废气排放管理办法
有机废气处理管理制度
有机废气处理管理制度一、背景介绍随着工业化进程的加快，有机废气排放量不断增加，给环境保护和人类健康带来严重挑战。
为了有效管理和处理有机废气排放，保护生态环境，提高环境空气质量，制定有机废气处理管理制度至关重要。
二、管理目标1.减少有机废气排放量，达到环境保护标准；2.提高有机废气处理效率，减少对环境和人类健康的影响；3.加强有机废气监测与数据统计，及时发现和处理问题。
三、管理内容1.有机废气排放标准根据国家有关标准和法律法规，规定有机废气排放的标准，明确有机废气的种类、排放浓度和排放方式等。
2.有机废气处理设施建设要求规定企业建设有机废气处理设施的要求，包括设备选型、安装位置、运行方式等，确保设施能够有效处理有机废气。
3.有机废气排放监测和数据统计要求企业对有机废气排放进行监测和数据统计，建立台账并及时上报相关数据，确保有机废气排放不超过规定标准。
4.有机废气排放限值调整根据环境保护要求和企业实际情况，对有机废气排放限值进行调整，确保企业合法生产的同时又能保护环境。
5.有机废气排放执法检查建立有机废气排放执法检查制度，对企业的有机废气排放进行定期检查，发现问题及时处理，确保有机废气排放符合标准。
四、管理措施1.政府部门加强监管政府部门要加强对企业有机废气排放情况的监管，建立监督检查制度，对违规排放行为进行严厉处罚。
2.企业自查自纠企业要落实有机废气处理管理制度，建立健全管理制度，加强内部监管和自查自纠工作，确保有机废气排放符合规定。
3.社会参与鼓励社会各界参与有机废气排放管理，加强公众监督，促进企业积极履行社会责任，共同保护环境。
五、管理效果评估建立有机废气处理管理制度的长效机制，定期对管理效果进行评估，总结经验和问题，不断完善管理制度，提高管理水平。
六、结语有机废气处理管理制度的建立和实施，对保护环境、维护生态平衡具有重要意义。
各级政府、企业和社会各界要共同努力，切实加强有机废气处理管理，确保环境质量和人类健康不受损害。
废气排放管理制度
废气排放管理制度废气排放管理制度第一章总则为了控制管理生产过程中废气污染物质的排放，减少废气污染物浓度和污染排放总量，改善环境绩效，特制定了本制度。
本制度适用于生产过程中各种废气、粉尘排放的控制管理，并引用了以下法规、标准：1.《中华人民共和国大气污染防治法》2.《大气污染物综合排放标准》3.《环境空气质量标准》4.《山东省固定源大气颗粒物综合排放标准》本章还定义了废气污染物和无组织排放的概念。
第二章工作职责安全环保部门是本制度的归口管理部门，负责制定和修订本规定，执行年度废气监测计划并上报工作，配合各级环保部门对公司内的废气进行监测，并对不符合项提出整改措施或管理要求，同时监督管理本制度的执行情况。
各车间负责本部门废气排放的管理，包括对监测数据中的不符合项及时进行整改，记录和统计工作，以及废气排放的污染预防、治理整改的具体落实和实施工作。
第三章废气的种类及控制方法本章介绍了废气的种类，包括工艺废气、无组织排放废气和生活废气，并提出了相应的控制方法。
工艺废气的控制包括严格控制生产过程中的工艺参数，按照操作规程规范操作，尽量避免非正常状态下工艺废气的排放；保证配套的环保装置正常运行，避免超标排放；在开、停车过程中，确保环保设施优先于生产装置开车，后于生产装置停车，减少或控制废气排放所造成的环境影响。
无组织排放废气的控制可采取除尘、吸收、隔离等方式，减少对大气产生的环境影响。
生活废气的控制包括配置净化设备以处理厨房油烟，以及在打扫前向地面洒上清水后再打扫的办法来解决各车间及部门打扫卫生时产生的粉尘。
