扫描电镜操作手册
SEM操作手册
一、开机
在电镜基座的前面板上有绿（ON）、黄（STANDBY）、红（OFF）三个按钮，见图一
图一
a 接通电源后，按红色按钮，电镜通电。
b 按黄钮，真空系统开始工作，整机处于待机状态。
c 约1分钟后按绿钮，所有系统开始工作，同时电脑自动启动(或人工手动启动)，进入
系统。
d 双击SmartSEM并登陆。
二、放置样品
（1）从样品室放入样品
a 键盘点击Ctrl+G，打开扫描电镜控制窗口（SEM Control）。
该窗口包括六个控制版面（如
图二）：电子枪（Gun）、探测器（Detector）、光阑（Aperture）、真空（Vacuum）、样品台（Stage）。
b选中Vacuum版面，点击Vent对样品室通入氮气（Vent前确保EHT已经关掉）。
图二
c等待几分钟后，样品室可以打开，放入样品（如图三），样品台卡在燕尾槽中，确认样品台卡紧了即可。
图三
（2）用Airlock放置样品
图四
a 确认Stage已经处于Exchange位置：在Smart SEM的菜单栏依次选择Stage→Store/Recal →$exchange。
b 点击Airlock面板上的Vent按钮，卸掉交换室中的真空，将样品台卡在交换室的燕尾槽中，用样品传输杆拧紧样品台。
c 点击Transfer按钮（抽真空时手推紧一下舱门），抽真空后隔离舱门打开，样品传输杆伸入样品仓内，将样品台卡在样品基座上的燕尾槽中，旋松螺丝后将样品传输杆拉出来。
d 点击Airlock面板上的Store按钮，关闭舱门。
（注意：舱门关闭后Store灯才停止跳动，这段时间内舱门在向内平移，仍处于未闭合状态，不能泄真空）
三、观察样品
（1）移动样品台，调节样品和物镜之间的工作距离
a如果已经勾选了Joystick disable，在stage中取消Joystick disable选项。
PS: 在SmartSEM 5.06中，增加了Stage Disabe选项，此选项也需要取消勾选。
且取消后，右下角有个对话框弹出，必须点击OK后才能进行其他操作！
b通过切换到CCD观察模式。
图五
c 通过样品台控制器将样品移到合适的位置，如图五所示：
当2号操纵杆上下移动，控制样品台的上下移动。
当2号操纵杆左右移动，控制样品台的左右倾斜。
当1号操纵杆上下左右移动，控制样品台前后左右(X &Y axis)移动。
当旋拧1号操纵杆，控制样品台顺时或逆时旋转。
当按3号按钮，样品台紧急停止。
（2）选择合适的ETH、光阑和探头
图六
a 选择加速电压（EHT），如图六为SEM Control: Gun面板，在EHT target中输入设定的加速电压数值，在Beam State的下拉菜单中选择EHT on。
不同加速电压的适用范围如下表：
b 选择合适的光阑，如图七为SEM Control: Aperture面板，在Aperture size的下拉菜单中选择合适的光阑（一般30µm光阑即可，采集能谱信号需要60µm或120µm的大光阑）。
光阑选择后勾上Focus Wobble，Wobble amplitude调整为50%左右，选择Aperture Align中调节光阑，调至图像不再跑动，原地闪动即可，再勾掉Focus Wobbe（在放大倍数不是很大的情况下，wobble可以不用调节，如果放大倍数一万倍以上，wobbble必须需要调节）。
图七
c 选择合适的探头，二次电子探头包括SE2探头和Inlens探头，SE2探头的最高加速电压为30kV，偏压为300V左右，拍出的图像更具有立体感；InLens探头最高的加速电压为20kV，其拍出的图像分辨率更高一些；背散射探头包括EsB(或Inlens Duo)探头和AsB探头，EsB(或Inlens Duo)探头前加有能量过滤器（0~1500V），可以将一部分二次电子排除，拍出的图像主要反映样品的元素衬度。
