第四章_半导体的导电性(1)剖析
半导体导电性

在电场和磁场作用下,半导体中的电子和空穴的运动会引起各种电荷的输运现象半导体的导电性强弱随温度和杂质的含量变化而变化。
1. 从能带角度理解半导体的导电性半导体在绝对零度时,被电子占据的最高能带为满带,上面临近的能带是空带,当有一定温度时,电子从满带激发到空带,原来的空带变为不满带,在电场作用下,电子的状态在布里渊区中的分布不再对称,半导体导电。
2. 从晶格角度理解半导体的导电性在一定温度下,共价键上的电子e 挣脱了价键的束缚,进入到晶格空间形成准自由电子,这个电子在外电场的作用下运动而形成电子电流。
在价键的电子进入晶格后留下空穴,当这个空穴被电子重新填充后,会在另一个位置产生新的空穴,这一过程为空穴电流3. 载流子的散射理想完整晶体中电子处于严格周期势场中,v (k )不变,实际晶体由于存在缺陷,相当于在原有严格周期性势场上叠加了附加势场,从而引起了载流子状态的改变成为载流子的散射连续两次散射间的平均自由时间,散射主要有晶格振动散射和电离杂质散射。
(1)电离杂质原因是:电离杂质因为形成库仑场,附加在周期场上,局部破坏了周期势场。
散射几率:(2)晶格振动散射:晶体中格波氛围声学支和光学支。
声学支描述原胞的整体运动,光学支描述一个原胞内两个原子的相对运动。
一个原胞有n 个原子,则三维情况下总的格波数为3n ,其中3支声学波,3(n-1)支光学波。
①声学波散射原因:纵波的振动形式使原子形成疏密分布,半导体体积在疏处膨胀,密处压缩,使能带发生振动,产生附加势。
②光学波散射原因:原子的相对运动使电荷分布形成正电荷区和负电荷区,产生电场,形成附加势。
4. 载流子的漂移运动,迁移率(1) 在有外加电场存在时,载流子沿一定方向的有规则运动,称为漂移运动。
它是引起电荷流动的原因。
考虑平均,则电子和空穴的漂移速率分别为 ετ *-=n n n m q v 和 ετ *=pp p m q v ,*p m 和p τ分别为空穴的有效质量和弛豫时间。
《半导体物理》第四章

长声学波,声子数最多,作用最大。
电子和声子的碰撞
• 声子的能量为:
1 1 1 a E (n )a a 2 2 exp(a ) 1 k0T
• 电子与声子的碰撞过程:
k 'k q E ' E h
• 具有单一极值、球形等能面的半导体,对导带电子散射 的几率是
k T (m ) Ps v 4 u
2 c 0 * 2 n 2
由形变引起导带底的变化
Ec c
V V0
最后,因电子热运动速度与T1/2成正比,声学波散射几率
Ps T 3 / 2
• 对于硅、锗具有旋转椭球等能面的半导体,切变也会引 起能带极值的变化,即横声学波也参与对电子的散射。 总的散射几率依然如上式,为T3/2关系。
§4.3 迁移率与杂质浓度和温度的关系
1、平均自由时间τ和散射几率P的关系 1 P
当几种散射机构同时存在时
总散射几率: 相应的平均自由时间:
P Pj
j
1
j
1
j
τ-P关系的数学推导 用N(t)表示t时刻未遭到散射的电子数,则在 t ~ t t 被 散射的电子数
• 对于硅、锗及III-V族化合物,其原胞结构均由两套 面心立方原子套构而成,基元有2个原子,三维结构 每个波矢q共有6支格波:3支声学波和3支光学波。 • 3支声学波为2横1纵。声学波是 q = 0时,=0。 • 长声学波代表质心的振动。在长波范围内,波数q越 大,波长越短,能量越大,声子数越少。 同时,其能 量 为量子化的: (n+1/2)h 。
载流子的散射 存在破坏周期性势场的作用因素: 载流子在半导体中运动时,不断与振动 杂质 着的晶格原子或杂质离子发生碰撞,碰撞后 缺陷 载流子速度的大小及方向均发生改变,这种 晶格热振动 现象称为载流子的散射。
华南理工半导体物理—第四章

E=0 2
1 6 3 随机热运动 4
5
当一个小电场E施加于半导体时,每一个电子会从电场上 受到一个-qE的作用力,且在各次碰撞之间,沿着电场的反向 被加速。因此,一个额外的速度成分将再加至热运动的电子上 ,此额外的速度成分称为漂移速度(drift velocity) 一个电子由于随机 的热运动及漂移成分两 者所造成的位移如图所 示。 值得注意的是,电 子的净位移与施加的电 场方向相反。
电离杂质散射 • 半导体中的电离杂质形成正、负电中心, 对载流子有吸引或排斥作用,从而引起载 流子散射。
电离杂质散射几率
Pi N iT
3
2
上式表明,随着温度的降低,散射几率 增大。因此,这种散射过程在低温下是 比较重要的。
Байду номын сангаас
晶格振动散射
半导体晶体中原子的振动是引起载流子 被散射的主要原因之一。
mn n 0.26 0.911030 kg 1000104 m2 / V s c q 1.6 1019 C
1.48 1013 s 0.148 ps.
