离子注入金属表面改性技术
表面改性技术在材料工程中的应用
表面改性技术在材料工程中的应用引言：材料工程领域一直以来都是科技创新的重要方向之一。
随着科技的不断进步，表面改性技术在材料工程中的应用变得越来越重要。
本文将探讨表面改性技术在材料工程中的应用，着重介绍几种常见的技术及其优势。
一、离子注入技术离子注入技术是利用离子束在材料表面形成离子浸没层的一种方法。
其优点在于可以提高材料表面的硬度、耐磨性和耐腐蚀性能。
例如，将Ti离子注入到钢材表面，可以形成具有高硬度的氮化钛层，从而增强钢材的使用寿命和负载能力。
二、溅射沉积技术溅射沉积技术利用高能粒子轰击材料表面，将目标材料溅射到待涂层表面，形成一层致密且具有优异性能的涂层。
这种技术广泛应用于涂层材料的开发和材料表面改性。
例如，利用溅射沉积技术可以制备耐磨、耐高温的涂层，提高材料的使用寿命。
三、纳米复合涂层技术纳米复合涂层技术是将纳米粒子掺入涂料中，通过涂覆在材料表面来改善其性能的一种技术。
纳米粒子的加入可以增加涂层的硬度和抗划伤性能。
另外，纳米粒子能够填充表面微孔，提高材料的密度和抗腐蚀性能。
这种技术被广泛应用于电子、汽车、航空航天等领域。
四、化学镀膜技术化学镀膜技术是通过在材料表面进行化学反应，使得金属或合金形成致密的保护膜。
这种技术被广泛应用于金属的防腐和抗磨损的表面处理。
例如，使用化学镀膜技术可以在金属表面形成锌镀层，提高金属的耐腐蚀性。
五、等离子表面改性技术等离子表面改性技术是利用等离子体体系，通过等离子物种在材料表面的沉积、注入和转移，实现材料表面性能的改善。
这种技术可以提高材料的表面粗糙度、耐磨性、抗腐蚀性以及降低表面能。
例如，等离子喷涂技术可以通过喷涂等离子物种，形成致密的涂层，提高材料的抗磨损性能。
结论：表面改性技术在材料工程中扮演着重要角色。
离子注入技术、溅射沉积技术、纳米复合涂层技术、化学镀膜技术以及等离子表面改性技术等都为材料表面提供了多种改善方法。
这些技术的应用不仅可以提高材料的硬度、耐磨性和耐腐蚀性能，还可以增加材料的使用寿命和提高生产效率。
金属表面处理的新技术与新进展
金属表面处理的新技术与新进展金属表面处理技术是一门综合性学科，涉及到材料科学、化学、物理学等多个领域。
随着科技的进步和工业的发展，对金属表面处理技术的要求也越来越高。
本文将重点介绍近年来金属表面处理领域的新技术和进展。
1. 等离子体技术等离子体技术是在高温、高能量的条件下，通过电离气体产生等离子体，利用等离子体中的高能电子、离子和自由基等活性粒子对金属表面进行改性和处理的一种技术。
等离子体技术具有处理速度快、效果好、可控性强等优点，可以实现金属表面的清洁、刻蚀、氧化、涂层等处理。
2. 激光技术激光技术是利用高能量的激光束对金属表面进行处理的一种技术。
激光技术具有能量密度高、聚焦性好、加工精度高等优点，可以实现金属表面的精密加工和微结构制造。
近年来，激光技术的应用范围不断扩大，包括激光切割、激光焊接、激光打标、激光雕刻等。
3. 电化学技术电化学技术是利用电解质溶液中的电场作用，使金属表面发生化学反应，实现金属表面的处理和改性。
电化学技术具有处理效果稳定、可控性强、环保等优点，广泛应用于金属的腐蚀防护、表面涂层、表面硬化等领域。
4. 纳米技术纳米技术是利用纳米材料的特殊性质，对金属表面进行处理和改性的一种技术。
纳米技术可以实现金属表面的纳米结构制造，具有提高金属表面的硬度、耐磨性、耐腐蚀性等优点。
近年来，纳米技术在金属表面处理领域的应用得到了广泛的关注和研究。
5. 生物表面处理技术生物表面处理技术是利用生物体的特殊性质，对金属表面进行处理和改性的一种技术。
生物表面处理技术可以实现金属表面的生物功能化，具有提高金属表面的生物相容性、抗菌性等优点。
生物表面处理技术在医疗、生物制造等领域具有广泛的应用前景。
以上介绍了金属表面处理领域的一些新技术和新进展。
这些技术和进展为金属表面的处理提供了更多的选择和方法，也推动了金属表面处理技术的发展和创新。
后续内容将详细介绍每种技术的原理、应用实例和发展趋势等。
6. 紫外光固化技术紫外光固化技术是利用紫外光的能量，使金属表面的涂层材料在短时间内快速固化的一种技术。
金属材料表面改性技术研究
金属材料表面改性技术研究金属材料表面改性技术是一种将物体表面进行物理或化学处理，以增强其表面性能和性质的技术。
