中科科仪氦简陋仪使用手册
真空氦检漏仪检漏步骤
真空氦检漏仪检漏步骤真空氦检漏仪是一种常用的检漏工具，它能够通过检测物体表面或孔隙中的氦气泄漏来定位和判断物体的泄漏点。
下面我们介绍一下真空氦检漏仪的具体使用步骤。
第一步，准备工作。
在进行检漏之前，我们需要准备好真空氦检漏仪和氦气供应装置。
同时，确保被测对象处于一个真空的环境中。
真空氦检漏仪和氦气供应装置一般由检漏仪本体、真空泵、氦气瓶和氦气探针等组成。
第二步，连接设备。
将真空氦检漏仪的真空泵与被测对象的真空管路连接好，并确保连接紧密，无气泄漏的情况。
然后，将氦气瓶和氦气探针与检漏仪本体连接好，使氦气能够顺利供给到被测对象。
第三步，设定参数。
根据被测对象的具体情况，设置检漏仪的相关参数，如氦气压力和检测时间等。
通常情况下，检测时间一般为几分钟到几十分钟，具体根据被测对象的大小和复杂程度来确定。
第四步，开始检漏。
打开检漏仪的电源开关，并激活真空泵开始抽真空。
当真空泵抽到一定的真空度后，打开氦气供应装置的开关，让氦气进入被测对象中。
此时，如果被测对象存在气泄漏，氦气将从泄漏点进入周围环境，然后被氦气探针捕捉到。
第五步，集中检测点。
在检漏过程中，我们可以使用手持式的氦气探测仪或者固定式的氦气探测仪来对可能的泄漏点进行检测。
将氦气探针靠近被测对象的表面或孔隙，如果探测到氦气浓度增加，则说明存在泄漏点。
第六步，确认泄漏点。
当检测到氦气浓度的增加后，通过移动氦气探针来找到氦气浓度最高的位置，即为泄漏点所在。
在确认泄漏点后，我们可以进行标记或者及时修复，以防止泄漏对系统的正常运行造成影响。
通过以上步骤，我们可以使用真空氦检漏仪来准确快速地检测物体的泄漏点。
使用真空氦检漏仪可以大大提高泄漏检测的效率和准确性，对于保障设备和系统的正常运行具有重要作用。
在使用时，我们需要注意安全，遵守相关操作规程，并经常对检漏仪及其配套设备进行维护和保养，以保证其正常工作和长期可靠性。
氦质谱检漏仪操作规程(3篇)
第1篇一、概述氦质谱检漏仪是一种用于检测气体泄漏的高效、精确的仪器，广泛应用于真空系统、半导体设备、化工、科研等领域。
为确保操作人员的人身安全和仪器的正常运行，以下为氦质谱检漏仪的操作规程。
二、操作前的准备工作1. 环境检查：确保操作环境安全，通风良好，无腐蚀性气体。
2. 设备检查：检查氦质谱检漏仪外观是否完好，电源线、连接线等是否完好无损。
3. 仪器预热：打开仪器电源，预热30分钟以上，使仪器达到工作状态。
4. 参数设置：根据检测需求，设置合适的检测参数，如漏率阈值、扫描时间等。
三、操作步骤1. 连接仪器：将氦气源、抽气系统、波纹管等连接至氦质谱检漏仪，确保连接牢固。
2. 真空系统连接：将氦质谱检漏仪连接至待检测的真空系统，确保连接正确无误。
3. 设置检测参数：根据待检测系统的真空度、漏率等要求，设置合适的检测参数。
4. 启动检测：开启氦气源，调整流量至合适范围，启动检测程序。
5. 观察检测结果：仔细观察仪器显示屏，根据漏率值、泄漏位置等信息，判断是否存在泄漏。
6. 记录数据：将检测结果记录在检测记录表中，包括检测时间、漏率值、泄漏位置等。
四、注意事项1. 安全操作：操作过程中，注意个人防护，佩戴防护手套、眼镜等。
2. 防止误操作：熟悉仪器操作流程，避免误操作导致仪器损坏或安全事故。
3. 注意仪器保养：定期对仪器进行清洁、保养，确保仪器性能稳定。
4. 氦气处理：使用完氦气后，关闭氦气源，确保氦气排放到安全区域。
5. 设备维护：定期对仪器进行校准、维护，确保检测结果的准确性。
五、操作结束后的工作1. 关闭仪器：检测结束后，关闭氦气源、抽气系统等，断开电源。
2. 清理现场：清理操作现场，确保无安全隐患。
3. 整理记录：整理检测记录，归档保存。
六、附录1. 氦质谱检漏仪操作流程图2. 氦质谱检漏仪常见故障及排除方法通过以上操作规程，可以确保氦质谱检漏仪的正确使用，提高检测效率，确保检测结果的准确性。
ZQJ-542型氦质谱检漏仪说明 中科科仪 KYKY
吸枪模式下，只有吸枪阀和分子泵前级阀打开，如图 1-6 所示。
图 1-6 吸枪模式原理
4
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第一章 概述
ZQJ-542 氦质谱检漏仪
