微型机械加工技术发展现状和趋势及其关键技术
微机械及其微细加工技术
3.6 微机械及其微细技术加工
逆压电效应（或称电致伸缩）：若对压电 材料施加电场作用时，会引起材料内部正 负电荷中心的相对位移，导致材料变形， 应变与外电场强度成正比，应变的方向与 电场方向有关。
3.6 微机械及其微细技术加工
除石英晶体外，还有压电陶瓷、压电高分 子材料和压电半导体等。由于压电陶瓷具 有微小位移且精度高的突出优势，适应微 机械、微机器人微小位移控制的要求
3.6 微机械及其微细技术加工
• 形状记忆合金 利用形状记忆合金的记忆特性可以制成对环境 温度敏感的热响应执行器，也可利用形状记忆 合金的导电特性进行电加热，构成电驱动执行 器。
• 超磁致伸缩材料 材料在磁场作用下，其长度或形状发生伸长或 缩短的现象，具有较大磁致伸缩应变的材料称 为超磁致伸缩材料。超磁致伸缩材料可承受比 压电陶瓷高一个数量级的应变，制成的超高精 密致动器具有高的精度和大的输出力。
• 美国国家自然科学基金、先进研究计划、 国防部等投资1.4亿美元进行微机电系统 技术的研究。
3.6 微机械及其微细加工技术
• 欧共体为了加强各国之间的组织和合作， 成立了NEXUS（多功能微系统研究合作 机构）组织。德国20世纪80年代中期发 展的LIGA工艺，研究人员在实验室里制 造出了微传感器、微电机、微执行器、 微型流量计以及直径为数百微米的金属 双联齿轮等微机械零件。
微加速度计：用于汽车安全气袋系统中，检测和 监控前面和侧面的碰撞。
微角速度计：用于车轮侧滑和打滚控制。
微型继电器等。
3.6 微机械及其微细加工技术
4. MEMS军事应用展望 军事领域是微机电系统技术的最早应用 领域。
3.6 微机械及其微细加工技术
汽车工业
安全气囊加速计、发动机压力计、自动驾驶陀螺
机械工艺技术的发展趋势和前景展望
机械工艺技术的发展趋势和前景展望在当今科技飞速发展的时代，机械工艺技术作为制造业的核心支撑，正经历着深刻的变革和创新。
它不仅影响着产品的质量、性能和成本，还决定着企业的竞争力和行业的发展方向。
本文将探讨机械工艺技术的发展趋势，并对其前景进行展望。
一、机械工艺技术的发展现状过去几十年，机械工艺技术取得了显著的进步。
从传统的车、铣、刨、磨等加工工艺，到数控加工技术的广泛应用，生产效率和加工精度得到了大幅提升。
同时，材料科学的发展也为机械工艺技术提供了更多的选择，高强度、耐高温、耐腐蚀等新型材料不断涌现，满足了不同领域的需求。
然而，随着市场需求的不断变化和科技的持续进步，当前的机械工艺技术仍面临着一些挑战。
例如，在追求高精度和复杂形状的加工时，现有工艺仍存在一定的局限性；在绿色制造和可持续发展方面，还需要进一步降低能源消耗和环境污染；此外，智能化和自动化水平仍有待提高，以应对日益增长的个性化定制需求。
二、机械工艺技术的发展趋势1、数字化制造数字化制造是机械工艺技术发展的重要趋势之一。
通过计算机辅助设计（CAD）、计算机辅助制造（CAM）、计算机辅助工程（CAE）等技术的集成，实现了产品设计、工艺规划、生产制造的数字化协同。
数字化制造不仅提高了生产效率和精度，还能够在产品开发阶段就对其性能进行预测和优化，减少了研发周期和成本。
2、增材制造增材制造技术，又称 3D 打印，是近年来发展迅速的一种新型制造技术。
与传统的减材制造不同，增材制造是通过逐层堆积材料的方式来构建物体。
它能够实现复杂形状的快速制造，为个性化定制和创新设计提供了极大的便利。
此外，增材制造还可以减少材料浪费，降低生产成本。
3、智能制造智能制造是将人工智能、大数据、物联网等新一代信息技术与机械工艺技术深度融合的产物。
通过智能传感器对生产过程中的数据进行实时采集和分析，实现设备的自诊断、自调整和自适应控制，从而提高生产效率、产品质量和设备利用率。
