探针台的简单介绍
wafer探针台的详细介绍
wafer探针台的详细介绍已有 264 次阅读2007-12-25 16:24|个人分类:探针台|展芯科技是专业的探针台制造商,针对现半导体行业的电性测试专业设计各种探针台，各界人士如有此方面的需求欢迎来电咨询：以下是分析晶圆和芯片的探针台详细规格的具体介绍,如有任何资料不全的地方欢迎来电给予建议和咨询.晶圆和芯片分析探针台主要分为两大类：（具体设备图片和参数请详看相册）P系列（功能多，操作方便，主要用于精度要求高的晶圆和芯片测试）尺寸分为：6寸、8寸、12寸等chuck的尺寸根据客户要测试的样品来确定s系列（功能稍简单，主要用于精度要求较高的晶圆和芯片测试）尺寸分为：4寸、6寸、8寸、12寸不等以上两种型号的探针台的主要配置可分为以下几种：探针台本体、显微镜、探针座、屏蔽箱、防震桌、真空汞附件可分为以下几种：探针、线缆+夹具以下详细介绍各种配置的具体功能和参数（具体图形可查看相册）显微镜：一般探针台使用的显微镜都需要是长工作距离的显微镜，便于样品的取放和探针的点测，以防碰坏物镜，一般配mitutoyo和 motic品牌的显微镜。
物镜的倍率根据客户的需求去选择，分为：2X、5X、10X、20X、50X、100X，显微镜型号的不同，各种物镜的工作距离也不同。
但是都可以满足使用！探针座总共分为三个规格，吸附方式也分为两种： 1、磁力翻转 3、真空吸附（移动相当灵敏，操作起来非常舒适）CM100 （此款精度为5微米，可靠性强，是广为应用的一款）整体的尺寸：38mmW*62mmD*45mmH重量：200克精度：5微米X-Y-Z的移动范围：12mm*12mm*12mm 线性运动（有很多仿冒的探针座在操作时都会发生下针时不是直线运动而是曲线运动，给点测造成了很大的困扰）PL-M06（此款精度为0.6微米，一般规格都使用此款，可靠性非常好）整体的尺寸：52mmW*96mmD*76mmH重量：550克精度：5微米X-Y-Z的移动范围：12mm*12mm*12mm线性运动PT200（此款精度最高为0.35微米,一般对测试精度要求高的客户会采用此款,且配上管状的夹具,对在电信号方面有要求的客户也有很大的帮助,下面会介绍附件的相关信息)整体的尺寸：90mmW*130mmD*90mmH重量：1000克精度：0.35微米X-Y-Z的移动范围：12mm*12mm*12mm线性运动屏蔽箱:与探针夹具配合可将测试电信号的精度提高，可抗高压1000V防震桌:在测试时防止外界的震动干扰,提高点测时的稳定性真空汞:因CHUCK上有真空吸附孔,来固定样品,或者是探针座选择真空吸附型的,都需要真空汞去提供真空动力.探针:材质上是针尖为钨的,针杆为镊的,此材质的设计非常符合测试时与晶圆和芯片的相容性可分为以下几种规格:(所有的尺寸都是指的针尖的大小)软针类(一般用于FIB的微细线路和MINI PAD)0.2微米 0.4微米 0.7微米 1微米硬针类(一般用于较粗的线路和大的PAD上)5微米 10微米 15微米 20 微米 100微米 200微米线缆方面需要注意的是接口,分为两种:COAXIAL和TRIAXIAL探针夹具分为三种:1、螺旋式（漏电精度为10PA）2、弹簧式（漏电精度为10PA，方便取放）3、管状式（漏电精度可达100FA，需配合屏蔽箱的使用，取放非常方便）。
晶圆测试设备——探针台
晶圆探针测试也被称为中间测试（中测），是集成电路生产中的重要一环。
晶圆探针测试的目的就是确保在芯片封装前，尽可能地把坏的芯片筛选出来以节约封装费用。
这步测试是晶圆生产过程的成绩单，它不仅是节约芯片封装成本的一种方法，现今已成为工艺控制、成品率管理、产品质量以及降低总测试成本的一个关键因素。
晶圆探针测试主要设备有探针测试台，探针测试机，探针测试卡三部分，全部由测试系统应用测试程序来执行测试。