1.4 质谱室工作原理图
氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作为探索气体制成的气密性检测仪器。
ZQJ-542 检漏仪采用 180 度磁偏转质谱室，其工作原理如图 1-7 所示：钨制灯丝（5/6）发射出 来的电子经过加速进入离化室，在离化室内与残余气体分子和经被检件漏孔进入离化室的氦 气相互碰撞使其电离成正离子，这些离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛仑兹力作用产 生偏转，由于不同质量数（m/e）的离子其偏转半径不同，这样就将不同的离子分离开了。由 于磁场参数是固定的，只有调节加速电压就可以改变氦离子的偏转半径，使氦离子正好通过 隔离板上的窄缝打到放大器入口,这样就使氦离子（m/e=4）与其他离子（H2+或 H1+，更小的离 子，重离子（N2 或 O2，更重的离子）分开了。氦离子流正比于容器中的氦分压。因此，对氦 离子的测量可以用来确定被检件的漏率。
金属部件，铝合金灯丝支架，放大器与质谱室一体。
真空室：分析单元的真空室由轻合金制造，其中的方形槽可容纳电极。
抛光法兰：用来支撑离子源所用的电机和电子连接件，上面的支撑架用来安装离子源， 离子源由两部分构成，灯丝支架及由不锈钢制造的电子收集极，灯丝位置正好对准离化室的 入口。收集极、灯丝的设计之所以如此，是为了使离化室的温度保持在 400℃的恒温，以使得 气体分子经过灯丝时可以电离，离子源的灵敏度会由于检漏过程带来的污染而逐渐下降。
8 待机指示灯 9 排气指示灯 10 检漏指示灯 11 He 信号模拟输出显示 12 He 信号模拟输出指示灯 13 浮零指示灯 14 修正系数是否启动指示灯（适用于
氦质谱检漏仪使用说明(1)
氦质谱检漏仪使用说明一、检漏仪及其真空系统的组成VARIAN959-50检漏仪检漏漏率范围从1X10-3（毫升/秒）到2X10-10（毫升/秒）（相当于30年漏1毫升），它主要由质谱管、高真空泵、热偶规管、一系列按钮控制的阀、测试接口、真空和漏率指示，以及电路板等部分组成，其真空系统结构为（分子泵型），如图1：图1 检漏仪真空系统结构图（分子泵型）检漏仪开启后，V1、V2、V6阀打开，测试口与质谱管保持真空连接。
如果按下“VENT”键，放气阀V3打开，V1关闭，测试口处于大气状态，同时V2打开，使分子泵、质谱管和机械泵连通。
分子泵运行时，质谱管真空度要达到2X10-4TORR以上，才能给离子源灯丝加热。
二、检漏仪工作原理图2 检漏仪工作原理图如果被检系统有微小漏孔，在小孔周围喷氦气时，总有部分氦原子会通过漏孔进入检漏仪接口，通过其真空系统扩散到质谱管。
质谱管是检漏仪核心组成部分，参见上图2，在电场和磁场作用下，灯丝发射电子使气体电离，电离后带正电的离子通过聚焦和孔集中后，进入分析磁场（磁场强度为2340高斯），由于受洛仑磁力作用，离子会发生偏转，其它外界条件相同的情况下，偏转半径由带电粒子电量与质量之比即荷质比决定，荷质比小的离子偏转半径小，荷质比大的粒子偏转半径大，只有氦离子才能通过抑制小孔到达收集极，信号经放大后，检漏仪报警。
三、控制和指示器功能说明：序号控制、指示器功能四、开机操作步骤（对分子泵检漏仪）1) 将待检设备和检漏仪接口接好确保不漏；2) 开前级机械泵电源；3) 打开右边小门，合上主电源开关，所有指示灯暂亮起，等到“TRURBO READY”指示灯亮；4) “HIVACK OK”指示灯亮后，将“FIL”开关打到ON，灯丝指示灯亮，必要时多次重复这一步骤直到灯丝指示稳定；5) 按下START键；6) 当测试口压力降到绿色指示段（100 millitorr）时，TEST指示灯亮，三分钟后，如果测试口真空度降到绿色指示段，HOLO指示灯亮，压力降到100milltor以下后，HOLO指示灯灭，（如果真空度达不到要求，HOLD指示将在三分钟内发亮）；7) 检漏仪会自动上一步，直到测试口压力降到100毫以下；8) 被检系统喷氧检漏；五、关机步骤1) 按下VENT键；2) 关掉检漏仪主电源；3) 关机械泵主电源；以上操作使分子泵隔离大气，质谱管保持真空状态六、检漏仪调零和校准在检漏之前，检漏议质谱应调到对氦反应灵敏，这需要用到标准漏孔。
氦检仪使用方法
