烧结炉Despatch中文手册

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despatch烧结炉中文版说明书

despatch烧结炉中文版说明书

红外烧结炉操作手册目录表1 关于这个手册1.1 手册的构成1.2 协议2 系统概况2.1 介绍2.2 系统容量2.3 系统组件2.3.1 硬件2.3.2 软件3软件描述3.1 进入3.2 主屏控制和说明3.2.1 炉状态3.2.2 程序控制3.2.3 数据标记3.2.4 温度压力监控3.2.5 菜单按钮3.2.6 灯功率3.3定义和修改程序3.3.1 创建3.3.2 修改3.4导入程序4附加功能4.1 I/O接口4.1.1 数据库控制4.1.2 网络4.1.3 超声清洗4.1.4 进入线程4.2 远程进入4.2.1 控制和指令描述 4.2.2 远程操作4.3 系统参数4.4 烘箱4.5 警报处理4.5.1 警报历史4.5.2 历史记录4.6 PID 控制4.7 校准4.8 数据显示5 附加功能5.1 监控失败5.2 UPS 操作5.2.1 UPS备份功率信号响应5.2.2 UPS电池低信号响应5.3 超声清洗5.3.1 组件5.3.2 UCS 操作5.4 红外灯电压控制5.5 选择灯开关5.6 VOC 冷凝器5.6.1 一般操作5.6.2 带移动和清洗1 关于手册1.1 手册结构手册的目的是提供操作说明,理论和红外炉的运用软件的结构。

手册分成3部分。

第2部分提供软件的概述。

第3部分提供软件的描述和不同的用户界面。

第4部分描述一些选择功能,但不是支持全部模式。

1.2 规定这个标记表示有重要信息。

标记让你通过多层菜单和对话框实现功能。

粗体的对话框提示选择软件,比如菜单和对话框。

同时提示参数名字,控制界面和菜单名字和调色板名字斜体表示变量,参考或者关键概念的说明。

这种字体有说明这是个占位符,你必须提供。

1monospace 字体这种字体说明你必须从键盘输入。

同样可用来表示正确的磁盘名字、路径、程序、子程序、设备名字、函数、变量、文件名等。

2monospace bold 字体粗体这种字体说明信息计算机自动响应monospace 文中这个字体表示你必须从键盘进入的文本或者特征,这个字体也常用在磁盘驱动器的命名、路径、目录、程序、子程序、设备驱动程序命名、函数、操作、变量、文件名以及扩展名2 系统概论2.1 介绍这个文件提供了Despatch 公司的红外炉的详细的操作说明。

