手动型晶圆探针台使用说明

注 意： 每次 下 调不 要太大 ，否 则容易 使探 针受损。
第四章 测试
（1）放入 晶 圆 。 轻 拉同 步 手 柄 ，使滑 台 外 移 ，逆 时 针 旋 动 手柄 使 动 限 位片 外 移 ，然 后用 真 空吸笔 放 入 晶 圆。 （2）晶圆X Y定 位。 轻 推同 步 手 柄 ， 使滑 台 内 移 ，顺 时 针 旋 动 手柄 使 动 限 位片 内 移 ，使 晶圆 定 位。 注 意： 推 动 过 程 不要 用 力 过 大。 否 则 撞 击 力会 影 响 晶 圆探 针 台 的 精度 和寿 命 。 （3）Z向 升起 滑台。 轻 推Z向（ 垂 直 方向） 升降 柄 ，使 滑台 上 升， 探针 与 晶圆接触 。 （4）重复 以 上 各步骤 ，就 可 测试 同一 种 规格的晶 圆 了。
第五章 维护与保养
※ 本公司 产品 保 修期 为3个 月 （人为 损 坏 除外） ，客 户 在使 用时 不 得 自 行拆卸。 如 有问 题请 及 时与 我公 司 取得 联系， 否则 不给予 保 修 。
※ 产品在使时，最好在无尘环境下使用，每次在使用前都要用酒精 清洗 定位片 端面 及晶圆 放置 区域，否 则 灰尘会导致 定位片 定位 不准。
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荣誉客户（部分）：
第一章、 探针台结构
探卡 防呆螺母 搬移手柄
探卡压板 探卡载板
前后调节柄 探台升降柄
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探 卡 升降 柄 探 卡 压紧 螺母
同 步 锁紧 柄 水 平 精密 导轨 防呆板
显 微 镜安 装柄
第二章，性能及参数：
性能优势： 快速-手 柄推拉 ，同步定位，精度 度，可 提高产能。 精准-专 业的结 构设计和高精度的 加工， 保证了极高的重复 定 位精 度。 易用-人 性化设 计，操作简单。 兼容-通 用化的 设计可适用于各种 大小和 类型的晶圆测试。
2 .把探 卡放 到探卡 托板 上，轻 轻移 动 探卡 使探 针 尖对 准晶 圆 焊 盘，固定探针卡四个螺丝拧紧； 注 意： 控卡 不要碰 到晶 圆，以 免移 动 时损 坏探 针 。
3 .微调 （1） 前后 微调 整 。 前 后锁 紧螺 丝松开 ，在 用放大 的显 示 器观 看， 然 后， 手动 调 动 前 后 调节 柄图 （2 -4） 。
公司名 称： 深圳凯智通微电子技术有限 公司
公 司 地址： 深圳 市 宝安 区 西乡镇固 戍下 围 园新 联 三工 业 区A栋 电 话： 8 6-755-2 7340793, 27340 893 , 61 177298 传 真 ： 86-755-273 40798 网 址： E- ma i l：Ka i Z h i T @ i cs o ck e t. n et
专利号： Zl20 04100152975； ZL200420015309. X ZL20051 0036732.7；ZL200520063479.X ZL20061 033402.7； ZL20071 0073233. 4 ZL 20 072 011 847 6.0
目录
第 一 章，探 针 台 结 构.. . . . .. . . . .. . . . .. . .4 第二章，性能 参数..... ..... ..... ..... .5 第 三 章， 调 试. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5 第 四 章， 测 试. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7 第 五 章，维 护 与 保 养.. . . . .. . . . .. . . . .. . .8 第六章，技术 支持..... ..... ..... ..... .8
（4）探针 压 力 微调。 逆 时针 旋动Z向 调节柄 ，慢 慢 地降 下探 卡 托板使探 卡 微小下降 （ 图2- 3）， 下 降一 点后 ， 摆动升降 杆 ，通过显 微 镜 ， 观察 探 针 的 变形 受 力 情 况，直 到 适 宜 的受 力 状 态 ， 确保 探 针 轻 微接 触 晶 圆焊盘。
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手动型晶圆探针台 WPS-2010
请在使用前详细阅读本说明书
企业简介
