全面垂直层流洁净室气流组织
气流组织_精品文档
混合流(局部单向流)洁净室
4.1 非单向流式气流组织
作用原理
当一股干净气流从送风口 送入室内时，迅速向四周 扩散、混合。同时把差不 多同样数量的气流从回风 口排走，这股干净气流稀 释着室内污染的空气，把 原来含尘浓度很高的室内 空气冲淡了，一直达到平 衡。所以气流扩散的越快 ，越均匀，那么稀释的效 果当然越好。 非单向流洁净室的原理就 是稀释作用。
4.2 单向流式气流组织
作用原理
在单向流洁净室内， 干净气流充满全室断 面，所以这种洁净室 不是靠掺混作用，而 是靠推出作用将室内 脏空气沿整个断面排 至室外，从而达到净 化室内空气的目的。 单向流洁净室的原理 就是“活塞”作用。
特点
单向流式气流组织方式要求室内断面保持一定的 风速，其折算的换气次数高达每小时数百次（200 ～600次/h），为非单向流的10～20倍，故可以使 室内达到较高的洁净度。洁净气流本身对污染源 会产生隔离作用，抑止了尘菌等污染物向房间的 扩散。
③当污染气流与送风气流逆向时，送风气流能 把污染气流抑制在必要的距离之内；
④在全室被污染的情况下，足以在合适的时间 内迅速使室内污染空气自净。
下限风速建议值
洁净室 下限风速 （m/s）
条
件
《医药工业洁净厂
房设计规范》值（ m/s）
垂直 单向流
0.12 0.3 不大于0.5
平时无人或很少有人进出，无明显热源
乱流度是为了说明速度场的集中和离散程 度而定义的，用于不同的速度场的比较。 《洁净室施工及验收规范》中规定乱流度 的计算式为：
（3）下限风速 下限风速主要式为了保证洁净室能控制以下四 种污染而制定的。
①当污染气流多方位扩散时，送风气流要能有 效控制污染的范围；
洁净室空气流组织方式
洁净室空气流组织方式
1.水平流（horizontalflow）：水平流是指洁净室内的空气流动方向与地面平行。
空气从洁净室的一侧进入，通过过滤设
备进一步净化，然后以相对均匀的速度横向流动，最后从洁净
室的另一侧排出。
水平流的特点是空气速度较低，净化效果相
对较好，适用于对空气质量要求较高的场所，如微电子制造、
生物制药等领域。
2.垂直流（verticalflow）：垂直流是指洁净室内的空气流
动方向与地面垂直。
空气从洁净室的顶部进入，通过过滤设备
净化后，以相对较高的速度下沉，然后经过地面的回收系统进
行回收循环，形成垂直循环流动。
垂直流的特点是空气速度较高，能够有效控制微尘、颗粒物的悬浮和沉降，适用于对气溶
胶粒子要求严格的场所，如电子组装、手术室等。
3.混合流（mixedflow）：混合流是指洁净室内的空气流动
方式综合了水平流和垂直流的特点。
空气从洁净室的一侧进入，经过过滤设备净化后，以一定速度沿着墙壁流动，然后再向上
或向下循环流动，形成混合流动。
混合流的特点是空气速度较高，且具有较强的湿度均匀性和控制能力，适用于对温度、湿
度要求较高的场所，如制药、实验室等。
洁净室气流流型的检测目的和方法
洁净室、洁净区的洁净度主要是靠送入足够量的洁净空气，以排替、稀释室内产生的颗粒污染物来实现的。
洁净室气流流型的检测目的是为了明确洁净室内的设备或设施对气流的影响,选择或改善气流流型使之产生湍流(涡流)，增加无尘车间的自净能力或恢复率，缩短自净时间。
洁净室气流流型的检测方法：测点布置。