机械加工过程监测和控制的发展与趋势
机械加工过程监测和控制的发展与趋势1.现状：cnc机械加工行业已经成为全球制造业的重要组成部分，涵盖了从简单的机械零件加工到复杂的机器人和汽车制造等各种领域。
在全球范围内，cnc机械加工的市场规模不断扩大，技术水平也在不断提高。
2.发展趋势：随着科技的不断发展，cnc机械加工领域也迎来了智能制造的新时代。
智能制造是指通过数字化技术和自动化技术，将cnc机械加工过程实现智能化和自动化，从而提高生产效率、降低成本、提升产品质量和减少环境污染。
在cnc机械加工中，智能制造可以通过数字化制造、自动化生产、智能仓储、智能检测等方式实现。
3.数字化制造：数字化技术是实现智能制造的基础。
通过数字化建模和仿真，cnc机械加工过程可以自动化控制和优化，从而提高生产效率、降低生产成本、提升产品质量和减少缺陷率。
数字化制造可以提高生产效率、降低生产成本、提升产品质量和减少缺陷率。
4.自动化生产：自动化技术是实现cnc机械加工过程自动化的关键。
通过自动化控制和机器人化加工，cnc机械加工过程可以实现高度的自动化和高效化。
自动化生产可以提高生产效率、降低人为因素造成的误差和缺陷率，从而提高产品的质量和可靠性。
5.智能化检测：智能化技术是实现产品质量实时监测和控制的关键。
通过智能检测技术，可以对加工过程中的产品进行智能化检测和监测，实现产品质量的实时监测和控制，提高产品质量和可靠性。
智能化技术可以提高检测效率和准确性，降低人为因素造成的误差和缺陷率。
cnc机械加工行业正在向着更加复杂、高效、稳定的方向发展。
— 1 —6.高精度加工：随着科技的不断发展，高精度加工技术也逐渐成为cnc机械加工的重要发展趋势。
高精度加工技术可以制作出更加精细、复杂、高精度的产品，从而提高产品的精度、质量和可靠性。
高精度加工技术包括激光切割、精密磨削、精密加工和粉末冶金等技术。
7.多轴加工：多轴加工技术是指通过多个轴的数控加工中心进行加工的一种技术，可以实现更加复杂的产品和结构加工。
微机械加工
微机械加工应用趋势与前沿技术简述摘要：微机电系统（MEMS）是由电子和机械组成的集成化器件或系统，采用与集成电路兼容的大批量处理工艺制造，尺寸在微米到毫米之间。
尤其将计算、传感和执行融为一体，从而改变了感知和控制自然界的方式。
本文介绍了微机电系统近几年应用领域及前景展望，并简单阐述了关于微制造的几种前言加工技术，从而对MEMS系统有一个粗略的了解。
关键字：MEMS 应用领域前景前沿技术 LIGA技术前言微型机械加工或称微机电系统（MEMS），早在1959年就由着名的物理学家理查德·范蔓（Richard·Feynman）提出其概念，然而此后数十年间的发展并未受到过多的关注，直到近年来才逐渐发展成为一门交叉学科。
MEMS主要包括微型传感器、微型执行器以及相应地处理电路三部分。
作为输入信号的各种信号首先通过微传感器转换成电信号，经过信号处理以后，再通过微执行器对外部世界发生作用。
传感器可以把能量从一种形式转换成另一种形式，从而将现实世界的信号（热、化学、运动等）转换成系统可以处理的信号（如电信号）。
信号处理器则可以对信号进行转换、放大和计算等处理。
执行器根据信号处理电路发出的指令来完成人们所需要的操作。
MEMS的快速发展只不过是10多年的时间，却已在各个应用领域显示出强大的生命力，甚至单个领域的MEMS器件就已经形成了一个较大规模的产业。
面向21世纪，MEMS将逐步走向实用化，并被广泛应用于国防、航空、航天、通信、环保、生物工程、医疗、制造业、农业和家庭。
在某种意义上，可认为MEMS是“信息化带动工业化”的一个典范。