第十一条规定，在生产异常、紧急、事故状态下，若废气污染物超标排放，排放部门必须迅速采取措施减少、控制污染物排放，避免环境污染事故的发生。
第四章介绍了废气的监督和监测管理。
其中，第十二条规定各产生废气的车间及部门应负责本部门废气处理装置的运行管理，由环保科牵头，确保废气处理装置平稳、高效的运行。
第十三条规定安全XXX应负责对废气的排放、治理情况进行监督管理，并对环境监测数据进行统计分析。
废气排放管理办法
废气排放管理办法一、引言随着工业化的不断发展，废气的排放已经成为环境保护的一个严重问题。
废气的排放对环境和人类健康产生了很大的影响，因此，为了保护环境和人类健康，各国纷纷出台废气排放管理办法。
本文将介绍废气排放管理的定义、目的、法律依据以及废气排放管理的实施措施。
二、废气排放管理的定义及目的废气排放管理是针对工业企业和其它生产单位废气排放的监管和管控，以保护环境和人类健康为目的。
废气排放管理的主要目的是降低废气排放的浓度和排放量，从而减少对环境和人类健康的损害。
废气排放管理的基本原则是防治并重、综合治理、源头治理。
防治并重是指对废气排放的防治工作不能只是靠处理和治理，应重视防止废气污染的发生。
综合治理是指从源头到终端对废气的各个环节进行全方位的治理。
源头治理是指在生产过程中，从原材料、设备、生产工艺等方面，减少或避免废气的产生。
三、废气排放管理的法律依据废气排放管理是国家的重点工作，有许多法律法规作为依据。
以下是其中的代表性法规：1.国务院《大气污染防治法》2.环境保护部《废气污染物排放标准》3.国务院《环境保护法》4.工业和信息化部《工业企业大气污染物综合排放标准》这些法律法规明确了废气排放管理的基本原则、管理机构、责任和制度等各方面的要求。
四、废气排放管理的实施措施废气排放管理的实施需要有严格的制度和措施，以下是其中的一些常用措施：1. 废气排放许可制度工业企业要想合法地排放废气，需要在环保部门申请废气排放许可证。
废气排放许可制度的实施可以使工业企业的废气排放得到严格管控。
2. 废气排放监测制度对于已经获得废气排放许可证的工业企业，在最初的验收之后需要建立废气排放监测机制。
废气排放监测制度可以对废气排放情况进行全面的监控，及时发现问题并加以处理。
3. 限制高污染物排放在工业生产中，有些污染物对环境和身体健康的伤害更大。
因此，针对这些污染物的排放，政府要加强限制，强制参照环保部门的标准进行排放。
废气污染物防治管理制度范文(4篇)
废气污染物防治管理制度范文第一章总则第一条为了规范废气污染物的排放和管理，保护环境和人类的健康，制定本制度。
第二条本制度适用于本单位所有涉及废气排放的设备及工艺，包括建设、改扩建、运行、检查、维护和管理等环节。
第三条本制度的管理经费由本单位负责。
第四条本制度由本单位环保部门负责具体实施和监督。
第二章环保责任第五条本单位的高层管理者对废气污染物排放工作负最终责任。
第六条环保部门是本单位废气污染物防治工作的具体责任部门。
第七条环保部门负责：（一）制定废气排放监测计划并组织实施；（二）检查和监督废气排放设备和工艺的运行情况；（三）组织开展废气排放的技术改造和升级；（四）负责废气排放数据的统计和上报工作；（五）组织废气污染物的治理措施的制定和实施；（六）定期对废气排放工作进行评估和审查。
第三章废气排放管控第八条本单位的废气排放需按照国家和地方环境保护相关法律法规的要求进行。
