使用改良西门子法还原工序的自动化仪表选型注意事项
工业仪表自动化过程中的仪表选择
工业仪表自动化过程中的仪表选择
工业仪表自动化过程中，仪表的选择是至关重要的，因为仪表的性能和质量直接关系
到生产过程的稳定性和生产效率。
在仪表选择过程中，需要考虑到以下几个方面：
1. 测量范围和精度：仪表的测量范围和精度需要与生产过程的实际需求相匹配。
例如，对于需要测量高温的生产过程，需要选择能够承受高温的仪表，并且精度高，否则可
能会影响产品质量。
2. 可靠性：在生产过程中，仪表一旦出现故障，可能会导致生产线停工，带来很大
的经济损失。
因此，需要选择具有高可靠性的仪表，并且能够长时间稳定工作。
3. 维护和维修：在使用过程中，仪表会出现一些故障，需要进行维护和维修。
因此，在选择仪表时，需要考虑到维护和维修的便捷性，并选择具有较低维修成本的仪表。
4. 接口和通信：在工业自动化过程中，仪表需要与其他设备进行通信。
因此，需要
选择具有良好的接口和通信功能的仪表，并且能够与其他设备无缝连接。
5. 成本和性价比：在选择仪表时，需要考虑到成本和性价比的问题。
不能只看重价格，而忽略了仪表的质量和性能。
需要根据实际情况，选取性价比最高的仪表。
最后，需要注意的是，在选择仪表时，需要根据实际生产过程的需求，结合各种因素
进行权衡取舍，选取最适合自己的仪表。
同时，在使用过程中需要严格遵守使用说明，保
证仪表的稳定工作，确保生产过程的安全和稳定。
仪表选型原则(word文档良心出品)
检测仪表（元件）及控制阀选型的一般原则①工艺过程的条件工艺过程的温度、压力、流量、粘度、腐蚀性、毒性、脉动等因素是决定仪表选型的主要条件，它关系到仪表选用的合理性、仪表的使用寿命及车间的防火、防爆、保安等问题。
②操作上的重要性各检测点的参数在操作上的重要性是仪表的指示、记录、积算、报警、控制、遥控等功能选定依据。
一般来说，对工艺过程影响不大，但需经常监视的变量，可选指示型；对需要经常了解变化趋势的重要变量，应选记录式；而一些对工艺过程影响较大的，又需随时监控的变量，应设控制；对关系到物料衡算和动力消耗而要求计量或经济核算的变量，宜设积算；一些可能影响生产或安全的变量，宜设报警。
③经济性和统一性仪表的选型也决定于投资的规模，应在满足工艺和自控的要求前提下，进行必要的经济核算，取得适宜的性能／价格比。
为便于仪表的维修和管理，在选型时也要注意到仪表的统一性。
尽量选用同一系列、同一规格型号及同一生产厂家的产品。
④仪表的使用和供应情况选用的仪表应是较为成熟的产品，经现场使用证明性能可靠的；同时要注意到选用的仪表应当是货源供应充沛，不会影响工程的施工进度。
仪表选性手册物位仪表在选型时，与压力、流量等仪表有很大不同。
物位测量的现场工况千差万别，很难设计出能满足所有工况应用的物位仪表。
在非接触式物位测量仪表中，超声波物位计和雷达物位计是两大主流仪表。
这两类仪表各有特点，只有充分了解仪表特点及应用条件，才能做到选型合理，充分利用仪表的测量性能。
超声波物位计传感器发出的超声波碰到被测介质被反射，反射回波的质量反映了物位计应用效果。
回波质量定义为最小回波幅度（在最恶劣条件下回波幅度）比最大噪声幅度（虚假回波、多径反射回波等的幅度）。
回波质量数值越大，物位计应用效果越好。
超声波物位计工作频率及测量性能：传感器高频(40-70KHz)工作时，传感器的尺寸小，盲区小，方向性好，精度高，但其声波衰减快，传播介质（空气）波动时穿透性差，测距较小。
自动化仪表选型的一般原则
