Zeiss钨灯丝扫描电镜
EVO18技术说明
钨灯丝扫描电镜技术文件仪器型号：EVO 182009年6月3日目录附件一、品牌介绍附件二、设备用途附件三、技术指标附件四、供货范围及报价附件五、计划进度及培训附件六、环境要求附件七、质保及其它服务附件一：聚焦·CARL ZEISS世界可见光及电子光学的领导企业----德国蔡司公司始创于1846年。
其电子光学前身为LEO（里奥）,更早叫Cambridge（剑桥）和Zeiss。
积扫描电镜领域40多年及透射电镜领域60年的经验，ZEISS电子束技术在世界上创造了数个第一：•第一台静电式透射电镜(1949)•第一台商业化扫描电镜(1965)•第一台数字化扫描电镜(1985)•第一台场发射扫描电镜(1990)•第一台带有成像滤波器的透射电镜(1992)•第一台具有Koehler照明的200kV 场发射透射电镜(2003)•第一台具有镜筒内校正Omega能量滤波器的场发射透射电镜(2003)CARL ZEISS其前瞻性至臻完美的设计融合欧洲至上制造工艺造就了该品牌在光电子领域无可撼动的王者地位。
自成立至今，一直延续不断创新的传统，公司拥有广泛的专有技术，，随着离子束技术和基于电子束的分析技术的加入、可为您提供钨灯丝扫描电镜、场发射扫描电镜、双束显微镜(FIB and SEM)、透射电子显微镜等全系列解决方案。
其产品的高性能、高质量、高可靠性和稳定性已得到全世界广大用户的信赖与认可。
作为全球电镜标准缔造者的CARL ZEISS将一路领跑高端电镜市场为您开创探求纳米科技的崭新纪元。
Carl Zeiss SMT下属的纳米技术系统部在北京，上海，广州，鞍山设有营销公司和维修服务站，致力于蔡司电镜的技术咨询，销售和售后服务工作。
附件二：设备主要用途扫描电镜是以电子束作为光源，电子束在加速电压的作用下经过三级电磁透镜，在末级透镜上部扫描线圈的作用下，在试样表面做光栅状扫描，，产生各种同试样性质有关的物理信息（如二次电子，背反射电子），然后加以收集和处理，从而获得表征试样形貌的扫描电子像。
Zeiss Supra55扫描电镜操作使用
Zeiss Supra55扫描电镜操作使用zeisssupra55扫描电镜操作使用zeisssupra55(vp)扫描电子显微镜简明操作指南一、开机表明冷启动步骤1、启动ups关上墙上空气控制器，证实ups后面电池控制器关上，按前面面板上on键至两个绿灯暗。
2、启动循环水冷机。
按on键，确认水泵1和制冷指示灯亮。
检查出水口压力在2～3bar。
出水口压力可以由压力表下方阀门调节。
若存有报警，检查水位，按res键。
3、启动空气压缩机。
确认空气压缩机上启动阀门上开关为“i”状态。
检查输出气压为5～6bar。
4、确认主机后两个电源开关状态为on。
此时，主机前面板上红灯暗。
5、按下黄键。
说明：前级真空泵进入工作状态，分子泵、潘宁计和离子泵自动顺序启动。
6、按下绿键。
按下绿键后，电脑可以自动启动，输出计算机密码：7、启动smartsem软件。
用户名：system密码：8、检查真空值，等待真空就绪。
特别注意：当systemvacuum<2×10mbar时，可以自动关上civ阀门(columnisolationvalve)，并启动离子泵。
当gunvacuum=<5×10mbar时，可以启动灯丝。
若长期停机，aes蒸煮。
9、打开灯丝。
10、开tv，检查样品台。
11、装样品(见第二部分)。
12、加高压(eht)。
13、观察样品。
-9-5待机状态1、停用高压(eht)。
2、停用smartsem软件。
注意：分两步，先关用户界面userinterface，后关后台程序emserver。
3、关windows。
4、必要时，第一关能谱、ebsd。
5、按下黄键此时，电子光学系统、样品台及检测系统电源关闭。
电镜真空系统和灯丝继续工作。
待机状态启动1、按下绿键。
按下绿键后，电脑可以自动启动，输出计算机密码：2、启动smartsem软件。
用户名：system密码：3、检查真空值。
4、换样或加高压观察样品。
zeiss sigma 500热场发射扫描电镜操作技巧及日常维护
imen
t
a
lTeach
i
ngandEqu
ipmen
tManagemen
