触摸屏ITO制程
触摸屏制程介绍
触摸屏制程流程
Cover Glass
黏贴组合
Sensor
OCA
Sensor Glass
模块工程
切割
抛光 Sensor film 化学强化
Glass + film
Border 走线
OCR
FPCa
上油墨
Cover Lens 制程
(1) 玻璃 (2) 雷射切割 (3) CNC整边、抛光 (4) 四角研磨
G/G
Cover Glass 0.7mm
OCA
Sensor Glass
0.15mm
0.5mm
总厚：1.35 mm
GFF
Cover Glass OCA Sensor Film 0.7mm 0.1mm 0.05mm
总厚：1 mm
OCA
Sensor Film
0.1mm
Gorilla Glass 调整七种成分，包括改 变多种氧化物含量(秘密成分)，可增 加黏性、提高玻璃抗压力、加速离子 交换。
化学强化等级
Gorilla 各代强度差异，主要为离子交换程度差异
强化等级差异 强 钾离子强化层越厚，具有 较佳机械抗压力及抗刮性
弱
Cover lens 镀膜种类
1. Anti-Relfrection (AR coating) 抗反射涂层，降低反射光线 2. Anti-Sumdge (AS coating) 覆盖表面细孔，降低接触角度达到滑顺、防污。 3. Hard coating 硬度强化、耐刮 4. Anti-Glare (AG coating) 增加表面细孔降低反射光线、高精细型可防指纹
G/G Process Flow
G/G = Cover Glass + Sensor Glass 使用OCA胶贴合在一起
ITO制程原理
二.各站原理介紹1.ITO製程原理ITO玻璃切割、磨邊、倒角1.首先大片玻璃經切割機切割後可分為:300.00 × 350.00，300.00 × 400.00，370.00 × 480.00mm三種尺寸。
1.1切割後(切割檢驗)使用游標卡尺檢測,檢驗公差為產品尺寸＋0.20mm ± 0.06mm 例:300.00 × 350.00mm尺寸300.00＋0.20 ± 0.06mm即300.14mm~300.26mm350.00＋0.20 ± 0.06mm即350.14mm~350.26mm2.磨邊加工：分為C面及R面玻璃，二者不同在R面玻璃必須做圓弧切邊加工(白邊)2.1磨邊加工完成後使用游標卡尺檢測，玻璃基板尺寸公差為± 0.20mm例:300.00 × 350.00mm尺寸300.00 ± 0.20mm 即299.80~300.20mm350.00 ± 0.20mm 即349.80~350.20mm2.2圓弧切邊(白邊) 使用peak量測，量品為＜1.50mmTN、STN玻璃亥方向角，角度(5±1.0)，位置兩者不同。
TN(5±1.0)：在玻璃的長邊上。
STN(5±1.0)：在玻璃的短邊上。
目的：經由玻璃的方向角方向能很容易分辨出是TN玻璃或是STN glass，降低作業時人為的混料及誤判情形。
為何磨R面?當玻璃再進行拋光作業時(有離心力)C面玻璃的邊緣與拋光機P.P盤上的Template(模板)，相互碰撞易造成崩角、缺角、破片；甚至造成玻璃刮傷.。
2.3 方向角及倒角使用peak測量，其公差範圍如下：※STN玻璃為經拋光研磨後的玻璃。
倒角尺寸：(單位mm)方向角倒角3.0＋1TN辨識角何謂SiO2 、ITO ?SiO2:二氧化矽ITO :氧化銦錫[indium tin oxide]2.為何基板要鍍SiO2、ITO ?鍍SiO2原因: SiO2為保護膜[絕緣層],避免玻璃中的鹼性離子釋出玻璃表面，形成導電層；若未鍍SiO2，讓玻璃中的鈉、鉀離子釋出會干擾顯示畫面；在密封部位滲出，有可能使密封膠黏著力下降。
常用ITO膜制程问题点汇总
/
2.PET自带麻点（- 批量黑影不良 09版有改善）； （b＊值过
