第四章_半导体的导电性(2)

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华南理工半导体物理—第四章

华南理工半导体物理—第四章

E=0 2
1 6 3 随机热运动 4
5
当一个小电场E施加于半导体时,每一个电子会从电场上 受到一个-qE的作用力,且在各次碰撞之间,沿着电场的反向 被加速。因此,一个额外的速度成分将再加至热运动的电子上 ,此额外的速度成分称为漂移速度(drift velocity) 一个电子由于随机 的热运动及漂移成分两 者所造成的位移如图所 示。 值得注意的是,电 子的净位移与施加的电 场方向相反。
电离杂质散射 • 半导体中的电离杂质形成正、负电中心, 对载流子有吸引或排斥作用,从而引起载 流子散射。

电离杂质散射几率
Pi N iT
3
2
上式表明,随着温度的降低,散射几率 增大。因此,这种散射过程在低温下是 比较重要的。
Байду номын сангаас
晶格振动散射
半导体晶体中原子的振动是引起载流子 被散射的主要原因之一。
mn n 0.26 0.911030 kg 1000104 m2 / V s c q 1.6 1019 C
1.48 1013 s 0.148 ps.

1 3 3kT 2 mn vth kT vth 107 cm / s 2 2 mn
所以,平均自由程则为
漂移运动,迁移率与电导率
• 漂移运动:载流子在电场力作用下的定向运动, 定向运动的速度称为漂移速度
j E
vd n E
j nqvd
jn nqn E
n nqn
J jn j p (nqn nq p ) E
(nqn nq p )
载流子散射
j E
dI dV J E ds dl
半导体中电流的大小还可以从另一个角度 来理解。

第半导体物理课件 第四章

第半导体物理课件 第四章

用,对电子产生散射作用。
• 横声学波要引起一定的切变,对具有多极值、旋转椭球等 能面的锗、硅来说,也将引起能带极值的变化。
光学波散射
• 离子性半导体中,长纵光学波有重要的散射作用。 • 每个原胞内正负离子振动位移相反,正负离子形成硫密 相间的区域,造成在一半个波长区域内带正电,另一半 个波长区域内带负电,将产生微区电场,引起载流子散 射。 长声学波振动,声子的速度很小,散射前后电子能量基本不 变,--弹性散射 光学波频率较高,声子能量较大,散射前后电子能 量有较大的改变,--非弹性散射。

迁移率和杂质与温度关系

杂质浓度较低,迁移率随温度升高迅速减小,晶格散射起主要作用; 杂质浓度高,迁移率下降趋势不显著,说明杂质散射机构的影响为主。当 杂质浓度很高时,低温范围内,随温度升高,电子迁移率缓慢上升,直到
很高温度(约550K左右)才稍有下降,这说明杂质散射起主要作用。晶格 振动散射与前者比影响不大,所以迁移率随温度升高而增大;温度继续升 高后,又以晶格振动散射为主,故迁移随温度下降。
② 计算中假设散射后的速度完全无规则,即散射后载流子向各个方向运动 的几率相等。这只适用于各向同性的散射.对纵声学波和纵光学波的散射确 实是各向同性的.但是电离杂质的散射则偏向于小角散射。所以精确计算还 应考虑散射的方向性。
下节较精确地计算半导体的电导率,为简单起见,仍限于讨论各向同性的 散射。

5 玻耳兹曼方程· 电导率的统计理论
• 各向同性晶体特点:
a、声学波散射: Ps∝T3/2 b、光学波散射:P o∝[exphv/k0T)]-1
2)电离杂质散射:即库仑散射
散射几率Pi∝NiT-3/2(Ni:为杂质浓度总和)。
3)其它散射机构