探针测试台可分为手动、半自动/全自动探针台，主要负责探针测试卡的探针和晶圆上的每个晶粒上的TeStPattern之间一一对应精密接触，其接触的好坏将直接影响测试结果。
其中的位置控制模块根据工作指令,控制承片台的运动,将晶片进行定位并精确的送到测试位置，实现自动测试。
探针测试机主要实现电性测试的任务，测试程序的下载，施加电压电流，采集测试数据功能。
在测试时，测试系统按照所测芯片的类别，提取相应的测试程序。
测试程序将控制探针测试机完成初始设置，并通过测试系统发出测试信号，开始测试芯片，收存测试结果，并加以分类，给出测试结果报告。
探针测试卡是测试系统和晶圆间的连接，由电路板和探针组成。
其中电路板部分与探针测试机连接，探针是用来与晶片上的焊垫（Pad）接触，以便直接收集晶片的输入信号或检查输出值。
根据所测芯片的类别，测试卡的结构多种多样,测试卡上的探针数量和布局也各不相同。
随着芯片制造技术的飞速提升，晶圆探针测试已经体现出越来越重要的产业价值。
同时晶圆探针测试面临的挑战也越来越多，芯片的面积增大和密度提高使得芯片需要更长的测试时间以及更加精密复杂的程序、机械装置和电源来执行测试工作以及监控测试结果。
探针台工作原理
探针台工作原理
探针台是一种用于测试和测量电子元件的仪器，它可以用来检测电路板上的元件，如晶体管、集成电路、电容器、电阻器等。
探针台的工作原理是通过将探针与被测元件的引脚接触，然后通过测量电流、电压或者阻抗来确定元件的性能和参数。
探针台通常由一个固定的平台和一组可移动的探针组成。
探针台上的探针通常是金属制成的，并且具有很小的尖端，以便能够轻松地与元件的引脚接触。
探针台上通常还有一些微动装置，用于调整探针的位置和角度，以确保能够准确地与被测元件接触。
在使用探针台进行测试时，操作人员首先需要将被测元件放置在探针台上，并调整探针的位置，使其能够与元件的引脚接触。
然后，通过控制仪器，可以选择不同的测试模式，如电流测试、电压测试或者阻抗测试。
一旦开始测试，探针台会通过探针与元件的接触来获取相应的电信号，并将这些信号传输到仪器的测量部分进行处理和分析。
探针台的工作原理主要依赖于探针和被测元件之间的接触，并通过测量电信号来获取元件的性能参数。
在实际应用中，探针台可
以用来测试元件的电阻、电容、电感、导通性、失调电压等参数，从而帮助工程师和技术人员对元件进行质量控制和性能评估。
总的来说，探针台是一种非常重要的测试仪器，它的工作原理是通过探针与被测元件的接触来获取电信号，从而实现对元件性能和参数的测试和测量。
探针台在电子制造和维修领域有着广泛的应用，它可以帮助工程师和技术人员对电子元件进行准确的测试和分析，从而确保产品的质量和稳定性。
晶圆测试探针台构造晶圆探针测试工艺与晶圆测试不良分析方法
晶圆测试探针台构造晶圆探针测试工艺与晶圆测试不良分析方法晶圆测试探针台是用于测试半导体晶圆的一种高精度设备。
它主要由探针台、探针卡、探针和控制系统组成。
晶圆探针测试工艺是通过探针对晶圆进行电气测试，以验证晶圆电子器件的性能和可靠性。
晶圆测试不良分析方法则是通过分析测试结果来确定晶圆是否合格，以及排查晶圆不良的原因。
1.探针台：探针台是一个固定的平台，用于支撑和定位晶圆。
它通常由高精度的机械结构组成，可以调整晶圆的位置和姿态。
2.探针卡：探针卡是用于固定探针的组件，它通常由金属材料制成，并具有良好的导电性能。
探针卡上有多个通孔，用于安装探针。
3.探针：探针是用于与晶圆进行接触的部件，它通常由金属材料制成，并具有良好的导电性能和机械弹性。
探针的尖端可以与晶圆上的电子器件进行电气接触。
4.控制系统：控制系统用于控制探针的运动和测试过程。
它通常由一个计算机和相关的软件组成，可以接收测试指令、采集测试数据，并进行数据分析和储存。
