扫描电子显微镜的操作步骤和注意事项心得

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扫描电镜操作指南及注意事项

扫描电镜操作指南及注意事项

扫描电镜操作指南及注意事项
1、开机:打开循环水泵,开启主机DISPLAY。

刷卡上机,
进入系统后,打开电镜软件。

2、上样:按AIR,拔开进样仓,将样品台插在样品杆上,
旋转锁定。

再关闭进样仓,按EVAC抽真空,等到“嘀”
声响后,按OPEN,等到“嘀”声响后,将样品杆推到底,旋转放开,拔出样品杆,然后按CLOSE,关闭舱门。

3、观察:首先每天第一次使用需要进行FLASH操作,然后
调整电压,再低倍下找到样品,转换到高倍进行观察,选取好放大倍数和位置后,进行合轴校准。

调整焦距,再调整像散。

最后切换到慢扫模式进行拍照。

4、下样:归中样品,改为低倍,关闭电压。

然后按照上样
的反向进行下样。

5、关机:刷卡下机,将样品仓抽真空。

然后按顺序关闭软
件、关闭电脑,关闭DISPLAY,关闭循环水泵。

负责人:许碧超
分析测试中心。

扫描电子显微镜使用流程及注意事项

扫描电子显微镜使用流程及注意事项

扫描电子显微镜使用流程及注意事项英文回答:Scanning Electron Microscopy Workflow and Considerations.Workflow.1. Sample preparation: Samples should be prepared to maximize surface detail and prevent charging. Methods may include fixation, dehydration, coating, and cutting.2. Mounting: Samples are mounted on a specimen stub or grid using adhesives or conductive tape.3. Coating: A thin layer of conductive material (usually gold or carbon) is applied to reduce sample charging and improve image quality.4. Vacuum: The sample chamber is evacuated to create avacuum environment necessary for electron beam operation.5. Imaging: A high-energy electron beam is focused onto the sample surface and scanned in a raster pattern. Scattered electrons are detected to create images.6. Analysis: Images can be analyzed to provide information about surface morphology, composition, and topography.Considerations.Sample preparation: Proper sample preparation is crucial for obtaining clear and accurate images.Coating: The thickness and type of coating can affect image quality and resolution.Vacuum: The vacuum level must be sufficient to prevent electron beam scattering and sample damage.Accelerating voltage: Higher accelerating voltagesprovide deeper penetration and less surface detail, while lower voltages provide higher surface resolution.Detector selection: Different detectors (e.g., secondary electron, backscattered electron) emphasize different surface properties.Image resolution: Image resolution is determined by factors such as electron beam energy, sample preparation, and the detector used.Artifact detection: It is important to identify and minimize image artifacts (e.g., charging, sample distortion) that can affect image interpretation.中文回答:扫描电子显微镜使用流程与注意事项。

扫描电子显微镜技术的使用方法与技巧

扫描电子显微镜技术的使用方法与技巧

扫描电子显微镜技术的使用方法与技巧扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,SEM)作为一种非常强大的科学研究工具,在生物学、材料科学、纳米技术等领域都得到了广泛的应用。