按《HVAC系统气流流型测试程序》进行测试，具体步骤如下：（1）垂直单向流（层流）洁净室选择纵、横剖面各一个，以及距地面高度0.8m、1.5m的水平面各一个；水平单向流（层流）洁净室选择选择纵剖面和工作区高度水平面各一个，以及距送回风墙面0.5m和房间中心处等3个横剖面，所有面上的测点间距均为0.2~1m。
（2）乱流洁净室选择通过代表性送风口中心的纵、横剖面和工作区高度的水平面各1个，剖面上测点间距为0.2~0.5m，水平面上的测点间距为0.5~1m，两个风口之间的中线上应有测点。
（3）检测应在空气净化调节系统或层流净化装置正常运行并使气流稳定后进行。
按《风速检测规程》检测送风口或层流净化装置的风速符合规定要求。
检查压差表读数，确认洁净室压差符合规定要求。
（4）用气流流型测试发烟装置在规定的测点以及“典型位置”（产品或原料在工作环境中暴露的上方及四周等）释放可见的烟雾，并随气流形成可见的流线。
用发烟器或悬挂单丝线的方法逐点观察、记录（有条件的话可以拍摄）气流流型，并在测点布置的剖面图上标出流向。
（5）当烟雾流过“典型位置”时拍摄下流线。
烟雾应能够流经这些“典型位置”，而不因空气的湍流造成回流。
否则应对空气净化调节系统、风淋室设备位置或物料摆放位置进行调整。
（6）在操作人员进入层流保护区内进行操作时摄下流线。
操作时烟雾应不会回流到“典型位置”的任何一点，否则必须建立防止污染的规程或措施。
（7）确认所产生的湍流是否会将污染物从其它地方携带到流水线的关键操作点。
如果能，调整气流以得到小的湍流并迅速清洁。
如果不能防止湍流，则必须建立不同的空气动力学模型（如在灌装设备上使用散流器）。
洁净室空间气流组织设计方案
洁净室空间气流组织设计方案洁净室是一种具有特殊环境要求的生产和实验场所，其主要目的是通过控制环境中的颗粒物、微生物和化学污染物的浓度，以确保产品的质量和安全性。
空气流动是洁净室内部环境控制的重要因素之一，合理的空气流动组织设计可以有效地控制颗粒物和微生物的传播，保持洁净室内的净化水平。
在设计洁净室空气流动组织方案时，通常需要考虑以下几个关键因素：1.空气流动方向：洁净室的空气流动方向主要有垂直流和水平流两种。
垂直流指的是从天花板向地面的垂直气流，适用于对物体表面清洁要求较高的场所；水平流指的是水平方向的气流，适用于人员操作区域较大的场所。
根据洁净室的具体需求和工艺要求，选择合适的空气流动方向。
2.空气流速：空气流速是指空气在洁净室内的运动速度，通常以立方米/小时为单位表示。
根据洁净室的净化等级要求，选择适当的空气流速可以有效地控制颗粒物的扩散和沉积。
一般情况下，洁净室内装置设备和人员操作区域的空气流速应该不低于0.3m/s。
3.排风设计：洁净室内的排风系统是保持空气流动的重要组成部分。
通过合理的排风设计，可以有效地去除洁净室内产生的污染物和热量，保持较好的空气质量和温湿度条件。
排风系统应具备足够的风量和恰当的排气口位置，以实现洁净室内部的负压和恒定的空气流动。
4.过滤系统：洁净室内空气质量的控制主要依靠过滤系统。
过滤系统主要由初效过滤器、中效过滤器和高效过滤器组成，可以有效地去除空气中的颗粒物和微生物。
根据洁净室的净化要求和空气流动特点，合理选择过滤器的等级和数量。
5.空气循环方式：洁净室内的空气循环方式通常有两种，一种是单向流动，即空气从一个方向进入和排出，保持流线型的空气流动；另一种是混合循环，即空气从多个方向进入和排出，形成交叉和混合的空气流动。
根据洁净室的工艺要求和空间布局，选择合适的空气循环方式。