晶圆探针测试工艺是一个多步骤的过程，主要包括以下几个步骤：1.晶圆加载：将待测试的晶圆放置在探针台上，通过探针卡将晶圆固定在探针台上。
2.控制系统设置：通过控制系统设置测试参数，包括测试电压、测试模式等。
同时，通过控制系统可以设置自动化的测试方案，以提高测试效率。
3.探针接触：控制探针的位置和姿态，使探针尖端与晶圆上的电子器件接触，并建立电气连接。
4.测试信号输入：通过控制系统向晶圆上的电子器件输入测试信号，例如电压、电流或时钟信号。
5.测试数据采集：通过探针测量晶圆上电子器件的响应信号，并通过控制系统进行数据采集。
6.测试数据分析：对采集到的测试数据进行分析，判断晶圆上电子器件的性能和可靠性。
同时，通过与标准测试数据进行比较，判断晶圆是否合格。
晶圆测试不良分析方法是通过分析测试数据来确定晶圆是否合格，以及排查晶圆不良的原因。
主要包括以下几个步骤：1.数据分析：对测试数据进行统计和分析，包括对测试参数和测试结果的分析。
非接触式电阻率探针台_原理_概述及解释说明
非接触式电阻率探针台原理概述及解释说明1. 引言1.1 概述非接触式电阻率探针台是一种用于测量物体电阻率的设备，其原理基于无接触传感器的使用。
相比传统的接触式探测方式，非接触式电阻率探针台能够更加方便、快速地获取电阻率信息，并且不会对被测试物体造成任何损伤。
本文将介绍非接触式电阻率探针台的工作原理和构成，并概括其应用范围和优势。
同时，还会详细解析该设备的原理和工作机制，以及使用流程和注意事项。
1.2 文章结构本文共分为五个部分，分别为引言、非接触式电阻率探针台原理、概述及解释说明、结论和参考文献。
其中，引言部分介绍了文章的背景和目的，概述了非接触式电阻率探针台的主要特点。
在第二部分中，我们将详细讨论非接触式电阻率探针台的工作原理及其与传统接触法的比较；第三部分将总结该设备在各个领域中的应用范围和优势，并向读者解释其原理和工作机制，同时提供使用流程和注意事项以便正确操作设备。
在结论部分，我们将简要总结非接触式电阻率探针台的重要性和实际应用意义，并展望未来发展趋势并提出建议。
最后，参考文献部分列举了本文所引用的相关文献。
1.3 目的本文的目的是介绍非接触式电阻率探针台这一先进测量设备，并全面探讨其工作原理、构成及优势。
通过细致地分析该设备在各个领域中的应用案例和实际使用过程，读者能够全面了解非接触式电阻率探针台的特点、原理和使用方法，以便更好地运用该设备进行相关测量和实验。
2. 非接触式电阻率探针台原理：2.1 电阻率测量原理：电阻率是一个物质导电性能的重要指标，它反映了物质内部的导电能力。
非接触式电阻率探针台的测量原理基于射频（Radio Frequency, RF）技术和表面感知技术。
当被测物体处于探头附近时，射频信号通过介质表面与其产生作用，并受到介质中的导电性影响。
根据射频信号的变化，可以推断出被测物体的电阻率信息。
2.2 接触式与非接触式电阻率探测方法对比：传统的接触式电阻率探测方法需要将测量探头直接与被测物体接触，这可能对某些特殊材料或敏感表面造成损伤或污染。
低温探针台用途
低温探针台用途
低温探针台是一种实验仪器，主要用于研究低温物理学领域中的材料性质，如电导率、热电效应、磁电效应、热容量等。
低温探针台通常由低温制冷单位、针状探针、实验样品夹持器等组成。
它非常适用于研究低温下物质的电学性质
和热学性质，可以被广泛应用于材料科学、物理学、化学、电子学等领域。
低温探针台的用途：
1. 电学测量：
低温探针台可以用于测量低温下材料的电学性质，如导电性、电阻率、电
导率等。
通过在低温下进行测量，研究人员可以更准确地了解材料的电学性质，并深入探究材料的电学行为。
2. 热学测量：
低温探针台也可以用于测量低温下材料的热学性质，如热传导性、热容量、热电效应等。
