-20℃，水位应浸没金属线圈。
s4800扫描电镜
S4800扫描电镜简介S4800扫描电镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种常用的电子显微镜，用于观察材料的形貌和表面特征。
相比传统光学显微镜，扫描电镜具有更高的分辨率和放大倍数，能够在纳米级别观察样品表面。
S4800扫描电镜是日本公司HITACHI生产的一款高性能扫描电镜，具有出色的图像质量和操作简便性。
技术特点1.高分辨率：S4800扫描电镜配备了专业的电子光学系统，能够实现超高分辨率的样品观察。
其分辨率可达到1纳米，使得使用者能够更加清晰地观察样品的微观细节。
2.宽范围放大倍数：S4800扫描电镜具有大范围的放大倍数，可根据需要进行调整。
通常情况下，它能够提供从几十倍到几十万倍的放大倍数，满足不同应用场景的需求。
3.快速成像：S4800扫描电镜采用了先进的图像采集技术，能够快速获取高质量的图像。
其高速扫描和快速成像功能使得样品的观察过程更加高效和便捷。
4.强大的样品适应性：S4800扫描电镜可以适应多种不同类型的样品。
无论是固态材料、有机材料还是生物样品，都能够通过调整样品表面处理和操作参数，获得清晰而详细的图像。
5.前沿功能：S4800扫描电镜具备多种前沿功能，如悬臂梁技术（Cantilever technology）、能谱分析（Energy Dispersive X-ray Spectroscopy，EDS）等。
这些功能可以提供更多的信息，丰富样品表征的内容。
应用领域S4800扫描电镜广泛应用于各个领域，包括但不限于以下几个方面：1.材料科学领域：S4800扫描电镜可以用于材料的表面形貌观察、颗粒分析和晶体结构分析等方面。
它能够帮助科学家们深入了解材料的微观特性，为材料研发和性能改进提供有效的依据。
2.生命科学领域：S4800扫描电镜在生命科学研究中有着广泛的应用。
它可以用于细胞形态学观察、细胞器的结构研究以及生物材料的表面特性分析等方面。
通过扫描电镜的观察，科学家们可以更好地了解生物体的微观结构，推动生命科学的发展。
S-4800日立扫描电子显微镜(SEM)简易操作指南(维护版)
日立扫描电子显微镜（SEM）维护手册S-48001、每一个月检查冷却循环水，及时记录水面是否下降并补充。
换水以及清洗过滤网（频率：1年1次以上）2、空气压缩机的维护（频率：半个月一次，1个月1次以上）压缩机内部排水3、机械泵、干泵的维护（频率：半年1次以上（机械泵），1年1次（油泵））机械泵：半年1次以上，当油雾收集器附着油液或有油烟时立即更换。
当油的颜色变为茶色时或换油过了6个月时：停机→交换油→开机油泵：1年1次，委托服务人员维护保养。
4、烘烤与机械对中（频率：1年1次以上）烘烤1.关闭电脑，前面板Display，和循环水。
2.拧开X轴向的两个小螺丝，取下最上端的电磁罩3.松开电子枪的螺纹盖，取下电子枪套入左侧两个圆环处。
注意手不要碰到电子枪内壳4.松开Y轴向两个螺丝，注意用手掩护防止螺丝往里掉。
取下镜筒罩。
5.拿烘烤装置围在镜筒上，并用专用帽子盖上，拧紧螺丝。
6.把两根内加热线插入电子枪桶的两个X轴向的小凸起上，并整理好内外电线，使其不接触到加热部位，防止烧坏，并引到右侧后台的接线盖处。
7.松开右侧后台的接线盖，分别插入内外线插槽，用螺丝拧紧接线盖。
8.设置前面板，通常烘烤必须保证冷却6 Hour,加热时间可变，常用8小时,且外烘烤先启动，两个小时后内烘烤才启动。
故可设Mode/Bake 闪动时按下select 0u 8( =out 8hour) In 6。
此时转到后面板调整开关为Bake 开，Display 关，其他勿动。
再回到前面板按下start。
若无意外，烘烤设置成功，倒计时几秒后即开始。
判断烘烤是否成功开始标志：a)按下start 后无报警现象b)烘烤镜筒部位发热c)IP1-3真空度下降，由E-7到E-6简单版烘烤流程拆下最上端电磁罩→拆下电子枪→取下镜筒罩→装上Outer加热器→装上Inner导线→把两队导线连接到后面板→放置高温牌提醒→前面板定时→开后面板总开关→开始烘机械对中1. 软件设置1KV，flash 记下电流值2. 电子束光阑由1逆时针调到0，物镜可动光阑由3调到03. 软件菜单栏setup/column 下聚光镜cond len1、cond len2前面的勾去掉。
S-4800 常规操作流程
4. 在“TV”或“Fast”扫描模式下定位观察区域，在“Red”扫描模式下聚焦、消像散， 在“Slow”或“Cssc”扫描模式下拍照。
5. 选择合适的图像大小与拍摄方法，按“Capture”拍照。 6. 根据要求选择照片注释内容，保存照片。
电源、“Evac”电源，半小时后关闭离子泵开关和显示单元背面的三个空气开关，关闭 循环水。开机时顺序相反。 3. 每半个月旋开空压机底阀放水一次。
日立 S-4800 冷场发射扫描电子显微镜常规操作流程
开机
1. 检查真空、循环水状态。 2. 开启“Display”电源。 3. 根据提示输入用户名和密码（出厂设置为空），启动电镜程序。
样品放置、撤出、交换
1. 严格按照高度规定高样品台，制样，固定。 2. 按交换舱上“Air”键放气，蜂鸣器响后将样品台放入，旋转样品杆至“Lock”位，合
关机
1. 将样品台高度调回 80mm。 2. 按“Home”键使样品台回到初始状态。 3. “Home”指示灯停止闪烁后，撤出样品台，合上样品舱。 4. 退出程序第一次加高压后，做一次 Flashing。 2. 冷场发射电镜一般不断电，如遇特殊情况需要大关机时，依次关闭主机正面的“Stage”
上交换舱，按“Evac”键抽气，蜂鸣器响后按“Open”键打开样品舱门，推入样品台， 旋转样品杆至“Unlock”位后抽出，按“Close”键。
观察与拍照
1. 根据样品特性与观察要求，在操作面板上选择合适的加速电压与束流，按“On”键加 高压。
2. 用滚轮将样品台定位至观察点，拧 Z 轴旋钮（3 轴马达台）或在操作界面中调整样品 台高度（5 轴马达台）。