氦检仪使用方法嗨，宝子！今天来给你唠唠氦检仪的使用方法呀。
氦检仪呢，是个很厉害的小仪器，不过在使用之前，咱得先把它安置在一个合适的地方。
要找个平稳的台面哦，就像给它找个舒服的小窝一样。
可不能放在那种摇摇晃晃的地方，不然它工作起来也不踏实呢。
然后就是连接啦。
这就像给它接上小尾巴一样。
要把氦检仪的各种管路按照说明书上的指示，准确无误地连接好。
可别小看这个连接哦，如果接错了，就像给它穿错了衣服，那肯定是不行的。
特别是氦气的输入管路，这可是它的“能量源”，得稳稳当当的。
接好之后，就该开机啦。
按下开机键的时候，就像唤醒一个小机器人一样。
这时候，你要注意看它的显示屏哦。
有些氦检仪开机后会有个自检的过程，它就像在自己给自己做个小检查，看看身体各个部位是不是都正常。
如果自检的时候出现了什么小错误提示，不要慌，按照说明书上的解决办法来就好啦。
接下来就是校准啦。
这可是很重要的一步哦。
就好比给氦检仪定个小标准，让它知道什么样的情况是正常的，什么样是不正常的。
校准的时候，要使用标准的氦气样本，按照规定的操作流程来。
这时候要是不认真，那后面检测出来的结果可能就不准确啦。
等校准好了，就可以开始检测啦。
把你要检测的东西放到合适的检测位置，就像把小宝贝放到检测台上一样。
然后让氦检仪开始工作，它就会像小侦探一样，去寻找有没有氦气泄漏的地方。
在检测过程中，要安静地等它完成工作哦，可别在旁边捣乱。
检测完了之后呢，要记得关闭氦检仪。
这就像让它休息一样。
先关闭各种气体的阀门，再按下关机键。
可别直接就关机，不然它可能会闹小脾气的。
最后呢，把连接的管路都拆卸下来，整理好，把氦检仪放在一个安全的地方，这样下次使用的时候它还能好好工作呢。
宝子，氦检仪的使用方法大概就是这样啦，是不是还挺有趣的呢？。
中科科仪氦简陋仪使用手册
B.1 检漏方式................................................B-1 B.2 检漏方法................................................B-2
目录
第一部分 仪器介绍...................................1-1
1.1 外观尺寸.................................................1-1 1.2 仪器结构.................................................1-2
附录 C 压强和漏率单位换算.................................C-1
IV
目录
KYKY
ZQJ-530 氦 质 谱 检 漏 仪
第一部分 仪器介绍
ZQJ－530 型氦质谱检漏仪是对密封容器的泄漏进行快速定位和定量测量的完整仪 器。
氦质谱检漏方法与气泡识别法、压强衰减法和卤素检漏等方法相比，除检漏原理 不同外，以检测灵敏度高、速度快和适用范围宽，尤其是选择无毒、无破坏性、质量 轻的惰性气体氦作为探索气体，而成为当今诸多检漏方法中的佼佼者。
由于质谱室在高真空状态下工作，在对质谱室维护时要先对其放大气 （在确保分子泵停止转动的情况下，通常打开分子泵前级，图 3-18）。 避免在没放大气时强行取下质谱室或离子源等部件。
KYKY 服务支持
单位：北京中科科仪技术发展有限责任公司 地址：北京市海淀区中关村北二条十三号 100190 电话：+86-10-62571592 +86-10-62565522
氦检仪操作规程
氦检仪操作规程1. 目的：正确指导SFJ-211氦检仪的使用。
2. 适用范围：本操作规程适用于SFJ-21氦检仪使用操作3. 责任：3.1 本操作规程由质保部制定修改。
3.2使用人员严格按照操作规程作业。
4. 设备:SFJ-211氦质谱检漏仪5. 设备专用辅助工具：氦气、氧气袋、喷枪、波纹管2根，快卸法兰2只6. 开机前的准备6.1 确认需要检测的设备内部无水无尘及其他漂浮物，干燥清洁6.2 确认需要检测的设备放置平稳，氦检仪放置水平，脚轮制动可靠6.3 确认需要检测的设备内部压力在1000Pa以下；如需做精密检漏被检设备内部压力≤10Pa6.4 把氧气袋装满氦气。
6.5 把需要检测的设备（管道）用波纹管连接到氦检仪上。