通过测量这些性质，研究人员可以更深入地了解低温材料的热学
行为，并进一步探究材料的热学性质。
3. 磁学测量：
低温探针台还可以用于测量低温下材料的磁学性质，如磁矩、磁导率等。
通过测量这些性质，研究人员可以更加深入地了解低温材料的磁学行为，并进
一步探究材料的磁学性质。
4. 光学测量：
低温探针台还可以用于测量低温下材料的光学性质，如光学吸收、光导率、荧光等。
通过测量这些性质，研究人员可以更加深入地了解低温材料的光学行为，并进一步探究材料的光学性质。
总之，低温探针台是一款非常实用的实验仪器，可以广泛应用于各种学科
研究中。
在材料研究、物理学、化学、电子学等领域发挥着非常重要的作用，
拥有着不可替代的地位。
探针台工作原理
探针台工作原理
探针台是一种用于研究材料性质和表面形貌的仪器。
它主要通过针尖探针与待测物表面之间的相互作用力来获取样品的信息。
探针台的工作原理可以分为两个主要方面：扫描隧道显微镜（Scanning Tunneling Microscopy，STM）和原子力显微镜（Atomic Force Microscopy，AFM）。
在STM中，针尖探针与样品表面保持一定的距离，并通过施
加一小的电压进行探测。
当电子从针尖通过隧道效应流向样品表面时，其隧道电流的变化与针尖与样品表面的距离成反比。
通过测量隧道电流的变化，可以在纳米尺度下观察到样品表面的形貌和原子结构。
在AFM中，针尖探针也与样品表面保持一定的距离。
通过在
探针上施加一个微小的力，使得探针与样品表面之间的相互作用力保持稳定。
当探针在样品表面上移动时，探针与样品表面之间的相互作用力的变化将会导致探针的弯曲。
通过测量和跟踪探针的位移，可以得到样品的表面形貌和力的信息。
探针台可以提供高分辨率的图像，并可以对样品进行定量检测，包括表面形貌、粗糙度、电导率、磁性等性质。
它广泛应用于材料科学、纳米技术、化学和生物科学等领域的研究和开发中。
探针台的应用原理高清
探针台的应用原理高清什么是探针台?探针台（Probe station）是一种用于测试和测量微电子器件的仪器。
它通常由一个台座和一些专用夹具组成，用于安装和连接被测器件。
探针台在电子行业的各个领域都有广泛的应用，特别是在集成电路设计、芯片测试以及故障分析等方面。
探针台的主要原理和构成探针台的主要原理是利用精密机械装置将微电子器件与测试仪器之间建立可靠的电连接。
其构成主要包括以下几个部分：1.台座：探针台的核心部分，通常由稳定的平台和驱动机构组成。
平台上有一个或多个夹具，用于安装和固定被测器件。
2.探针卡针：用于与被测器件的金属引脚进行电接触的专用夹具。
探针卡针一般由高导电性材料制成，如钨或钛合金等。
3.微调机构：探针台上的微调机构通常由精密的螺旋装置组成，用于调整探针卡针的位置和压力。
通过微调机构，可以实现对器件的精确定位和稳定的电接触。
4.测量仪器：探针台通常与各种测量仪器进行连接，如示波器、电源供应器、多用表等。
这些仪器用于对被测器件进行电性能参数的测试和分析。
探针台的应用领域探针台被广泛应用于以下领域:1.集成电路设计和测试：探针台可以在芯片设计的早期阶段，进行器件的功能验证和性能评估。
它可以通过电气测试，检测和验证芯片功能的正确性和可靠性。
2.芯片测试和分析：在芯片制造和组装的过程中，探针台可以用于对芯片进行电性能测试和故障分析。
它可以寻找和定位芯片中的故障，进而提供修复和优化的方案。
3.微电子器件研究：对于新型微电子器件的研究和开发，探针台可以提供一个实验平台。
借助探针台，研究人员可以对器件的电特性进行详细的测试和分析，以评估其性能和应用潜力。
4.生物医学工程：探针台在生物医学领域的应用也日益增多。
它可以用于测试和分析生物传感器、生物芯片等微型生物医学器件的性能参数，为生物医学工程研究提供有价值的数据。