半导体的导电性

半导体的导电性

当前研究的不足与挑战
半导体导电性的调控机制尚不完全清楚,需要进一步深入研究。
一些高性能的半导体材料和器件仍然依赖进口,需要加强自主创新和知识产权保护。
半导体产业的发展面临着技术、环境、资金等多方面的挑战,需要积极应对。
发展智能制造和绿色制造,提高半导体产业的核心竞争力。
加强基础研究和应用研究,推动半导体材料和器件的创新发展。
实现半导体材料和器件的全链条自主可控,保障国家安全和产业安全。
未来发展的趋势与展望
THANKS
谢谢您的观看
影响因素
迁移率与材料的晶体结构、杂质和温度等因素有关。
迁移率
载流子密度是衡量半导体材料中载流子数量的参数,定义为材料的电阻率与电阻率的乘积,即n=ρσ,其中ρ为电阻率。
定义
载流子密度与材料的纯度、晶体结构和掺杂等因素有关。
影响因素
载流子密度
03
半导体导电性的测量与实验技术
四探针电阻测量技术是一种非接触式测量方法,通过施加电流和测量电压来计算电阻率。
温度依赖Hall效应
通过测量不同温度下半导体内部的霍尔电压,研究温度对载流子浓度和迁移率的影响。
Hall效应测量
深能级瞬态谱技术
利用光脉冲激发半导体中的电子,并测量电子在各个时间点的分布情况,从而了解半导体中的缺陷、杂质等特性。
时间分辨深能级瞬态谱技术
通过使用超快激光脉冲,对半导体内部电子的动态行为进行高时间分辨率的测量,研究电子在半导体中的输运过程。
半导体导电性的基本概念
半导体导电主要通过自由电子和空穴两种载流子实现。
在半导体内部,自由电子和空穴的数量受温度、光照等因素影响。
当加电压时,自由电子和空穴的数量增加,从而导致电流增加。

半导体物理知识点及重点习题总结

半导体物理知识点及重点习题总结

基本概念题:第一章半导体电子状态1.1 半导体通常是指导电能力介于导体和绝缘体之间的材料,其导带在绝对零度时全空,价带全满,禁带宽度较绝缘体的小许多。

1.2能带晶体中,电子的能量是不连续的,在某些能量区间能级分布是准连续的,在某些区间没有能及分布。

这些区间在能级图中表现为带状,称之为能带。

1.2能带论是半导体物理的理论基础,试简要说明能带论所采用的理论方法。

答:能带论在以下两个重要近似基础上,给出晶体的势场分布,进而给出电子的薛定鄂方程。

通过该方程和周期性边界条件最终给出E-k关系,从而系统地建立起该理论。

单电子近似:将晶体中其它电子对某一电子的库仑作用按几率分布平均地加以考虑,这样就可把求解晶体中电子波函数的复杂的多体问题简化为单体问题。

绝热近似:近似认为晶格系统与电子系统之间没有能量交换,而将实际存在的这种交换当作微扰来处理。

1.2克龙尼克—潘纳模型解释能带现象的理论方法答案:克龙尼克—潘纳模型是为分析晶体中电子运动状态和E-k关系而提出的一维晶体的势场分布模型,如下图所示利用该势场模型就可给出一维晶体中电子所遵守的薛定谔方程的具体表达式,进而确定波函数并给出E-k关系。