一、自动化仪表选型的普通原则检测仪表（元件）及控制阀选型的普通原则以下：①工艺过程的条件工艺过程的温度、压力、流量、粘度、腐蚀性、毒性、脉动等因素是决定仪表选型的重要条件，它关系到仪表选用的合理性、仪表的使用寿命及车间的防火、防爆、保安等问题。
②操作上的重要性各检测点的参数在操作上的重要性是仪表的批示、统计、积算、报警、控制、遥控等功效选定根据。
普通来说，对工艺过程影响不大，但需经常监视的变量，可选批示型；对需要经常理解变化趋势的重要变量，应选统计式；而某些对工艺过程影响较大的，又需随时监控的变量，应设控制；对关系到物料衡算和动力消耗而规定计量或经济核算的变量，宜设积算；某些可能影响生产或安全的变量，宜设报警。
③经济性和统一性仪表的选型也决定于投资的规模，应在满足工艺和自控的规定前提下，进行必要的经济核算，获得适宜的性能／价格比。
为便于仪表的维修和管理，在选型时也要注意到仪表的统一性。
尽量选用同一系列、同一规格型号及同一生产厂家的产品。
④仪表的使用和供应状况选用的仪表应是较为成熟的产品，经现场使用证明性能可靠的；同时要注意到选用的仪表应当是货源供应充沛，不会影响工程的施工进度。
二、温度仪表的选型1.普通原则（1）单位及标度（刻度）温度仪表的标度（刻度）单位，统一采用摄氏温度（℃）。
（2）检出（测）元件插入长度1）插入长度的选择应以检出（测）元件插至被测介质温度变化敏捷含有代表性的位置为原则。
但在普通状况下，为了便于交换，往往整个装置统一选择一至二挡长度。
2）在烟道、炉膛及带绝热材料砌体设备上安装时，应按实际需要选用。
（3）检出（测）元件保护套材质不应低于设备或管道材质。
如定型产品保护套太薄或不耐腐蚀（如铠装热电偶），应另加保护套管。
（4）安装在易燃易爆场合的就地带电接点的温度仪表、温度开关、温度检出（测）元件和变送器等，应选用防爆型。
2.就地温度仪表的选型（1）精确度等级1）普通工业用温度计：选用 1.5 级或1 级。
工业仪表自动化过程中的仪表选择
工业仪表自动化过程中的仪表选择
在工业生产过程中，为了保证生产的正确性和生产效率，需要采用仪表自动化技术来
完成自动控制和测量的任务。
因此，在选择工业仪表时，需要考虑以下几点因素。
1.测量范围和精度：仪表的测量范围需要与生产过程相匹配，而且需要具备精准的测
量功能，以便在生产过程中准确反映出生产参数的实际情况。
2.考虑环境因素：在工业生产现场，存在很多恶劣的环境因素，如高温、低温、腐蚀、震动等，因此需要选用具备耐用性和防护性能的仪表，以保证仪表的可靠性和稳定性。
3.仪表的交互性：针对不同的生产过程和应用领域，需要选用具备不同交互性的仪表。
比如采用图形化界面和操作简便的仪表，方便生产人员进行操作和维护。
4.设备的可靠性：工业生产的流程具备很高的自动化程度，而且很多流程都是不可中
断的。
因此，在选择工业仪表时，需要考虑它的可靠性是否足够高，以保证生产的连续性
和稳定性。
5.成本因素：在选择工业仪表时，需要考虑成本因素，不能因为选用过高的技术成本
过高而对企业造成负担，但也不能为了节省成本而牺牲生产的质量和效率。
综上所述，工业仪表自动化过程中，选用合适的仪表具有非常重要的意义，不仅可以
提高生产效率和质量，还可以确保生产过程的连续性和稳定性，从而提高企业的利润和市
场竞争力。
因此，需要在以上几个方面进行综合考虑，选择适合自己企业的仪表。
浅谈改良西门子法制多晶硅的自控难点及选型
