气体质量流量计参数
矽翔MEMS气体质量流量计
ExdIIBT4
6
MF系 列 气 体 质 量 流 量 计
3.3 数据记录与保存
（1） 可 保存日 总 流量数 据1000条 ，实现 自 动抄表 。
（2） 可 同时选 择 每3~240分 钟 （可以 设 置）记 录 一组数 据 ，以便 分析某 段 时间的 气 体使用 情 况，保 存 内容有 ： 年，月 ， 日，时 ， 分，总 量，流 量 数据。 一 共可以 记 录2000条 数据。
避免强行旋转带来的产品损坏。管道的连接和检漏应按相应的操作规程 进行。 4. 在产品使用过程中，或在在线情形下，清洗管道或其他可能引入大量杂 质的操作将可能对产品带来损坏。 5. 在产品安装过程中，严禁实施在线电焊作业。 6. 本产品有一定的自重，安装和搬运应按操作规程进行，以免带来伤害。
1
矽 翔MEMS流 量 产 品 系 列
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矽 翔MEMS流 量 产 品 系 列
二、产品结构与工作原理 2.1 产品结构
本 流 量 计 主 要 由 微 机 电 系 统 （MEMS） 流 量 传 感 器 部 件 、 智 能 控 制 、 显 示 及 输 出 部 件 、 测 量 管 体 、 稳流器 、 法兰及 过渡部 件 组成。 其 组成部 分 如图2-1所 示 。
目录
使用须知
1
注意事项
1
一、概述
3
二、产品结构与工作原理
4
三、产品特性参数
6
四、安装说明
7
五、仪表设置
9
六、检定
11
七、防爆安装使用要求
12
八、安全、维护及故障排除
12
九、运输及储存
13
十、开箱及检查
E+H质量计涡街流量计设定方法
涡街设定参数（1）测量气体时单位1、SYSTEM UNITE---MEASURING UNITE TYPE----CALCULATED CORRECTED VOLUME2、CURRENT OUTPUT ---V ALUE 20mA （输入量程）3、PROCESS PAREMETER—APPLICATION GAS/STEAM（气体）LIQUID（液体）注：*气体时候必须修改此参数OPERATING DENSITY（操作密度）；注：*数据表中可以查找到此参数REFERENCE DENSITY(参考密度)：标准密度注：*数据表中可以查找到此参数OPERATING TEMPERATURE(操作温度)：注：*数据表中可以查找到此参数1、SYSTEM UNITE---MEASURING UNITE TYPE----CALCULATED FLOW2、CURRENT OUTPUT ---V ALUE 20mA （输入量程）3、PROCESS PAREMETER—APPLICATION GAS/STEAM（气体）LIQUID（液体）注：*气体时候必须修改此参数OPERATING DENSITY（操作密度）；注：*数据表中可以查找到此参数OPERATING TEMPERATURE(操作温度)：注：*数据表中可以查找到此参数1、CURRENT OUTPUT ---V ALUE 20mA （输入量程）3、PROCESS PAREMETER—APPLICATION GAS/STEAM（气体）LIQUID（液体）注：*气体时候必须修改此参数OPERATING TEMPERATURE(操作温度)：注：*数据表中可以查找到此参数质量计设定参数测量液体时：1设定单位SYSTEM UNITE中2设定量程OUTPUT中找到V ALUE 20mA测量气体时：1设定单位SYSTEM UNITE中2设定量程OUTPUT中找到V ALUE 20mA3 PROCESS PAREMETER---EMPTY PIPE DETECT （EPD空管检测）选择：OFF注：*测量气体时必须关闭空管检测更换电路板后需要设定所有参数，并且要重新设定传感器参数,这些参数最好在更换前记录下来：SENSOR DATA菜单下K-FACTOR METER BODY MB NOMINAL DIAMETER .见下B图5 k-factor body MB。
汉川 MEMS气体质量流量计 MF5700系列说明书