由此得到的能量分布在k空间上是周期函数,而且某些能量区间能级是准连续的(被称为允带),另一些区间没有电子能级(被称为禁带)。

从而利用量子力学的方法解释了能带现象,因此该模型具有重要的物理意义。

1.2导带与价带1.3有效质量有效质量是在描述晶体中载流子运动时引进的物理量。

它概括了周期性势场对载流子运动的影响,从而使外场力与加速度的关系具有牛顿定律的形式。

其大小由晶体自身的E-k关系决定。

1.4本征半导体既无杂质有无缺陷的理想半导体材料。

1.4空穴空穴是为处理价带电子导电问题而引进的概念。

设想价带中的每个空电子状态带有一个正的基本电荷,并赋予其与电子符号相反、大小相等的有效质量,这样就引进了一个假想的粒子,称其为空穴。

它引起的假想电流正好等于价带中的电子电流。

08-第四章-半导体的导电性

08-第四章-半导体的导电性
e e * 2me
en
vdx1 秒
平均自由时间
弛豫时间
系统从非平衡态恢复到平衡态 所需时间
* 的统计表示 t=0时,撤除电场,有N0个电子作定向运动 N(t)为t时刻还未遭到碰撞的电子数 P为单位时间内电子被碰撞的几率 在tt+dt时间内被碰撞的电子数可表示为:
N (t ) N (t dt) N (t ) Pdt dN (t ) PN (t )
n型半导体载流子浓度随温度的变化曲线ln(n)-1/T n型半导体载流子浓度随掺杂浓度ND的变化曲线 半导体费米能级随掺杂浓度ND - NA的变化曲线
N型半导体中的电子浓度随温度的变化关系
ln(n) 斜率:Eg/2k 斜率:ED/2k
1/T
n型半导体载流子浓度随掺杂浓度ND的变化曲线
p,n
n p
C N * 临界浓度 D 的估算
非简并 弱 简并
简并
强简并
-2kT
0
5kT
Ef-Ec
Ec

ND 3 EC ED KT N D dEf Ef ln 0 ln 2 2 2 N C dT 2NN D3
1 2 1 e t 2 r vd (0)t at * 2 m 2 e
在tt+dt时间内被碰撞的电子数为 PN (t )dt
这些电子定向位移之和为 rPN (t )dt
N0个电子定向位移之总和为 S 0 rPN (t )dt
S
0

1 e 2 e N 0 e 2 t PN exp( Pt ) dt N 0 0 * * * 2 me me P2 me
* 简并的温度范围 简并时的电中性方程:n N D

半导体的导电性

半导体的导电性

第四章半导体的导电性本章主要内容载流子在外加电场作用下的漂移运动半导体的迁移率、电导率和电阻率随温度和杂质浓度的变化规律迁移率的本质-----散射4.1 载流子的漂移运动迁移率1、欧姆定律对于金属,电流I = V(电压)/R(电阻)V-I关系是直线对于半导体,流过不同截面的电流强度不一定相同,“即电流分布不均匀,而欧姆定律不能说明材料内部各处电流的分布情况。

电流密度:通过垂直于电流方向的单位面积的电流J = ∆I/∆S单位:A/cm2或A/m2欧姆定律微分形式:上式把通过导体中某一点的电流密度和该处的电导率及电场强度直接联系了起来。

S故: 半导体导电= 电子导电J = Jn + Jp = (nqu平均自由程:载流子在连续两次散射间自由运动的平均路程平均自由时间:载流子通过平均自由程所需的平均时间τ电场:载流子加速---定向运动;散射:载流子运动方向改变---杂乱无章,各个方向;半导体的主要散射机构:离化杂质散射晶格散射中性杂质散射位错散射(P为散射几率)起因:常温下,浅施主带正电• 双曲线,电离杂质处于一个焦点 • 速度小,作用时间长,偏离角θ大,τ小 • 弹性散射,不改变入射电子能量,只改变运动方向 τ ∝ T3/2/NI 杂质浓度(2)、晶格散射 晶格原子在其平衡位置附近不断进行热振动,且各个 原子的振动不是孤立的。

分析表明:晶格中原子的振动都 是由若干不同的基本波动按波的叠加原理组合而成,这些 基本波动称为格波。

q代表格波波矢, q 的方向即波的传播方向晶格散射:载流子在运动过程中遭受振动的晶格原子的散射, 失去在电场中获得的能量,失去动量。

在能带具有单一极值的半导体中 起主要散射作用的是长波。

即波 长比原子间距大很多倍的格波。

电子热运动速度~105m/s 电子波波长约10-8m 根据动量守恒要求,声子波长 范围应在同一量级,即10-8m,而 晶体中原子间距为10-10m,因而 起主要散射作用的是长波。

半导体物理2013(第四章)

半导体物理2013(第四章)