浅谈改良西门子法生产多晶硅中自动控制难点及选型注意事项张巍摘要：在西门子改良法生产多晶硅的工艺中，由于一些关键技术我国还没有完全掌握，工况条件较特殊、引进技术不够成熟、经验积累不足等原因，在自动控制和现场仪表选型上存在很多问题,装置运行过程中仪表的使用效果和寿命均不尽人意、自控水平也较低,本文讨论了该工艺流程中的一些控制难点及仪表选型的注意事项,并对还原炉的自动控制提出一些合理的方案,提高了多晶硅生产的稳定性，降低了多晶硅生产的能耗,提高了产品质量。
关键词：多晶硅改良西门子法选型1 工艺特点及其自动控制难点多晶硅生产的西门子工艺，其原理就是在1100℃左右的高纯硅芯上用高纯氢还原高纯三氯氢硅，生成多晶硅沉积在硅芯上。
改良西门子工艺是在传统西门子工艺的基础上采用了闭环式运行方式生产多晶硅，因此同时具备节能、降耗、回收利用生产过程中伴随产生的大量H2、HCI、SiCI4等副产物以及大量副产热能的配套工艺。
目前世界上绝大部分厂家均采用改良西门子法生产多晶硅。
其主工艺生产装置有下列单元组成:制氢、氯化氢合成、三氯氢硅合成或氯化氢、精馏、还原、成品后处理、尾气分离以及三废处理等。
工艺流程如图1所示。
原料硅粉三氯氢硅三氯氢多晶硅图1 工艺流程图该工艺的自动控制需要解决以下难题:a) 固态物料(硅粉)的输送进料控制及阀门选型主要事项。
闭环式三氯氢硅还原法生产多晶硅的重要原料三氯氢硅是由氯化氢和工业硅粉在一定的温度下合成而得。
目前三氯氢硅合成为间歇式生产,需要频繁开启关闭阀门,加上硅粉硬度高,容易导致控制阀磨损泄漏等问题, 若阀门选型不当则使用寿命非常短。
因此硅粉流量控制阀的选择成为该工艺自动化的首要问题,应根据流动介质的温度、压力、腐蚀性、介质的清洁度(有无固体颗粒)和冲刷等工艺条件,选择相应的耐磨阀。
常用的耐磨阀有耐磨球阀、耐磨圆盘阀。
b) 还原炉内硅芯的温度的测量及测温仪的选型注意事项。
还原炉内硅芯的温度是多晶硅生产的重要工艺参数之一,炉内温度必须维持在1080℃才能使三氯氢硅在氢气的作用下还原并沉积在硅芯上,因为炉内硅芯在不断生长沉积, 周围气场也在不断变化, 为测量带来很大难题, 现在国内大多数多晶硅生产厂家还是利用手动调节调功柜电流来控制硅芯温度。
工业仪表自动化过程中的仪表选择
工业仪表自动化过程中的仪表选择工业仪表自动化是指利用计算机、传感器和控制器等设备，对工业过程进行监测、调节和控制的系统。
工业仪表在自动化过程中起着至关重要的作用，能够帮助企业提高生产效率、降低成本、提高产品质量，因此在选择工业仪表时需要注意许多因素。
本文将重点介绍工业仪表选择的关键因素，为工业自动化过程提供一些建议。
一、性能与功能在工业仪表自动化过程中，性能与功能是选择仪表的重要考量因素。
1. 准确性和稳定性在工业生产中，仪表的准确性和稳定性至关重要。
只有准确的测量结果才能帮助企业正确判断生产过程中的状态，从而采取正确的控制措施。
而且稳定性也直接影响到仪表的使用寿命和维护成本。
因此在选择仪表时，要注重其准确性和稳定性。
2. 测量范围和分辨率不同的工业生产过程需要不同的测量范围和分辨率。
因此在选择仪表时，要根据实际需要选取适合的测量范围和分辨率，以保证测量的准确性和有效性。
3. 可靠性和耐用性工业生产环境通常比较恶劣，对仪表的可靠性和耐用性提出了较高的要求。
因此在选择仪表时，要选择具有良好可靠性和耐用性的产品，以保证仪表能够在恶劣的环境中稳定运行。
4. 功能完备在工业自动化过程中，仪表通常需要具备多种功能，比如数据采集、信号处理、显示与报警等。
因此在选择仪表时，要选取功能完备的产品，以满足工业生产中的各种需要。
二、环境适应能力工业生产环境通常比较恶劣，对仪表的环境适应能力提出了较高的要求。