气体质量流量计MEMS 系列MF5700在使用本产品之前，请您仔细阅读说明书，并请妥善保管，以备将来需要气体质量流量计气体质量流量计提供世界领先的流量传感器技术及产品，以满MEMS 灵敏度高，能够对极小的始动流量就可以开始计量在单个芯片上实现了多传感器集成，使其量程比达到了50:1甚至更高 全量程高稳定性、高精确度和优良的重复性支持多种气体的测量，允许客户对某些特殊气体进行现场标定 响应速度快输出方式灵活，提供LCD现场显示，也可提供RS485通讯接口由上位机查询输出数据 可通过按键配置参数 具有超量程报警指示功能便携式设计，电池供电和外部供电方式可以任意切换NPT连接方式，易于安装与使用也可根据客户需求定制其他接口，食品行业化工行业科研院校机电行业烟草行业玻璃行业分析仪器行业广州汉川仪器仪表有限公司足客户的要求设计和定制产品。
进一步的信息，请直接与我司联系。
1MF5700系列气体质原理是利用流动气体传热传质的依存关系，在其上、下游产生温度变化而得到气体的质量流量。
该流量计同时实现热源的产生与温度的测量。
当芯片处于工作状态时，在传感器的周边形成稳定的温度场分布。
一旦一定质量的气体流过传感器时，气体的流动将破坏该温度场的分布，形成特定并把这一变化转换为电信号，由一个专门的电路变送器对此信号进行放大、调理并作线性化处理。
由于不同质量的气体对传感器的周边形成稳定的温度场分布所产生的扰动不同，因而能测量气体的质量流量或总流量。
下图为该系列流量计的原理框图。
P i n 3)V C CR S 485AR S 485BP i n 4)G N D (3.6～9)VDC选配线缆量流量计是基于广州汉川仪器仪表有限公司自主研制的ＭＥＭＳ流量传感芯片，其的、取决于该气体的质量和速度的温度场分布。
微机电系统流量计芯片上的传感器将测量这一变化2* SLPM-标准升每分钟，NCM-标准立方米；** 可根据要求定制。
3注：1）按照箭头指示方向接入气流，如果反接，则显示的流量将始终为0;2）产品可以选配一根1米长带MiniUSB插头的连接通讯电缆，该线缆可以实现外部供电和通讯；其引线定义见8.1。
AMS2106数显气体质量流量计产品说明书
AMS2106数显气体质量流量计产品说明书产品特点•质量流量与温度集成测量•量程200L/min•重复性好•支持多种气体测量•可配置参数•标准Modbus-RTU通信•段码屏显示•可用电池或9～24V DC电源供电•默认NPT 1/2连接，可根据客户需求定制接口应用范围AMS2106应用于监测空气、氮气、氧气、氩气、二氧化碳等干燥洁净无腐蚀性气体（易燃易爆炸气体除外）的质量流量。
可广泛应用于高校科研、消防、环境监测、烟草、智慧农业、食品、医药等行业。
图1 AMS2106产品综述AMS2106是一款热式质量流量传感器，通过测量电阻变化计算测量气体的质量流量。
传感器采用自主研发的MEMS质量流量芯片，具有直观、精准、稳定，同时具有耐高低温、线性好、响应时间快等特点。
出厂前对AMS2106相关性能、参数进行了严格的测试和校准。
1. 外观结构和引出线1.1 外观结构及工作界面图2展示的是AMS2106的外观结构及工作界面，包含了传感器风道和工作界面等。
工作界面包括段码屏和操作按键，段码屏显示的内容有流量计Modbus通信地址、气体温度、电池、累积流量及瞬时流量。
按键包括向上、菜单和向下三个按键。
传感器风道在工作界面下方，包括进气和出气接口。
风道上的箭头指示了传感器要求的气体流向。
图2 AMS2106示意图1.2 引出线定义图3 引出线示意图颜色引线接口名称及定义黑色（粗）屏蔽线白色RS485 B-红色VCC（9～24V DC）绿色RS485 A+黑色（细）GND表1 引出线定义2. AMS2106技术指标及基本信息参数描述量程0～200L/min（标准）精度±3%FS重复性0.5%FS响应时间≤2s供电方式3节AA电池或外部电源9～24V DC输出方式RS485显示方式段码屏显示单位累计流量：SL（L，标况）瞬时流量：SLPM（L/min, 标况）最大工作压力0.8MPa压力损耗≤2000Pa标准校准气体空气（标况）引出线专用Type-C定制数据线功耗≤50mW机械接口NPT 1/2净机重量280g注：标况指25℃，1个标准大气压。