深圳凯智通微电子技术有限公 司 是一 家 集 科 研、 生 产 、 销售 于 一 体 的技 术 密 集 型高 新 企 业 。公 司 专 业 研发 各类 应 用于 集 成 电 路功 能 验 证 的测 试座 、 老化 座 、 烧 录座 、 集 成 电路 应用 功 能测 试 夹 具 ；提 供 专 业 的集 成电 路 开/短 路 测试 连接 方 案 ；提 供BGA返修 一 站式 服 务： BGA植 球、 测 试、 拆板 、 除胶 、 BGA贴 装， 专 业制 作BGA植 球治 具 、BGA植球 钢网 。
公 司历 来 视 产 品 质量 为 企 业 生命 ， 为 保 证 产品 质量 ， 公司 配备 有 先 进 的 生 产工 艺 及全 套 检测 仪 器 设 备； 已 实 现 技 术开发 、 生 产装配 、质 量 检 测 、 老化 筛 选、 大 批量 生 产 流 程 的 规 范 化 管 理；凭 借 自 身完善 的质 量 保 证 体 系， 公 司研 发 的产 品 在 国 际市 场 享 有 较 高的声 誉 ； 我们坚 持“ 技 术 是 根 ，创 新 魂， 人 才是 本 ” 的 原则 来 发 展 自 己的事 业。 我们奉 承： “ 诚 信 为本 ， 质 量 取信， 服 务 至 上， 客 户 第 一 ”，我 们 承 诺为客 户提 供 一 流 的 产品 、 一 流 的 服务 、 特 优 的价 格 ， 真 诚 地为客 户 服 务。技术规格：Fra bibliotekXY轴：
类型：高精度导轨
平 台行 程：120mm
精 重
准 复
度 定
：位<精-+度7.0：<微+-米0（.4在微1米20（毫0.米00行1英程寸内））
第三章 调试：
1． 调整限位 片 ，确保晶 圆 精确定位
（1） 轻拉 锁紧 柄 ，把滑台 拉 出来，松 开 限位 片锁 紧 螺丝 ，把 待 测 晶 圆放 入一 颗 ， 调 整四 块 限 位 片 的长 度 ， 把晶圆 放置 在一个适当 的 位置 ，然 后 锁紧 四个 固 定 螺 丝。如 图 （2 -1）
公司 全 职员工 中 ， 专业技术 人 员占40%，直 接 从事研 发 的 技术人 员 占20%。其 中大多 人是 具有 高学 历 、经 验丰 富 的高 级 工程 师， 有 较强 的 新 品开 发能 力 。公 司研 发 的应 用于BGA集成 电路 功 能验 证的 测 试座、 适 配 器已 获得 多 项国 家发 明 专利 和实 用 新型专 利 。
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※ 长时间不使用时，请用防静电袋密封保存，避免灰尘落入，影响 探针台的使用寿命。
第六章：技术支持
我们提供了全方位的技术服务，您有任何问题请及时与我们取得联 系,我 们 以最快 的速 度给予 技术 支援。
电话：86 - 755 - 27340793 27340893 传真：86 - 755 - 27340798 邮 编：518126 E-mail:kaizhit@
动限位片
静限位片
晶圆
图2-1
限位片锁紧螺丝 同步锁紧柄
图2-2
（2） 逆 时 针 方 向 转 动 手 柄， 将 晶 圆 定位 好 ， 并 将滑 台 往 里 轻 推 进 。图 （2- 2）
（3） 用 显 微镜 察 看 看 各 限位 片与 晶 圆接 触 是 否 平 直， 晶 圆 和 定 位钢 片之间 是否缝 隙， 如果限 位片与晶圆之 间有间隙，可 轻 推 限 位片 ，直 到晶圆 和定 位钢片 没有 缝 隙为 止。
公 司 以 “ 专业 “ 为 企 业 精 神 ， 坚 持 专而 精 的理 念， 为 客户 提供技 术 之 专、 产 品 之 专、 服 务 之 专、 合 作 之 专，以 ” 创 一流信誉 、 树一 流形 象 、销 一 流 产 品、 求一 流 效率 “ 为 目 标，坚 持 ” 精益求精 、 用户 满意 “ 的宗 旨， 追 求卓 越 、 追 求完 美 。
左右调节柄
Z向 调 节 柄
前后锁紧螺丝 前后调节柄
图2-4
图2-3
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左右调节柄
旋转调节柄
图2 - 5
（2）左右 微 调 。 调 整左 右调 节 柄图（2- 5） ；通过显 微 镜查看， 轻 轻 调 节左 右 位 置 ，直 至 探 针 与 晶圆 焊 盘 对 准的 适 当 位 置 。
（3）角度 微 调 。 如 果通 过 前 后 调节柄 和 左 右 调节 柄 不 能 完 全把 每 一 个 探针 调 整 到 对准 晶圆 的 焊盘，这 时 要调节旋 转 调 节 柄（ 图2 - 5） 。