又
1 3 3kT 2 mn vth kT vth 107 cm / s 2 2 mn
所以,平均自由程则为
漂移运动,迁移率与电导率
• 漂移运动:载流子在电场力作用下的定向运动, 定向运动的速度称为漂移速度
j E
vd n E
j nqvd
jn nqn E
n nqn
J jn j p (nqn nq p ) E
(nqn nq p )
载流子散射
j E
dI dV J E ds dl
半导体中电流的大小还可以从另一个角度 来理解。
第半导体物理课件 第四章

用,对电子产生散射作用。
• 横声学波要引起一定的切变,对具有多极值、旋转椭球等 能面的锗、硅来说,也将引起能带极值的变化。
光学波散射
• 离子性半导体中,长纵光学波有重要的散射作用。 • 每个原胞内正负离子振动位移相反,正负离子形成硫密 相间的区域,造成在一半个波长区域内带正电,另一半 个波长区域内带负电,将产生微区电场,引起载流子散 射。 长声学波振动,声子的速度很小,散射前后电子能量基本不 变,--弹性散射 光学波频率较高,声子能量较大,散射前后电子能 量有较大的改变,--非弹性散射。
迁移率和杂质与温度关系
杂质浓度较低,迁移率随温度升高迅速减小,晶格散射起主要作用; 杂质浓度高,迁移率下降趋势不显著,说明杂质散射机构的影响为主。当 杂质浓度很高时,低温范围内,随温度升高,电子迁移率缓慢上升,直到
很高温度(约550K左右)才稍有下降,这说明杂质散射起主要作用。晶格 振动散射与前者比影响不大,所以迁移率随温度升高而增大;温度继续升 高后,又以晶格振动散射为主,故迁移随温度下降。
② 计算中假设散射后的速度完全无规则,即散射后载流子向各个方向运动 的几率相等。这只适用于各向同性的散射.对纵声学波和纵光学波的散射确 实是各向同性的.但是电离杂质的散射则偏向于小角散射。所以精确计算还 应考虑散射的方向性。
下节较精确地计算半导体的电导率,为简单起见,仍限于讨论各向同性的 散射。
5 玻耳兹曼方程· 电导率的统计理论
• 各向同性晶体特点:
a、声学波散射: Ps∝T3/2 b、光学波散射:P o∝[exphv/k0T)]-1
2)电离杂质散射:即库仑散射
散射几率Pi∝NiT-3/2(Ni:为杂质浓度总和)。
3)其它散射机构
半导体的导电性

当前研究的不足与挑战
半导体导电性的调控机制尚不完全清楚,需要进一步深入研究。
一些高性能的半导体材料和器件仍然依赖进口,需要加强自主创新和知识产权保护。
半导体产业的发展面临着技术、环境、资金等多方面的挑战,需要积极应对。
发展智能制造和绿色制造,提高半导体产业的核心竞争力。
加强基础研究和应用研究,推动半导体材料和器件的创新发展。
实现半导体材料和器件的全链条自主可控,保障国家安全和产业安全。
未来发展的趋势与展望
THANKS
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影响因素
迁移率与材料的晶体结构、杂质和温度等因素有关。
迁移率
载流子密度是衡量半导体材料中载流子数量的参数,定义为材料的电阻率与电阻率的乘积,即n=ρσ,其中ρ为电阻率。
定义
载流子密度与材料的纯度、晶体结构和掺杂等因素有关。
影响因素
载流子密度
03
半导体导电性的测量与实验技术
四探针电阻测量技术是一种非接触式测量方法,通过施加电流和测量电压来计算电阻率。
温度依赖Hall效应
通过测量不同温度下半导体内部的霍尔电压,研究温度对载流子浓度和迁移率的影响。
Hall效应测量
深能级瞬态谱技术
利用光脉冲激发半导体中的电子,并测量电子在各个时间点的分布情况,从而了解半导体中的缺陷、杂质等特性。
时间分辨深能级瞬态谱技术
通过使用超快激光脉冲,对半导体内部电子的动态行为进行高时间分辨率的测量,研究电子在半导体中的输运过程。
半导体导电性的基本概念