§4.2 载流子散射
§4.2.1 载流子散射的概念
理想的完整晶体里的电子处在严格的周期性 势场中,如果没有其他因素的作用,其运动状态保 持不变(用波矢k标志).但实际晶体中存在的各种 晶格缺陷和晶格原子振动会在理想的周期性势场 上附加一个势场,它可以改变载流子的状态,这种 附加势场引起的载流子状态的改变就是载流子散 射。
§4.3 迁移率与杂质浓度和温度的关系
§4.3.2电导率、迁移率与平均自由时间的关系
设沿x方向施加强度为ε的电场,t=0时刻遭到散射, 经过t后再次被散射 q vx vx 0 * t
mn
多次散射后,v 0 在x方向上的分量为0,即
vx vx 0
0
v x0 0
q Pt tPe dt * mn
3 3 J x nqc x 3 3
q n 1 (1 2 3 ) 3 mc 1 1 1 2 ( ) mc 3 ml mt
1 2 3
q n ml q n mt q n mt

mc称为电导有效质量,对硅mc = 0.26m0 由于电子电导有效质量小于空穴电导有效质量,所以 电子迁移率大于空穴迁移率。

(l )
3 2
散射概率随温度的变化主要取决于中括号中 的指数因子,散射概率随温度的下降而很快 减小,所以在低温时,光学波的散射不起什 么作用,随着温度的升高,平均声子数增多, 光学波的散射概率迅速增大。
§4.2 载流子散射
§4.2.2 半导体的主要散射机构
3.其他因素引起的散射 (1)等同的能谷间散射 有些半导体导带具有极值能量相同的多个旋 转椭球等能面,载流子在这些能谷中分布相同, 这些能谷称为等同的能谷。对这种多能谷半导体, 电子可以从一个极值附近散射到另一个极值附近, 这种散射称为谷间散射。

半导体物理学刘恩科第七版第4章导电性

半导体物理学刘恩科第七版第4章导电性
q描述格波的波长及其传播方向,大小:|q|=2/,方 向:格波传播的方向。
q和关系称为色散关系。
(3)格波的数量:相同q的格波的数量。 一个晶体原胞中有一个原子, 每一原子对应一个q, 对 应每一q有3个格波.
对锗、硅及III-V族化合物半导体,原胞中含有 2个原子,对应一个q有6个不同的格波。6个格 波的频率和振动方式完全不同。
未电离杂质散射(重掺杂时):
散射: 晶格散射+掺杂+温度
若存在多种散射机制,显然,τ将发生变化,即迁移 率将发生变化(被加速时间变化)。
散射几率:
P P1 P2 P3
P 1 1 1 1 1
1 2 3
除以q/mn*, 得到
1 1 1 1 ......
1 2 3
1、2、3表示只有一种散射机制存在时载流子的迁移率
离子晶体的两个正、负离子振动位移相反,形成疏密 相同的区域。正离子的疏(密)区和负离子的密(疏)区 重合,对载流子产生附加的散射势场。
离子晶体中光学波对载流子的散射几率:
3
P0
(hvl ) 2
1
(k0T ) 2
1 [ exp( hvl
k0T
)
] 1
f
1 ( hvl k0T
)
光学波频率较高,声子能量较大。电子和光学 声子发生作用时,电子吸收或发射一个声子, 能量也改变一个h。
★格波与电子作用中,长波起重要作用。
★长声学波中,纵波起重要作用。
长声学波中,纵波对散射起主要作用。通过原子 间距发生疏密变化,体变产生附加势场。
特点:能量变化低。
一般而言(非绝对),长声学波由于能量较小, 散射前后电子的能量基本不变,为弹性散射。 光学波能量较高,为非弹性散射。
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度为:
x=x0

q mn
Et
(4-32)
28
4.3.2 电导率、迁移率与平均自由时间的关系
而这个电子获得的漂移速度为:

q mn
Et
由于在t~t+dt时间内受到散射的电子数为:
N0P exp(Pt)dt
这些电子的总的漂移速度为:

q mn
Et
N0P exp(Pt)dt
29
4.3.2 电导率、迁移率与平均自由时间的关系
2、从晶格角度理解半导体的导电性: 在一定温度下,共价键上的电子e挣脱了价键的束缚,进入到晶格 空间中成为准自由电子,这个电子在外电场的作用下运动而形成电 子电流.
在价键上的电子进入晶格后留下空 穴,当这个空穴被电子重新填充后, 会在另一位置产生新的空穴,这一 过程即形成空穴电流。
晶格中空穴和电子 导电示意图