高）
/
易产生压伤
轻微
建议OCA离形膜能加 厚
1.蚀刻区易发白且不稳定； OK 2.ITO极易划伤（硬度不足）；
3.蚀刻后偶尔发生区域发黄现象
/
太软易卷料 （压膜 PET方式暂时Cover）
折伤不良 4~6%
/
点
二/三次电测
后段QC
蚀刻纹 （立体纹）
备注
3399曾出现竖条状
/
白痕（疑为基
中等
材），现在未发现
常
项次 ITO厂商
型号
厚度 自带PET
翘曲
烤箱缩水
1
C-V150-HIM125-P13 125
有
上翘＞10mm
OK
2
C-V150-HIM125-P11 125
无
OK
OK
万顺
3
C-V150-HIM50-P13 50
有
下翘
OK
C-V150-HH188F-P11 188
无
OK
OK
4
125 PET
OK
OK
铃寅 SCP125-BCC-150V3 125
/
/
中等
已停用
/
/
中等
/
/
中等
万顺买不到基材断料 （JDC3909）
/
/
一般
/
HC面麻点（自带 PET异常）
一般
库存50um PET需全部 换料为125PET
JDC3609等TBD不 良20%（疑为阻值
不稳定引起）
折伤不良5%
轻微
所有单层0.3 Gap机 种现在均用科力
触摸屏ITO培训资料
触摸屏ITO培训资料一、ITO 简介ITO（Indium Tin Oxide），即氧化铟锡，是一种具有良好导电性和透光性的材料，广泛应用于触摸屏领域。
触摸屏作为一种直观、便捷的人机交互界面，已经成为电子设备中不可或缺的一部分。
ITO 薄膜在触摸屏中起着关键作用，它能够实现触摸信号的检测和传输。
二、ITO 薄膜的制备方法1、磁控溅射法这是目前制备 ITO 薄膜最常用的方法之一。
在高真空环境中，通过磁场控制带电粒子的运动，使铟锡靶材的原子溅射到基板上形成薄膜。
该方法具有沉积速率高、薄膜质量好、成分均匀等优点。
2、真空蒸发法将铟锡合金加热至蒸发温度，使其原子或分子气化后沉积在基板上。
这种方法设备相对简单，但薄膜的均匀性和附着力可能不如磁控溅射法。
3、溶胶凝胶法通过将金属醇盐或无机盐溶解在溶剂中形成溶胶，然后经过凝胶化、干燥和热处理得到薄膜。
该方法成本较低，但制备过程较为复杂，薄膜的性能也相对较难控制。
三、ITO 薄膜的性能参数1、电阻率ITO 薄膜的电阻率直接影响触摸屏的响应速度和灵敏度。
一般来说，电阻率越低，触摸屏的性能越好。
2、透光率良好的透光率是保证触摸屏显示效果清晰的重要因素。
通常要求ITO 薄膜在可见光范围内的透光率达到 85%以上。
3、表面粗糙度薄膜的表面粗糙度会影响其与其他层的接触性能和光学性能。
较小的表面粗糙度有助于提高触摸屏的可靠性和显示质量。
四、ITO 在触摸屏中的工作原理触摸屏主要分为电阻式触摸屏和电容式触摸屏，ITO 在这两种触摸屏中的工作原理有所不同。
1、电阻式触摸屏由上下两层 ITO 薄膜组成，中间隔着微小的隔离点。
当触摸屏幕时，上下两层薄膜接触，电流通过接触点，从而检测到触摸位置。
2、电容式触摸屏分为表面电容式和投射电容式。
表面电容式触摸屏是在玻璃表面涂覆一层 ITO 导电层，当手指触摸屏幕时，会引起电容变化，从而检测触摸位置。
投射电容式触摸屏则是在玻璃基板上形成横竖交叉的 ITO 电极阵列，通过检测电极间电容的变化来确定触摸位置。
触摸屏ITO制程
视区的走线。其中双层ITO和MO/AL/MO层都需要在后续制程中通过光刻进行图形化，不
同的厂家在外围电路走线材料方面的选取会有所差异。
3.3 双面ITO玻璃制程
Glass kitting Initial clean ITO sputter
A side PR coater
B side SM printing
电阻式触摸屏的主要两大原材料是上层的ITO膜和下层的ITO玻璃， 它们占触摸屏材料成本的一半以上，电阻式触摸屏的总可见光透过率一 般在80%左右。