半导体导电主要通过自由电子和空穴两种载流子实现。
在半导体内部,自由电子和空穴的数量受温度、光照等因素影响。
当加电压时,自由电子和空穴的数量增加,从而导致电流增加。
半导体的导电性

第四章半导体的导电性本章主要内容载流子在外加电场作用下的漂移运动半导体的迁移率、电导率和电阻率随温度和杂质浓度的变化规律迁移率的本质-----散射4.1 载流子的漂移运动迁移率1、欧姆定律对于金属,电流I = V(电压)/R(电阻)V-I关系是直线对于半导体,流过不同截面的电流强度不一定相同,“即电流分布不均匀,而欧姆定律不能说明材料内部各处电流的分布情况。
电流密度:通过垂直于电流方向的单位面积的电流J = ∆I/∆S单位:A/cm2或A/m2欧姆定律微分形式:上式把通过导体中某一点的电流密度和该处的电导率及电场强度直接联系了起来。
S故: 半导体导电= 电子导电J = Jn + Jp = (nqu平均自由程:载流子在连续两次散射间自由运动的平均路程平均自由时间:载流子通过平均自由程所需的平均时间τ电场:载流子加速---定向运动;散射:载流子运动方向改变---杂乱无章,各个方向;半导体的主要散射机构:离化杂质散射晶格散射中性杂质散射位错散射(P为散射几率)起因:常温下,浅施主带正电• 双曲线,电离杂质处于一个焦点 • 速度小,作用时间长,偏离角θ大,τ小 • 弹性散射,不改变入射电子能量,只改变运动方向 τ ∝ T3/2/NI 杂质浓度(2)、晶格散射 晶格原子在其平衡位置附近不断进行热振动,且各个 原子的振动不是孤立的。
分析表明:晶格中原子的振动都 是由若干不同的基本波动按波的叠加原理组合而成,这些 基本波动称为格波。
q代表格波波矢, q 的方向即波的传播方向晶格散射:载流子在运动过程中遭受振动的晶格原子的散射, 失去在电场中获得的能量,失去动量。
在能带具有单一极值的半导体中 起主要散射作用的是长波。
即波 长比原子间距大很多倍的格波。
电子热运动速度~105m/s 电子波波长约10-8m 根据动量守恒要求,声子波长 范围应在同一量级,即10-8m,而 晶体中原子间距为10-10m,因而 起主要散射作用的是长波。
半导体的导电性

2、漂移速度:定向运动的速度
漂移电流
I Q q n volume
q
t n
(vt
t s)
qnvs
t
漂移电流密度
J I qnv s
3、迁移率
欧姆定律微分表达式 J
漂移电流密度
J I qnv s
v
qn
平均漂移速度的大小与电场强度成正比,其系数
合金散射是混合晶体特有的散射机制。在 原子有序排列的混合合金中,几乎不存在合金 散射效应。
练习
T=300K时,砷化镓的掺杂浓度为NA=0, ND=1016cm-3,设杂质全部电离,电子的移迁率为 7000cm2/V.s, 空穴的迁移率为320cm2/V.s,若外 加电场强度ξ=10V/cm,求漂移电流密度和电导率
§4.4 电阻率与杂质浓度和温度的关系
一、电阻率和杂质浓度的关系
nqn pq p
1
nqn
1
nqn
1
pq p
1
pq p
1
ni
q(n
p
)
n型 p型 本征
300k时,本征 Si: =2.3×105Ω·cm , 本征Ge: =47 Ω· cm 本征GaAs: =200 Ω· cm
杂质半导体:随温度T增加,有杂质电离和本 征激发,有电离杂质散射和晶格振动散射。
(1)AB段: 低温杂质电离区
1
nqn pqp
s
q m
1
3
AT 2
3
半导体的导电特性课件

动画1-1本征半导体的导电特性
动画1-2空穴的运动
3 杂质半导体:
N型半导体(电子型半导体)
——在本征半导体中掺入五价杂质元素, 例如磷,可形成 N型半导体,也称电子 型半导体。
因五价杂质原子中四 个价电子与周围四个 半导体原子中的价电 子形成共价键,多余 的一个价电子因无共 价键束缚而很容易形 成自由电子。