综上所述，洁净室空气流动组织设计方案需要综合考虑空气流动方向、空气流速、排风设计、过滤系统和空气循环方式等因素，以实现对洁净室内环境的有效控制和净化。
10万级洁净车间气流组织形式
10万级洁净车间气流组织形式
随着微电子技术的不断发展,对的洁净度要求越来越高。
为满足10 万级甚至更高级别的洁净要求,常规的风管钻孔排放风方式已经不再适用于目前的高精密工艺生产。
一种新的工厂气流组织形式渐被重视,即“层流”式组织。
层流式气流组织方式的基本思想是:利用层流理论在车间内部实现不同区域的垂直分层,并通过隔离带等方法防止不同区域之间的污染扩散,进而实现不同区域的独立气流控制。
具体来说,将整个车间分成上下多个隔断层,每层设置专门的供风和回风系统,同时利用边界层理论实现垂直方向的层流分离。
这种组织形式的优点在于:1每个作业区可以独立控制其供风量和回风量,实现精细化的气流管理;2利用隔断层隔离不同操作区之间的污染扩散,有效提高总体洁净程度;3垂直层流分离能最大限度避免不同层间的空气对流,彻底断绝污染传播通道。
以上就是以"10万级洁净车间气流组织形式"为标题的一篇文章内容。
文章从概念定义开始,介绍了层流式组织方式的基本思路和优点,从整体上解释了这种方式是如何满足高精密工艺对气流条件的严格要求的。
第七章 洁净室的气流组织
44.1(4.5)
4
5.1
6
7.5
9.5
2.6
3.3
4
4.9
6.2
注：加压栏中（）内数字单位为mmH2O
②加压控制
加压程度要考虑围护结构强度，开门是否方便等因素，一般控制和邻室压差在5-20Pa(0.5-2mmH2O)范围内。
2、局部发尘的控制
由于乱流洁净室内气流是乱流，尘粒可以扩散到室内任何地点。如果局部地点发尘，对发尘点不加以控制，就会影响全室。即使增加换气次数，效果也不会很明显，因此最好的办法是从局部气流组织的处理上着眼，即对局部发尘设备加以围挡和局部排风。
第七章
7-1
洁净室的主要功能是：
1.防止灰尘产生；
2.阻止灰尘进入；
3.把已有灰尘一次有效地排出去。
洁净室的气流组织就是要对上述三项功能予以保证。
从气流组织上看，洁净室的气流组织可分为三大类：
一、乱流洁净室
包括：
过滤器（或过滤器机组）顶送；带扩散风口过滤器顶送；局部孔板顶送；局部阻尼层顶送；双层壁回风顶送；风口侧送；风口斜送；散流器顶送；扩散诱导风口顶送。
二、设计时应注意的问题
1.防止过滤器漏尘
如果过滤器有漏尘发生，就使层流气流组织的优点打了折扣，所以应力求避免漏尘，对过滤器边框应采取防漏尘措施，洁净室级别越高越要注意。
2.确保室内送风气流的均匀
①提高室内送风过滤器的满布率
②提高送风速度的均匀程度
造成送风速度不均匀的原因有：过滤器阻力不均匀；静压箱内压力不均匀；向静压箱送风的管道内风速太大。
1.乱流式气流组织是依靠气流的混合稀释作用，把室内尘粒逐渐排出去，直至达到平衡。
2.由于气流为乱流，室内发生的尘粒可向任一点扩散，所以浓度分布能较快均匀，同时换气次数增大到一个界限时，室内含尘浓度不会再有明显下降，而能达到的空气洁净度级别有一个界限，大约在1000级以下。当发尘量很少时，也可能达到更高级别，但较难维持。
洁净手术部的建设与管理(二)——洁净手术室气流组织基本形式
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垂直层流手术室 垂直层流手术室是在手术台上方布放高效过滤器，侧墙