一、应用领域与前景展望作为信息获取关键的传感MEMS，已成功应用于汽车、电子等行业和军事领域；在令人瞩目的信息技术和生命技术的发展中，MEMS更将发挥不可估量的作用：光MEMS被认为是开启通信之门的钥匙；RF MEMS将成为移动通信的一项核心技术；高密度MEMS生物芯片将强有力地推动生命科学和生物技术的发展。
机械加工行业发展现状及未来发展趋势
机械加工行业发展现状及未来发展趋
势
一、现状概述
机械加工行业作为传统制造业的重要组成部分，在当前工业领域中仍然占据着重要的地位。
随着科技的不断发展，机械加工技术也得到了持续的更新与进步，从而使得行业得以稳步发展。
目前，我国机械加工行业已经成为全球最大的生产大国之一，不仅满足了国内市场需求，同时也逐步打开了国际市场，与世界各地的用户进行深度合作。
然而，尽管当前行业发展形势较好，但在新科技不断涌现和国际环境复杂多变的大背景下，仍然面临诸多挑战和问题。
二、未来发展趋势
1.智能化转型
随着工业4.0的兴起和人工智能技术的成熟，智能化转型已经成为机械加工行业未来发展的必然趋势。
通过引入先进的工业机器人、自动化生产线以及智能化管理系统，可以实现生产过程的自动化、智能化，提高生产效率、降低成本，并且可以满足个性化定制的需求。
未来，机械加工行业将进一步加速向智能化转型的步伐，提高企业核心竞争力。
2.数字化转型
数字化转型是机械加工行业发展的另一大趋势。
通过引入数字化技术，可以实现产品设计、工艺规划、生产制造等
环节的无缝对接，提高生产过程的协同性和效率。
同时，数字化技术还可以帮助企业更好地进行数据分析与预测，为企业的决策提供有力支持。
未来，数字化转型将成为机械加工行业发展的关键因素之一。
3.绿色发展
随着环保意识的日益增强，绿色发展已经成为各行各业关注的焦点。
机械加工行业作为高耗能、高排放的行业之一，更应该注重环保问题。
未来，机械加工行业将更加注重节能减排、资源循环利用等方面的问题，采取有效措施降低能耗和减少污染物排放，推动行业实现可持续发展。
机械加工产业现状及发展趋势
机械加⼯产业现状及发展趋势机械加⼯业发展的总趋势为“四化”：柔性化—使⼯艺装备与⼯艺路线能适应于⽣产各种产品的需要；灵捷化—使⽣产⼒推向市场准备时间为最短，使⼯⼚机械灵活转向；智能化—柔性⾃动化的重要组成部分，它是柔性⾃动化的新发展和延伸；信息化—机械制造业将是由信息主导的，并采⽤先进⽣产模式、先进制造系统、先进制造技术和先进组织合理⽅式的全新的机械制造业。
21世纪初机械制造业的重要特征表现在它的全球化、⽹络化、虚拟化以及环保协调的绿⾊制造等，⼈类不仅要摆脱繁重的体⼒劳动，⽽且要从烦琐的计算分析等脑⼒劳动中解放出来，以便有更多的经理从事⾼层次的创造性劳动。
智能化促进柔性化，它使⽣产系统具有更完善的判断与适应能⼒。
根据机械制造业的发展趋势，发展机电⼀体化已成为我市机械⼯业振兴的必由之路。
应确定以下⼏个发展⽅向：（1）借助联诚⾦属制品有限公司的发展，加快发展汽车⽔泵等汽车零部件，建设4000万套汽车零部件项⽬，建成国际⼀流的汽车零部件⽣产基地。
（2）抓住国家⽀持农业发展的战略机遇，以华源⼭拖、⼤丰机械为依托，重点发展⼤、中型拖拉机、背负式及⾃⾛式⾕物联合收割机、⽟⽶联合收割机等农业机械产品不断扩展市场范围。
（3）依托⼤陆机械、⾦马机床、宏⼤机械等优势企业，根据市场需求开发经济适⽤、竞争⼒强的矿⼭、机床、筑路等专⽤机械产品。
（4）合⾦加⼯逐步向汽车模具等⾼附加值产品延伸，加快发展步伐，形成年产60万吨优质特钢、2万吨轧辊、10万套模具⽣产能⼒，成为具有⼀定规模和优势的优质特钢⽣产、模具制造加⼯基地。
经过半个多世纪的努⼒，中国机械⼯业已经逐步发展成为具有⼀定综合实⼒的制造业，初步确⽴了在国民经济中的⽀柱地位。
“⼋五”期间，中国共产党⼗四⼤明确提出要把机械⼯业、汽车⼯业建成国民经济的⽀柱产业。