vi
RL vo
vo
t
例3:设二极管的导通电压忽略,已知
vi=10sinwt(V),E=5V,画vo的波形。
vi 10v
5v
R
t
D
vo
vi
E
vo
5v
t
例4:电路如下图,已知v=10sin(t)(V),
E=5V,试画出vo的波形
vi
解:
t
vD
t
例5:VA=3V, VB=0V,求VF (二极管的导 通电压忽略)
PN结区的少子在内电场的
作用下形成的漂移电流大
于扩散电流,可忽略扩散 电流,由于漂移电流是少子
外电场
形成的电流,故反向电流
非常小,PN结呈现高阻性。
在一定的温度条件下,由本征激发决定的 少子浓度是一定的,故少子形成的漂移电流 是恒定的,基本上与所加反向电压的大小无 关,这个电流也称为反向饱和电流。
•P型半导体中空穴数>>自由电子数
•自由电子为 P型半导体的少数载流子,空穴为 P型半 导体的多数载流子
P型半导体简化图
Si
B
Si
Si
Si
Si
4 杂质对半导体导电性的影响
掺入杂质对本征半导体的导电性有很大的影响。
一些典型的数据如下:
T=300 K室温下,本征硅的电子和空穴浓度: n = p =1.4×1010/cm3
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4
4.1.1 半导体导电的微观机理
当外电场除去后,因为:
dk x qE x dt
dk x 0 dt
电子在布里渊区的非对称分布不再变化,从而电流将保持下去。也就是
说,在外电场为零的情况下,电流仍不等于零。意味着电导率应为无穷大, 电阻率应为零。 实际晶体是不完整性,杂质、缺陷、晶格热振动将对电子产生散射,使
如何求证欧姆定律的微分形式?
7
4.1.2 半导体导电的宏观电流-欧姆定律的微分形式
当电场作用于半导体时,电子获得一个和外电场反向的平均速 度,用 v d 表示其大小,空穴则获得与电场同向的速度,用 表示其大小。
v
a
若只考虑电子的运动, 在dt时 间内通过ds的电荷量就是A、B 面间小柱体内的电子电量,即
温度和杂质浓度与散射次数的关系 电离杂质对载流子的散射概率:
pi NiT -3 2
20
4.2.2 载流子的散射
2)晶格振动散射
4.2.2 载流子的散射
22
4.2.2 载流子的散射
①声学波散射
室温下电子热运动速度约为105m/s,由hk=m*v可估计电子波波长约为:
vd E
迁移率是半导体材料的重要参数,它表示电子或空穴在外电
场作用下作漂移运动的难易程度。
μn 和μp哪个大? μn >μp
电子是脱离共价键成为准自由运动的电子,而空穴实际上是
共价键上的电子在价键间的运动产生的效果,电子在价键间 移动的速度小于准自由的电子的运动速度。
14
4.2.1 漂移运动
迁移率与电导率
电子重新趋于对称分布,电流变为零,即存在电阻。
5
4.1.1 半导体导电的微观机理
2、从晶格角度理解半导体的导电性: 在一定温度下,共价键上的电子e挣脱了价键的束缚,进入到晶格
空间中成为准自由电子,这个电子在外电场的作用下运动而形成电
子电流. 在价键上的电子进入晶格后留下空 穴,当这个空穴被电子重新填充后, 会在另一位置产生新的空穴,这一 过程即形成空穴电流。 晶格中空穴和电子 导电示意图
对于本征半导体(n=p=ni),则电导率为:
i n i q n + p
16
4.2.2 载流子的散射
载流子散射的根本原因:
周期性势场被破坏。
晶格的周期性被破坏后,与周期性势场相比,存在一附加势场, 使能带中的电子发生不同k状态间的跃迁,即遭到散射:
v (k ) v (k ' )
从而呈现出电流。
3
(b)E≠0
4.1.1 半导体导电的微观机理
理想的半导体:无限大的、既没有杂质和缺陷也没有晶格振动和电子间的 相互碰撞。 理想的半导体的电阻为零.