ITO玻璃区域划分
ITO玻璃侧ITO刻蚀
玻璃上印刷Spacer
印刷玻璃面Ag线
玻璃印刷绝缘胶 ins-1
玻璃印刷绝缘胶 ins-3
ITO Film侧ITO刻蚀
3.2 双面ITO玻璃的多层膜结构
最内层SiO2膜厚约为15nm，主要是起增加Glass与ITO膜的附着力和平整性的作用； 最外层SiO2膜厚约为100nm，主要是起表面钝化和保护作用； 正反面ITO层膜厚约为15nm，用于屏的可视区ITO Pattern凸显的走线，做电极用； 背面驱动层中Mo/Al/Mo三层膜厚约为350nm(50nm/250nm/50nm)，用于屏的外围非可
3.8内嵌式多点触控面板
所谓内嵌式多点触控面板(In-Cell Multi-Touch Panel) ，是指触控功能直接整合于面板
生产制程中，不需校正，不必再加一层触控玻璃，从而可维持原面板的薄度仅2.2mm，相 对轻薄，且光能利用率更高。 具体是在先前TFT LCD 用ITO电极的基础上，再加上一层 ITO 作为电容触控层，这是在TFT LCD工厂现有设备制程上非常容易实现，只是由于TFT本 身噪声非常高，对电容感测控制电路有干扰，使得大面积In-Cell Multi-Touch Panel难度更 高。 In Cell Capacitive Touch Panel Technology Structure
ITO制程培训课程(4)ppt
电器性能 《工程规格书》 OK
2
要求相符
四控针测试仪
ITO原物料裁切提问
1、FILM裁切时ITO制程主要要控制的外观问题 点为？
2、原材料载切时在确认的电器性能是。。。？
ITO印刷检验标准
一：投产准备事项 1.根据ERP中相应机种?工程规格书?内容是否齐全。 2.网版以ERP中相应机种?工程规格书?符合 〔1〕网版：印刷面右上角需有：a机种编号b版次名称c日期d检
品管制程人员
6 ITO组合QC检验规范
品管制程人员
7 ITO裁切QC检验规范
品管制程人员
8 ITO压合/封胶/喷码QC检验规范
品管制程人员
9 ITO测试QC检验规范
品管制程人员
10 ITO贴面版/终检QC检验规范
品管制程人员
11 我司产品的检验标准
品管制程人员
12 针对培训内容提问
品管制程人员
制程品管的工作职责
ITO产品的类型、构造
二：产品的类型 1、矩阵式〔Matrix〕:用于玩具、电
子字典、电子记事薄、计算 器、电 子书、电子棋盘及各类电子产品 2、类比式〔Analog〕:多用于PDA、 手写板、通讯系统等高档文件产品上 3、电容式〔capacitive〕:多用于PDA、 自动售票、终端仪器等高价位产品上
1+2〔上下线组合〕---镭射上线---裁切下线--压合---封胶、喷码---测试---外观全检---QA检验 ----包装----入库---出货
ITO产品检验方式及抽检频率
一：检验方式：仅针对外观检验局部 眼睛距离待检产品的距离应为300~400mm，
在产品的检验上方400~500mm处放置一盏 12~20瓦的冷白色的荧光灯〔除成品外其它 工序按各车间实际上检验光源为准---请参 考光源暂行文件〕，产品与检验员视线成 45度角，产品平放光台上进展检验 ；如图:
ITO制程原理
二.各站原理介紹1.ITO製程原理ITO玻璃切割、磨邊、倒角1.首先大片玻璃經切割機切割後可分為:300.00 × 350.00，300.00 × 400.00，370.00 × 480.00mm三種尺寸。