的下部布回风口。气流的上部平行垂直， 成层流状态， 下部则 向回风口倾斜， 层流受到了破坏。 在手术台的台面上及四周的 外延区域形成洁净层流区， 局部区域获得高洁净度。 为了保证手术区洁净度， 高效送风口的面积必须充足， " 级手术室应大于 .*-$-，在 #*’$ 的高度上送风速度应不小于 为减少无影灯影响气流， #*-&$ / 0。无影灯安装在送风口中间， 多采用小护罩的骨架式无影灯，大背壳式无影灯对气流影响 大， 不宜使用。 图 - 为垂直层流手术室气流示意图。
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可调洁净度手术室 上述 ( 种手术室送风量是恒定的， 气流形式是恒定的， 手
术室内的空气洁净度也是恒定的， 在使用管理中不够灵活， 不 便于手术室综合利用， 也不利于节约能源。 在大型手术部的管理中， 为了提高手术室的利用率， 多数 手术室安排的手术种类会经常变动，它们对洁净度的要求也 是不一致的。 如眼科手术要求风速低， 普通外科、 骨科手术风速可以高 一些。 医护人员和患者对风速感觉各自有差异， 为了选择最舒 适的风速， 因此经常要求对风速作适应性的调整。风速变化， 送风量发生变化， 气流形式发生变化， 室内的空气洁净度也发 生变化。 为了适应风速的调整，洁净手术室应采用独立的净化空 调机组， 送风机应采用变频调速控制系统。
"
洁净手术室气流组织形式 洁净手术室在粗、 中、 高 ! 级过滤器可靠的情况下， 送入
室内的空气是洁净的，决定手术室洁净度的等级则是气流形 式。 不同的气流形式对排除手术室自身发菌量效果不一样， 造 成手术的洁净等级也不一样。洁净手术室空气流组织的基本 原则是最大限度地减少涡流，使射入的洁净气流经过最短的 流程覆盖手术区， 希望气流的方向与尘埃重力沉降方向一致，
手术洁净室净化工程
一、引言手术洁净室是医院中重要的区域，其环境质量直接关系到手术患者的生命安全和医疗质量。
随着医疗技术的不断发展，手术洁净室的要求也越来越高。
洁净室净化工程是一项复杂且技术含量较高的系统工程，主要包括设计、施工、调试和验收等环节。
本文将从以下几个方面对手术洁净室净化工程进行详细阐述。
二、洁净室净化工程的重要性1. 保障手术患者安全：手术洁净室可以有效减少手术过程中感染的风险，保障患者的生命安全。
2. 提高医疗质量：洁净室净化工程能够提高手术环境质量，降低手术并发症的发生率，提高医疗质量。
3. 提升医院形象：洁净室净化工程体现了医院对患者的关爱和对医疗质量的追求，有助于提升医院形象。
4. 符合法规要求：我国《医疗机构管理条例》和《医疗机构消毒技术规范》等法规对手术洁净室的环境质量提出了明确要求。
三、洁净室净化工程的设计1. 设计原则：洁净室净化工程的设计应遵循以下原则：（1）安全性原则：确保手术患者在手术过程中的安全。
（2）适用性原则：满足手术室的各项功能需求。
（3）经济性原则：在满足功能需求的前提下，降低工程成本。
（4）环保性原则：降低洁净室运行过程中的能源消耗和污染排放。
2. 设计内容：（1）洁净度等级：根据手术类型和手术量，确定洁净度等级。
（2）气流组织：采用垂直层流或水平层流，确保手术室内的气流稳定。
（3）净化设备：包括空气处理机组、高效过滤器、风机等。
（4）手术室布局：合理规划手术室的布局，提高手术室的利用效率。