探针台的优势和局限探针台作为一种测试仪器，具有以下优势：•高灵敏度：探针台能够以微米甚至纳米级的精度进行电性能测试，对于微电子器件的参数测量有着很高的灵敏度。
探针台工作原理
探针台工作原理
探针台是一种用于测量和测试微小物体表面形貌和性能的仪器，它可以通过探
针和样品之间的相互作用来获取样品的表面信息。
探针台的工作原理主要包括探针的运动控制、信号采集和数据处理等方面。
下面将详细介绍探针台的工作原理。
首先，探针台的工作原理涉及到探针的运动控制。
探针通常由纳米级的尖端和
微米级的弹簧构成，可以在三维空间内进行精确的移动和定位。
探针台通过控制电磁驱动器或压电陶瓷等装置，使探针在样品表面进行扫描和定位，以获取样品表面的形貌和结构信息。
其次，探针台的工作原理还包括信号采集。
当探针与样品表面发生相互作用时，会产生一系列的力、位移或电信号。
探针台通过内置的传感器和探测器，可以实时采集和记录这些信号，包括探针的位置、力的大小和方向等信息，为后续的数据处理提供基础数据。
最后，探针台的工作原理还涉及到数据处理。
采集到的信号需要经过放大、滤波、数字化等处理，得到样品表面的精确形貌和性能信息。
通过计算机软件或其他数据处理设备，可以对采集到的数据进行分析和处理，得到样品的高分辨率表面形貌图像、力学性能参数等信息。
总的来说，探针台通过控制探针的运动、采集信号和数据处理，可以实现对微
小物体表面形貌和性能的高精度测量和测试。
它在纳米科技、材料科学、生物医学等领域具有重要的应用价值，为科研人员和工程师提供了强大的工具和技术支持。
希望通过本文的介绍，可以更加深入地了解探针台的工作原理，为相关领域的研究和应用提供参考和帮助。
探针台工作原理
探针台工作原理
探针台是一种用于测量材料的电子性质的仪器。
它的工作原理基于电子在材料中的散射现象。
具体而言，探针台由一对探针组成，其中一个探针充当电子源，而另一个探针则用于测量材料的电子性质。
通常，探针台使用的电子源是一根极细且尖锐的金属探针，它可以通过尖端发射出电子。
探针间的距离可以微调以改变测量位置。
在测量时，以恒定电流通过电子源探针，从而产生一个电子束。
当这个电子束与材料相互作用时，部分电子会被散射。
这些散射电子会被另一个探针接收并测量。
通过对散射电子的测量，可以了解材料的电子性质，如导电性、能带结构等。
探针台还可以通过在不同位置进行测量来创建材料的电子映像。
通过在多个位置进行散射电子的测量，可以获得整个材料的电子性质分布图像，从而了解材料的表面形貌、晶格结构等。
总的来说，探针台通过电子源和探测器之间的散射电子测量来获得材料的电子性质信息，从而实现对材料的电子行为的研究。
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探针台的简单介绍
探针台是半导体表征参数测试测量非常常用的设备，应用范围非常广泛。
本文，我们仅就手动探针台及其半导体测试测量应用进行讨论。
首先，我们来看看维基百科上对于探针台（机械探针台）的定义：
“Mechanical Probe Station: The probe station utilizes manipulators which
allow the precise positioning of thin needles on the surface of a semiconductor device. If the device is being electrically stimulated, the signal is acquired by the mechanical probe and is displayed on an oscilloscope or SMU.”