VSJ-300W.S型真空烧结炉操作说明

VSJ-300W.S型真空烧结炉操作说明

VSJ-300W·S型真空烧结炉操作规程一、准备工作1、开机前接通水源,气源调整至合适状态。

2、检查设备各部分(包括按钮、旋钮开头)正常后,接通控制电源。

3、检查仪表及显示是否正常。

4、按控温调节器的使用说明书设定工艺曲线。

二、装料1、机械泵抽真空后,关上炉门开头,待齿圈旋开后,停机械泵。

2、手动开放气阀,待气压平衡后,开炉门,然后关放气阀。

3、用料车将工件装到炉床上。

4、手动推合炉门后,将炉门气缸旋钮旋至关闭位置。

三、自动程序操作1、手动/自动的旋钮旋至自动,并按下自动启动按钮,此时自动启动按钮灯会点亮,显示设备的操作已进入自动状态。

2、这时,本设备即可按设定的自动程序工作,完成抽真空、加热(预先设定加热程序),冷却全过程。

具体操作见《VSJ-300W·S型真空烧结炉电控程序说明书》。

3、当风冷结束并报警响铃时,表示自动结束,这时可以将炉门打开取出试料。

然后重新装料后,再按“自动启动”按钮即可。

四、手动程序操作这是为不同使用条件下设置的操作方式。

这时手动/自动开头应在手动位置。

1、抽真空⑴当确认炉门和手动隔膜放气阀关闭后,开启机械泵。

⑵待机械泵运转正常后开启前级阀,五分钟后关闭前级阀,并开启粗抽阀。

⑶当真空度高于是1X103Pa(即压强低于1X103Pa)时,可以开启罗茨泵。

工作时,如真空度降低,低于1X103Pa时,应及时关闭罗茨泵(设备装有过压保护装置)。

⑷当真空度高于(或压强低于)50Pa时,扩散泵预热60分钟后,应先关粗抽阀,然后再开主阀,实现扩散泵的高真空抽气。

几种情况处理:A:工作过程真空度降低当低于50pa时,关主阀开粗抽阀。

当真空度恢复后关粗抽阀开主阀。

B:抽低真空(粗真空)当工作真空度低于2X10-1pa(即压强高于2X10-1pa)时,只开机械泵和罗茨泵。

这时扩散泵不加热,主阀不开,但要开前级阀。

C:二次抽真空当连续工作时,一般扩散泵不停(间隔时间不大于1小时),当对炉内充气时,先关主阀和粗抽阀,然后停罗茨泵,由机械泵作扩散泵前级泵(有维持泵的可以关罗茨泵和前级泵,开维持泵的前级管路阀)。

Despatch烧结炉简介

Despatch烧结炉简介

烧结区

图(11)烧结1区或2区上部(外部)
注:烧结1区和2区的下部与上部基本一致,也都是6根加热管
烧结区

加热管

热电偶

挡板
图(12)烧结1区或2区上部(内部)
烧结区

加热管
图(13)烧结1区或2区下部(内部)
烧结区
①加热管
图(14)烧结34区或烧结区56区的加热管(外部)
烧结区

加热管
翘曲
硅片翘曲是由于合金层及铝膜的膨胀 系数与硅基片的膨胀系数不同,在热处理 的冷却阶段产生了应力引起的。合金层以 及铝膜的膨胀系数越大,冷却时收缩也就 越大。BSF厚度越小,铝膜越薄,铝膜的 膨胀系数就越小。
风帘和VOC焚烧塔
①热电偶
VOC焚烧塔③
②风帘区
图(2)风帘和VOC焚烧塔
风帘和VOC焚烧塔
在烘干炉的入口处和出口区各有一个风帘,各有一个VOC焚烧塔,使 内部氛围与外界空气相隔绝。 ①热电偶:探测焚烧塔内废气的温度 ②风帘:见图(3)和(5) ③VOC焚烧塔:烘干过程中产生的有害有机废气经过加热并点燃焚烧, 然后再由外围设备抽走。见图(4)和(5)
Despatch烧结炉
图(1) Despatch烧结炉的整体照片
Despatch烧结炉-特点
快速热升温(≥150℃/sec) 增强冷却性能(>150℃/sec) 炉腔内温度稳定性高(±2℃) 软启动 闭路温度控制 增强的软件设置管理 先进的用户图形操作界面 主生产控制界面 数据记录 冗杂温度过高自动关机 硅片阴影最小化设计 可安全,简便地使用工作室 与视线齐平的电子装置,易于维护
目录:
• 烧结炉构造简介

烧结炉Despatch中文手册

烧结炉Despatch中文手册



18 .Recipe Directory :List of currently available recipes.(列出 了可以直接调用的程序) 19. MONITOR/RECIPE Tab:Identifies section screen the user is working on: eitherworking with a recipe or monitoring the current system.(当前的菜单工作还是监视状态) 20. Dryer & Furnace Temperatures:Compare current actual temperatures (in Celsius),setpoint temperatures and calculates PID CV (current actual value compared to set point value as a percentage for each recipe process parameter).(当前的温度显 示)(控制热区的模式使用的PID闭环温度控制或固定可控硅电源 控制(图14 ) 。)

1.确保冷却水报警的错误 2. 确保I/O 界面 Cooling Water Enable is是 开的 此按键是激活的,显绿色 3.确信冷却水的提供是有的, 并且进水是开的. 4.确信过滤器是开的,并且不是堵的. 5.确保过滤器旁的电磁阀是好的.
5.2There Is No Heat In A Drier Or Furnace Oven烘感干区或者烧结区不能
4.4Create Recipes创建新的温度工艺菜单
Change setpoints with up/down arrow 温度通过上下键来