（5）照明、通风、排水等配套设施：确保手术室内的环境舒适。
四、洁净室净化工程的施工1. 施工准备：制定详细的施工方案，包括施工进度、人员安排、材料设备等。
2. 施工工艺：（1）基础施工：确保基础施工质量，为洁净室建设提供良好的基础。
（2）净化设备安装：严格按照厂家要求进行安装，确保设备运行稳定。
（3）净化系统调试：对净化系统进行调试，确保其符合设计要求。
（4）室内装修：采用符合洁净度要求的材料，进行室内装修。
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当前， 微电子工业已成为衡量一个国家技术水 平高低和经济发展实力 的重要标志， 大规模、 超大 规模集成电路每隔 ２ 年其关键技术就有一次飞 －３ 跃， １ 表 是大规模集成电路的发展趋势。而洁净度 的控制又与超大集成电路 （ Ｌ Ｉ 的品质息息相 Ｖ Ｓ） 关。有如下原则判断它们之间的关系： 当控制粒子 直径大于线宽的二分之一时， 就会影响集成电路上
低［。 ９ ］
过滤器的材质会影响流场的均匀度。当在过 滤器出口再加上粗糙滤材或加一层流板时， 可易使 出口 流场均匀。 ３２ 洁净度不同的速度介面影响 ．
占查￣ １
几 二 二 〔三 二 二 二 一一 二 三
图３ 风机过滤器机组的结构 １ 风 机 ２ 涡壳 ３ 导流板 ４过滤器 ． ． ． ．
其定义如下 ：
艺（＝ Ｖ２ ｖ一 ）
』十
左
／
Ｖ
月 ． 曰
ｎ一１
ｒ － － ７． － 又哀－ － 一 － － 一 －－ ， ｝ 一 －－ －－
图 １ 渐变流流线的倾角
－－工面 ＞ ＞作 ６ －区 －６ 下 ５５ 限 ００ 。 平 ｛ １ － １ － －
在洁净室中。Ｆ Ｕ是风机加上过滤（ Ｌ Ａ 的一 Ｆ ＵＰ） 个送风单元， 模块化施工 以方便增减组数； 可将 Ｆ Ｕ并联进行远程监控； Ｆ 空气由 Ｆ Ｕ的离心扇吸 Ｆ 入后在风道中将动压转换为静压， Ｕ Ｐ Ｆｌｒ 由 Ｌ Ａ ｔ ｉｅ 均匀吹出， 噪声低； 在天花板上供气压力为负压， 更
换过滤器时不会有尘埃泄漏到洁净室内［。据美 ４ ］
级， 布置生产设备方便。
表 １ 大规模集成电路的发展趋势
工艺特征 硅片直径 （ ｍ） ｍ 特征尺寸
１８ ９０ ７ ５
１８ ９４ １０ ０ １８ ９７ １５ ２ １９ ９０ １０ ５ １９ ９３ ２０ ０ １９ ９６ ２０ ０ １９ ９９ ２０ ０ ２０ ０４ ３０ ０
２
（ｍ） Ｌ ｔ
Ｄ Ａ 技术 Ｒ Ｍ
制
冷
与
空
调
第５ 卷
国环境科学学会（ Ｓ Ｉ ） Ｅ 的推荐， 当洁净室的顶棚上 Ｆ Ｕ的满布率在 ８ ％以上时送风方式为全面单向 Ｆ ０
垂直流方式［。图２ ［ ３ ］ 是典型的ＦＵ系统送风方式。 Ｆ
送风静压箱
在同一间洁净室内， 垂直层流工作区与非工作区之 间， 由于 Ｕ Ｐ Ｌ Ａ出口的空气速度有差异， 在交界面 会产生混合涡旋效应， 此界面将变成气流乱流的地 带， 气流紊流强度特别大， 微粒可能会传到设备机 台的表面而污染了设备和晶片， 见图 ４ ０ 但当高架地板仅铺设在工作区且提高非工作 区的吹风速度（ 非工作区与工作区的风速之比大于 １ ％） 有较好的气流均匀度和平行度 ， ０ 时， 可保证垂 直层流工作 区与非工作 区并用而不需要实体 间
Ｙ Ａ Ｘ ｄｎ Ｕ Ｎ ｕｏｇ Ｎ Ｋ ＷＡ Ｇ ｅ