p
q p
mp
(4-35) (4-36)
迁移率与平均自由时间成正比,与有效质量成反比。
32
4.3.2 电导率、迁移率与平均自由时间的关系
将式迁移率的式子代入电导率描述式,得到同时含有两种载流子的
混合型半导体的电导率:

nq2
mn
n

pq2
mp
p
(4-37)
n型半导体: p型半导体:
11
4.2.2 载流子的散射
2)晶格振动散射
4.2.2 载流子的散射
13
4.2.2 载流子的散射
①声学波散射
室温下电子热运动速度约为105m/s,由hk=m*v可估计电子波波长约为:


h m*n v
10 8 m
根据准动量守恒,声子动量应和电子动量具同数量级,即格波波长 范围也应是10-8m.晶体中原子间距数量级为10-10m,因此起主要散 射作用的是波长在几十个原子间距的长波。
(4-30)
由于dt很小,因此这些粒子的平均自由时间为t。
26
4.3.1 迁移率的简单理论分析
这些粒子的总的自由时间为:
tN0P exp( Pt)dt
所有粒子的平均自由时间为:
1
N0

0 tN0P exp( Pt)dt

1 P
即:平均散射时间等于散射几率的倒数。
27
4.3.2 电导率、迁移率与平均自由时间的关系
如,对于离子晶体,在光学波中,两个离子向相反的方向振动, 如图4-9(b),从而导致以半个波长为周期重复出现带正电和带负 电的区域,如图4-11。
18
4.2.2 载流子的散射
可以证明,离子性半导体中光学波对载流子的散射概率与温度的关系:
P0

h l3
k0T 1
2 2
nq 1 f h l


n
nq2
mn
n


p
nq2
mp
p
本征半导体:


i=n
i
q
2


n
mn
+ p
mp

(4-38) (4-39)
33
4.3.2 电导率、迁移率与平均自由时间的关系
对等能面为旋转椭球面的多极值半导体,沿晶体的不同方向有效质量 不同,所以迁移率与有效质量的关系较为复杂。 下面以硅为例说明。 设硅的等能面分布及外加电场方向如图所示。电子有效质量分别为 mt和ml。不同极值的能谷中的电子,沿x,y,z方向的迁移率是不同。
根据载流子在电场中的加速以及它们的散射,可导出在一定电场下载 流子的平均漂移速度,从而获得载流子的迁移率和电导率的理论式。
设沿x方向施加电场E,且电子具有各向同性的有效质量 mn
令在t=0时,某个电子恰好遭到散射,散射后沿x方向的速度为 x0,经
过时间 t 后又遭到散射,在0~t时间内作加速运动,第二次散射前的速
4.3.3 迁移率与杂质浓度和温度的关系
因为迁移率与平均自由时间成正比,而平均自由时间又是散射几率 的倒数,根据各散射机构的散射几率与温度的关系,可以获得不同散 射机构的平均自由时间与温度的关系:
电离杂质散射: i Ni-1T 3 2
Ni 为电离杂质浓度。
声学波散射:s T 3 2源自k0T nq

exp
h
1
a
k0T


1
γ γl为声子频率,nq为平均声子数,f h l k0T 为T的缓缓变函
其值值0.6变化到1.0
散射几率随温度的变化主要取决于 平均声子数,其随温度按指数上升:
PO