AsB 探头是极靴整合的角度选择性背散射探头，在大WD下采集的高角度被散射电子，提供元素衬度信息(BSD 探头效应），在小WD (2~5mm)下选择性地采集低角度的背散射电子，并提供晶体取向信息（通道效应），各个探头的对比如下图八所示。
图八
左上角为SE2图像，右上
角是AsB元素衬度成像，左下角
是AsB图像反映晶体取向衬度
图九
d 两种探头信号混合，在Signal A= 和Signal B= 分别选择不同的探头，在Mixing上打勾（需要License），signal=中填入两种探头的信号比例，就可以得到两种信号混合的图片。
（2）选择感兴趣的区域，获取高质量的图片
找到样品，如果是安置在九孔样品台的样品，可先用Stage Navigation找到对应编号的小T
型台，然后再在电镜上慢慢找到感兴趣区域；如果是不规则的样品，可用FishEye鱼眼模式（需要License）进行样品定位（一般找样品的时候都选用SE2探头，高加速电压，找到感兴趣区域后，再选用合适的探头、电压和光阑）。
a 找到感兴趣的区域后，低倍下聚焦，消像散，调节光阑对中；提高放大倍数，再聚焦，消像散。
如此类推，直至需要的放大倍数。
以下为消像散的方法：
a1点击下拉菜单的消像散图标，拖动鼠标左键分别上下或左右移动，使模糊边尽量减小，再调焦，清晰度有所改善，该过程反复进行，直到图像清晰，见图十。
a2在光阑版面点击消像散（Stigmation），分别拖动XY坐标线的两个方向滑尺，减小模糊量。
a3利用手动操作板上的两个消像散旋钮，分别缓慢转动，消除模糊边。
图十
左边与中间的图片为反复聚焦图像在相互垂直方向上有模糊边，右边的图片为消像散后的图片。
b 图十一为SEM Control: Scanning 面板，选择合适的Scan Speed、Store resolution和Noise Reduction，使去除噪音的效果最好，得到高质量的图片。
一般选择扫描速度为“6”。
噪声去除方式选择线平均：line avg，积分次数选“N=30左右”即可。
然后点击Freeze键（注意Freeze的模式选择End frame）。
图十一
c 保存图片，如图十二至十四所示，在Freeze后的照片上单击鼠标右键，选择sen
d to，选
择图片储存格式。
图十二
图十三
图十四
四、关闭高压，卸真空，取出样品。
图十五
a 在SEM Control面板中选择EHT Off，确认EHT已经关闭，如图十五所示。
b 在软件Stage ->Store/recall ->$exchange 让样品台移动到可以更换样品的位置。
（注意：之前应先用摇杆把样品台降低，以防样品台在复位过程中碰坏镜头）
c 点击Airlock面板上的Transfer按钮，旁边的绿灯停止闪烁，交换仓内隔离门打开，再将样品传输杆伸入样品仓，旋紧样品台并将样品台拉到底，将样品台卡在交换仓燕尾槽中。
d 点击Airlock面板上的Store按钮，关闭镜筒和样品舱之间的隔离阀。
再按VENT按钮，卸掉交换室中的真空后取出样品。
（注意：换样过程中不能用手接触送样杆，以免杆上的润滑油脂被擦去）
e 可以在stage菜单栏中选择Joystick disable，防止误碰摇杆带来的损坏。
图十六
Zeiss显微镜服务热线：400-6800-720。
S4800扫描电镜(SEM)操作手册
观测条件的选择
2、工作距离（WD）的设定 WD(working distance)是指物镜下端面到 焦点面之间的距离。 WD越小，图像的分辨率越高，而景深越浅。 做能谱时，WD必须设定为15mm。
观测条件的选择
3、探测器的选择 S－4800配备有上下两个二次电子探测器， 在WD较小时(<5)，推荐使用上探测器， 在WD较大时(>10)，推荐使用下探测器。 如果选择MIX，则同时使用两个探测器， 在整个WD的可变范围内，信号量不会发 生极端的变化。
2、加载样品
3）将样品架插入样品室
插入样品之前需要确认： (a)样品台的位置处于交换位置，并且没有处于锁定状态（Lock开关的灯 不亮） (b)加速电压处于OFF状态