（ｕｄ ｇ ｖ ｅ ｇ ｅｒ ｇ ｂｒ ｏｙ Ｈ ａｈｎ Ｕ ｉ ｒｔ ｏ Ｓｉ ｃ ａｄ ｃｎｌ ｙ Ｂ ｉｉ Ｓｒｉ Ｅ ｉ ｅ ｎ Ｌ ｏａ ｒ， ｚｏｇ ｖ ｓｙ ｃ ｎｅ Ｔ ｈｏ ｇ ） ｌｎ ｅ ｃ ｎ ｎ ｉ ａ ｔ ｕ ｎ ｅ ｉ ｆ ｅ ｎ ｅ ｏ
式中， ｎ 一在工作区内选择的测点； Ｖ ｒ 一在 Ｕ Ｐ Ｆｌ 下的平均出风速度 ； Ｌ Ａ ｔ ｉｅ Ｖ一在各测点下的实测速度。 ｉ （） ２ 通风效率 Ｅ 几 Ｅ 一－ －介
３ １ 送风方式的影响 ．
３１１ 送风速度 ．． 为保证均匀气流， 向流洁净室中送风速度 在单 必须均匀； 送风面的死区要小 ； Ｌ Ａ内压降也要 ＵＰ
的芯片成品率〔。 ‘ 〕
洁净室是集成电路在生产过程中为保持洁净 度所必须使用的空调系统。洁净室的主要 目的是
理的面向直洁寥宇清度 全 单 垂 流 净 内 气 净 想
国家重点基础研究发展规划项 目（ ２００６０） Ｇ ００２３３
第１ 期
袁旭东等 ： 全面垂直层流洁净室气流组织影响因素探讨
确保室内空气中的粉尘粒子、 室内的温湿度、 压力、 流场、 振动、 噪声、 照明及有害气体等满足要求。 本文主要是针对影响全面单向流洁净室中的
气流的因素进行综合分析， 在以后的工作中对实际 的装置进行模拟仿真， 使洁净室能更好的满足实际
生产的需要。 ２ 洁净室室内的气流特性 高， 室内空气相互污染少 ， 被工作活动区污染 的空 气可很快排出， 防止微粒扩散 ， 地面积尘较少 ， 自净 能力强， 室内任何地方都能达到所要求的洁净度等
Ａ Ｓ Ｒ Ｃ Ｔ ｅ ａ ｔｒ ｐｒ ｅ ｒｐ ｙ ｇ ｏ ａｔ ｉ ｔｅ ｃ ｎｙ ＭＯ ｃｉ Ｂ Ｔ Ａ Ｔ ｈｒ ｒ ｈｅ ａ ｍ ｔ ｓ ｉ ｉｐｒ ｎ ｒ ｅ ｈ ｅ ｉｅｃ ｏＣ Ｓ ｐ ｅ ｅ ｅ ａ ｅ ｌ ｎ ｍ ｔ ｏ ｎ ｆ ｉ ａ ｌ ｆ ｆ ｈ ｐｏｕｔ ｎ Ｎ ｎ ｎ ｏｍ ｔ， ａ 一 ｈｎｅ ｉｅｃ ， ｆｗ ｒ ｌｉ Ｉ ｏｄｒ ｒ－ ｒｄｃｏ ： 一Ｕ ｉ ｒ ｉ ｔｅ ｃａｇ ｅ ｃ ｎｙａ 一 ｌ ｐ ａｅｓ ｎ ｅ ｔ ｅ ｉ ｏ ｆ ｙｈ ｉ ｒ ｆｉ ｆ ｉ ｏ ａ ｌｌｍ． ｒ ｏ ｒ
一 ｌ ｐｒ ｒ ａｃ ｏ ｕｉ ｒ ｔ ｎｌ ｎｏｍ ｓｃ ａ ｔｅ ｔｏ ｏ ｓｐｌ ａ ｔｅ ｅ ｆ ｗ ｆ ｍ ｎｅ ｎ ｉ ｃｏａｃ ａｒ ｓ ｈ ｈ ｍ ｈｄ ｕｐ ｉ ｈ ｆ ｖ－ ｏ ｅｏ ｆ ｄ ｅ ｉ ｌ ｏ ｕ ｓ ｅ ｅ ｆ ｙ ｒ， ａ ｅ ｃ ｌ ｉ ｏ ｄ ｆ ｅｔ ｎｎｓ ｌ ｅ ｔｅ ｉ ｓ ｏｅ ｔ ｓ ｔｅ ａｒ ｍ ， ｒｂ ｎ ｏ ｔ ｆ ｅ ｎ ｃ ａｌｅ ｅ ｌ， ｄｖ ｅ ａｄ ｒ ｏ ｉ ｈ ｃ ｎｏ ｓ ｆｏ， ｋ ｃｙ ｉ ｒ ｌ ｉ ｓ ｆ ｅ ｖ ｈ ｅ ｃ ｎ ｐ ａ ｒ ｎ ｌ ｏ ｅ ｌ ｏ ｌ ａ ｐ ｔ， ｐ， ｔｒ ｅ ａｅ ｃｓ ｄｗ ｉ ｃｎ ｐ ｒ ｏ ｅａｔ ｌ ｉｉ ｔｅ ｕｅ ｌ ｅｌ ｓａｅ ｕｅ ｒ ｄ ｕｓ ， ｃ ａ ｈｌ ｃｒ ｎ ｃ ａａ ｓ ｎ ｆｔｒ． ａ ａ ｍ ｐｒ ｔ ｃ ｉ ｅ ｈ ｈ ｅ ａ ｙ ｘ ｎ ｙ ｓ ｈ ｕ ｓ Ｋ Ｙ Ｏ Ｄ Ｕ ｉｒ ｔ ｎｌ ｌ Ｃｅｎｏｍ Ｍｏｅ ｏ ｓｐｌ ａ Ｆｃ ｖｌ ｉ Ｄ － Ｅ Ｗ Ｒ Ｓ ｎ ｉ ｃｏａ一ｆ ｗ ａｒ ｓ ｄｓ ｕｐ ｉ ａｅ ｏ ｔ ｄｅ ｉ ｏ ｌ ｏ ｆ ｙ ｒ ｅ ｃｙ ｅ ｖ ｅ ａｄ ｅａ ｒ ｉ ｓ ｏ ｒｔ ｓ ｃ ｎ ｐ ｏ