Despatch烧结炉使用常见问题汇总

Despatch烧结炉使用常见问题汇总
• 答:没法清理,只能定期更换。更 换周期取决于厂房洁净度。由于脏 堵之后,影响了原来的进气量,从 而影响风平衡。
• 20.关于烧结8区和9区的温度差异你们建议 在多少度内算是合适,同行在其它炉子上尝 试后认为两者差异缩小,稳定性会有所提升. 关于这条经验是否也适用于DESPATCH?
• 答: 通常认为,8,9区温度差异小或者双区烧结,工艺窗口比 较大,所以相对稳定性会比较好,但是相对来讲效率不能做 到最高.而最后两区温度差异大,即单区烧结,工艺窗口会比 较窄,但是效率可能更高.温度差设多少度合适,取决于前后 道和所用浆料. 尤其是最近推出不少新的浆料,我们发现不 用公司的浆料最后两区温度设置会有很大不同. 范围可以 从最后两区相差20度到200度不等.另外,扩散方阻也是个 很重要的考虑因素, 阻值越高,结越浅,尤其是大于60以上, 建议单区烧结比较好.
• 答: 炉带太松极有可能引起炉带抖 动和带速突然变慢.
• 17.关于有机排这块,你们有什么改进,目前油污累计回落 现象比较严重,而我观察过结构,应该还是属于直立式的 那种,如果是以烟囱为模型,在转口出在增加一处吹风,确 保油污不会回落在片子上,根据经验,直囱排放出的油污 是少于弯囱的,我们现在的弥补措施是增加了外抽风,但 容易引起烧结内部峰值温度飘移,显然这不是我们所期
• 答:灯丝断了之后灯管不可能发光,可能是从侧面观察时候看到的反光。
• 13.在选用灯管时,除了线形加热功率密度外,灯管透射率也是有严 格要求的。那么下图这种灯管是否更容易造成电池片中心区域烧 结不足呢?发黄现象该如何避免呢?如果选用石墨灯管是否会有 所该善?(很明显,颜色不同区域的透光率是有较大差异的,而电 池烧结要达到最优,对主波长还是有一定要求的)
Despatch烧结炉使用常见问题汇总

Despatch操作培训

Despatch操作培训
三级密码设置 自动退出
编辑和导入方案
• 方案内容: 速度 温度 极限
red 编辑方案 UnRegiste 烘干区设置
烧结区设置
选择 查看方案 导入并运 改变方案
方案
行方案 需要保存
通常直接在编辑窗口改动方案
数据记录
烧结炉的运行
稳定中 l离线的 准备就绪
ed l降温
报警
开启 1.打开电气系统 2.开启履带 3.打开加热
red Despatch 操作培训 UnRegiste CDF-7210 红外烘干烧结炉
UnR简e介gistered
CDF-7210 烘干烧结炉
UnRegistered
课前要求
ed • 如何使用以及正确的处理危险材料 ister • 正确使用个人防护装备 UnReg • 知道Windows 和 Dos 基础
软件方面的报警。履带仍然 运转。需要重设模块以重启 加热。
履带保护
过转矩 离合器打滑
UnRegistere履编d带码速器度
编码器
张紧轮
开关选在ON位置 通常操作位置
可锁定的电源开关
ed 开关选在Tripped位置
开关选在RESET位置
UnRegister 电源超出范围或是急停情况下
重设开关
开关选在OFF/Lock位置
关闭 1.关闭加热 2.<200 ℃停止履带 3.<10ipm关闭电气系统
ter 报警状态
UnRegis 正在运行的程序
提示:在线更改参数不会被保存
监控区
系统警告/报警页面
UnRegistered
消除报警
消除报警,如果没有消除,线会是黄色的
报警和事件记录
UnRegistered

烧结炉DESPATCH中文手册

烧结炉DESPATCH中文手册
配件供应
提供设备所需的各类配件,确保设备的正 常运行。
质保期内的免费维修
在质保期内,设备出现非人为损坏,提供 免费维修服务。
维修与保养服务
提供设备的维修与保养服务,延长设备使 用寿命。
技术支持团队介绍
专业背景
技术支持团队由经验丰富的工程师组成,具备专业的技术知识和实践 经验。
服务范围
提供设备使用指导、故障排除、软件升级等全方位技术支持。
排烟系统
实现炉内温度、压力、气氛等参数的精确 控制,确保烧结过程的稳定性和产品质量 。
有效排除炉内产生的烟气和粉尘,保持炉内 环境清洁,同时减少对环境的污染。
03 操作指南
开机前准备
01
检查电源、气源
确保电源稳定、气源干净,各连接 处无漏气现象。
准备物料
根据生产需要准备好相应的物料, 并确保物料干燥、无杂质。
应急处理预案
发生烫伤事故时,应立即用冷 水冲洗伤口,并及时就医治疗