随着现代科学技术的不断发展，金属材料表面改性技术已成为现代制造业的一个重要组成部分。
一、金属材料表面改性技术的概述目前，金属材料表面改性技术主要包括机械加工、光照处理、等离子体镀膜、电化学处理、离子注入、激光处理、等等。
其中，机械加工是一种通过机械方式对材料表面进行加工的方法。
光照处理则是指通过光照或激光束对金属表面进行处理。
等离子体镀膜技术是一种通过等离子体对金属表面进行处理的方法，其基本原理是在反应室内加入气体，产生等离子体，并将其沉积在材料表面上。
电化学处理技术则是一种通过电解的方式对金属表面进行处理的方法。
离子注入技术主要使用离子束对金属表面进行改性。
激光处理技术是利用激光束对材料表面进行加工处理的技术。
二、金属材料表面改性技术的应用金属材料表面改性技术在航空航天、军事、电子、汽车、机械等领域有着广泛的应用。
在航空航天领域，金属材料表面改性技术可以增加飞机的机翼性能、提高超音速飞机抗热能力、改善发动机推进性能。
在军事领域，金属材料表面改性技术可以提高建筑结构的强度和抗震能力、改善军备装备的性能和可靠性。
在电子领域，金属材料表面改性技术可以提高电子元器件的导电率和耐腐蚀性。
在汽车领域，金属材料表面改性技术可以增强汽车零部件的硬度、强度和耐磨性，降低汽车排放的排放量。
在机械领域，金属材料表面改性技术可以提高机械元器件的强度和耐蚀性。
三、金属材料表面改性技术的发展趋势未来的金属材料表面改性技术将会更加重视环保和可持续性发展。
目前，越来越多的研究表明，许多表面改性添加剂会对环境或人体健康产生负面影响。
因此，未来金属材料表面改性技术的趋势将是寻找新的、可持续的改性技术和材料，以减少对环境的污染和对人体的伤害。
同时，还将越来越注重智能化和精度。
未来，通过集成机器学习和人工智能技术，将实现金属材料表面改性技术的自动化、精度和远程操作。
离子注入对金属材料改性
离子注入材料表面改性的研究方法【摘要】本文论述了离子注入材料表面改性的特点和发展应用，阐述了离子注入材料表面改性的机理。
大量研究表明，离子注入通过改变材料表面和界面的物理化学特性及微观结构，能够显著提高材料的抗磨损，抗疲劳，抗腐蚀，抗氧化特性。
离子注入不仅可以提高材料表面性能，延长材料使用寿命，还可以节约贵金属资源，具有很好的经济效益和应用前景。
【关键词】离子注入技术；材料表面改性；研究方法1.前言20世纪70年代，离子注入应用于材料表面改性并逐渐发展成一种新颖有效的材料表面改性方法。
它是把工作(金属，合金，陶瓷等)放在离子注入机的真空靶室中，通过加高电压，把所需元素的离子注入到工件表层的一种工艺。
材料经离子注入后，在其零点几微米的表层中增加注入元素和辐照损伤，从而使材料的物理化学性能发生显著变化。
大量实验证实，离子注入能使金属和合金的摩擦因素，耐磨性，抗氧化性，抗腐蚀性，耐疲劳性以及某些材料的超导性能，催化性能，光学性能等发生显著变化，能够大大提高材料的性能和使用寿命。
离子注入在工业中应用能取得很好的效益，除延长工件的使用寿命外，还由于离子注入仅用较少量的合金元素，就可以得到较高的表面合金浓度，因而可以节约贵重金属[1]。
2.离子注入特点与通常的冶金方法不同，离子注入是用高能量的离子注入来获得表面合金层的，因而有其特点:(1)离子注入是一个非热平衡过程，注入离子的能量很高，可以高出热平衡能量的2-3个数量级。
因此，原则上周期表中的任何元素都可以注入任何基体材料。
(2)注入元素的种类，能量，剂量均可选择，用这种方法形成的表面合金，不受扩散和溶解度的经典热力学参数的限制，即可得到用其他方法难以获得的新合金相。
(3)离子注入层相对基体材料没有明显的界面，因此表面不存在粘附破裂或剥落问题，与基体结合牢固。
(4)离子注入可以通过控制注入剂量，注入能量及束流密度来精确控制注入离子的浓度和深度的分布。
(5)离子注入一般是在常温真空中进行，加工后的工件表面无形变，无氧化，能保持原有尺寸精度和表面粗糙度，特别适合于高精密部件的最后工序。
金属材料表面改性及其应用
金属材料表面改性及其应用金属材料是人类社会发展历程中不可或缺的一个重要部分，它们可以用于制造各种工业器材和生活用品，如汽车、飞机、手机、电脑、电视等等。
但是，由于金属材料固有的一些问题，如腐蚀、磨损、氧化等，人们需要对金属材料进行表面改性，以提高它们的抗腐蚀、防磨损和抗氧化等性能，并应用于更广泛的领域。