第九条本单位的废气排放必须满足以下要求：（一）达到国家和地方的废气排放标准；（二）使用合法、合规的排放设备和工艺；（三）定期对排放设备和工艺进行检查和维护；（四）在废气排放过程中不得发生恶臭、噪音、颗粒物和有害物质溢散等情况；（五）废气排放过程中必须进行监测，对监测结果进行记录和备份。
第四章废气治理措施第十条本单位应根据废气排放的特点制定相应的废气治理措施，并定期进行评估和改进。
第十一条废气治理措施可以包括以下方面：（一）减少废气排放的量和浓度；（二）加装废气处理设备；（三）优化工艺流程，降低废气排放产生的风险；（四）加强操作员培训，提高排放设备的操作效率；（五）定期进行废气治理设备的检查和维护。
第五章废气排放监测第十二条本单位应建立废气排放监测系统，对所有废气排放点进行监测。
第十三条废气排放监测应包括以下内容：（一）废气排放量的监测；（二）废气排放浓度的监测；（三）废气污染物的监测。
第十四条废气排放监测设备应符合国家和行业相关标准，并定期进行维护和校准。
废气排放管理办法范本
废气排放管理办法范本第一章总则第一条为了加强对企业废气排放的管理，保护环境，维护公众健康，促进可持续发展，制定本办法。
第二条本办法适用于所有涉及废气排放的企业，包括生产、加工、运输和储存等各个环节。
第三条废气排放管理的目标是实现废气排放的减量化、规范化和安全化，确保企业废气排放符合国家的环保要求。
第四条企业应当按照国家有关法律法规的要求，建立健全废气排放管理制度，明确责任、加强监督检查，确保废气排放符合规定。
第五条废气排放应当采用先进的技术和设备，减少或消除对环境的不良影响，确保废气排放达标。
第六条相关部门应当加强对企业废气排放的监督检查，发现问题及时予以纠正，并对违反废气排放管理规定的企业依法采取相应的处罚措施。
第二章废气排放准则第七条企业废气排放应当符合以下准则：（一）废气排放浓度不得超过国家规定的标准；（二）废气排放总量不得超过国家规定的限值；（三）废气排放应当符合环境质量要求。
第八条企业应当采取措施减少废气排放，包括但不限于以下方面：（一）优化生产工艺，降低废气的生成量；（二）改进设备，提高废气处理效率；（三）加强废气治理措施，确保废气排放符合规定。
第九条企业应当建立废气监测系统，定期对废气进行在线监测，并保留相关监测数据。
第十条企业应当确保废气排放口设置合理，排放管道接口完好，防止废气泄漏。
第三章废气排放管理第十一条企业应当委托具有相应资质的环保机构进行废气监测和治理。
第十二条企业应当建立废气排放台账，记录废气排放情况，并定期报送相关部门。
第十三条企业应当配备合格的环保人员，负责废气排放管理工作，并接受相关培训。
第十四条相关部门应当对企业废气排放情况进行定期检查，发现问题及时予以指导和整改，确保废气排放符合规定。
第十五条企业应当建立废气排放事故应急预案，确保废气排放过程中的安全。
第十六条违反废气排放管理规定的企业，将依法受到处罚，包括但不限于罚款、停产整顿等。
第四章附则第十七条监督管理部门应当加强宣传教育，提高企业和公众的环保意识，增强环保责任感。
废气排放管理办法
废气排放管理办法第一章总则第一条为加强公司废气排放管理，减轻生产、施工过程中产生的废气对环境造成的影响，根据我国《大气污染防治法》等有关法律、法规以及公司有关制度规定，制定本办法。
第二条适用于我公司各单位，以及在公司管辖范围内的生产、检修、施工等外协单位。
第二章职责第三条安全环保处1、统筹管理公司废气污染防治工作。
2、负责制订公司废气污染防治规划并组织实施。
3、负责废气排放情况的监督与考核。
4、监督废气治理设施运行管理情况和实际处理效果。
第四条机动处1、负责将废气处理设施纳入主体生产设施进行统一管理。