6.6 连接氦检仪的电源7.开机操作步骤7.1 将检漏仪的电源插头插入250V10A的电源插座（接地良好）。
7.2 将后置电源控制面板上的电源开关置于 l 位置。
7.3 主屏幕上出现启动中画面。
若启动前检漏仪已关闭很长一段时间 (数小时)，则可能需要最多三分半钟的时间稳定下来，主屏幕上出现待机中画面，同时提供可靠的量化泄漏率读数。
8. 检漏操作8.1采用氦气作为跟踪气体来探测漏眼的方法多种多样。
本规程适用真空喷吹法检测9. 关机操作步骤9.1 首先要切断氦检仪和被检工件之间相通的阀门，然后按下操作面板上的停止按钮，主屏幕上出现待机中画面，然后置电源控制面板上的电源开关置于 O 位置10.氦检仪使用注意事项10.1 检测口规管电压≯2000mv10.2 电源电压不能超过220V额定电压的±10%。
10.3 电源插座要接保护性地线10.4 0% 至 80% 相对湿度，无凝缩10.5 10°C 至 + 40 °C环境温度11. 日常维护要求11.1 对污浊或变色的真空泵油进行更换，建议真空泵油牌号为LV20 11.2 校准外部校准泄漏：确认标漏样件完好，将标漏样件和氦检仪正确连接，系统执行自动校准程序。
CHY-1使用说明书
CHY-1型测氦仪使用说明书北京三明新创2008年CHY-1型测氦仪CHY-1型测氦仪是一台超小型的质谱计，它可以测量气体样品中的氦和氢气浓度。
其测试过程是在计算机的控制下根据设定的程序进行自动测量，给出被测样品的氦和氢气浓度及氦和氢气浓度比值，在测试过程中可以在液晶显示屏上描绘出测定的曲线。
CHY-1型测氦仪可以输入样品的取样地点、经纬度和样品的代号。
结合提供的专门软件，用户用计算机可以通过R232接口进行获取测定样品的数据，获取的测定数据引入到Excel进行按经纬度绘制一条剖面的曲线。
一、测氦仪原理：CHY-1型测氦仪是一台超小型的质谱计，其由质谱分析系统、真空系统、进样系统、供电系统、计算机软件控制系统和数据处理系统组成。
它采用12V锂电瓶供电，或采用12V~15V直流电供电。
二、技术指标1．可以检测出空气中的He和H2的浓度；2．12V直流供电；3．大约10分钟可以完成一个样品。
三、质谱分析系统：质谱分析系统由真空系统、离子源、分析室（分析管道和永久磁铁）、进样系统、离子接收和离子流放大组成。
质谱计测定样品是根据出射离子质量数的大小而排列，在恒定磁场的作用下，改变加速电压而分别被接收极接收，经离子流放大器放大后输出给计算机的采集器，采集器经处理后显示出样品测定量的浓度。
真空系统由钛溅射离子泵和＋4200V的供电系统组成。
进样系统由针阀（V）、进样阀（V1、V2）、抽真空阀（V3）组成。
针阀（V）已调节好，不要再调试。
V1~V3一般为关闭状态。
图2 进样系统原理图离子源由灯丝、电离合、推斥极、电子接收极、离子引出极、离子聚焦极、离子出口缝组成。
分析室由分析管道和永久磁铁组成。
分析管道的离子偏转角130 。
离子接收极是由法拉第杯和陶瓷绝缘柱组成。
离子流放大器是由±15V、AD549静电计型放大器、高阻（1012Ω）和工作电源组成。
供电系统是由灯丝供电、电离电压、加速电压、接收电压、离子推斥电压、离子引出电压、离子聚焦电压。
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第四部分 常见故障及处理.............................4-1
附录 A ZQJ-530 氦质谱检漏仪的工作原理................A-1
A.1 质谱原理.................................................A-1 A.2 真空系统原理.............................................A-2 A.3 电子学线路的原理.........................................A-4
1.2.3 电气系统............................................1-7 1.2.3.1 开关电源.......................................1-7 1.2.3.2 主板................. ........................ 1-8 1.2.3.3 离子源板................. .................... 1-8 1.2.3.4 显示板................. ........... ...........1-8