exp
h
1 a k0T
1
19
4.2.2 载流子的散射
当长声学波和长光学波两种散射作用同时存在时,晶格振动对载流子 的总散射概率为两种散射概率之和:
4
欧姆定律的微分形式
J dI E ds
Q nqvd dtds
电流密度的定义:
J I / S dQ / dtds nqvd
得电子对电流密度的贡献: 同理,空穴对电流的贡献:
J n nqvd J p pqva
同时考虑电子和空穴的贡献时,总电流密度为:
J nqvd pqva
34
三、计算分析题
1、在一个均匀的n型半导体的表面的一点注入少数载流子空穴。在样品上 施加一个50V/cm的电场,在电场力的作用下这些少数载流子在100μs的时 间内移动了1cm,求少数载流子的漂移速率、迁移率和扩散系数。 (kT=0.026eV)(6分)
2、在300K时,某Si器件显示出如下的能带图: (1)平衡条件成立吗?试证明之。
dt
t 0
t
25
4.3.1 迁移率的简单理论分析
dNt lim Nt+t-Nt=-PNt 式(4-28)的解为:
dt
t 0
t
N (t) N0 exp(Pt) (4-29)
N0是t=0时未遭散射的电子数。所以在t到t+dt时间内 被散射的电子数为:
N0P exp(Pt)dt
22
4.3 迁移率与杂质浓度和温度的关系
23
4.3.1 迁移率的简单理论分析
平均自由时间:连续两次碰撞间的时间间隔。 平均自由时间和散射几率是描述散射过程的两个重要 参量,以电子运动为例来求两者关系。
散射几率是载流子速度的函数。先不考虑电子的速度 分布,即认为电子有统一的速度。
24
4.3.1 迁移率的简单理论分析
光学波散射: 0 exp h l k0T 1
忽略缓变函数f中的 温度影响
40
4.3.3 迁移率与杂质浓度和温度的关系



n
q n
mn
可得迁移率与杂质浓度及温度的关系为:
电离杂质散射: i Ni-1T 3 2
声学波散射: 光学波散射:
s T 3 2 0 exp h l k0T 1
6
本节课的内容
4.2.2 载流子的散射 载流子散射的根本原因: 周期性势场被破坏。
晶格的周期性被破坏后,与周期性势场相比,存在一附加势场, 使能带中的电子发生不同k状态间的跃迁,即遭到散射:
v(k) v(k')
8
4.2.2 载流子的散射
晶格振动
电离杂质 载流子
产生附加势场 的原因
空位
b. 位错散射:位错线上的不饱和键具有受主中心作用,俘获电子后 成为一串负电中心,其周围将有电离施主杂质的积累,从而形成 一个局部电场,这个电场成为载流子散射的附加电场。
21
4.2.2 载流子的散射
c. 等同能谷间散射:对于Ge、Si,导带结构是多能谷的,即导带能 量极小值有几个不同的波矢值.载流子在这些能谷中分布相同, 这些能谷称为等同能谷.对这种多能谷半导体,电子的散射将不 只局限在一个能谷内,而可以从一个能谷散射到另一个能谷,这 种散射称为谷间散射.
上节课的内容
1
4.1 半导体的导电原理 4.1.1 半导体导电的微观机理
半导体在外电场作用下是否存在电流并不取决于 单个电子的行为,而是取决于整个晶体中所有电 子运动的总和。 1、从能带的角度理解半导体导电性:
满带:
2
4.1.1 半导体导电的微观机理
半满带:
(a)E=0
3
(b)E≠0
4.1.1 半导体导电的微观机理
位错 中性杂质
9
4.2.2 载流子的散射
散射几率(Pi):描述散射的强弱,它表示单位时间内一个载流 子受到散射的次数。
1)电离杂质散射----杂质电离产生库仑场
(a)电离施主散射 电离杂质散射示意图
10
4.2.2 载流子的散射
温度和杂质浓度与散射次数的关系 电离杂质对载流子的散射概率:
pi NiT -3 2
P1 Ps P0
对于不同的半导体,这两种散射的相对强弱不同: 在共价结合的元素半导体中,如Si和Ge,长声学波的散射是主要的; 在极性半导体中,长纵光学波的散射是主要的.
20
4.2.2 载流子的散射
3)其他散射机构
a. 中性杂质散射:在温度很低时,未电离的杂质(中性杂质)的数目 比电离杂质的数目大得多,这种中性杂质也对周期性势场有一定 的微扰作用而引起散射.但它只在重掺杂半导体中,当温度很低, 晶格振动散射和电离杂质散射都很微弱的情况下,才起主要的散 射作用.
5
4.2.1 漂移运动 迁移率与电导率
对于n型半导体(n>>p),电导率为
J dI E ds
J n nqvd
nqn
对于p型半导体(p>>n),电导率为:
n
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