发生粉尘吸入时,应迅速脱离 现场至空气新鲜处,保持呼吸 道通畅,如呼吸困难,应及时
就医治疗。
发生触电事故时,应立即切断 电源,使触电者脱离电源,并 进行心肺复苏等急救措施,同 时拨打120急救电话。
发生机械伤害时,应立即停机 检查伤者的受伤部位和伤势, 采取必要的急救措施,并及时 就医治疗。
达标判断标准
温度均匀性
炉膛内各区域温度差异不超过±5℃,视为温度 均匀性达标。
能耗标准
空载能耗和负载能耗均符合相关行业标准,视 为能耗达标。
产品质量
通过负载烧结试验,产品无开裂、变形等缺陷,且性能指标符合要求,视为产 品质量达标。
08 售后服务与支持政策
售后服务内容

EP600中文说明书

EP600中文说明书

C=控制系统
100 LC 显示屏 101 对比键 102 帮助键 103 金属箔片 104 功能键 1 105 功能键 2 106 功能键 3 107 功能键 4 108 退出键 109 确认键 110 开始键 111 停止键 112 打开铸瓷炉顶部的键 113 关闭铸瓷炉顶部的键 114 数字键
D=自动校温装置(ATK1)
目录
第一章 介绍/标记和符号 1.1 前言 1.2 标记和符号 1.3 有关操作指示的注释
第二章 安全第一 2.1 指示 2.2 健康和安全指导
第三章 产品描述 3.1 部件 3.2 危险区域和安全设备 3.3 功能描述 3.4 附件
第四章 安装与初启动 4.1 打开包装和检查部件 4.2 选择放置地点
瓷炉是根据 EN61010-1 来设计并根据相关安全规章从生产厂家处运达。为继续使产品保有 良好的外观性能及操作安全,请务必阅读本操作手册。
-使用者必须逐步熟悉注意事项和操作规章以避免事故及损坏产品。厂商将对不当使用造 成的损失不负任何责任。此损失也不包括在保修范围内。
-在开启瓷炉前,确保电源电压与标牌所示相同。
1.3 关于操作指导的几点注释
这些操作指导帮助您正确,安全且经济的使用 EP600 铸瓷炉。 这些操作指导被分成几个结构清晰的章节,可以使你快速方便的找到特殊的专题。
务必阅读这些操作指导 为了告知您危险情况,重要信息及禁忌,这些指导包含了相应的标记/符号来标识重要 的段落。 我们建议将这些指导放在一个靠近铸瓷炉的安全的地方,一边在需要时可迅速的查阅 以获取信息。 如果您丢失了操作手册,可从义获嘉伟瓦登特客服中心免费获取。
步骤6. 安装放置铸圈用的冷却格。
注意:不要将此冷却格放在易燃物附近。
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  3. 3、如文档侵犯您的权益,请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间:9:00-18:30)。

4.8.4Working with the Runtime Statistics Screen运行时间段的数据


• Click RESET to clear all values and reset them to zero.(清除以前保存的数据) • Click EXIT to close and return to the main screen.退出这个对话框


14. ALARM STATUS: Display alarm status screen.(显示报警的状态) 15 .SYSTEM PARAMETERS:Press to display systems parameter screen and set those variables that remain constant in all recipes.(系统参数) 16 THROUGHPUT CALCULATOR:Calculate wafer throughput capacity (refer to Section(硅片计算器) 17 I/O ACCESS: Press to display the I/O Access screen, which provides irect access to the I/O control modules.(输入和输出控制)
4.8.2Working with the Alarm History Screen

点击Alarm History 就会出现下面的图. 显示所有的报警,点击 RESET就可以清除所有 的报警
4.8.3Working with the Data Graph Screen工作曲线
Attribute Trace List图象
Trace Selection Lists痕
Enable-Disable Check Box
Plot Selection List在痕迹选择盒里选择痕迹 Scale Dialog每条曲线的规模程度
设置15小时数据保存的大小排列 每10秒更新一次 12小时后自动保存 调整对话框里参数的设置
当清理文件时将出现此对话框
Desp构简图
烧结炉所在的位置
3. Despatch 烧结炉开关机操作规程(手动 操作模式)
3.1开机 : 打开炉子的facilities电源 确保facilities的排放系统已运行 打开压缩空气供应,确保达到0.75MPa 打开冷却水供应,确保达到0.4MPa 启动电脑 选择运行程序并上载 依次启动utilities 、conveyor、heater按钮 如果有必要,通过流量表调节气体流量 如果有必要,调节冷却水流量 等到系统显示 ready ,开始装载硅片
4.2两种控制方式
Optional Icon A Power Control Mode(可控硅功率控制)
Optional Icon B Indicates PID Loop Temperature Control Mode(PID闭环温度控制)
4.3Status Display状态显示
Column shows Alarm State Status(报警的状 态) Column shows Column shows System Column shows Online or Offline Stabilizing or Stable Ready or Not Ready Status(联机状态) Status(稳定性状态) Status(显示系统有没有准 备好)
3.2关机