在维护该设备时，如果需要分离设备的任何部分，首先要确保关机，并 拔下检漏仪供电插头。
所有检漏仪的真空机械部件应该使用丙酮、汽油或无水酒精等有机溶剂 清洗。 当这些溶剂被加热或喷射到较高温度的设备时会导致燃烧或爆炸。 大量的通过呼吸道吸入或皮肤接触吸收会对身体产生一定的负面效应。 故在使用该类型有机溶剂时要远离高温源，且工作场所要通风良好。
1.1 外观尺寸
仪器的外观尺寸如下：
图 1-1 外观尺寸（带小车）
第一部分 仪器介绍
1-1
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ZQJ-530 氦 质 谱 检 漏 仪
图 1-2 机身尺寸（不带小车）
1.2 仪器结构
ZQJ－530 型氦质谱检漏仪由真空系统、质谱室、电气系统、机架、外壳和小车五 部分组成。其中，真空系统包括涡轮分子泵、机械泵和组合阀体。 小车底部有四个轮子，可移动；机械泵在小车的底部，机身在小车的上部，中间通过 加强管相连，分子泵、组合阀和质谱室装在架子内；分子泵电源在机架的底板上；电 子部件集中在机架的前侧和右侧；检漏口朝上，位于机身的左前侧。 1.2.1 质谱室
B.2.1 喷吹法－－确定漏孔位置..............................B-2 B.2.2 吸入法——确定漏孔位置..............................B-2 B.2.3 钟罩法——测总漏率..................................B-3 B.2.4 背压法——测总漏率..................................B-3
2.4.3.1 正常检漏操作............... .. .. .. .........2-3 2.4.3.2 延长预抽时间..................................2-4 2.4.3.3 超高压检漏（>20Pa）...........................2-4 2.4.4 吸枪检漏...........................................2-4 2.5 停机....................................................2-5 2.5.1 维持备用..........................................2-6 2.5.2 完全停机............................... ..........2-6
质谱室（图 1-3、图 1-4）是检漏仪的核心部分，包括离子源、磁分析器、接收极、 前置放大器、全离子检测极和壳体等部分。其中每个部件都有不可替代的功能。
质谱室
图 1-3 质谱室
1-2
第一部分 仪器介绍
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ZQJ-530 氦 质 谱 检 漏 仪
图 1-4 质谱室剖面图
1.2.1.1 离子源 离子源（图 1-4、图 1-5）的作用是由灯丝产生的电子轰击气体分子，再通过电场
该检漏仪在运输过程机械泵出气口需要加上保护盖，防止机械泵油溢 出；在运输过程中该仪器切勿倒置。
该仪器的性能只能在设备要求的环境下才能得到保证。
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用手取下真空连接部分的 O 圈，千万不要使用金属工具完成此项工作， 否则会损伤密封面。
在 O 圈上轻抹少量真空脂，至发亮即可。过多的真空脂会对真空系统 造成污染。
目录
第一部分 仪器介绍...................................1-1
1.1 外观尺寸.................................................1-1 1.2 仪器结构.................................................1-2