本文将介绍扫描电子显微镜技术的使用方法与技巧,帮助读者更好地理解和应用这一先进的技术。

一、原理概述扫描电子显微镜通过发射出高能电子束照射样本表面,并测量样本表面反射的电子信号来实现对样品的观察和分析。

与光学显微镜相比,扫描电子显微镜具有更高的放大倍数和更好的分辨率,使得细小结构和样品表面形貌得以清晰可见。

二、样品制备在使用扫描电子显微镜之前,首先需要将样品进行适当的制备处理。

不同的样品可能需要不同的制备方法,下面以常见的生物组织样品为例进行介绍。

1. 固定和固化:对于生物组织样品,通常需要使用一些化学物质进行固定,以防止样品变形和腐败。

常用的固定剂包括冷冻甲醛、乙醛和洗涤液等。

固定后,样品需要进行固化,通常使用环氧树脂或冷冻干燥等方法。

2. 切片:之后,需要使用超薄切片机将固定和固化后的样品切割成薄片。

切片要求非常薄,一般在50-100 nm之间。

3. 上膜:切割好的样品薄片需要粘贴在导电载体上,常见的载体有导电胶带或碳薄膜。

上膜过程中需要注意避免气泡和脏污。

三、仪器操作1. 样品装入和真空抽取:准备好的样品载体需要被正确地装入到扫描电子显微镜的样品台上,并确保样品与电子束之间有足够的距离。

2. 参数设定:在开始观察之前,需要根据样品的特性和所需观察的目的进行一些参数的设定。

如加速电压、工作距离和探针电流等。

这些参数的选择需要根据具体的样品类型和所需观察的目的来确定。

3. 对焦和调节:通过调节显微镜的对焦装置和样品台的三维移动装置,将电子束对准样品表面,并使其形成清晰的像。

同时,还需要通过调节探针电感补偿装置,以保持较高的分辨率。

四、图像获取与分析1. 图像获取:当样品合适地装载在扫描电子显微镜中后,可以开始进行图像获取。

012扫描电子显微镜操作规程

012扫描电子显微镜操作规程

012扫描电子显微镜操作规程一、引言扫描电子显微镜(SEM)是一种使用电子束来观察样品表面形貌和微观结构的仪器。

它能够提供高分辨率、高放大倍数和高对比度的图像,被广泛应用于材料科学、生命科学、地质学等领域。

为了保证SEM的正常运行并获得高质量的图像,有必要制定相应的操作规程。

二、SEM操作流程1.准备工作(1)打开SEM主机电源,并按照指示启动冷阱泵、离子泵和电子枪的加热系统。

(2)打开控制器电源,同时启动计算机。

(3)打开主机保护罩,确认操作环境无尘、无水汽等污染物,确保主机表面无异物。

2.样品制备(1)样品选择:根据实验需要选择合适的样品,并确认样品表面无水分、灰尘和油脂等污染物。

(2)样品固定:将样品固定在适当的样品台上,可以使用导电胶、碳带或金属夹等方式。

(3)极性标记:如果样品具有极性,可以使用导电涂层或金属导线对样品进行极性标记。

3.SEM参数设置(1)加速电压:根据样品类型和需要观察的细节选择合适的加速电压,一般为10-30kV。

(2)操作模式:根据需要选择高真空模式或低真空模式,低真空模式适用于非导电样品的观察。

(3)滤波器:根据样品的特点和需要选择合适的信号滤波器。

(4)检测器:根据需要选择透射电子检测器或反射电子检测器。

4.校准与对焦(1)样品台校准:使用样品台移动功能进行校准,确保样品位置精确。

(2)对焦:调节显微镜目镜和物镜,通过观察图像清晰度和对比度来进行对焦。

5.SEM图像获取(1)样品扫描:选择合适的扫描模式,如线扫描或逐点扫描,设置扫描速度和扫描范围。

(2)图像增强:根据需要进行亮度、对比度、伽马校正等图像增强操作。

(3)图像保存:选择合适的文件格式和保存路径,保存图像以备进一步分析和处理。

6.SEM维护(1)常规清洁:每次使用后,使用纯净的乙醇或丙酮擦拭样品台和样品表面,去除样品表面的残留物。

(2)泄漏检测:定期检查真空系统是否存在泄漏,如有泄漏及时修复。

(3)硅片测试:定期使用标准硅片对SEM系统进行性能测试,以确保SEM的准确性和稳定性。

扫描电子显微镜操作流程

扫描电子显微镜操作流程

扫描电子显微镜操作流程扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,SEM)是一种常用的显微镜,用于观察微观尺度下的表面形貌和组织结构。