tCen
t
e
r,QufuNo
rma
lUＧ
n
i
ve
r
s
i
t
i
na;２．Scho
o
lof Phys
i
c
sandPhys
i
ca
lEngi
ne
e
r
i
ng,QufuNo
rma
lUn
i
ve
r
Ｇ
y,Qufu２７３１６５,Ch
s
i
t
i
na)
y,Qufu２７３１６５,Ch
缩小和聚 焦,在 样 品 表 面 形 成 一 个 具 有 一 定 能 量、
强度、斑点 直 径 的 电 子 束;在 扫 描 线 圈 的 磁 场 作 用
下,入射电子束在样 品 表 面 上 按 照 一 定 的 空 间 和 时
间顺序做光栅式逐 点 扫 描;高 能 电 子 束 与 样 品 之 间
相互作用,从样品中 激 发 出 多 种 信 号 (二 次 电 子、背
２０２０ 年第 １ 期
分析仪器 AnalyticalInstrumentation
１０１
No．
１J
an．２０２０
图 １ 扫描电子显微镜外观及平面构造
(
a)
ZEI
SSS
i
b)
ZEI
SSS
i
gma５００ 的外部图片;(
gma５００ 的构造示意图
速电 压 (
０
０２~３０kV)的 作 用 下,经 会 聚 透 镜、物 镜
蔡司扫描电镜EVO 10技术参数
钨灯丝扫描电子显微镜EVO MA 10/LS 10详细描述：品牌：卡尔·蔡司 型号：EVO MA 10/LS 10制造商：德国卡尔蔡司公司 经销商：欧波同纳米技术有限公司免费咨询电话：800-8900-558【品牌故事】世界顶级光学品牌，可见光及电子光学的领导企业----德国蔡司公司始创于1846年。
其电子光学前身为LEO（里奥）,更早叫Cambridge（剑桥），积扫描电镜领域40多年及透射电镜领域60年的经验，ZEISS电子束技术在世界上创造了数个第一：第一台静电式透射电镜 (1949)第一台商业化扫描电镜 (1965)第一台数字化扫描电镜(1985)第一台场发射扫描电镜(1990)第一台带有成像滤波器的透射电镜 (1992)第一台具有Koehler照明的 200kV 场发射透射电镜(2003)第一台具有镜筒内校正Omega能量滤波器的场发射透射电镜(2003)CARL ZEISS以其前瞻性至臻完美的设计融合欧洲至上制造工艺造就了该品牌在光电子领域无可撼动的王者地位。
自成立至今，一直延续不断创新的传统，公司拥有电镜制造最核心最先进的专有技术，随着离子束技术和基于电子束的分析技术的加入、是全球唯一为您提供钨灯丝扫描电镜、场发射扫描电镜、双束显微镜(FIB and SEM)、透射电子显微镜等全系列解决方案的电镜制造企业。
其产品的高性能、高质量、高可靠性和稳定性已得到全世界广大用户的信赖与认可。
作为全球电镜标准缔造者的CARL ZEISS将一路领跑高端电镜市场为您开创探求纳米科技的崭新纪元。
【总体描述】EVO系列电镜是高性能、功能强大的高分辨应用型扫描电子显微镜。
MA 10用于材料领域,LS 10用于生命科学领域。
该系列电镜采用多接口的大样品室和艺术级的物镜设计，提供高低真空成像功能，可对各种材料表面作分析，并且具有业界领先的X射线分析技术。
革命性的Beamsleeve的设计，确保在低电压条件下提供高分辨率的锐利图像，同时还可以进行准确的能谱分析。
钨灯丝扫描电镜聚焦和消象散步骤
钨灯丝扫描电镜聚焦和消象散步骤一、样品装载和开机：1、样品制作、安装。
（根据样品导电性强弱来判定是否镀膜）2、打开电脑、显示器及电镜电源。
3、替换样品台，按Exchange键，抽真空。
（换样前若样品室有真空，需提前释放。
）4、开软件，双击桌面的SENSE-SEM图标，等待软件运行。
二、测试：1至11为整个测试的操作流程，14为练习内容，可以比较样品台高度Z不同，电镜测出图片效果。
Z最低，图片景深好。
Z比最低点高，图片清晰度好。
1、调样品台高度，Z轴调最低点位置，最小值-22.0（大约）。
实际测样中样品台高度要根据样品情况来调整。
2、选合适加速电压、探测器类型及高真空模式后，点击“start”开始调试。
3、放大画面前实时图像若为白色，向右调节第一聚光透镜电流CL1.（CL2为最右端）。
4、Collector-CLT收集器、Amplifier-PMT放大器，一般调最大。