1. 耐高温、耐低温能力2. 耐腐蚀能力工业生产中，通常会有化学腐蚀物质的存在。
因此在选择仪表时，要选取具有良好耐腐蚀能力的产品，以保证仪表能够在腐蚀性环境中正常工作。
3. 防爆能力三、成本与投资回报1. 采购成本仪表的采购成本通常是企业考量的关键因素。
在选择仪表时，要根据企业的实际预算选取合适的产品，以降低采购成本。
2. 使用成本仪表的使用成本包括使用维护成本和能源消耗成本。
在选择仪表时，要考虑其使用成本，尽量选择使用维护成本低、能源消耗低的产品。
自动化仪表的选型
自动化仪表的选型哎呀，说到自动化仪表的选型，这可真是个让人得好好琢磨的事儿！我先给您讲讲我之前遇到的一件小事儿。
那时候我在一家工厂实习，有个车间的自动化仪表老是出问题，数据一会儿准一会儿不准的，把工人们都急坏了。
师傅带着我去查看，发现原来是当初选型的时候没选对，这仪表根本就不适合这个车间的工作环境和工艺要求。
咱们先来说说温度仪表的选型。
温度这东西，在不同的场合要求可不一样。
比如在高温的熔炉旁边，您就得选那种能承受高温、测量精度还高的热电偶。
要是在一般的常温环境，像普通的室内，热电阻可能就够用啦。
可别小瞧这选择，要是选错了，就像我实习时遇到的那样，数据不准，生产都可能受影响。
压力仪表的选型也有讲究。
如果是测量高压的场合，比如大型的液压系统，就得选那种耐压能力强的压力表。
要是测量微小的压力变化，像一些精密仪器里的，就得用灵敏度特别高的压力传感器。
我记得有一次，一个实验室里因为选错了压力仪表，结果实验数据全乱套了，那叫一个头疼！流量仪表的选型更是复杂。
像测量液体流量，要是黏度大的液体，就得用容积式流量计；要是干净的水之类的，电磁流量计可能更合适。
还有测量气体流量的时候，要考虑气体的温度、压力对测量的影响。
液位仪表呢，也得根据具体情况来。
比如测量大储罐里的液位，用雷达液位计可能效果好；要是小容器里的液位，差压式液位计也许就够了。
在选型的时候，还得考虑仪表的安装方式。
有的地方空间小，就得选体积小的仪表；有的地方振动大，就得选抗震性能好的。
而且，仪表的防护等级也不能忽略，要是在潮湿、有腐蚀性的环境里，就得选防护等级高的，不然仪表很快就会坏掉。
还有啊，别忘了考虑成本。
虽然说要选好的、合适的，但也不能超出预算太多。
得在性能和价格之间找到一个平衡点，这可需要好好盘算盘算。
总之，自动化仪表的选型可真是个技术活，得综合考虑各种因素，一点儿都不能马虎。
要不然，就像我实习时看到的那样，出了问题可就麻烦啦！希望您在选型的时候，能选到最合适的自动化仪表，让工作顺顺利利的！。
自动化仪表使用注意事项
2021/1/15
包头市山晟新能源有限责任公司
12
六、分析仪表使用注意事项：
• 1、严禁人为操作引起的介质污染； • 2、防止样品处理系统出现堵塞、泄漏现象。
2021/1/15
包头市山晟新能源有限责任公司
13
七、阀门使用注意事项：
• 1、各种类型的气动阀门在调试结束后都处在自动位置，只有在 紧急情况下才允许操作人员将阀门切换至手动状态并进行手动 操作，避免人为损坏手轮或执行器；
• 5、无论何种类型的气动调节阀，在控制回路投自动时，一定要在实 际测量值与设定值相当接近时方可投入自动，这样可避免阀门大幅度 的波动；
• 6、对于易堵塞的管路与阀门，操作人员应经常做一些抗堵措施（如 敲击等）；长期不用的气动（电动）切断阀或调节阀在不影响正常生 产的情况下，应经常做开关动作，以免阀门阀芯被介质堵塞。
包头市山晟新能源有限责任公司
4