尽管以上定义对于测量仪器的描述比较窄（探针台最早期的用法），但从上面我们不难了解到，探针台是一个实现精密探针定位、为用户提供半导体待测点至测量仪器连接通路的设备。
它主要包含了探针台、定位器、探针、探针夹具及电缆组件。
1、探针台。
探针台属于整个测试系统的基础，没有探针台，就相当于医生没有了手术台，在普通的病床上给病人做手术，将极大地增加手术风险。
探针台可按实现目标功能不同划分成三部分：显微镜、承载平台和精密移动组件。
（1）显微镜。
没有该配置，所有精密操作将无从谈起。
目前行业内最常见的配置有三种：体视显微镜、金相显微镜、单筒显微镜，前两种用得最多。
（2）承载平台。
该部分是构成探针台骨架，可分为显微镜支架、定位器平台和样品台（载物台）。
不同的显微镜，显微镜的支架会有所不同，通常有立柱安装和龙门安装两种配置。
定位器平台用于放置定位器（探针座）、形状和尺寸根据测试应用不同会有不同的设计形式。
样品台（载物台）用于承载待测样品，通常根据晶圆尺寸设计，常用的尺寸从2～12英寸。
除了承载样品的功能，样品台还可根据测量需求，设计为带测量通路和带精密控温的形式。
普通样品台 加热样品台
（3）精密移动组件。
以上承载平台都配套了相应的移动定位功能，方便用户对显微镜、待测样品及定位器进行精密的移动。
通常有X-Y-Z-R-T这些方向移动功能。
2、定位器。
定位器（又称探针座），帮助用户实现探针的精密移动定位。
因此，结构的稳定性、驱动丝杆精度、导向机构的直线度、往复精度、长期使用时以上指标的可靠性都是选购定位器时应当考虑的核心指标。
目前，市面上定位器主要的形式有三种：
（1）燕尾导向型。
使用燕尾导向机构，可有效地降低产品成本。
缺点是，直线导向精度比交叉滚子导轨要差，并不适用于高精度操作。
通常看到该类配置都是与配套了体视显微镜的探针台搭配使用。
（2）交叉滚子导轨导向型。
相比于燕尾导轨，直线精度有效地提高了。
适用于目前大
部分客户的定位需求。
缺点是，超高倍数下因为机构原因（XYZ机构是像蛋糕一样一层叠一层），手部操作的震动很容易传递到探针上。
在高倍下探针的震动会被观察到，很影响用户扎探针。
比如要把探针扎到几微米甚至1微米左右的PAD上，将会相对比较困难。
（3）交叉滚子导向、高稳定型。
该结构设计把定位器上移动机构（XYZ）和驱动丝杆分开，能有效地将手部操作产生的震动隔离，实现真正意义上的高精度、高稳定操作（Submicron Probing）。
3、探针、探针夹具及电缆组件。
（1）探针。
待测点需要测试探针的连接，才能与测试仪器发生交流。
常见的有：普通DC测试探针、同轴DC测试探针、有源探针和微波探针。
（2）探针夹具及电缆组件。
探针夹具用于夹持探针、并将探针连接至测量仪器。
电缆组件用于转接、延展探针夹具上的电缆组件。
根据测量应用，可粗略地划分为以下几种：I-V/CV测试用、RF测试用、高压大电流I-V/C-V测试用等。
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