5、在实时图像模式调粗聚焦，Z为-22.0（自动平台控制盒有显示）时，W/D调为20（不同机型，W/D值有所差异），图像会清晰。
Z固定一个高度时，W/D只需调一次。
6、移动样品台位置，调X/Y轴和Beamshift光束位移使样品测试部位在画面中间。
7、打开wobble功能，旋转光阑杆X/Y轴，使光阑孔对齐，图像不晃动。
（SS-60无此步骤）8、调微聚焦，画面清晰。
放大需要的倍数，重复调微聚焦。
9、调Stigmation消像散，X、Y值±20%，重复调微聚焦，图像会更清晰。
（图片放大倍数小于3千-5千倍，可不用调Stigmation。
）10、适当调整Contrast对比度和Brightness亮度。
11、PhotoMode3扫描，存储图片。
12、如需测试样品其它部位，缩小倍数，重复上述6至11步骤。
13、如需测试其它样品，先点击软件“stop”按钮，待显示出start，按设备上的Exchange键，释放真空，之后更换样品，再按Exchange键，抽真空，重复以上1至11步骤。
钨灯丝扫描电镜
二次电子，背散射电子
入射电子
h:散射率
0.6
~10 nm
二次电子
(=背散射电子/入射电子)
0.5 0.4 0.3 0.2
二次电子产生区域
边缘效应
0.1 0 60 80 100 Z 背散射电子的产量取决于原子序数的大小 0 20 40
二次电子的发射率和入射角度的关系
10
Electron Probe Micro Analyzer
扫描电镜观察:
1.样品在真空的环境中，要注意样品容易产生变形，收缩，蒸发。 2.只有导电性好的样品才能在样品仓中进行稳定的观察。 3.如果想进行高放大倍率的观察，必须将样品完全稳固的样品托上.
能谱仪观察:
1.注意样品发生变形. 2.当你制备样品时，请留意流失其他元素。 3.如果你想得到高精度的定量结果，请保证样品表面是平滑的。
17
1 Electron Probe Micro Analyzer 7
二次电子探测器
入射电子束 Collector Scintillator Light pipe PMT
A
B
Preamplifier
样品
18
Electron Probe Micro Analyzer
背散射电子探测器
A 入射电子束 B
BEI 前置放大器
Monitor
A+B
A-B
IMS
样品
A+B; COMP A-B; TOPO
19
Electron Probe Micro Analyzer
背散射电子探测器
入射电子 束 Ou tpu Ou tA tpu Dete tB ctor B Specimen
钨灯丝扫描电镜
Electron Probe Micro Analyzer
景深比较
一般情况下，SEM景深比TEM大10倍, 比光学显微镜（OM）大100倍。 10000倍时,TEM 的Δf＝1mm， SEM的Δf＝10mm； 100倍时，OM的Δf＝10mm， SEM的Δf=1000mm。
Electron Probe Micro Analyzer
Electron Probe Micro Analyzer
• 对比度/明暗度(Contrast/Brightness)
对比度过大
过亮
最优的衬度
对比度过小
过暗
Electron Probe Micro Analyzer
五：样品的制备
47
Electron Probe Micro Analyzer
样品的制备
• 影响图像质量的参数有哪些？
1.加速电压（Acc.volt） 2.束斑直径(Spotsize/Probe current) 3.工作距离(Work Distance) 4.物镜光阑孔径(Objective aperture)
Electron Probe Micro Analyzer
• 加速电压
25kV
大块样品固定：不充电
Electron Probe Micro Analyzer
喷金材料
未喷金 喷碳
喷白金
喷黄金
5 Electron Probe Micro Analyzer 2
制备直径小于100μm的颗粒方法
棉签
用蜡纸按压
碳胶 Electron Probe Micro Analyzer
溶剂法制粉末样品
Transmitted Electron（If Specimen is very thin）