按照这⼀战略要求，原机械⼯业部会同原国家计划委员会制定了《机械⼯业振兴纲要》，经国务院批准颁布实施，要求⽤15年时间，到2010年基本实现机械⼯业的振兴，使之成为国民经济的⽀柱产业。
现代机械制造技术的现状及最新成就与进展
【摘要】简述了机械制造技术的发展历程，国内外现代机械制造技术的现状及最新成就与进展，我国在发展现代机械制造技术的基本情况、差距及动向。
【关键词】机械制造；现状；发展趋势1、机械制造技术的发展历程机械制造业是国民经济最重要的基础产业，而机械制造技术的不断创新则是机械工业发展的技术基础和动力。
机械制造业发展至今，按其生产方式的变化可划分为：（1）劳动密集型生产方式。
手工制作及早期的工业生产均属于这种方式。
（2）设备密集型生产方式。
这是一种随着运输机械、施工机械和机床等大规模工业化生产的出现而产生的【我爱论文发表网致力于打造最好的论文发表、论文写作网络秘书平台，为您的事业顺风保驾护航！】生产方式。
汽车、拖拉机、轴承等大批量生产中的刚性生产流水线均属于这种生产方式。
（3）信息密集型生产方式。
从20世纪初期开始出现了数控机床、加工中心等新型机电一体化加工设备。
它实现了人【我爱论文发表网致力于打造最好的论文发表、论文写作网络秘书平台，为您的事业顺风保驾护航！】与机器设备之间的信息交流，机器设备可通过获得的信息，快速、准确地实现加工，继而产生了使用这些典型设备的生产方式。
（4）知识密集型生产方式【我爱论文发表网致力于打造最好的论文发表、论文写作网络秘书平台，为您的事业顺风保驾护航！】。
这种生产方式是制造理念的飞跃，把单向的产品制造链组成为有机的制造系统，其中的物流系统、信息流系统、能量流系统等相互依赖、相互作用、相互协调。
这种制造系统不单能与人进行信息交流，而且本身具有专家系统、数据库等必要的解决问题的知识，使其能在获取较少信息的情况下完成加工要求。
（5）智能密集型生产方【我爱论文发表网致力于打造最好的论文发表、论文写作网络秘书平台，为您的事业顺风保驾护航！】式。
这是目前正在研究和实施的一种全新的生产方式。
它试图使用制造系统本身具有的人工智能，并引入了新的制造哲理和组织形式。
因此，这种制造技术能够快速响应市场的变化，超前地开发产品，实现多品种产品的全过程管理。
机械加工行业的现状和趋势
机械加工行业的现状和趋势第一章现状机械加工行业是制造业的一部分，在现代工业中发挥着重要作用，是推动国民经济发展的重要领域。
随着制造业技术的不断发展和市场需求的不断增加，机械加工行业也在逐渐变得竞争激烈。
在目前的市场环境中，机械加工行业的现状主要表现在以下几个方面：1. 生产成本不断上升随着社会经济的不断发展，原材料价格、劳动力成本等生产成本逐年上升。
这使得在市场竞争中，一些中小型机械加工企业难以承受和竞争。
大型机械加工企业通过规模效益和技术创新等手段，更好地控制生产成本。
2. 技术水平提高机械加工行业技术水平以及生产工艺不断提高，许多传统产品制造难度不断降低，部分工序得以自动化生产，大大提高了生产效率和产品质量，降低了生产成本。
然而也应该不断的提升企业技术研发水平，创新未来的发展。
3. 行业发展态势良好自2016年之后，中国机械工业总体增速呈回升趋势，其中数控机床等机械设备行业增长最快。
行业发展态势良好，公司开拓市场迅速，新增用户逐年增长。
第二章趋势基于现状，机械加工行业的发展趋势将会有所改变，未来的机械加工行业发展趋势主要有以下几个方面：1. 转型升级随着国家制造2025等一系列政策的出台，机械加工行业将不断推进向智能化、自动化转型升级。
特别是在5G、人工智能等技术的应用推广下，机械加工行业的生产将会更加智能、高效，实现数字化管理。
2. 环保节能环保节能将成为未来机械加工行业发展的重要方向。