（1）按交换室操作部分的AIR键，使交换室放气； （2）峰鸣器响后（对应键的灯不闪），将交换室打 开； （3）轻轻推入交换棒，此时保证交换棒后端的旋钮 处于UNLOCK状态； （4）用一只手拿着交换棒的旋钮，另一只手将样品 插入交换棒中；
观测条件的选择
1、加速电压的选择 从电子光学的角度讲，随着加速电压的升 高，电镜的分辨率也提高，但是电压越高，电 子束在样品中扩散范围就越大，同时放电和辐 照损伤现象也越严重。因此要根据样品的种类 及所要得到的信息，适当地选择加速电压。对 于导电性好的样品，可以选择较高的加速电压； 相反，对于导电性较差的样品，则应选择较低 的加速电压。
样品台旋转Rotation——R (360°连续)
样品台
样品台以通过其表面中心的法线为轴做平面内 旋转，是靠马达驱动的（自动）。
样品台旋转Rotation——R
Eucentric：当选中时，表示样品台旋转后， 观察区域仍然保持在当前位置。 Abs：绝对角度 正值0~360° Rel：相对角度（始终以当前位置为0） 可以输入正值0~360 °(顺时针) 负值0~-360 °(逆时针)
TESCAN扫描电镜使用说明书
Tescan3型扫描电子显微镜操作规程1、开机：打开N2阀门（1）开启并确认稳压电流：220v。
（2）打开电镜主开关，由OFF位转向ON位，等待计算机完成启动。
（3）如果进行元素分析，则先打开QUANTAX程序，后打开VEGA程序，确认用户、语言、密码，等待软件进入系统。
（4）系统自动进行硬件、软件自检。
（5）单击VEGA中的[PUMP]，抽真空开始。
（6）待真空状态显示条由红变绿，真空度小于10^-5torr后，即真空达到要求，单击[HV]接通电镜高压，开始观察样品和照像。
2、更换样品（1）单击[HV]，切断高压。
（2）手动调节样品台，使其回到初始位置。
（3）单击窗口中的[泄真空]，样品室放空，调节合适的N2流量进入，不能使N2流量太大，通常控制出口压力表在0.1刻度左右。
（4）真空指示红条消失后，样品室恢复为大气压，打开样品室门，更换样品。
（5）待更换好样品后，轻按样品室舱门，点击[Pump]抽真空，真空指示进度条变绿，真空度小于10^-5torr后，方可点击[HV]开启高压。
（6）确认BSE探头已摇出。
3、样品观察和物相、成分分析（1）根据样品特性，选择放大倍数、合适的电镜参数，如BI（束流）、工作距离WD和高压HV，确认高压值和发射电流，若无电流或高压，做adjustment》auto gun heating（30kv （75±5）μA； 20kv (100±5) μA ），进行观察。
（2）按照操作界面上软件的各种功能菜单，进行调节、使图像清晰度至最佳。
（3）根据放大倍数，选择合适的扫描速度采集图像并存储。
（4）如果对样品进行成分分析，应该将WD调至15mm左右，手动调节样品台高度，直至清晰为止（空载时，物镜极靴与样品台的安全高度为3mm；当BSE探头摇进时，安全高度为8mm）。
（5）在扫描窗口中，双击选择所要测量的小区域，调整BI，检测计数率。
（6）能谱分析时，要根据样品性质，选择合适的电镜加速电压，设置采谱时间，EDS的时间常数，调整束流使能谱计数率CPS为适当值（一般，总数率=采样时间*计数率，总数率的值大于25万）。
S-4100扫描电镜操作手册
S-4100 扫描电镜操作手册1 名称：Scanning Electron Microscope S-4100 Operation Manual2 目的：为操作 S-4100机台之依据3 范围：3.1适用机台：S-4100 Scanning Electron Microscope3.2机台结构与外观3.3机台位置: SEM/EDX 分析实验室4 名词定义：SEM: Scanning Electron Microscope扫描式电子显微镜S.C.: Specimen Chamber试片真空室S.E.C.: Specimen Exchange Chamber试片转换室HV: High Voltage高压EDX: Energy Dispersive X-ray Spectrum5负责单位：5.1 接受各部门委托, 操作电子显微镜的工作。