2、负责对各设备归口单位对废气处理设施的运行、点检、维护等工作的管理。
3、负责审核烟尘、粉尘处理和排放设施的三大规程。
4、为保证废气自动监测仪表、除尘监控系统的完好和正常运行提供必要条件。
5、负责除尘环保外协的管理；督促外协人员在其职责范围内完善废气处理设施的运行、点检、维护并做好记录；确保外排废气达标排放。
6、参与废气污染事故调查。
第五条生产处1、负责在生产系统推行清洁的生产工艺。
2、生产管控中必须考虑环境因素，负责协调生产与环保的关系。
3、在制定生产计划时，按生产设备和环保设施的能力，合理组织、安排生产计划。
对生产计划安排不合理，导致生产设备和环保设施超过实际能力而出现的“冒灰、冒烟”现象负责。
4、参与废气污染事故调查。
第六条工程管理处1、负责监督工程场地废气管理。
2、负责公司新、改、扩项目中废气治理设施“三同时”管理，保证废气治理设施与主体工程同时设计、同时施工、同时投入使用。
并对施工质量、进度等进行监督管理。
3、参与施工场地废气污染事故调查。
第七条公司绿化管理办公室负责公司道路清扫与保洁管理工作，清扫道路时应尽量控制路面扬尘，并保持路面清洁。
第八条行政管理处组织、协调处理废气污染方面的社会纠纷。
第九条各生产厂1、负责各项废气防治措施的具体落实。
2、负责在其生产过程中落实废气治理设施的及时开启和关闭，保证环保设施与生产设施同步运行。
废气排放管理办法
废气排放管理办法第一章总则第一条为加强对废气排放的管理，保护大气环境，促进经济可持续发展，根据《中华人民共和国环境保护法》等相关法律法规，制定本办法。
第二条本办法适用于中华人民共和国境内各类单位和个人的废气排放行为管理。
第三条废气排放应坚持“预防为主，综合治理”的原则，实行减量、控制和合理利用。
第四条废气排放应符合国家和地方的环境保护政策、标准和要求。
第五条废气排放管理实行分类管理，分为一般排放单位和重点排放单位。
第二章废气排放单位的监管第六条废气排放单位应当依法依规办理环境保护手续，取得排污许可证。
第七条废气排放单位应当建立并实施废气排放管理制度，明确责任部门和人员，并定期进行废气排放检测和监测。
第八条重点排放单位应当配备专业的环境监测人员，建立完善的废气排放监测设备，并定期向环保部门报告排放情况。
第九条废气排放单位应当加强废气排放设备的维护和管理，确保其正常运行，减少废气排放。
第十条废气排放单位应当加强对员工的培训，提高其对废气排放管理的意识和技能。
第三章废气排放标准第十一条国家对各类废气排放制定了相应的标准，废气排放单位应当按照国家标准排放。
第十二条废气排放单位应当定期对废气排放进行监测和检测，确保排放达到国家标准。
第十三条废气排放单位排放超过国家标准的，应当立即采取措施进行改善，限期达到国家标准。
第十四条废气排放监测机构应当具备相应的资质和能力，对废气排放进行准确、可靠的检测和监测。
第四章废气排放控制措施第十五条废气排放单位应当采取一定的控制措施，减少废气排放。
第十六条废气排放单位应当定期进行废气排放评估，找出并改善不符合标准的废气排放环节。
第十七条废气排放单位应当提高设备的能效，减少能量消耗，降低废气排放。
第十八条废气排放单位应当加强废气处理设施的维护和管理，确保其正常运行和有效处理废气。
第五章废气排放的合理利用第十九条废气排放单位应当重视废气的合理利用，推广废气能源的利用。
第二十条废气排放单位应当加强废气回收利用设施的建设和管理，提高废气能源的利用率。
电厂废气排放管理制度
电厂废气排放管理制度第一章总则第一条为了加强对电厂废气排放的监督管理，保护环境和人民健康，制定本规定。