在机械设备制造方面，研发具有节能环保特性的智能化设备将会得到更多的发展和应用。
同时，在机械加工行业中，环保节能的检测和监管会更加强调，而这也将影响到机械加工企业的发展。
3. 产业集群化发展未来在机械加工行业中，将出现更多的集群化发展。
由于机械制造是一个综合性的行业，需要包括原材料加工，部件制造，配套及售后维护等一系列过程。
业内企业之间加强合作，建立产业集群有利于加强核心技术研发，提高生产效率，达到产业升级的目的。
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编订：__________________单位：__________________时间：__________________微型机械加工技术发展现状和趋势及其关键技术Deploy The Objectives, Requirements And Methods To Make The Personnel In The Organization Operate According To The Established Standards And Reach The Expected Level.Word格式 / 完整 / 可编辑文件编号：KG-AO-7978-14 微型机械加工技术发展现状和趋势及其关键技术使用备注：本文档可用在日常工作场景，通过对目的、要求、方式、方法、进度等进行具体、周密的部署，从而使得组织内人员按照既定标准、规范的要求进行操作，使日常工作或活动达到预期的水平。
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--微型机械加工技术概念微型机械加工或称微型机电系统或微型系统是只可以批量制作的、集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、甚至外围接口、通讯电路和电源等于一体的微型器件或系统。
其主要特点有：体积小（特征尺寸范围为：1μm-10mm）、重量轻、耗能低、性能稳定；有利于大批量生产，降低生产成本；惯性小、谐振频率高、响应时间短；集约高技术成果，附加值高。
微型机械的目的不仅仅在于缩小尺寸和体积，其目标更在于通过微型化、集成化、来搜索新原理、新功能的元件和系统，开辟一个新技术领域，形成批量化产业。
微型机械加工技术是指制作为机械装置的微细加工技术。
微细加工的出现和发展早是与大规模集成电路密切相关的，集成电路要求在微小面积的半导体上能容纳更多的电子元件，以形成功能复杂而完善的电路。
电路微细图案中的最小线条宽度是提高集成电路集成度的关键技术标志，微细加工对微电子工业而言就是一种加工尺度从微米到纳米量级的制造微小尺寸元器件或薄模图形的先进制造技术。
目前微型加工技术主要有基于从半导体集成电路微细加工工艺中发展起来的硅平面加工和体加工工艺，上世纪八十年代中期以后在LIGA加工（微型铸模电镀工艺）、准LIGA加工，超微细加工、微细电火花加工（EDM）、等离子束加工、电子束加工、快速原型制造（RPM）以及键合技术等微细加工工艺方面取得相当大的进展。
微型机械系统可以完成大型机电系统所不能完成的任务。
微型机械与电子技术紧密结合，将使种类繁多的微型器件问世，这些微器件采用大批量集成制造，价格低廉，将广泛地应用于人类生活众多领域。
可以预料，在本世纪内，微型机械将逐步从实验室走向适用化，对工农业、信息、环境、生物医疗、空间、国防等领域的发展将产生重大影响。
微细机械加工技术是微型机械技术领域的一个非常重要而又非常活跃的技术领域，其发展不仅可带动许多相关学科的发展，更是与国家科技发展、经济和国防建设息息相关。
微型机械加工技术的发展有着巨大的产业化应用前景。