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洁净度（． ｔ ０１ ｅ ｍ）
纯水纯气
１ ０ 一１ ０ ００ ０
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１ ０
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０． １
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１０ ００５０ ０来自１０ ０５ ０
ｓａｃ ｔｅ ｅｍｉｉ ｉｓ ｌ ｉ ａｏ ｔ ｄ ｅｔ ｎｌ ｎｏｍ， ｆ ｔｒ ｔａ ａ ｅｔ ａ ｅｒｈ ｄｔｒ ｎｓ ｃ ａ ｏ ｂ ｕ ｕ ｉｉ ｃｏ ａ ｃ ａｒｏ ｔｅ ｏｓ ｔ ｃ ｔｅ ｈ ｅ ｔ ｉ ｔ ｎ ｍｕ ｎ ｒ ｉ ｌ ｅ ｈ ａ ｃ ｈ ｆ ｆ ｈ ｉ ｒ
ｆ ｅ ｕｉ 以简化多余的框架。 ｉ ｒ ） ｌ ｎ ｔ ｔ 为确保气流垂直层流， 过滤器的压降选择也是
很重要的， 要求过滤器内的压力损失不能有偏差。 ３１２ Ｆ （ ｎ ｅ ｕｉ 系统与轴流风机系统 ．． Ｆ Ｕ ｆ ｆｔ ｎ ） ａ ｉ ｒ ｔ ｌ
的比较
近年来 ， 风机过滤单元 Ｆ Ｕ 系统广泛的应用 Ｆ
第５ 卷 第１ 期 ２００５年 ２月
制冷 与空调
ＲＥＦ ＧＥＲＡＴＩ ＲＩ ＯＮ ＡＮＤ Ｒ一ＣＯＮＤＩ ＯＮＩ ＡＩ ＴＩ ＮＧ
Ｖ ｌ５ Ｎｏ １ ｏ． ． ，
Ｆ ｂｕｒ ２ ０ ｅｒａｙ ５ ０
全面垂直层流洁净室气流组织 影响因素探讨’
袁旭东 王 科
（ 华中科技大学 建筑环境与设备实验室）
均匀 。
式中，” ｒ一名义时间常数， 为房间体积 Ｖ与单位时
Ｖ －Ｇ
间换气量Ｇ之比， ： 即 ，
－一
送风速 度 均 匀， 即气 流 的不 均 匀性 控 制 在
１０ ２％以内［０ ３ １
送风面的死区少， 则不仅要减少安装 Ｕ Ｐ ＬＡ 框架平面面积， 更重要的是采取模数化的 Ｆ Ｕ ｆ Ｆ （ｎ ａ
５
１
０． １
０． １ ０
全面单向垂直流洁净室中， 气流的流场特性会 影响到洁净室等级及污染物的控制从而使全面单 向流洁净室的洁净效果与设计之时相差甚远。有
方。以下探讨 了影响洁净室 内气流组织的因素。
上＿＿＿＿＿ ＿ ＡＥ Ｐ － ＿＿＿＿＿上＿Ｔ Ｐ Ｒ 上 ＋ ９
如下重要的参数与污染粒子控制能力有关〔， ２ １ （） Ｐ ｉ 出风速度的不均匀性（ Ｕ） Ｆｌｒ １ Ｕ Ａ ｔ Ｌ ｅ Ｎ ，
关键 词 全面垂直层流洁净室 送 风方式 速度介面 室 内设备及操作人员
ＤＩ ＣＵＳ Ｉ Ｓ Ｓ ＯＮ Ｆ Ｔ ＯＦ ＡＣ ＯＲＳ Ｔ ＨＡＴ Ｆ Ｅ Ｔ Ｒ Ｅ ＯＲＭ ＡＮＣ ＯＦ Ｅ Ｆ Ｃ ＡＩ Ｐ ＲＦ Ｅ
ＵＮＩ ＲＥＣＴ ＯＮＡＬ 一Ｆ ＣＬＥ ＤＩ Ｉ ＬＯＷ ＡＮＲＯＯＭ Ｓ
图 ４ 不同速度介面的影响
３１３ Ｆ 自 ．． Ｆ Ｕ 身结构的影响 Ｆ Ｕ的结构如图 ３ Ｆ 所示， 主要由风机、 过滤 器、 气流导引装置等部件组成， 超高效过滤器 Ｕ － Ｌ Ｐ Ａ是洁净室可否达到设计所需洁净度的最重要的
保证者〔， ８ 当捕集效率９％以上须加上漏泄指标， ｌ ７
过滤器的捕集效率愈高， 压降愈大且漏泄率亦愈
隔１ ［。 ０ １
ＵＬ Ａ Ｐ