扫描电镜图像的分析
100 150 200 250 300 350 400 颗粒个数Ｎ
个
数 均 D n 5.57 5.30 5.40 5.57 5.50 5.57 5.64
μ
m
体 均 D v 8.33 8.20 8.06 8.16 8.08 8.09 8.14
μ
m
D50 μm 8 . 11 8 . 1 0 7 . 8 0 7 . 9 2 7 . 9 1 7 . 9 2 7 . 9 5
图4.12 500X 解理和沿晶断裂
图4.13 钢管旳断口 500X
图4.14 钢材腐蚀表面 1000X
图4.15 750X 沿晶断裂
图4.16 550X 解理断裂
图4.17 1000X 解理+准解理
图4.18 500X 解理+沿晶断口（拉长韧窝）
图4.19 高岭土 3000X
图4.20 高岭土5000X
图4.22 Mg-Zn-Y合金二次电子照片
图4.23 合金旳背散射电子照片 500X
图4.24 Mg-Zn-Y合金旳背散射电子照片 图4.25 Mg-Zn-Y合金旳背散射和二次电子照片
图4.26 铝钴镍合金二次电子照片
图4.27 铝钴镍合金背散射电子照片
4 粒度分布测量
大规模集成电路板上旳沟槽深、线宽、圆直径、正方形、长方形边长等旳测量；粉体（尤其是纳米）颗粒 粒度测量、原则粒子微球旳粒度定值；复合材料（如固体推动剂）中某种颗粒组份粒度分布测量、样品表 面孔隙率测定等…，都能够使用图像处理、分析功能，有自动和手动。目前旳EDS中都有该软件包供选择， 用SEM测量测定粉体颗粒粒度是精确、以便和实用旳。测量旳粒度范围能够从几十纳米到几种毫米，是 任何专用粒度仪所无法胜任旳。尤其当分析样品旳粒度不大于3um（例如：超细银粉、碳粉、钴蓝、 Fe2O3、SiO2等）时，超细颗粒极易汇集、团聚（如下图）、在水中尤其难于分散旳特征，老式旳湿法 粒度分析（例如：Coulter计数法、激光散射法、动态光子有关法）就无法得到真实旳粒度成果。而扫描 电镜粒度分析法（简称SEM法）却不受这些限制，比较灵活，完全能适应这些特殊样品旳粒度分析，同 步它属于绝对粒度测量法。为克服SEM粒度分析法所存在旳测定样品量太少、成果缺乏代表性旳缺陷， 在实际操作时，要多制备些观察试样，多采集些照片，多测量些颗粒（300个以上）。超细粉体样品一般 制备在铜柱表面上，希望颗粒单层均匀分散、彼此不粘连。这么，在不同倍数下得到照片，便于图象处理 和分析功能自动完毕；不然，就要手工测量每个颗粒旳粒度，然后进行统计处理。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
环境真空压力范围
后续可升级到3000Pa
探针电流范围
0.5 pA to 5 μA.
图像电平移
15um
真空模式
高真空与低真空模式
真空泵系统
机械泵+分子泵
防震系统
气垫防震系统
物镜光阑
三个物镜光阑
冷却系统
空冷
样品室尺寸
365 mm内径x 275 mm高
工作距离
1-50mm,
能谱仪分析工作距离8.5mm
灯丝费用
售后服务
总部在上海外高桥保税区，在上海地区总共有7名维修工程师，设有400免费保修电话，24小时电话响应，2天内赶到用户
工具箱
标配常用的工具箱
电脑
配置最新原厂的计算机工作站
桌子
原厂标配
耗材
灯丝、光阑、机械泵油及碳导电胶
保值期限
15年
附件接口
11个附件接口
样品行程
X = 130mm
Y = 130mm
Z = 50mm
T = 0 - 90°
R = 360° (continuous)
样品台自动马达
标配五轴马达样品台
样品台手动
无手动
样品台移动精度
90nm
最大样品尺寸
200mm
可安装附件
EDS/EBSD/WDS/CL以及各种Stage
维护费用
Zeiss钨灯丝扫描电子显微镜配置表
Hale Waihona Puke 型号EVO18价格
CIP上海机场$200,000.00
灯丝
钨灯丝
二次电子探测器
E-T SE Detector
背散射探测器
4QBSD背散射电子探头
分辨率
3nm (2nm) @ 30kV SE
放大倍数
< 5 - 1,000,000 x
加速电压
0.2 - 30 kV
低真空压力范围