• 5、初次投入自动控制回路时，操作人员应以书面形式通知DCS工程师和仪表 维修人员，待其将条件整定好以后方可投入自动控制，自动投入之后，操作 人员可根据实际运行工况，进行自动与手动间的切换、参数的调整。但是当 系统出现故障如变送器故障、阀门卡死、停气、停电等现象时，禁止进行自 动控制，并应立即切换到手动操作，待故障完全排除后方可投入自动；自动 控制回路调节不稳定时，须及时通知DCS工程师和仪表维修人员。
包头市山晟新能源有限责任公司
24
流量测量仪表（电磁流量计）
• 测量流量时，流体流过垂直于流动方向的磁场，导电性液体的流动感应出一 个与平均流速（亦即体积流量）成正比的电压，其感应电压信号通过二个与 液体直接接触的电极检出，并通过电缆传送至放大器，然后转换成统一输出 信号。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
2012年4月
内蒙古科技与经济
A pril 2012
第8期总第258期
Inner M o ngo lia Science T echnolo gy &Economy N o .8T o tal N o .258
浅谈使用改良西门子法还原工序的自动化仪表选型注意事项
张 巍
(内蒙古神舟硅业有限责任公司,内蒙古呼和浩特 010000)
摘 要:文章对如何提升改良西门子法还原工序的仪表使用寿命,以及还原工序在仪表选型中的注意事项进行了讨论,提出了能够提升仪表使用寿命,提高多晶硅生产稳定性的具体措施。
关键词:多晶硅;还原工序;西门子法;选型
中图分类号:T H81 文献标识码:A 文章编号:1007—6921(2012)08—0111—02 由于我国对西门子改良法技术中的一些关键点还没有完全掌握,且使用西门子改良法生产多晶硅的工艺中工况条件较特殊、引进技术不够成熟、经验积累不足,对自动化仪表的选型上存在很多问题,仪表的使用效果和寿命与一般装置比较有较大差异。
1 改良西门子法的工艺特点
多晶硅生产的西门子工艺,其原理就是在1100℃左右的高纯硅芯上用高纯氢还原高纯三氯氢硅,生成多晶硅沉积在硅芯上。
改良西门子工艺是在传统西门子工艺的基础上采用了闭环式运行方式生产多晶硅,因此同时具备节能、降耗、回收利用生
产过程中伴随产生的大量H 2、
HCL 、SiCI 4等副产物以及大量副产热能的配套工艺。
目前世界上绝大部分厂家均采用改良西门子法生产多晶硅。
还原工序作为多晶硅产品生产中最重要的一环,重要性不言而喻。
重要工艺流程如图1
所示。
图1 工艺流程
2 温度测量仪表存在的问题及选型注意事项
还原工序是改良西门子法生产多晶硅中最重要的工序,其原理就是在1100℃左右的高纯硅芯上用高纯氢还原高纯三氯氢硅,生成多晶硅沉积在硅芯上。
由于西门子法生产多晶硅的特殊性,必须采用非接触式测温方式才能满足多晶硅生产的纯度要求,通常的测量方式为红外测温方式。
在测温仪表的实际应用中,还存在以下不可避免的实际问题: 硅芯直径在刚开始生产时只有
10mm 左右,如何能够保证红外测温仪能够精确瞄准所要测量的硅芯目标? 用红外测温仪适时测量硅芯的温度时,必须透过还原炉的密封石英窗口瞄准炉内目标,但在生产过程中,夹层靠炉内侧或密封石英窗口的夹层冷却水中可能会有某些颗粒物,从而对石英窗口造成一定程度的污染。
如何克服这种污染对透过率可能产生的影响而不会导致实际测量误差? 由于还原工序的物料特性,以及拆装还原炉过程中不可避免的少量物料泄露,红外测温仪探头长时间在此环境下接触可能会发生污染,如何避免探头污染造成对透过率可能产生的影响? 传统的光纤式红外测温仪探头比较娇贵,容易出现损坏或折断,如何选择合适的红外测温仪?