1.1切割後(切割檢驗)使用游標卡尺檢測,檢驗公差為產品尺寸＋0.20mm ± 0.06mm 例:300.00 × 350.00mm尺寸300.00＋0.20 ± 0.06mm即300.14mm~300.26mm350.00＋0.20 ± 0.06mm即350.14mm~350.26mm2.磨邊加工：分為C面及R面玻璃，二者不同在R面玻璃必須做圓弧切邊加工(白邊)2.1磨邊加工完成後使用游標卡尺檢測，玻璃基板尺寸公差為± 0.20mm例:300.00 × 350.00mm尺寸300.00 ± 0.20mm 即299.80~300.20mm350.00 ± 0.20mm 即349.80~350.20mm2.2圓弧切邊(白邊) 使用peak量測，量品為＜1.50mmTN、STN玻璃亥方向角，角度(5±1.0)，位置兩者不同。
TN(5±1.0)：在玻璃的長邊上。
STN(5±1.0)：在玻璃的短邊上。
目的：經由玻璃的方向角方向能很容易分辨出是TN玻璃或是STN glass，降低作業時人為的混料及誤判情形。
為何磨R面?當玻璃再進行拋光作業時(有離心力)C面玻璃的邊緣與拋光機P.P盤上的Template(模板)，相互碰撞易造成崩角、缺角、破片；甚至造成玻璃刮傷.。
2.3 方向角及倒角使用peak測量，其公差範圍如下：※STN玻璃為經拋光研磨後的玻璃。
倒角尺寸：(單位mm)方向角倒角3.0＋1TN辨識角何謂SiO2 、ITO ?SiO2:二氧化矽ITO :氧化銦錫[indium tin oxide]2.為何基板要鍍SiO2、ITO ?鍍SiO2原因: SiO2為保護膜[絕緣層],避免玻璃中的鹼性離子釋出玻璃表面，形成導電層；若未鍍SiO2，讓玻璃中的鈉、鉀離子釋出會干擾顯示畫面；在密封部位滲出，有可能使密封膠黏著力下降。
触摸屏生产流程
少,一般来说撕出后引出线上的银胶或碳胶的 转移
量不可少于 50%.(主要针对 PET 引出线)而对于 FPC
出线则须以 90 度角垂直于 T/P 方向；做撕出力量
测定。(撕出力量不小于 3~5N/CM)
检验项目: 见表五(压合规范)
见表五(压合规范) 六. 功能测试
ITO 产品一般分矩阵式及模拟式.矩阵式用 OPEN/SHORT 测试机 测试, 模拟式用线性测试机测试.
二. 印刷
表一(蚀刻检验规范)
1. 对引出线 MYLAR 材料、网版、油墨按进料检验规范检验. 2. 对 ITO FILM/ITO GLASS /引出线 MYLAR 进行印刷导电油墨、绝缘等油墨.
最好能用全自动印刷机及半自动印刷机, 以确保高质量及高速度的印刷。
3. 对印刷的产品进行烘烤
4. 将印刷后的产品按烘烤标准干燥.
2)绝缘点:绝缘点用橡皮擦,在绝缘点表面用正常力度擦
三次来回无脱落.
2H 铅笔测试各种油墨无脱落痕迹(呈 45 度斜划)
铅笔应无尖 锐的棱角
1)导通性良好阻值符合要求. 2)线间阻抗符合要求.
3)引线穿刺灌孔导通性良好.
粘胶
用高度规测其总 厚度再减去无胶区 粘胶厚度:0.06±0.01mm 厚度 , 即为粘 胶厚 度.
4)产品组合后无彩虹纹及拖尾现象(Analoge)
5)封胶 ,灌胶后要平滑无杂质 ,不能在 ITO 玻璃面上.
表四(组合规范)
2. Film 冲外形
检验项目: 见表三(压花冲床规范)
3. 裁玻璃及玻璃磨边
检验项目:见下表.
Tei:008621-5483021
Fax:0086-54830312
蚀刻
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投射电容式触摸屏最大的优势是触动无须直接接触、支持多点触控，面板可置于透明基 材下方而得到良好的保护，触动可经由手指或特殊笔，即便是带着手套亦可以使用投射电容 式面板。投射电容触摸面板的核心工艺是双面ITO玻璃多层膜制程。
On Cell Capacitive Touch Panel Technology Structure
END
B side Exp. & Dev. B side ITO Etching
SM peeling
B side Striper
A/B side 10s etching Organic coater
Film att.