热式气体质量流量计使用说明书
□Nm3/h
□Nm3/min
流量积算仪出厂已设定，不许用户设置任何改动。改动请与厂家联系 。
1、 显示窗口，上窗口八位累计下四位瞬时流量 2、 测量状态下按键 5 秒进入设置菜单（在设置状态下按键 5 秒进
入下一组参数或返回）在设置状态下移动修改位 3、 在测量状态下按键 5 秒累计值清零，在设置状态下增加参数值
或改变设置类型/翻页功能 4、 在设置状态下，减小参数值或改变设置类型 5、 在设置状态下，启动修改状态或存入修改参数值 密码 1111 对应菜单参数 标定点 1-8 点为，非线性 标定点 9-16 点为，非线性 通讯地址出厂设为 1 通讯速率：19200、9600、4800、2400，出厂设为 9600 模拟输出：4-20MA、0-10MA、0-20MA，出厂设为 4-20MA 输出下限：0-9999，一般为 0 输出上限：0-9999，可对应量程的任何一段 小数点位：个 十 百 千位
技术指标：
测量范围：（0.05-141）NM/H(标准状态 20℃、 不含液体的洁净气体 精度：±1.0% 压力：小于 4.0MPA 温度：-20-350℃ 液晶显示：累积流量、瞬时流量 信号输出：4~20MA 0~10MA 或 0-20MA 供电电源：24VDC 探杆直径：19mm 供货结构：插入式、管段式 电气接口：M20*1.5 或 1/2NPT 防爆等级：ExdⅡCT4 质保期：产品正常使用期的一年内
单位 联系人 类序
1 被
2 测 气3 体
4 工 艺5 条6 件7
8 9 10 11 流 12 量 计 安 13 装 条 件 14
15 订 16
项
目
介质
介质 组份名称
组份 百分比%含量
含油、湿、尘量(%)
热式流量计说明书最新
热式质量流量计说明书1.概述热式气体质量流量计是基于热扩散原理而设计的，该仪表采用恒温差法对气体进行准确测量。
具有体积小、数字化程度高、安装方便，测量准确等优点。
传感器部分由两个基准级铂电阻温度传感器组成，仪表工作时，一个传感器不间断地测量介质温度T1；另一个传感器自加热到高于介质温度T2，它用于感测流体流速，称为速度传感器。
该温度ΔT=T2-T1，T2>T1，当有流体流过时，由于气体分子碰撞传感器并将T2的热量带走，使T2的温度下降，若要使ΔT保持不变，就要提高T2的供电电流，气体流动速度越快，带走的热量也就越多，气体流速和增加的热量存在固定的函数关系，这就是恒温差原理。
(1)其中—流体比重（和密度相关）V—流速K —平衡系数Q—加热量（和比热及结构相关）ΔT—温度差由于传感器温度比介质（环境）温度总是自动恒定高出30℃左右，所以热式气体流量计从原理上不需要温度补偿。
热式气体质量流量计适用介质温度范围为-40-450℃。
（1）式中流体比重和密度相关—工况体积下的介质密度（kg/m3）—标准条件下介质密度（101.325 Kpa、20℃）（kg/m3）ρnP —工况压力（kPa）T —工况温度（℃）从（1）（2）式可以看出，流速和工况压力，气体密度，工况温度函数关系已确定。
恒温差热式气体质量流量计不但不受温度影响，而且不受压力的影响，热式气体质量流量计是真正的直接式质量流量计，用户不必对压力和温度进行修正。
2．技术参数热式气体质量流量计具有如下技术优势：➢真正的质量流量计，对气体流量测量无需温度和压力补偿，测量方便、准确。
可得到气体的质量流量或者标准体积流量。
➢宽量程比，可测量流速高至120Nm/s低至0.1Nm/s的气体，可以用于气体检漏。
➢抗震性能好使用寿命长。
传感器无活动部件和压力传感部件，不受震动对测量精度的影响。
➢安装维修简便。
在现场条件允许的情况下，可以实现不停产安装和维护。
合肥科迈捷 TGF450 系列 热式气体质量流量计 产品数据手册说明书