本文将介绍金属材料表面改性及其应用。
一、金属材料表面改性方法1. 表面涂层技术表面涂层技术是一种在金属表面涂覆不同材料的方法。
不同的材料有不同的性能，当涂布到金属表面时，可以起到抗腐蚀、防磨损、减少氧化等作用。
常见的表面涂层技术有电镀、喷涂、电火花等。
2. 表面改性喷涂技术表面改性喷涂技术是一种通过喷涂特殊材料来改变金属表面物理特性的方法。
喷涂的材料包括聚合物、金属、陶瓷等，可以通过增加金属材料表面硬度和耐磨性的方法来增加金属材料的寿命和稳定性。
3. 离子注入技术离子注入技术是将一种或多种化学物质注入到金属材料表面的方法，以提高金属表面的硬度和耐磨性。
4. 镀覆金属技术镀覆金属技术是将另一种金属沉积到金属表面的方法，以提高金属表面硬度和耐磨性。
这种技术可以通过选择不同的金属来增加材料的导电性、热传导性等性能。
二、金属材料表面改性的应用1. 航空制造在飞机制造过程中，金属材料的表面改性可以增加其耐腐蚀性和防腐蚀时间，提高制造材料和部件的寿命和性能。
2. 化工行业在化工行业中，许多气体和液体都极易腐蚀金属表面。
通过表面改性，可以提高金属在这些环境下的耐腐蚀性。
3. 电子制造在电子制造过程中，金属材料的表面改性可以提高其导电性能，使它们更适合用于电子部件制造。
此外，金属材料表面改性还可以增加电子部件的稳定性，降低故障率。
4. 医疗领域金属材料表面改性可以用于人工关节、牙齿种植等医疗领域。
通过改变金属材料的表面物理和生物化学特性，可以提高其与人体组织的相容性和生物活性，从而有效降低手术风险和提高治疗效果。
ldd离子注入原理 -回复
ldd离子注入原理-回复ldd离子注入原理是一种常用的表面改性技术，主要应用于材料科学和半导体工艺领域。
ldd（Lightly Doped Drain）指的是轻度掺杂漏极区，离子注入则是一种将离子物种引入材料表面的方法。
本文将详细介绍ldd离子注入的原理、工艺步骤以及其在相关领域的应用。
1. ldd离子注入原理介绍ldd离子注入原理基于半导体器件中金属和半导体之间的pn结。
通过在器件的一个区域控制性地注入离子，可以调整该区域的电学性能。
ldd离子注入技术的主要目的是控制漏极区域的电阻和阈值电压，以提高器件的性能。
2. ldd离子注入的工艺步骤ldd离子注入的工艺步骤主要包括掩膜制备、离子注入、退火和电子束曝光。
下面将详细介绍每个步骤的具体过程：2.1 掩膜制备掩膜制备是整个离子注入工艺的第一步，主要是为了确定要注入离子的区域。
常用的掩膜材料有光刻胶和二氧化硅等。
首先，在材料表面涂覆一层光刻胶，并用掩膜板进行曝光和显影，以形成期望的图案。
然后，利用湿法或干法等方法去除不需要的区域的光刻胶，得到完整的掩膜。
2.2 离子注入离子注入是ldd离子注入工艺中最关键的步骤。
注入的离子物种根据具体的应用而定，常见的有硼、砷、磷等。
首先，将待注入的半导体器件放入一个离子注入机，通过加速电场将离子物种引入器件的表面。
控制离子注入的能量和剂量可以在漏极区域形成特定的电学性能。
2.3 退火退火是离子注入后的一个重要步骤，目的是消除材料中的损伤和缺陷，并使离子更好地分布和结合。
一般通过高温处理来实现退火，温度和时间的选择要考虑到材料的特性和离子的性质。
2.4 电子束曝光电子束曝光是ldd离子注入工艺的最后一步，主要是为了去除掩膜，并用电子束照射来调整器件的性能。
通过电子束曝光可以消除掩膜带来的电学性能变化，得到最终的ldd离子注入器件。
3. ldd离子注入在相关领域的应用ldd离子注入技术在材料科学和半导体工艺领域有着广泛的应用。
第七章 表面改性技术-离子束表面改性
关于离子束 离子注入表面改性的原理 离子注入表面改性的过程 离子注入表面改性的几种方式 离子注入表面改性的示意图 离子注入表面改性的优缺点 视频
真空中有一束离子束射向一块固体材料 时会发生哪些现象呢？
• 离子束把固体材料的原子或分子撞出固体材料表面，这 个现象叫做溅射；
• 离子束射到固体材料时，从固体材料表面弹了回来，或 者穿出固体材料而去，这些现象叫做散射；
• 离子束射到固体材料以后，受到固体材料的抵抗而速度 慢慢减低下来，并最终停留在固体材料中，这一现象就 叫做离子注入。
离子产生
气态元素的离子化比较容易，如常用的氮气， 把氮气引入离子注入机的离子源内，在存在高温灯 丝加速电子的情况下，氮离子被电离，形成等离子 体，正离子经狭缝从离子源中被抽出，随后被加速。