本文将介绍扫描电子显微镜的操作流程,帮助您更好地使用该仪器。

一、准备工作在进行扫描电子显微镜操作之前,需要做一些准备工作:1. 查看设备状态:确保扫描电子显微镜处于正常工作状态。

2. 清洁样品:将待观察的样品进行适当的清洁处理,以去除表面的杂质和污染物。

3. 固定样品:将样品放置在适当的样品架上,并使用夹具或者导电胶带等方式固定好。

二、样品装载1. 打开样品室:打开扫描电子显微镜的样品室门,确保样品室内的环境与外界隔离。

2. 放置样品:将准备好的样品小心地放置在样品架上,并确保样品与检测器件之间的距离适当。

3. 关闭样品室:关闭样品室门,并确保密封良好,避免样品室内空气进入。

三、真空抽气由于扫描电子显微镜需要在真空环境下运行,因此需要进行真空抽气:1. 打开真空阀门:打开真空阀门,开始抽气。

2. 监测真空度:通过监测仪器,观察真空度的变化,待真空度达到设定要求后进行下一步操作。

3. 关闭真空阀门:当真空度稳定后,关闭真空阀门,保持真空状态。

四、电子束调节1. 打开激光:打开光源或电子束发射器。

2. 对焦:通过调节电子束的对焦控制,使得电子束聚焦在样品表面上。

3. 调节亮度和对比度:根据实际需求,调节电子束的亮度和对比度,以获得清晰的显微镜图像。

五、影像获取1. 扫描区域选择:根据需要选择要扫描的区域,调整样品台的位置。

2. 开始扫描:按下扫描按钮,开始扫描电子显微镜。

3. 图像观察:通过显微镜的显示屏或者计算机上的图像软件,观察并记录扫描获得的图像。

4. 图像保存:根据需要,将扫描得到的图像保存到计算机或其他存储设备中。

六、仪器关闭1. 关闭激光:关闭光源或电子束发射器。

2. 关闭扫描电子显微镜:按下关闭按钮,将扫描电子显微镜关闭。

3. 停止真空抽气:打开真空阀门,停止真空抽气。

扫描电子显微镜的操作步骤和注意事项-心得教学提纲

扫描电子显微镜的操作步骤和注意事项-心得教学提纲

扫描电子显微镜的操作步骤和注意事项-心得扫描电子显微镜的操作步骤与注意事项一、样品制备将分散好的样品滴于铜片上,干燥后将载有样品的铜片粘在样品座上的导电胶带上(对于大颗粒样品可直接将样品粘在导电胶带上)。

对于导电性不好的样品必须蒸镀导电层,通常为蒸金:将样品座置于蒸金室中,合上盖子,打开通气阀门,对蒸金室进行抽真空。

选择好适当的蒸金时间,达到真空度定好时间后加电压并开始计时,保持电流值,时间到后关闭电压,关闭仪器。

取出样品。

(注意:打开蒸金室前必须先关闭通气阀门,以防液体倒流。

)二、扫描电镜的操作1.安装样品1) 按“Vent”直至灯闪,对样品交换室放氮气,直至灯亮;2) 松开样品交换室锁扣,打开样品交换室,取下原有的样品台,将已固定好样品的样品台,放到送样杆末端的卡抓内(注意:样品高度不能超过样品台高度,并且样品台下面的螺丝不能超过样品台下部凹槽的平面);3) 关闭样品交换室门,扣好锁扣;4) 按“EVAC”按钮,开始抽真空,“EVAC”闪烁,待真空达到一定程度,“EVAC”点亮;5) 将送样杆放下至水平,向前轻推至送样杆完全进入样品室,无法再推动为止,确认“Hold”灯点亮,将送样杆向后轻轻拉回直至末端台阶露出导板外将送样杆竖起卡好。

(注意:推拉送样杆时用力必须沿送样杆轴线方向,以防损坏送样杆)2.试样的观察(注意:软件控制面板上的背散射按钮千万不能点,以防损坏仪器)1) 观察样品室的真空“PVG”值,当真空达到9.0×10-5Pa时,打开“Maintenance”,加高压5kv,软件上扫描的发射电流为10μA,工作距离“WD”为8mm,扫描模式为“Lei”(注意:为减少干扰,有磁性样品时,工作距离一般为15mm左右);2) 操作键盘上按“Low Mag”、“Quick View”,将放大倍率调至最低,点击“Stage Map”,对样品进行标记,按顺序对样品进行观察;3) 取消“Low Mag”,看图像是否清楚,不清楚则调节聚焦旋钮,直至图像清楚,再旋转放大倍率旋钮,聚焦图像,直至图像清楚,再放大……,直到放大到所需要的图;4) 聚焦到图像的边界一致,如果边界清晰,说明图像已选好,如果边界模糊,调节操作键盘上的“X、Y”两个消像散旋钮,直至图像边界清晰,如果图像太亮或太暗,可以调节对比度和亮度,旋钮分别为“Contrast”和“Brightness”,也可以按“ACB”按钮,自动调整图像的亮度和对比度;5) 按“Fine View”键,进行慢扫描,同时按“Freeze”键,锁定扫描图像;6) 扫描完图像后,打开软件上的“Save”窗口,按“Save”键,填好图像名称,选择图像保存格式,然后确定,保存图像;7) 按“Freeze”解除锁定后,继续进行样品下一个部位或者下一个样品的观察。