5.2 操作S-4100之人员, 需经过FA负责工程师的资格鉴定, 方可操作机台。
5.3 严禁FA以外人员操作S-4100.6 操作步骤6.1正常操作流程图：6.2 开机预备操作6.2.1检查真空。
在开始操作之前，必须检查机台前端控制面板，符合以下条件：6.2.1.1 IP1，IP2及IP3灯亮。
6.2.1.2 IP(离子泵)读数必须小于以下数字：IP-1……………………………1.5E-7PaIP-2……………………………1E-6PaIP-3……………………………1E-5PaS.C………………………………5E-3Pa(Pe)6.2.1.3 “EVAC POWER”处于“ON”。
6.2.1.4 “DP/TMP”、“WATER”、“AIR PRES”灯都亮。
6.2.1.5“S.C VACUUM HIGH”和“S.E.C VACUUM HIGH”指示灯亮。
6.2.1.6 真空转换开关“S.C/S.E.C”置于S.E.C位置。
6.2.1.7 镜筒隔离阀“S.C AIR LOCK VALVE”置于“CLOSE”位置。
扫描电镜使用说明书
扫描电镜使用说明书一、产品概述扫描电镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种高分辨率的显微镜，能够通过扫描样品表面并检测扫描电子束的反射电子，从而获取样品的形貌和元素成分信息。
本说明书将详细介绍扫描电镜的使用方法和注意事项。
二、安全操作1. 在使用扫描电镜之前，请确保机器的电源已经正确接入地线，避免触电事故的发生。
2. 在打开扫描电镜之前，先检查样品台和操作盖是否已经安装好并正确固定。
3. 使用扫描电镜时，应该配戴好相关的防护眼镜和手套，确保个人安全。
4. 禁止将未经处理的有毒或易燃物质放入扫描电镜中进行观察。
三、仪器操作流程1. 打开电源开关，等待仪器自检完成，并确保控制面板上的指示灯正常。
2. 使用适当的工具调整样品台的位置和角度，使样品处于扫描电子束正下方。
3. 将待观察的样品放置到样品台上，并使用夹具或胶带固定，避免因振动而影响图像质量。
4. 根据样品特性和需要，选择合适的放大倍数和扫描模式，并进行相关设置。
5. 确保样品台和探针头之间的距离适当，并调整探针电子的聚焦和对准。
6. 点击开始扫描按钮，此时电子束将开始扫描样品表面，并生成相应的图像。
7. 观察并分析样品表面的形貌，使用相关软件进行图像处理和测量。
8. 在观察结束后，关闭电源开关，并进行必要的清洁和维护。
四、注意事项1. 在操作过程中，应该避免触摸样品表面，以免影响图像质量。
2. 在调整参数时，应该谨慎操作，避免产生误操作，导致损坏仪器或样品。
3. 镜头和样品台需要保持干净，可使用专门的清洁剂和软布进行清洁。
4. 扫描电镜不适合长时间连续工作，应该注意适当间隔，避免过热或损坏。
5. 扫描电镜需要定期进行保养和维护，以保证其正常工作。
6. 使用扫描电镜时应该有足够的耐心和耐心，避免急躁操作和粗心大意。
五、故障排除1. 若扫描电镜出现异常现象，如图像模糊、偏移等，可先通过重新校准参数来尝试解决问题。
SEM操作手册
扫描电镜基本操作步骤和注意事项一、基本操作步骤：1. 块状样品尺寸不宜过大（形状不规则的样品应咨询管理老师如何测试，不能想当然），用铜导电胶；粉末样品，则需碳导电胶带，用牙签制样，尽可能少量，并用洗耳球吹掉粘结不牢的粉末样品；做好样品后，把导电胶带等放入抽屉，并收拾好桌面。
2. 测样品时需换鞋，请同学们注意保持实验室卫生。
实验完毕后将拖鞋放回鞋架。
3. 观察屏幕右下角“Status”栏里的参数是否正常，尤其是Emission Current值是否正常。