Exp. & Dev.
电容触控面板另一种ITO制程
3.4 ITO图形形状
原则：图形之间的相互连线避免过长，连线太长，扫描电阻大， 扫描时间长；通常菱形是最常见的图形形状。
3.8内嵌式多点触控面板
所谓内嵌式多点触控面板(In-Cell Multi-Touch Panel) ，是指触控功能直接整合于面板 生产制程中，不需校正，不必再加一层触控玻璃，从而可维持原面板的薄度仅2.2mm，相 对轻薄，且光能利用率更高。 具体是在先前TFT LCD 用ITO电极的基础上，再加上一层 ITO 作为电容触控层，这是在TFT LCD工厂现有设备制程上非常容易实现，只是由于TFT本 身噪声非常高，对电容感测控制电路有干扰，使得大面积In-Cell Multi-Touch Panel难度更 高。In Cell Capacitive Touch Panel Technology Structure
电阻式触摸屏的主要两大原材料是上层的ITO膜和下层的ITO玻璃， 它们占触摸屏材料成本的一半以上，电阻式触摸屏的总可见光透过率一 般在80%左右。
ITO玻璃区域划分
ITO玻璃侧ITO刻蚀
玻璃上印刷Spacer
印刷玻璃面Ag线
玻璃印刷绝缘胶 ins-1
玻璃印刷绝缘胶 ins-3
ITO Film侧ITO刻蚀
3.3 双面ITO玻璃制程
Glass kitting
Initial clean
A side PR coater
B side SM printing
ITO sputter MoNb sputter
A side Exp. & Dev.
A side Metal Etching
A side Striper
触摸屏ITO制程
1.1 触控面
1978～2008年的有效专利件数中，日本的专利件数占整体的52％。第二位为美国的23％，第三位为南韩的 20％。日本和美国的专利网遍布于面板、相关部材以及用户介面等触控面板相关的各领域，而南韩的触控面 板相关专利较偏重于面板部分，其占全部的76％。
印刷ITO Film侧Ag线
3.1 投射电容式触摸屏结构、原理
在两个不同导电基材上（或同一导电基材的正反两面），分别有平行的X导线与Y导线 ；导线相互垂直但却不在同一表面，每个X、Y相交处即形成一电容节点。对导电基材上的 导线（驱动线driver line）供以特定振幅与频率的交流电压，另一组导线此时即形成回路以 侦测电容改变量（感应线sense line）。
3.5 菱形ITO图形的 具体要求
3.6 ITO图形与外围金属线的连接
3.7 触控面板大尺寸化对ITO镀膜质量要求更高
端电阻取决于ITO面阻抗值、pattern长度及长宽比例 ITO pattern端电阻值愈小, 则电容感应讯号愈强& IC处理反应时间愈短 质量较佳的电容式触控解决方案取决于Touch IC感测及pattern设计 现阶段应用于2.8” Film-Type Sensor之ITO-Film面阻抗值约300Ω/ □
A side ITO Etching A side Striper
A side Exp. & Dev.
A side PR coater
A side SM printing
B side SM peeling
B side PR coater Pre SIO2 clean SIO2 Sputter
Laser scriber
3.2 双面ITO玻璃的多层膜结构
最内层SiO2膜厚约为15nm，主要是起增加Glass与ITO膜的附着力和平整性的作用； 最外层SiO2膜厚约为100nm，主要是起表面钝化和保护作用； 正反面ITO层膜厚约为15nm，用于屏的可视区ITO Pattern凸显的走线，做电极用； 背面驱动层中Mo/Al/Mo三层膜厚约为350nm(50nm/250nm/50nm)，用于屏的外围非可 视区的走线。其中双层ITO和MO/AL/MO层都需要在后续制程中通过光刻进行图形化，不 同的厂家在外围电路走线材料方面的选取会有所差异。