实验室中的电子显微镜正确操作电子显微镜的注意事项

实验室中的电子显微镜正确操作电子显微镜的注意事项

实验室中的电子显微镜正确操作电子显微镜的注意事项电子显微镜是现代科学研究与技术领域中不可或缺的仪器之一,它能够帮助科学家们观察并研究微观世界中的微小物体。

然而,由于电子显微镜的性质和操作特点,我们在使用时需要注意一些事项,以确保实验的准确性和安全性。

本文将介绍实验室中电子显微镜的正确操作注意事项。

一、准备工作在使用电子显微镜之前,必须进行一些准备工作,包括:1. 室内环境控制:电子显微镜对环境的要求比较高,必须在封闭的实验室中进行操作。

实验室应有稳定的温度、湿度和洁净度,以避免灰尘和水汽的干扰。

2. 样品准备:为了观察样品,需要将其切割成适当的尺寸并进行固定处理。

样品应尽量保持干燥,以避免过多水分对电子束的干扰。

3. 仪器检查:在操作电子显微镜之前,必须对其进行仔细检查。

检查电子源、真空系统、探测器等是否正常工作,并确保仪器内部没有异物。

二、操作步骤正确的操作电子显微镜需要遵循一系列的步骤,以确保观察结果的准确性和可靠性,包括:1. 开启电子显微镜:按照仪器操作说明书,依次开启电子源、真空系统和探测器。

在开启过程中,需要耐心等待仪器的预热和稳定。

2. 调节电子束:通过聚焦、导流、加速等操作,调节电子束的亮度、对焦和聚束。

确保电子束能够准确地与样品发生相互作用,以产生清晰的图像。

3. 放置样品:使用样品夹或样品舱,将处理好的样品放置到电子束路径下。

注意避免手指接触样品,防止留下污渍或指纹。

4. 扫描图像:选择合适的扫描模式(如透射电子显微镜、扫描电子显微镜等),开始扫描图像的获取。

尽量避免扫描过快或过慢,以获得清晰的图像。

5. 调节参数:根据需要和观察条件,调节增益、对比度、曝光时间等参数,以优化图像质量和细节展示。

6. 观察和记录:仔细观察电子显微镜下的样品图像,记录重要的观察结果,并根据需要进行测量和分析。

三、安全注意事项在操作电子显微镜的过程中,需要注意一些安全事项,包括:1. 注意电子束的辐射:电子束具有一定的辐射性质,因此在操作时应尽量避免直接暴露于电子束下,以避免对人体造成伤害。

扫描电子显微镜的操作步骤与技巧

扫描电子显微镜的操作步骤与技巧

扫描电子显微镜的操作步骤与技巧扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,SEM)是一种非常重要的科学研究工具,广泛应用于材料科学、生物学、医学等领域。

通过使用扫描电子显微镜,我们可以观察和研究微小的物体结构和形貌。

然而,要正确操作该设备并获得高质量的显微图像,并不是一件简单的事情。

在本文中,我们将讨论扫描电子显微镜的基本操作步骤和一些技巧。

首先,确保准备工作的完整。

操作扫描电子显微镜之前,应确保待观察样品已经被充分准备。

这包括样品的固定和处理,以确保其表面平整和干燥。

如果样品表面不平整或存在水分,则可能会导致扫描电子显微镜的成像效果不佳。

因此,在开始操作之前,应仔细检查样品的处理程度以及其是否符合操作要求。

其次,正确设置和校准设备。

扫描电子显微镜有许多参数和控制选项,而正确设置和校准这些参数至关重要。

首先,我们需要选择适当的加速电压和电流,以确保样品能够正常激发和产生电子束。

其次,在显微镜的对准方面,我们要关注电子束和样品之间的距离以及投射角度。

调整这些参数可以最大程度地提高成像质量。

除了基本的操作步骤之外,还有一些技巧可以帮助我们获得更好的成像效果。

首先,要避免电子束损伤。

当样品处于高于正常加速电压的情况下,电子束可能引起样品的电离和热损伤。

因此,我们应尽量选择低电压和电流,并在操作过程中控制好作用时间,以避免这种损伤。

其次,要注意电子束的扫描速度。

快速扫描速度可能会导致成像模糊,而过慢的扫描速度可能会导致成像时间变长。

合理调节扫描速度可以获得清晰且高效的显微图像。

此外,掌握样品准备技巧也是操作扫描电子显微镜的重要一环。

在扫描电子显微镜中,样品的导电性对成像起着至关重要的作用。

对于不导电的样品,需要涂覆一层导电剂,以提供导电性。

而对于易挥发性的样品,则需要低温固定和冷冻来保持其形态。

掌握这些样品处理技巧可以更好地应对不同的样品类型,并获得高质量的显微图像。

最后,及时的设备维护和保养也是操作扫描电子显微镜的关键。

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扫描电子显微镜的操作步骤和注意事项心得扫描电子显微镜的操作步骤与注意事项一、样品制备
将分散好的样品滴于铜片上,干燥后将载有样品的铜片粘在样品座上的导电胶
带上(对于大颗粒样品可直接将样品粘在导电胶带上)。