--微型机械加工技术的国外发展现状1959年，RichardPFeynman（1965年诺贝尔物理奖获得者）就提出了微型机械的设想。
1962年第一个硅微型压力传感器问世，气候开发出尺寸为50～500μm的齿轮、齿轮泵、气动涡轮及联接件等微机械。
1965年，斯坦福大学研制出硅脑电极探针，后来又在扫描隧道显微镜、微型传感器方面取得成功。
1987年美国加州大学伯克利分校研制出转子直径为60～12μm的利用硅微型静电机，显示出利用硅微加工工艺制造小可动结构并与集成电路兼容以制造微小系统的潜力。
微型机械在国外已受到政府部门、企业界、高等学校与研究机构的高度重视。
美国MIT、Berkeley、Stanford\AT&T和的15名科学家在上世纪八十年代末提出"小机器、大机遇：关于新兴领域--微动力学的报告"的国家建议书，声称"由于微动力学（微系统）在美国的紧迫性，应在这样一个新的重要技术领域与其他国家的竞争中走在前面"，建议中央财政预支费用为五年5000万美元，得到美国领导机构重视，连续大力投资，并把航空航天、信息和MEMS作为科技发展的三大重点。
美国宇航局投资1亿美元着手研制"发现号微型卫星"，美国国家科学基金会把MEMS作为一个新崛起的研究领域制定了资助微型电子机械系统的研究的计划，从1998年开始，资助MIT，加州大学等8所大学和贝尔实验室从事这一领域的研究与开发，年资助额从100万、200万加到1993年的500万美元。
1994年发布的《美国国防部技术计划》报告，把MEMS列为关键技术项目。
美国国防部高级研究计划局积极领导和支持MEMS的研究和军事应用，现已建成一条MEMS 标准工艺线以促进新型元件/装置的研究与开发。
美国工业主要致力于传感器、位移传感器、应变仪和加速度表等传感器有关领域的研究。
很多机构参加了微型机械系统的研究，如康奈尔大学、斯坦福大学、加州大学伯克利分校、密执安大学、威斯康星大学、老伦兹得莫尔国家研究等。
加州大学伯克利传感器和执行器中心（BSAC）得到国防部和十几家公司资助1500万元后，建立了1115m2研究开发MEMS的超净实验室。
日本通产省1991年开始启动一项为期10年、耗资250亿日元的微型大型研究计划，研制两台样机，一台用于医疗、进入人体进行诊断和微型手术，另一台用于工业，对飞机发动机和原子能设备的微小裂纹实施维修。
该计划有筑波大学、东京工业大学、东北大学、早稻田大学和富士通研究所等几十家单位参加。
欧洲工业发达国家也相继对微型系统的研究开发进行了重点投资，德国自1988年开始微加工十年计划项目，其科技部于1990～1993年拨款4万马克支持"微系统计划"研究，并把微系统列为本世纪初科技发展的重点，德国首创的LIGA工艺，为MEMS的发展提供了新的技术手段，并已成为三维结构制作的优选工艺。
法国1993年启动的7000万法郎的"微系统与技术"项目。
欧共体组成"多功能微系统研究网络NEXUS"，联合协调46个研究所的研究。
瑞士在其传统的钟表制造行业和小型精密机械工业的基础上也投入了MEMS的开发工作，1992年投资为1000万美元。
英国政府也制订了纳米科学计划。
在机械、光学、电子学等领域列出8个项目进行研究与开发。
为了加强欧洲开发MEMS的力量，一些欧洲公司已组成MEMS开发集团。
目前已有大量的微型机械或微型系统被研究出来，例如：尖端直径为5μm的微型镊子可以夹起一个红血球，尺寸为7mm×7mm×2mm的微型泵流量可达250μl/min能开动的汽车，在磁场中飞行的机器蝴蝶，以及集微型速度计、微型陀螺和信号处理系统为一体的微型惯性组合（MIMU）。
德国创造了LIGA工艺，制成了悬臂梁、执行机构以及微型泵、微型喷嘴、湿度、流量传感器以及多种光学器件。
美国加州理工学院在飞机翼面粘上相当数量的1mm的微梁，控制其弯曲角度以影响飞机的空气动力学特性。