第二条本管理制度适用于所有电厂废气排放单位，包括燃煤电厂、燃气电厂、火电厂、水电厂等各类电厂。
第三条电厂废气排放管理应坚持“预防为主、综合治理”的原则，制订完善的管理制度，加强监督检查，确保电厂废气排放不超过国家规定的标准。
第四条电厂应当加强技术改造，提高废气排放治理设施的运行效率，减少废气排放量，保护环境。
第五条本管理制度由电厂环保部门负责实施，管理部门提供技术支持和监督检查。
第六条对于违反本管理制度规定的电厂，将依法进行处理，包括罚款、停产整顿等措施。
第二章废气排放监测与监控第七条电厂应建立废气排放监测系统，定期监测废气排放情况，确保其符合国家规定的排放标准。
第八条废气监测数据应及时上传至相关部门，并向公众公示，接受社会监督。
第九条电厂应定期对废气排放治理设施进行检测和维护，确保其正常运行。
第十条电厂废气排放监测报告应保存备查，备案并留存至少五年。
第三章废气治理设施建设与管理第十一条电厂应加强废气治理设施建设，确保其符合国家规定的排放标准。
第十二条废气治理设施应经过备案登记，定期检查和维护，确保其正常运行。
第十三条电厂应建立废气治理设施维护记录，及时处理设施故障，确保废气排放量符合国家标准。
第十四条电厂建设废气治理设施应符合环保要求，经过环评审批，取得相关准入手续。
第四章废气排放标准和控制措施第十五条电厂废气排放应符合国家规定的废气排放标准，严格控制废气排放量。
第十六条电厂应建立完善的废气排放控制措施，采取减排技术，减少废气排放量。
第十七条电厂应加强原料选择和燃烧控制，减少废气排放的含污染物。
第十八条电厂应定期组织废气排放治理设备的清洗和维护，确保废气排放无漏气。
第五章废气排放监督检查第十九条电厂废气排放监督检查应定期开展，对废气排放量、监测数据等进行检查核实。
第二十条电厂废气排放监督检查结果应及时向相关部门报告，对违规行为进行处理。
化工废气管理制度
化工废气管理制度一、总则为了规范化工企业废气排放管理，保护环境、预防污染，制定本制度。
本制度适用于所有化工企业的废气处理工作。
企业应严格按照本制度执行，确保废气排放符合相关法律法规要求。
二、废气排放管理责任1. 企业应当建立健全废气排放管理制度，明确废气管理责任部门和人员，确保废气排放工作的顺利开展。
2. 废气管理责任部门应对废气排放情况进行监测和记录，及时发现问题并采取有效措施进行整改。
3. 废气管理责任人员应严格遵守相关法律法规，认真履行职责，做好废气排放管理工作。
三、废气排放监测1. 企业应当定期对废气排放进行监测，记录每次监测结果，并及时报送相关部门。
2. 监测结果应包括废气成分、浓度、排放量等信息，确保排放达标。
3. 若监测结果不符合规定要求，企业应立即停止排放，并及时进行整改，直至符合规定要求为止。
四、废气排放治理1. 企业应根据废气成分和排放量，采取合适的治理措施，确保废气排放达标。
2. 废气治理设施应定期进行检修和维护，确保正常运行。
3. 废气治理设施采取技术先进、效果明显、操作简便的设备，以提高治理效率。
五、废气排放应急处理1. 企业应建立健全废气排放应急预案，对可能发生的废气排放事故制定相应的处理方案。
2. 废气排放事故发生时，企业应立即启动应急预案，采取有效措施控制废气排放，减少对环境的影响。
3. 废气排放应急预案应定期进行演练，确保在发生事故时，能够迅速有效地进行处理。
六、废气监督检查1. 监管部门应定期对化工企业的废气排放进行监督检查，确保废气排放符合法律法规要求。
2. 监督检查结果应当及时通报企业，并对不合格企业进行处罚或整改。