对于导电性不好的样品必须蒸镀导电层,通常为蒸金:将样品座置于蒸金室
中,合上盖子,打开通气阀门,对蒸金室进行抽真空。

选择好适当的蒸金时间,达
到真空度定好时间后加电压并开始计时,保持电流值,时间到后关闭电压,关闭仪器。

取出样品。

(注意:打开蒸金室前必须先关闭通气阀门,以防液体倒流。

)
二、扫描电镜的操作
1.安装样品
“Vent”直至灯闪,对样品交换室放氮气,直至灯亮; 1) 按
2) 松开样品交换室锁扣,打开样品交换室,取下原有的样品台,将已固定好
样品的样品台,放到送样杆末端的卡抓内(注意:样品高度不能超过样品台高度,并
且样品台下面的螺丝不能超过样品台下部凹槽的平面);
3) 关闭样品交换室门,扣好锁扣;
4) 按“EVAC”按钮,开始抽真空,“EVAC”闪烁,待真空达到一定程度,“EVAC”点亮;
5) 将送样杆放下至水平,向前轻推至送样杆完全进入样品室,无法再推动为
止,确认“Hold”灯点亮,将送样杆向后轻轻拉回直至末端台阶露出导板外将送
样杆竖起卡好。

(注意:推拉送样杆时用力必须沿送样杆轴线方向,以防损坏送样杆)
2.试样的观察(注意:软件控制面板上的背散射按钮千万不能点,以防损坏仪器)
-51) 观察样品室的真空“PVG”值,当真空达到9.0×10Pa时,打开“
Maintenance”,加高压5kv,软件上扫描的发射电流为10μA,工作距离“WD”为8mm,扫描模式为“Lei”(注意:为减少干扰,有磁性样品时,工作距离一般为15mm左右);
2) 操作键盘上按“Low Mag”、“Quick View”,将放大倍率调至最低,点击“Stage Map”,对样品进行标记,按顺序对样品进行观察;
3) 取消“Low Mag”,看图像是否清楚,不清楚则调节聚焦旋钮,直至图像清楚,再旋转放大倍率旋钮,聚焦图像,直至图像清楚,再放大……,直到放大到所需要的图;
4) 聚焦到图像的边界一致,如果边界清晰,说明图像已选好,如果边界模糊,调节操作键盘上的“X、Y”两个消像散旋钮,直至图像边界清晰,如果图像太亮或太暗,可以调节对比度和亮度,旋钮分别为“Contrast”和“Brightness”,也可以按“ACB”按钮,自动调整图像的亮度和对比度;
5) 按“Fine View”键,进行慢扫描,同时按“Freeze”键,锁定扫描图像;
6) 扫描完图像后,打开软件上的“Save”窗口,按“Save”键,填好图像名称,选择图像保存格式,然后确定,保存图像;
7) 按“Freeze”解除锁定后,继续进行样品下一个部位或者下一个样品的观察。

3.取出样品
1) 检查高压是否处于关闭状态(如HT键为绿色,点击HT键,关闭高压,HT键为蓝色或灰色);
mm,点击样品台按钮,按Exchang(2)检查样品台是否归位,工作距离为8 键, Exchang灯亮;
(3) 将送样杆放至水平,轻推送样杆到样品室,停顿1秒后,抽出送样杆并将送样杆竖起卡好,注意观察Hold关闭,为样品台离开样品室。

心得
在六周SEM分析测试技术的学习之前,我以为并不难做,就像以前的实验一样,做完实验写完实验报告就完事,直到本次学习结束时,我才知道其实并不容易。

在做实验前,一定要将实验原理弄懂,因为这是实验的基础,否则将会使做实验时的难度加大。

做实验时一定要亲力亲为,务必将每个步骤,每个细节弄清楚,试验结束后还要进行复习、思考,这样的印象才深刻。

本次实验的学习中老师还根据自己的切实体会交给我们一些书本上没有的知识,拓宽了我们的知识面。

通过本次SEM分析测试技术的学习,我学到了不少实用的知识和操作技能,更重要的是学到了做实验的过程,思考问题的方法,这与其他的实验是同用的,真正使我们受益匪浅。

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