测试前应在SEM记录本上记录IGP1、IGP2和Emission Current的值。
每次实验要在实验记录本上记录：时间，样品名称，数量，测试人姓名，仪器是否正常。
4. 未测试前系统处于“P ump”状态（黄色），按“V ent”键往样品室充高纯氮气（变黄色），约2分钟后“V ent”键变灰色可以轻轻缓慢的拉开样品室的门（如果打不开门，马上联系管理人员）。
5. 将附有样品的铝台，用洗耳球吹洗干净，并放入。
放置样品时切忌对着样品室说话，并且样品室的门不能开着太久，以保证样品室的清洁。
（正常的操作：右手握住带有样品的镊子，左手轻轻拉开门，马上把样品放置在支架（Holder）上，并立刻用左手“轻推”，右手扶住门正上端边缘的中间部位，双手配合，以防止门和电镜系统接触时过大的撞击，一直到门和电镜完全接触）6. 放好样品后，轻轻将样品室门推入保证接触，将右手指放在门上接触边缘缝隙处，左手点击“Pump”，当右手指感觉到门缝渐渐变紧时说明泵抽气正常。
鼠标左键选中左上窗口，按住鼠标中间滚轮往上拉，样品台会上升，视样品具体情况，控制样品台和极靴之间的距离（Work Distance, WD），Work Distance不能小于6mm。
等待操作界面右下角“Chamber Presure”真空优于8*10-3 Pa时，设置好高压和Spot的值，方可点击“High Voltage”加上高压。
扫描电镜ZeissSupra55简明操作指南
扫描电镜ZeissSupra55简明操作指南Zeiss-Supra55扫描电子显微镜简明操作指南一、开机启动1、按下绿键。
按下绿键后，电脑会自动启动，输入计算机密码：zeiss2、启动SmartSEM软件。
用户名：system 密码：无3、检查真空值。
二、换样品(换样或加高压观察样品)1、装试样。
在备用样品座上装好样品，并记录样品形状、编号和位置。
注意：各样品观察点高度基本一致。
确认样品不会脱落，并用洗耳球吹一下。
2、关高压。
3、检查插入式探测器状态打开TV，将EBSD等插入式探测器拉出。
4、放气。
点Vent等待3-5 分钟。
注意：确认Z move on vent选上，这样，放气时样品台会自动下降。
5、拉开舱门。
注意：拉开舱门前，确认样品台已经降下来，周围探测器处于安全位置。
6、更换样品座注意：抓样品座时戴手套，避免碰触样品。
7、关上舱门。
注意：舱门上O圈有时会脱落，关门时勿夹到异物。
8、抽真空。
点击Pump，等待真空就绪(留意Vacuum面板上真空状态)，等待3-5分钟。
注意：当System Vacuum<2×10-5mBar时，会自动打开CIV阀门(column isolation valve)，并启动离子泵。
当Gun Vacuum=<5×10-9mBar时，可启动灯丝（Gun On），左下角Ready。
等待过程中，可先移动样品台初步定位样品。
9、换样完成。
加高压，观察样品台TV三、成像过程1、定位样品。
打开TV，移动样品台。
升至工作距离约在8~10mm处，平移对准样品。
可打开stage navigation帮助定位。
2、开高压。
根据检测要求和样品特性，设定加速电压；3、观察样品，定位观察区。
全屏快速扫描（点击工具栏上）；选择Inlens或SE2探头；缩小放大倍数至最小；聚焦并调整亮度和对比度（Tab键可设置粗调Coarse或细调Fine）；读取WD数值；必要时升降样品台，WD常用8-10mm；移动样品台X、Y，或使用Centre Point(Ctrl+Tab键)定位；聚焦、放大至～5kX、再聚焦、定位；4、##必要时，调光阑对中。
S4800扫描电镜(SEM)操作手册
4、调节电子光学系统
加高压后即可寻找感兴趣的区域观察图像了。为了获得高质 量的图像，通常要进行电子光学系统的调节，也称为合轴 或对中(Alignment)。