3. 企业应认真对待监督检查，积极配合相关部门进行检查工作，确保废气排放合规。
七、废气排放管理责任追究1. 对违反本制度规定导致废气排放不符合法律法规要求的企业，监管部门应及时进行处理，并依法追究相关责任人的法律责任。
2. 企业内部对于违反废气排放管理制度的责任人员，应根据公司相关规定进行处理，确保责任人员受到惩罚。
废气排放管理办法范本
废气排放管理办法范本第一章总则第一条为了健全和完善废气排放管理制度，减少环境污染，保护生态环境，依据《环境保护法》等有关法律法规，制定本办法。
第二章废气排放许可第二条任何单位或个人在生产经营活动中，涉及废气排放的，应当依法申请废气排放许可，并接受主管部门的监督管理。
第三条废气排放许可申请材料应包括以下内容：1. 废气排放源的说明，包括工艺流程、废气排放点的位置、废气排放的性质和组成等；2. 废气排放的主要污染物及其浓度，以及影响废气排放的因素；3. 废气排放设施和治理设施的设计、规划和运营管理情况；4. 废气排放控制措施的技术参数、运行情况和治理效果等相关信息；5. 废气排放的环境影响评价报告；6. 其他相关材料。
第四条主管部门应当在收到废气排放许可申请之日起30日内，对申请材料进行审核，并作出是否批准的决定。
未经批准，不得进行废气排放活动。
第五条废气排放许可的有效期限为5年。
在许可期满前3个月内，应当重新申请许可，并提交相关材料。
第三章废气排放的监测与报告第六条任何单位或个人在进行废气排放活动时，应当安装并使用废气排放在线监测设备，定期采集并上报相关数据。
第七条废气排放在线监测设备应当满足国家标准，并定期进行维护和检测，确保准确可靠。
第八条废气排放在线监测数据应当按照规定的时间间隔上报至主管部门，并保留备查。
第九条废气排放在线监测数据的分析结果应当进行科学评价，并及时向相关部门和公众公布。
第十条废气排放单位应当定期编制废气排放统计报告，并按时报送至主管部门，报告内容应当真实、准确。
第四章废气排放的控制与治理第十一条废气排放单位应当采取有效的控制和治理措施，降低废气排放浓度和总量。
第十二条废气排放单位应当建立健全废气排放管理制度，确保废气排放设施正常运行。
第十三条废气排放单位应当定期对废气排放设施进行维护和清洗，保证治理效果的稳定。
第十四条废气排放单位应当积极采用环保技术和设备，推动废气治理技术的创新和提升。
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废气排放管理办法
2012-03-10发布2012-03-20实施
1目的与范围
使PM人员，设备运行工程师，系统工程师熟悉废气排放流程，了解废气异常排放处理办法，预防及减轻废气系统管理不当及人为疏忽造成的对当地大气环境的影响，确保处理后之制程废气达到国家市政废气排放标准安全排放。
2规范性引用文件
中华人民共和国国家标准大气污染物综合排放标准
3职责
相关部门因按照此办法规定的管理标准严格执行；
动力设备部相关工程师应严格管控生产废气达到国家标准排放；
4术语和定义
无
5管理内容与治理措施方法
废气污染源分析
废气处理系统所处理排放的废气主要来源于：生产工艺过程包括扩散前清洗（制绒）、去硅片氧化物（磷硅玻璃）、刻蚀等使用氢氟酸、盐酸、硝酸、四氟化碳等化学试剂挥发产生的酸性、含氟废气；清洗、扩散、PEVCD等工序产生有机溶剂废气和少量工艺尾气。
废气处理系统
根据废气性质，将废气处理系统分为一般性废气（废热）排风系统、酸性废气处理系统、工艺尾气处理系统和有机废气处理系统，新增加异丙醇回收装置，各系统考虑了将来达规模的生产要求，放大了处理系统的能力，风机采用变频式风机，可根据需要变化排风量。