只有充分了解多晶硅生产工艺并重视可能出现的上述问题,才有可能找到解决问题的办法。
为了改善温度测量,宜选用双色(双波长)红外测温仪,双色模式特别适用于测量局部被遮挡的目标,无论是断续的,还是一直被遮挡,如存在其他物体的遮挡、开孔、狭缝、观察窗对能量的衰减,以及大气中灰尘、烟雾、水气的影响。
双色模式也可用于测量无法充满测量视场的目标温度,但背景温度必须比目标温度低很多。
此类测温仪不严格要求被测目标必须充满测温仪视场。
除了采用双色红外,测温仪在实际应用中还应注意以下问题: 增加红外测温仪数量,通过DCS 对红外测温仪的数据进行对比校正,可以真正实现硅芯温度实时测量及控制; 选用透镜型探头,由于光纤型探头易折断,焦距固定不可调,瞄准不方便只能调整探头位置,不利于温度的准确测量; 选择配套支架,对红外测温仪进行可靠的对准及固定,避免人为或外界因素使红外测温仪无法对准目标; 选用易清理和拆装的红外测温探头。
3 自动控制阀门存在的问题及注意事项
由于还原工序的尾气直接排放,温度非常高,一般约350℃～370℃,而普通的球阀采用聚四氟乙烯阀座,最高只能耐受270℃,在压力较高的工艺条件下更容易发生磨损、变形和泄露。
若阀门选型不当则使用寿命非常短。
应根据流动介质的压力、腐蚀性、
・
111・
收稿日期:2012-02-22
总第258期 内蒙古科技与经济
温度、介质的清洁度(有无固体颗粒)和冲刷等工艺条件,选择相应的阀门。
一般会使用耐磨球阀作为还原工序的尾气自控切断阀。
硬密封球阀是一种紧凑而可靠的切断阀,具有寿命长、使用温度高、耐磨性强等特性,广泛应用于设备和管路上。
在高温、高压、磨损、腐蚀、易结晶和高频率动作等各种恶劣工况中属于比较常用的选择。
在针对含有还原尾气的介质选择耐磨球阀时,应根据介质情况选择合理的硬化涂层、耐磨阀杆。
4 流量测量仪表存在的问题及注意事项
由于在多晶硅生产过程中,氢气和三氯氢硅进料量是随着硅芯的不断生长而增大,流量范围比超过20∶1,而一般流量计的量程比为10∶1,流量的范围远远超过的流量计正常的测量范围,尤其是在小流量的时候,流量计无显示或显示波动严重,基本无法指导工艺生产。
通过对生产工艺分析可以发现:在整个多晶硅沉积过程中,硅芯从8m m左右生长至150mm左右,进气量的变化是非常大的。
对于单台还原炉而言,氢气最小流量:5kg/h,最大流量:100kg/h,压力: 0.3M Pa～1.0M Pa,温度:25℃～150℃;三氯氢硅最小流量:100kg/h,最大流量:2000kg/h,压力:0.3 M Pa～1.0M Pa,温度:25℃～150℃,并且氢气和三氯氢硅需要按一定的摩尔比混合后通入还原炉反应,还原炉进料直接关系到多晶硅产品的质量,此处对流量仪表的精度要求非常高。
可以通过以下两种方案实现高精度的流量测量。
4.1 选用质量流量计
质量流量计是一种精度高且量程比大的新型流量计,精度可达±1%,量程比最大可达100∶1,压损极小,无需温度、压力补偿,可直接测得气体质量流量,氢气流量的测量使用热式质量流量计能很好地满足工艺及控制的要求。
根据工艺的不同,三氯氢硅的进料状态可以是气相,也可以是液相,热质流量计可测量气体的质量流量,但是不能测量液体的质量流量,此时应选用科氏质量流量计。
科氏质量流量计直管段要求不严格,不受温度、压力变化影响,可测量高密度气体、液体和浆体的质量流量。
此方案优点是精度高,量程比宽,设备运行稳定。
需要注意的是,由于热式质量流量计元件易受流体腐蚀和磨损,影响仪表的测量灵敏度和使用寿命。
科氏质量流量计测量管对振动较敏感,不能在震动大的管道上安装。
4.2 选用金属转子流量计
金属转子流量计精度可达±1.5%,量程比最大可达10∶1,结构简单,可靠性强。
可改造管道,将一台小流量的金属转子流量计与一台大流量的金属转子流量计并联安装。
开始进料量较小时,使用小流量金属转子流量计,当进料量较大时切换至大流量金属转子流量计。
此方案充分利用了常见流量计,通过对管道简单的改造实现了用较少的费用实现对流量的准确测量。
5 结束语
以上是结合多晶硅生产现场实际的使用经验,发表的一些个人观点,希望能够为读者在今后的设计中有所帮助。
[参考文献]
[1] 厉玉鸣.化工仪表及自动化[M].北京:化学
工业出版社,1999.
[2] 张宝芬.自动检测技术及仪表控制系统[M].
北京:化学工业出版社,2000.
[3] 邓丰.多晶硅生产技术[M].北京:化学工业
出版社,2009.
・
112・。