2.4.1 首次开机..........................................2-2 2.4.2 漏率校准与氦峰调试................................2-3 2.4.3 喷吹法检漏........................................2-3
目录
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3.2.1 机械泵油面观测.....................................3-1 3.2.2 更换机械泵油.......................................3-1 3.2.3 分子泵加注润滑油...................................3-2 3.2.4 清洗分子泵.........................................3-2 3.2.5 清洗质谱室.........................................3-2 3.2.6 更换离子源........................................3-10 3.2.7 清洗组合阀........................................3-11 3.3 仪器泄漏自检...........................................3-11
第三部分 维 护.......................................3-1
3.1 日常检查...............................................3-1 3.2 真空维护与清洗.........................................3-1
附录 C 压强和漏率单位换算.................................C-1
IV
目录
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第一部分 仪器介绍
ZQJ－530 型氦质谱检漏仪是对密封容器的泄漏进行快速定位和定量测量的完整仪 器。
氦质谱检漏方法与气泡识别法、压强衰减法和卤素检漏等方法相比，除检漏原理 不同外，以检测灵敏度高、速度快和适用范围宽，尤其是选择无毒、无破坏性、质量 轻的惰性气体氦作为探索气体，而成为当今诸多检漏方法中的佼佼者。
+86-10-82548198 +86-10-82548998 客服中心：800-810-62617951 010-62565812 传真：010-62617951 邮箱：sales@ 网址：
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附录 B 氦质谱检漏仪的检漏方式和检漏方法..............B-1
B.1 检漏方式................................................B-1 B.2 检漏方法................................................B-2
1.2.2 真空系统............................................1-4 1.2.2.1 机械泵.........................................1-4 1.2.2.2 涡轮分子泵.....................................1-6 1.2.2.3 组合阀.........................................1-6 1.2.2.4 真空测量.......................................1-7
加速、聚焦形成离子束。
接收极与前 置放大器
全离子检测极
离子源Βιβλιοθήκη 图 1-5 质谱室中的若干部件
1.2.1.2 磁分析器
磁分析器（图 1-6）包括磁钢组件、偏转极靴、小极靴和偏心极靴。他们组成特定 的磁场。对从离子源引出的带电离子进行偏转，使不同质荷比的离子分离、聚焦。