5.2.1 一般废气（废热）排风系统
该系统排放一般的废气和高温排风，不需经处理而直接排放。
5.2.2 酸性废气处理系统
酸性废气主要来源于工艺流程中使用各种酸液对硅片的腐蚀、清洗过程、扩散及等离子刻蚀产生的废气，主要污染物为氟化物、硝酸、HCl、Cl2等；拟设置1套酸性废气处理装置进行处理。
酸性废气处理系统主要由废气洗涤塔、通风机、排气管和加药系统等组成。
废气先由排气管道输入废气洗涤塔，吸收液为氢氧化钠溶液，碱液经回圈喷洒而下，利用氢氧化钠溶液作吸收液净化酸雾废气，吸收效率为93%～98%。
5.2.2.1酸性废气塔结构原理：
5.2.2.2酸性废气处理流程：
工艺尾气、碱性废气处理系统
工艺尾气、碱性废气主要来源于：PEVCD工艺过程中使用氨气、硅烷等过程，碱性废气的主要成分为氨、工艺尾气中含有微量硅烷等。
采用HWR型生产工艺废气燃烧加喷淋的处理系统进行处理。
5.3.1 工艺尾气、碱性废气处理设备结构：
5.3.2 工艺尾气、碱性废气处理流程图：
有机废气处理系统
有机废气主要来源于丝网印刷和烧结过程中产生的有机气体，主要成份为异丙醇等有机物。
设置活性炭纤维吸附处理系统进行处理。
采取的活性炭纤维吸附处理系统对VOC的处理效果能达到90%以上，满足《中华人民共和国国家标准大气污染物综合排放标准》的要求。
5.4.1有机废气系统处理流程
挥发性有机化合物废气经过活性炭吸附塔，由内部活性炭过滤器吸附，处理后由风机抽引经烟囱排至大气环境。
5.4.2 活性炭吸附塔结构原理：
5.4.3 有机废气处理流程图：
工艺尾气排放分析 5.5.1 工艺废气来源
在电池芯片的加工过程中，工艺尾气主要来自扩散、PECVD 、干法刻蚀等工序，尾气中含有微量硅烷等。
应用工艺特殊气体的典型生产工艺为：
(1)扩散：扩散是在硅片表面掺入纯杂质原子的过程。
工艺生产过程中分为沉积源和驱赶两步，其化学反应为：
①：5 POCl3 3 PCl5 + P2O5
②：5P2O5 + 5 Si == 5SiO2 + 4P
(2)化学气相沉积（PECVD ）：PECVD 是在硅片上沉积氧化硅、氮化硅和多晶硅等半导体器件材料，在300～900℃的温度下通过化学反应产生以上物质的过程，其化学反应为：
△ ＞600℃
SiH4 + O2 →SiO2 + 2H2O
SiH4 + N2O →SixO2 + N2 + H2
SiH4 + NH3 →Si3N4 + H2
在上述生产工艺中，使用硅烷等多种特殊气体，绝大多数特殊气体参与了反应，所排放的尾气中的主要成份为HCl、HF等。
5.5.2 工艺尾气处理措施
1、对气源柜、注入机反应室、有毒气体间、腐蚀性气体间、氢氟酸配送间、酸液配送间的排风接入酸性废气洗涤系统进行处理后排放。
2、对于在硅片PECVD生产工序中产生的工艺废气，本项目拟采用HWR型生产工艺废气燃烧加喷淋的处理系统进行处理。
处理后产生的尾气由风机经排气筒高于地面18米排放。
5.5.3 废气排放统计
酸性/碱性废气、有机废气中主要污染物处理及排放情况见表。
从表中可见，经采取上述处理措施后，酸性废气、有机溶剂废气各排气筒主要污染物指标均能达到《大气污染物综合排放标准》GB 16297-1996中二级标准(第二时段)；碱性废气各排气筒的氨也能达到《恶臭污染物排放标准》GB 14554-93的要求。
表－6 工艺废气主要污染物处理及排放情况
注：1. 除氨执行《恶臭污染物排放标准》GB 14554-93外，其余均执行《大气污染物综合排放标准》GB 16297-1996中二级标准(第二时段)。