产品数据手册 Rev1.0Date:3/03/2015 Data sheets◆ 直接式测量气体质量◆ 宽量程比，可测量低至0.3Nm/s ◆ 响应速快，测量精度高◆ 多参数测量，可测量流量、温度、压力，节省成本 ◆ 无可动部件，不堵塞◆ 安装简单，单点插入，支持不断流、在线带压安装 ◆ 多路输出信号：4-20mA 电流、脉冲输出 ◆ 智能自诊断，降低产品维护成本 ◆ 支持多种通信方式（HART 、Modbus-RTU ）目录1概述 (3)1.1测量原理 (3)1.2 产品概述 (4)2参数 (5)3材料 (8)4 安装 (8)4.1安装直管段要求 (8)4.2流量计插入管道方向选择 (10)5 仪表尺寸和外形结构 (11)5.1仪表尺寸和外形结构 (11)5.2卡套球阀连接流量计的G1/2”焊接基座 (14)5.3 分体式流量计表头 (14)产品数据手册Rev1.0 Date:3/03/2015 Data sheets产品数据手册 Rev1.0Date:3/03/2015Data sheets 1 概述1.1测量原理TGF450系列热式气体质量流量计为恒功率型热式气体质量流量计，基于热传导技术原理，采用牛顿热力学定律，以实现对气体质量流量的测量。
TGF450流量计的测量元件由两个铂电阻传感元件和一个加热元件构成（如图1.1），它们被置于流体中。
测量时，一个传感元件由加热功率为Ｐ的加热元件进行加热，使其温度升至Ｔ1；另一传感元件不被加热，以用于测量介质温度，设为Ｔ2，因此两个传感元件之间将产生温差△Ｔ=Ｔ1－Ｔ2。
当流量为零时，△Ｔ最大，随着流量Ｑ的增大，传感元件的热量被带走，从而温度Ｔ1下降，则△Ｔ减小。
根据牛顿热力学定律，加热功率Ｐ、温差△Ｔ与质量流量Ｑ之间满足下式：Ｐ/△Ｔ＝Ｋ1＋Ｋ2*F(Q)K3上式中Ｋ1、Ｋ2、Ｋ3是与气体物理性质有关的参数, Ｐ为恒定加热功率，△Ｔ为传感元件的温差，F(Q)为质量流量与温差△Ｔ满足的函数关系式，Ｑ为质量流量。
西仪CS系列200-A,C,D型气体质量流量控制器 质量流量计使用手册说明书
REV. 2.7CS系列200-A,C,D型气体质量流量控制器/质量流量计使 用 手 册2015.12目录控制方式 (20)第一部分产品说明 3.21.1 声明 ................................................... 1 3.3 调零 (20)1.2使用须知 ............................................ 2 3.4 软启动 .. (20)1.3安全注意事项 .................................... 2 3.5 延迟 (21)1.4 概述 ................................................... 3 3.6 阀控制 .. (21)1.5 技术指标 ........................................... 4 3.7 阀类型 .. (21)1.6 标定 ................................................... 5 3.8 多气体多量程 .. (21)1.6.1 标准状况 ........................................ 5 3.9 累积流量 . (21)1.6.2 制造环境 ........................................ 5 3.10 报警 . (22)1.6.3 精度调节 ........................................ 5 3.11 LED指示灯 . (22)第二部分安装第四部分维护2.1 概述 ................................................... 6 4.1 概述 (23)2.2 打开包装 ........................................... 6 4.2 注意事项 . (23)2.3 机械安装 ........................................... 6 4.2.1介质使用要求 (23)2.3.1 概述 ................................................ 6 4.2.2 阀口密封问题 .. (23)2.3.2 安装 ................................................ 