（1）点击ALIGN键，出现合轴画面 （2）主要的合轴有： a.电子束合轴：Beam Align 目标：把光圈调到中心 b.物镜光栏合轴：Aperture Align 目标：把图像晃动量调到最小 c.象差校正合轴：Stigma Align X，Y 目标：把图像晃动量调到最小 （3）操作：调节操作面板的STIGMA/ALIGNMENT X 和Y
（9）按顺时针方向旋转交换棒至UNLOCK位置， 卸下样品，然后将交换棒完全拉出；
（10）按CLOSE键，气阀关闭。
3、加高压及条件设定
1）设定样品尺寸 点击STAGE设定键，在SPECIMEN窗口画面，点
击SET键，设定样品的尺寸。 2）设定加速高压和发射电流 点击加速电压显示部分，设定所需要的加速电压和
1、启动操作程序PC－SEM
打开显示器Display的开关； 系统启动，要求输入系统的用户名和密码； 核实用户名和密码后，电镜操作程序PC－
SEM自动启动，要求输入程序的用户名和 密码； 核实用户名和密码后，电镜操作程序打开。
2、加载样品
1）将样品装在样品托（specimen stub)上 （1）根据样品大小选择合适尺寸的样品托
观测条件的选择
2、工作距离（WD）的设定 WD(working distance)是指物镜下端面到
焦点面之间的距离。 WD越小，图像的分辨率越高，而景深越浅。 做能谱时，WD必须设定为15mm。
观测条件的选择
3、探测器的选择 S－4800配备有上下两个二次电子探测器， 在WD较小时(<5)，推荐使用上探测器， 在WD较大时(>10)，推荐使用下探测器。 如果选择MIX，则同时使用两个探测器， 在整个WD的可变范围内，信号量不会发 生极端的变化。
扫描电镜操作手册
扫描电镜操作手册扫描电镜操作手册一、目的本操作手册旨在为使用扫描电镜（Scanning Electron Microscope，简称SEM）的用户提供操作步骤和指南，以确保仪器的正确使用和延长其使用寿命。
二、操作步骤1、准备样品：根据SEM的要求，准备需要观察的样品。
确保样品具有足够的稳定性和导电性。
2、打开仪器：按顺序打开SEM的电源开关，并确保仪器稳定运行。
3、选择工作模式：根据样品的特性选择适当的工作模式（如高分辨率、低分辨率等）。
4、调整工作参数：根据需要，手动设置电子束加速电压、扫描速率、扫描分辨率等参数。
5、安装样品：将样品固定在样品台上，确保其稳定不动。
6、聚焦和校准：通过操作台面上的按钮或软件界面，调整电子束的聚焦位置和校准参数，确保图像的清晰度和准确性。
7、观察和记录：启动扫描过程，观察样品的微观结构，并使用计算机软件记录观察到的图像。
8、调整和优化：根据需要，对扫描参数进行调整和优化，以获得更好的图像质量。
9、关闭仪器：在完成观察后，按顺序关闭SEM的电源开关，并确保仪器完全停止运行。
三、注意事项1、在操作SEM之前，请务必阅读并了解仪器的操作手册和安全规范。
2、确保SEM的工作环境干燥、清洁，并避免强磁场、振动的干扰。
3、在安装和移动样品时，请避免与仪器碰撞，以免损坏设备。
4、在操作过程中，请勿将身体任何部位置于仪器内部，以防意外伤害。
5、若遇到任何操作问题，请及时联系专业人员进行处理。
四、维护与保养为了保持SEM的性能和延长其使用寿命，建议定期进行以下维护与保养工作：1、清洁真空系统：定期清洗或更换真空系统的组件，以确保仪器在高真空状态下运行。
2、检查电子枪：定期检查电子枪及其组件，确保其正常工作。
如需要，请更换老化的组件。
3、校准和调整：定期进行仪器的校准和调整，以保证图像的准确性和清晰度。
4、更换消耗品：根据需要，更换老化的真空泵油、过滤器等消耗品。
5、软件更新：定期更新SEM的软件系统，以确保其兼容性和稳定性。
扫描电镜操作指导书ZF-EI-QA-008
一开机1. 开循环水电源；开启机械泵、变压器、空气压缩机及仪器总电源；2. 开真空电源（V ACUUM POWER），并打开“STAND BY”准备开关；3. 将主机背后真空系统控制面板上的自动、手动开关置于AUTO自动状态，这时只有V2和D.P开始工作；4. 30 min后，关闭“STAND BY”，数分钟后D.P、V2、V5、V4全部打开，系统自动进入抽高真空状态；5. 10 min后，系统内真空抽好，即可开始工作；6. 打开电器柜电源（CONSOLE POWER）。