2. 氮氧化物以NO2计，氟化物以F计。
关于无组织排放
5.6.1 无组织排放是指排气筒高度小于15m或不通过排气筒的废气排放。
5.6.2 洁净车间有较高的颗粒洁净等级要求，因此车间内各股废气量均为有组织排放，基本没有无组织排放的废气。
权责区分
5.7.1 对于废气排放的各相关单位及工程师，应该担当各自系统制程，设备清洗等产生废气的管制，要安全有效的排放废气。
动力工程部负责废气收集，废气处理，废气排放，废气系统设备，仪表的保养维护，确保系统正常运转，保证处理完后废气达到排放标准。
5.7.2 EHS部门负责监督。
废气排放管理
5.8.1 废气收集系统，处理系统相关设备，仪表，管件由动力工程师及维修人员根据废气系统PM OI进行定期保养维护，并记录各时期自主检查表，确保系统正常运行。
5.8.2 对于废气排放使用之风机，动力工程部应做定期的检修工作。
5.8.3 对于排放出的废气环保局会随时抽测，我们会针对不符合排放标准的废气做相应的改进措施。
5.8.4 定期委外监测
5.8.4.1 监测项目：氟化物、硫酸雾、氮氧化物、氯化氢、有机化合物。
5.8.4.2 监测位置：酸/碱排气类型目前均有排放口，每年取样并作记录
5.8.5 处理设备参数设定
5.8.5.1 酸性排气洗涤塔的洗涤水PH值为~11
5.8.5.2 碱性排气洗涤塔的洗涤水PH值为~
5.8.6废气系统异常情况分析与对策
5.8.
6.1主要分为以下异常情况：生产设备异常造成废气排放，致使排放浓度增高；机台正常废气排放，但处理后未能达标。
5.8.
6.2 机台异常造成废气排放
5.8.
6.3 从所有生产设备使用气体的情况来看，就钢瓶内储存气体量都不大，Exhaust都能满足抽风排气的需求，即生产设备端异常气体泄漏，主要有气体泄漏为酸、碱性气体，会被抽到酸、碱性洗涤塔，分别用NaOH和HCl溶液循环洗涤去除有害类气体，如果因为异常废气排放浓度增大，则可以通过调节洗涤塔内水的PH值（对于酸塔提高PH设定值，对于碱塔降低PH设定值），来提高洗涤塔的处理效率。
非正常工况废气排放处理办法
5.9.1 在车间开工时，首先运行所有的废气处理装置、除害装置和废水处理站，然后再开启车间的工艺流程，使在生产中所使用的各类化学品所产生的废气都能得到处理、废水也能排到废水处理站。
车间停工时，所有的废气处理装置、除害装置和废水处理站继续运转，待工艺中的废气和废水没有排出之后才逐台关闭。
这样，车间在开、停车时排出污染物均得到有效处理，经排气筒排出的污染物浓度和正常生产时基本一致。
5.9.3 废气处理系统和排风机均设有保安电源，系统设有备用风机（N+1配置）。
当废气处理设备出现故障时，工艺生产过程排放的废气将未经处理直接排入大气，造成非正常排放。
故障一般能在2小时内修复。
5.9.4 排风系统均设有安全保护电源和报警系统，设备定期检修保养，基本上能保证无故障运行。
日常运行中，若出现故障，检修人员可立即到现场进行维修，一般操作在30分钟内基本上可以完成，预计最长不会超过60分钟。
5.9.6 废气处理系统出现故障，一般采取以下措施：
5.9.
6.1 如果全厂停电，停止生产，无污染物产生。
5.9.
6.2 为确保安全，风机仍然继续运转（采用UPS）。
5.9.
6.3 风机出现故障时，备用风机立即启动。
6 相关记录：
Q/ZTIS Z02020302-01 《废气异常排放记录表》
7 管理流程图：无
8 附录
附录A：一般酸碱废气异常排放处理流程
附录A：一般酸碱废气异常排放处理流程
附录B：有机废气处理流程
是。