离子注入技术优点：
• 5）离子注入是一个非热平衡过程，注入离子的能量 很高，可以高出热平衡能量的2～3个数量级。因此， 原则上讲，周期表上的任何元素，都可注入任何基 体材料。
• 6) 注入元素的种类、能量、剂量均可选择，不受扩 散和溶解度的经典热力学参数的限制，即可得到用 其它方法得不到的新合金相。
⑥离子扫描。
因被引出的离子束一般为批～2mm的细束，或 lmmX40mm的长条束而难以大面积注入，故要对其进行X 和y方向扫描，即在X平板或y平板上加上一定扫描频率的 三角波电位来实现X和y方向均匀扫描。
⑦注入量的精确测量。
注入到晶片上的离子数量可用法拉第筒进行精确测量， 并用电荷积分仪来精确计量流人法拉 • 2）无需热激活，无需高温环境，因而不会改变工
件的外形尺寸和表面光洁度 • 3）离子注入层由离子束与基体表面发生一系列物
理和化学相互作用而形成的一个新表面层，相对 于基体材料没有边缘清晰的界面，它与基体之间 不存在剥落问题，与基体结合牢固。 • 4）离子注入一般是在常温真空中进行，加工后的 工件表面无形变、无氧化，能保持原有尺寸精度 和表面粗糙度，无需再进行机械加工和热处理。 特别适于高精密部件的最后工艺。
材料表面改性技术简介
材料表面改性技术简介作为材料科学领域的一项重要技术手段，表面改性技术旨在通过改变材料表面的组成、结构和性能，从而使其能够满足特定的应用需求。
材料表面改性技术可以广泛应用于电子、光电、生物、医药、环保等领域，例如：防腐、耐磨、抗氧化、润滑、防晒等，同时也可以改善材料的光学、电学、磁学、热学等性能。
本文将从表面改性技术的基础原理、应用范围及实现方法进行阐述。
表面改性技术的基础原理材料的表面改性是一种通过改变材料表面的化学成分、微观结构、形貌和尺寸分布等方式，来改变材料表面性质的技术。
基于不同的目的，常用的表面改性技术包括：物理方法、化学方法、生物方法和化学物理方法等。
物理方法主要包括物理气相沉积、物理溅射、电子束熔化、激光熔化、爆炸喷涂、电化学沉积等；化学方法主要包括化学气相沉积、化学溅射、化学还原、化学水解、电化学氧化等；生物方法主要是指利用生物体系合成和表征蛋白质、DNA、RNA等物质的方法；而化学物理方法主要是通过物理和化学相互作用来改变材料表面的性质。
不同的表面改性方法可以实现不同的表面改性效果，例如，物理气相沉积可以制备出薄膜和纳米结构，化学溅射可以制备出纳米材料及其复合材料，并且这些制备方法也可以相互结合使用。
表面改性技术的应用范围表面改性技术可以广泛应用于各种材料，如金属、陶瓷、复合材料、涂料、塑料和橡胶等。
在电子、光电、生物、医药、环保等领域中，表面改性技术有着各自独特的应用。
例如，在医疗领域，通过表面改性可以制备出具有生物相容性和生物活性的医疗材料，提高医疗器械的性能和安全性。
在环保领域，表面改性技术可以制备出具有高稳定性和高选择性的环境污染控制材料，如水处理材料、气体膜材料等。
在光电领域，通过表面改性可以制备出具有纳米结构的光电材料，如太阳能电池、光触媒、SPR传感器等。
表面改性技术的实现方法表面改性技术的实现方法可以根据不同的应用目标和材料特性选择不同的技术路线。
在表面改性前，需要对材料的表面性质进行详细的分析，确定表面改性的目标和方法。
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摘要本文综述了金属表面改性离子注入法的机理、特点和应用。
并介绍了等离子体浸没式离子注入（PIII）方法，及其相对于传统方法的特点。
Abstract Mechanism, characteristics and application of ion implantation for surface modification of metals are reviewed in this paper. Besides, a promising ion implantation technique—plasma immersion ion implantation(PIII)—is introduced. Especially, its advantages, relative to conventional techniques, are discussed.