二制样（针对粉末状导电样品）1. 导电带粘在样品杯上；2. 蘸取少量的样品均匀的涂在导电带上；3. 用吸耳球吹掉没有固定好的样品。
三样品安装1. 关闭灯丝电流，关闭高压，推入V1阀，打开样品放气开关（CHAMB VENT）2. 待镜筒完全放气后把样品台的Z向逆时针旋转几圈，拉出样品架，松开样品台固定锣丝，更换制备好的样品，推入样品架；3. 关闭样品室放气开关（CHAMB VENT），系统开始自动抽真空，V5自动打开10 min后，即可开始工作。
四扫描图像观察1. 打开KYKY-EM3200软件；拉出镜筒V1阀；加高压（选择10～30 KV）；2. 缓慢增加灯丝电压，至束流饱和为止（灯丝电压6～7之间）；3. 调节对比度、亮度，调节电对中X、Y使得图像最亮；4. 移动样品，选择合适的观察视野，在选区扫描模式下进行聚焦，在中慢扫描模式下观察图像。
5. 点击冻结按钮，点击照相按钮，或者点击同步按钮，然后对生成图像右键单击保存，即可得到图像。
五合轴和消像散1. 调出图像后，将光阑杆旋到要选光阑的刻度处，在屏幕上看到图像；2. 通过移动物镜光阑的X、Y方向进行合轴；3. 在高倍下用自动或手动消像散器进行消像散操作。
六换灯丝1. 关闭灯丝电流，关闭高压，对比度退到0，推入V1，打开电子枪放气开关“GUN VENT”；2. 取下电子枪盖帽，卸下灯丝组件，将旧灯丝拆下，用氨气清洗栅帽孔周围，并换上新灯丝，灯丝组件重新装好，同时检查密封圈的好坏，是否在槽内，然后将盖帽装好3. 关闭电子枪放气开关“GUN VENT”，系统开始自动抽真空，V5自动打开10 min后，即可开始工作。
扫描电镜基本操作
扫描电镜基本操作 1、进样后，等待电镜抽真空，当真空读数小于5E-04，开启电子枪，打开观察Observation （点击按钮ON 变绿色），点击操作台上ACB （自动白平衡），WD 调到10.0mm （CL 要调到14.1mm ），移动操作球（X,Y ， 或使用鼠标右键选取点击位置到屏幕中心），找到观察样品表面，将放大倍数调大，旋转操作球的旋钮调整Z 轴到合适的观察距离使得画面清楚（注意Z 轴动态，不要超过2mm ，操作球旋钮调整Z 轴的速率跟放大倍数成反比）。
2放大倍率旋钮顺时针可将样品放大至需要的倍数，反复调整焦距，使样品表面尽量清楚（可找到样品表面的裂缝或突起作为参照物）。
若画面还不清楚，可先放大到较高倍率（1万倍以上）反复调整像散x 、y 及焦距至影像清楚，直至影像清晰后再切回所需倍率。
3、进行上述操作后，若图像仍不清楚，可点击操作面板上的WORB 模式进行对中操作，此时面板上的WORB 和ALIGN 灯会持续闪烁，此时画面应像心脏一样跳动，若左右或上下晃动需调整像散的X ，Y ，调好后点STIG 会取消对中模式，反复切换对中模式和像散模式，结合焦距进行图像调整。
4、扫描模式：快速扫描模式QUICK VIEW （QUICK 1移动快, 再点一下显示屏上可看到变成QUICK 2），在LED （二次电子图像）模式下，移动或者调焦距需在QUICK 1模式下。
慢速扫描模式FINE VIEW （FINE 1移动慢但成像较好，FINE 2照相的速度），在BED-C （背散射模式）或CL(阴极发光模式)下可切换到FINE 1模式下观察或移动。
5、LED （二次电子图像）模式是观察样品的表面形貌；BED-C （背散射）模式代表了样品的成分，颜色不同成分不同。
鼠标左键点LED 可在下拉列表中切换。
切换前，需在右下角SRBE 前点对号把背散射探头送进去。
在BED-C （背散射模式）下可慢慢旋转BRIGHTNESS 和CONTRAST 来调节亮度和对比度，若图像模糊可把对比度和亮度调大，若图像中亮的太亮看不清内部结构可把对比度和亮度同时稍调低。