关闭加热器heater ,冷却炉带到200℃ 停止炉带conveyor 当炉带速度小于10ipm(1英寸=2.536CM),关 闭utilities 关闭电脑 关闭炉体气体供应 关闭炉体水供应 关闭主电源
3.3烧结炉开关机操作规程(自动操作模式)
自动运行: 当注册人员在操作时,系统在导入程序后提供 一个自动按钮。 点击RUN按钮会启动自动循环系统,这样进 入运行, 然后在运输系统达到设定的工作点 并稳定工作时,加热器开始工作。当加热状态 准备好时,说明加热器到达理想的工作点。
加热



1.确信错误的报警信息,并采取纠正方法. 2.在模拟输入信号中查看加热管的状态,看是不 是在工作.绿色的说明是好的. 3.检查相关线路的保险丝是不是好的. 4.检查有没有输出电压 .可更换可控硅. 5.如果没有电压的输出,请换烧结炉的软件或者 重启. 6.如果没功率的输出,检查是不是线路出了问题.


在I/O控制屏幕上点击BELT CLEANING,就会出现下 面的对话框 清洗的步骤:1.时间的填写(清洗时间和进水/排水时间 的填写) 2.带速的填写 3.点击开始清理
5.1A Cooling Water Loop Does Not Have Water Flow冷却水循环没有冷却水
流出
4.6管理工艺菜单
加载 浏览
删除 恢复
4.7Changing Parameters修改参数

在修改参数后一般要做以下操作: SAVE:保存 RESTORE:恢复 EXIT:退出
4.8Fault Recovery错误恢复

点击桌面的14(ALARM STATUS),警报按键进入报警查看菜单.
17
16
15
14
13
12
11
10
4.1CDF Infrared Drying/Firing Screen桌
面各菜单的含义

1 .System Status :Displays current state of heaters, conveyor and utilities or other system functions.(显示目前的加热,传送和功效的状态) 2. ENABLE/DISABLE:Switches Turn separate systems ON (ENABLE) or OFF (加热和传送还有功效可以单独控制) 3 EXIT :Press to exit CDF System Operation. Figure 15 shows Exit dialog screen.(退出当前的操作系统) 4 User Information :Displays date and time, User ID and security level of use.(显示时间日期和用户的级别) 5 Light Tower:Status(灯的显示状态) Green, yellow, or red light turns ON or OFF corresponding to light tower status: • Red—Alarm condition • Yellow—System requires operator assistance • Green—System ready or running
4.4Create Recipes创建新的温度工艺菜单
Change setpoints with up/down arrow 温度通过上下键来
Rename recipe before saving changes在修改后保 存之前要先命名
4.5警报的控制范围的设定

前面的图是指高于5度或低于5度时会有黄色的 预警信号,高于10度或低于10度时会有红色的 报警信号.
4.8.5Working with the I/O Access Screen
电压的输入和输出和热电偶的输入等
4.8.6Working with the PID Loop Tuning and Control Screen
5. Belt Cleaning with the Ultrasonic Cleaning System (Optional)传送带的清
Alarm History

点击 Event History 后显示所有的报警 可以通过拨Show All Events和Show Alarm Events Only之间 的按键来选择所有显示和重要的报警显示
Toggle to Show All Events or Show Alarm Events Only,显示重要的报警


18 .Recipe Directory :List of currently available recipes.(列出 了可以直接调用的程序) 19. MONITOR/RECIPE Tab:Identifies section screen the user is working on: eitherworking with a recipe or monitoring the current system.(当前的菜单工作还是监视状态) 20. Dryer & Furnace Temperatures:Compare current actual temperatures (in Celsius),setpoint temperatures and calculates PID CV (current actual value compared to set point value as a percentage for each recipe process parameter).(当前的温度显 示)(控制热区的模式使用的PID闭环温度控制或固定可控硅电源 控制(图14 ) 。)



10. SETUP: Press to access set up screen and change or create userprivileges.Available only when logged in as a supervisor.(管理者可以进入的窗口) 11. LOG OUT :Press to log current user in or out.(登 录者调离当前用户) 12. CALIBRATION: Display Analog Input-Output Calibration screen.(校对当前的输出和输入) 13 .PID: Display PID Loop Tuning and Control screen.显示PID的控制
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