当能带只是部分填充时,在外电场作用下,所有电子波矢以相同速率变化:
qE x
dk x dt
从而使电子在布里渊区的分布不再对称,因而产生电流。
总漂移电流密度为:
J nqn +pqp E
与欧姆定律微分形式比较得
到半导体电导率表示式为:
nq n +pq p
电子和空穴的漂移运动
15
4.2.1 漂移运动
迁移率与电导率
对于n型半导体(n>>p),电导率为
nqn
对于p型半导体(p>>n),电导率为:
nqp
由于电子的状态是波矢的周期函数,波函数
在第一布里渊区边界两边的状态等价,总 体上不呈现电流。
2
4.1.1 半导体导电的微观机理
半满带:对被电子部分填充的能 带情况,电子对称地占据能量较 低的状态,如下图(a)所示,没有 外电场作用时不呈现出电流。
(a)E=0
当存在如下图(b)所示电场时,
电子在能带中的分布发生变化,
载流子在外电场中的运动是热运
动和漂移运动的叠加。
外电场作用下电子的漂移运动
11
I nqvd 1 s
I J nqvd s
J E
J E nqvd
4.2.1 漂移运动 迁移率与电导率
J E nqvd
根据欧姆定律微分形式,J 跟 E 成正比,因此
17
4.2.2 载流子的散射
晶格振动 电离杂质 产生附加势场 的原因 载流子 空位 中性杂质 位错
18
4.2.2 载流子的散射
散射几率(Pi):描述散射的强弱,它表示单位时间内一个载流 子受到散射的次数。
1)电离杂质散射----杂质电离产生库仑场
(a)电离施主散射 电离杂质散射示意图
19
4.2.2 载流子的散射
vd E
令:
va E
vd n E
n
vd E
va p p分别称为电子迁移率和空穴迁移率。 物理意义:表示在单位场强下电子或空穴所获得的平均漂移速度大 小,单位为m2/V·s或cm2/ V·s.
13
4.2.1 漂移运动 迁移率与电导率
n
第四章 半导体的导电性
1
4.1
半导体的导电原理 4.1.1 半导体导电的微观机理
半导体在外电场作用下是否存在电流并不取决于 单个电子的行为,而是取决于整个晶体中所有电 子运动的总和。 1、从能带的角度理解半导体导电性: 满带: 在外加电场的作用下,电子从第一 布里渊区边界的一边流进,另一边流出。但
6
4.1.2 半导体导电的宏观电流-欧姆定律的微分形式
实验表明,在电场不太大时,半导体中的电流与电压仍服从欧姆定律:
I
电阻为
U R
l R s
1
ρ为半导体的电阻率,单位为Ω·m 或Ω·cm 单位西门子/米(S/m或S/cm ) 电导率
J
电流密度:
dI ds
J
dI E ds
--------欧姆定律的微分形式
Q nqvd dtds
8
4.1.2 半导体导电的宏观电流-欧姆定律的微分形式
Q nqvd dtds
电流密度的定义:
J I / S dQ / dtds
J n nqvd
pq v a Jp
得电子对电流密度的贡献: 同理,空穴对电流的贡献:
同时考虑电子和空穴的贡献时,总电流密度为:
J nqvd pqva
9
4.2 载流子的漂移运动、迁移率及散射机构
10
4.2.1 漂移运动 迁移率与电导率
半导体中的载流子在电场作用下不断加速的同时,又不断地受到散
射作用而改变其运动的方向或运动的速度,运动的总效果使其保持
一定的定向运动速度,载流子的这种运动称漂移运动,这个速度称 为平均漂移速度。