13第五部分故障诊断2.3.2.1 1/4″VCR接头安装方法............ 13 5.1 初步检查 . (24)2.3.2.2 双卡套接头的安装方法 ............. 14 5.2 故障检查 . (24)2.4 电气安装 ........................................... 14第六部分保证和服务2.4.1 概述 ................................................ 14 6.1 七星电子有限保证 (25)2.4.2 连接 ................................................ 15 6.2 产品保证 . (25)2.4.3 电缆线选型表以及连接示例 ........ 17 6.3 服务 (26)2.5 工作检查 ........................................... 20 6.4 免责声明 . (27)第三部分功能介绍附录Ⅰ (28)3.1 概述 ................................................... 20附录Ⅱ (31)MASS FLOW CONTROLLER & MASS FLOW METER第1页 共30页气体质量流量控制器和质量流量计使 用 手 册第一部分 产品说明1.1声明《气体质量流量控制器和质量流量计使用手册》版权属于北京七星华创电子股份有限公司(以下简称“七星电子”)专有。
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气体质量流量计参数
气体质量流量计通常用于测量气体流量，其最重要的参数包括测量范围、精确度、响应时间、输出信号类型等等。
本文将对气体质量流量计的参数进行详细介绍。
1. 测量范围
气体质量流量计的测量范围通常指的是其能够测量的气体质量流量的最大值和最小值。
这个参数通常以单位时间内的气体质量流量表示，比如 Kg/h、g/min、mg/s等等。
不同型号的气体质量流量计的测量范围可能有所不同，通常根据使用场合和用户需求进行选择。
在选择时，需要考虑到被测量气体的质量流量范围，同时也要考虑到测量范围的精确度和响应时间等等因素。
2. 精确度
精确度是气体质量流量计的另一个重要参数。
它通常由测量的误差率来表示，比如±1%、±0.5%等都是比较普遍的精确度要求。
气体质量流量计的精确度会受到多种因素的影响，比如被测气体的流动状态、流速、温度、压力等等。
在选择气体质量流量计时，需要根据实际需求进行选择，尽可能地选择精度高、适用范围广的气体质量流量计。
3. 响应时间
响应时间是气体质量流量计的另一个重要参数。
它通常指当气体流量发生变化时，气体质量流量计能够捕捉到变化的时间。
响应时间越短，说明气体质量流量计的响应能力越强。
气体质量流量计的响应时间受到多种因素的影响，比如被测气体的密度、流速、温度等等。
在选择气体质量流量计时，需要根据实际需求进行选择，尽可能地选择响应时间短、适用范围广的气体质量流量计。
4. 输出信号类型
气体质量流量计的输出信号类型通常有模拟输出和数字输出两种。
模拟输出是指将气体质量流量转换成模拟信号输出，通常为电流信号或电压信号。
数字输出则是将气体质量流量转换成数字信号输出，通常为RS232或RS485等串口信号。
不同用户和不同场合对气体质量流量计的输出信号类型需求也是不同的。
对于需要接入服务器或PLC等设备的用户，数字输出是比较理想的选择；对于需要接入报警器或显示屏等设备的用户，模拟输出则更为合适。
5. 其他重要参数
除了上述几个参数之外，气体质量流量计还有一些其他的重要参数，比如
工作温度、额定电压、线缆长度、满量程压降等等。
这些参数也需要在选择气
体质量流量计时进行考虑，以确保气体质量流量计的可靠性和适用性。
总之，气体质量流量计的各种参数都是非常重要的，需要根据实际需求进
行选择和确定。
在选择气体质量流量计时，需要考虑多种因素，比如使用场合、被测气体的特性、监测要求等等，以尽可能地确保测量结果的准确性和稳定性。