美国大批量生产的硅加速度计把微型传感器（机械部分）和集成电路（电信号源、放大器、信号处理和正检正电路等）一起集成在硅片上3mm×3mm的范围内。
日本研制的数厘米见方的微型车床可加工精度达1.5μm的微细轴。
--微型机械加工技术概念微型机械加工或称微型机电系统或微型系统是只可以批量制作的、集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、甚至外围接口、通讯电路和电源等于一体的微型器件或系统。
其主要特点有：体积小（特征尺寸范围为：1μm-10mm）、重量轻、耗能低、性能稳定；有利于大批量生产，降低生产成本；惯性小、谐振频率高、响应时间短；集约高技术成果，附加值高。
微型机械的目的不仅仅在于缩小尺寸和体积，其目标更在于通过微型化、集成化、来搜索新原理、新功能的元件和系统，开辟一个新技术领域，形成批量化产业。
微型机械加工技术是指制作为机械装置的微细加工技术。
微细加工的出现和发展早是与大规模集成电路密切相关的，集成电路要求在微小面积的半导体上能容纳更多的电子元件，以形成功能复杂而完善的电路。
电路微细图案中的最小线条宽度是提高集成电路集成度的关键技术标志，微细加工对微电子工业而言就是一种加工尺度从微米到纳米量级的制造微小尺寸元器件或薄模图形的先进制造技术。
目前微型加工技术主要有基于从半导体集成电路微细加工工艺中发展起来的硅平面加工和体加工工艺，上世纪八十年代中期以后在LIGA加工（微型铸模电镀工艺）、准LIGA加工，超微细加工、微细电火花加工（EDM）、等离子束加工、电子束加工、快速原型制造（RPM）以及键合技术等微细加工工艺方面取得相当大的进展。
微型机械系统可以完成大型机电系统所不能完成的任务。
微型机械与电子技术紧密结合，将使种类繁多的微型器件问世，这些微器件采用大批量集成制造，价格低廉，将广泛地应用于人类生活众多领域。
可以预料，在本世纪内，微型机械将逐步从实验室走向适用化，对工农业、信息、环境、生物医疗、空间、国防等领域的发展将产生重大影响。
微细机械加工技术是微型机械技术领域的一个非常重要而又非常活跃的技术领域，其发展不仅可带动许多相关学科的发展，更是与国家科技发展、经济和国防建设息息相关。
微型机械加工技术的发展有着巨大的产业化应用前景。
--微型机械加工技术的国外发展现状1959年，RichardPFeynman（1965年诺贝尔物理奖获得者）就提出了微型机械的设想。
1962年第一个硅微型压力传感器问世，气候开发出尺寸为50～500μm的齿轮、齿轮泵、气动涡轮及联接件等微机械。
1965年，斯坦福大学研制出硅脑电极探针，后来又在扫描隧道显微镜、微型传感器方面取得成功。
1987年美国加州大学伯克利分校研制出转子直径为60～12μm的利用硅微型静电机，显示出利用硅微加工工艺制造小可动结构并与集成电路兼容以制造微小系统的潜力。
微型机械在国外已受到政府部门、企业界、高等学校与研究机构的高度重视。
美国MIT、Berkeley、Stanford\AT&T和的15名科学家在上世纪八十年代末提出"小机器、大机遇：关于新兴领域--微动力学的报告"的国家建议书，声称"由于微动力学（微系统）在美国的紧迫性，应在这样一个新的重要技术领域与其他国家的竞争中走在前面"，建议中央财政预支费用为五年5000万美元，得到美国领导机构重视，连续大力投资，并把航空航天、信息和MEMS作为科技发展的三大重点。
美国宇航局投资1亿美元着手研制"发现号微型卫星"，美国国家科学基金会把MEMS作为一个新崛起的研究领域制定了资助微型电子机械系统的研究的计划，从1998年开始，资助MIT，加州大学等8所大学和贝尔实验室从事这一领域的研究与开发，年资助额从100万、200万加到1993年的500万美元。