关键词金属表面改性离子注入等离子体浸没式离子注入
Keywords surface modification of metal, plasma immersion ion implantation(PIII), ion implantation
前言
金属材料的表面性能在生产中起到至关重要的作用，特别是有的工作环境要求材料高负荷、高转速、高寿命、耐高温、低损耗。
离子注入技术应运而生。
近几十年来，离子注入在金属和半导体材料的研究、应用发展迅速，并在向绝缘材料和聚合物领域扩展。
注人原子原则上可以是元素周期表中的任何元素；被注人基体原则上可以是任何材料；离子注人将引起金属表层的成分和结构的变化以及原子环境和电子组态等微观状态的扰动，因此导致金属各种物理、化学、机械性能的变化。
得到理想的材料表面性能。
离子注入金属表面改性的机理
高速离子注入金属后，与金属中的原子、电子发生碰撞。
如果晶格原子从碰撞中获得足够的能量，则被撞击原子将越过势垒而离开晶格位置进入原子间隙成为间隙原子；如果反冲原子获得的反冲能量远远超过移位阀功，它会继续与晶格原子碰撞，产生新的反冲原子，发生“级联碰撞”。
在级联碰撞中，金属原来的晶格位置上会出现许多“空位”，形成辐射损伤；离子注入金属表面后，有助于析出金属化合物和合金相、形成离散强化相、位错网；灵活地引入各种强化因子，即掺杂强化和固溶强化。
离子注入技术的特点
离子注入技术主要有以下几个特点：
1)进入金属晶格的离子浓度不受热力学平衡条件的限制；
2)注入是无热过程，可在室温或地温下进行；不引起金属热变形；
3)注入离子在基体中与基体原子混合，没有明显的界面，注入层不会像镀
层或涂层那样发生脱落现象；
4)可以进行新材料的开发；注入离子在基体中进行原子级混合，可以形成
固溶体、化合物或新型合金。
离子注入技术在表面改性中的应用
1.提高的抗腐蚀性能
离子注入时发生的级联碰撞会损伤原有晶格结构，使金属表面由长程有序变为短程有序，形成非晶态、无晶界的表面层，从而大大提高金属的耐腐蚀性
[1]。
2.提高表面强度和硬度
强度和硬度是金属表面改性的重要研究参数。
离子注入可以提高金属材料表面的强度和硬度。
当金属中注入C、N、O和P等非金属元素时，可在金属中析出碳化物、氮化物、磷化物等弥散相和超硬相，如TiC/TiN、Fe2Ti、Fe2N和Fe2C等，表面洛氏硬度得到提高[2]。
3.提高耐磨性
通过离子注入技术提高耐磨性能主要有两种机制。
（1）通过析出的硬化相来提高材料表面的屈服强度。
当给材料注入像碳、氮这类活性离子可形成细小的碳化物和氮化物硬化相。
随着注入离子数量的增加，这些粒子不断聚集，从而提高了材料的表面硬度。
摩擦实验表明，表面越硬，磨损量越少。
（2）降低了摩擦系数。
高能离子与晶格原子发生级联碰撞后，引起大量原子从原来的点阵位置上离开，从而导致高度畸变，有时呈非晶态结构，因此使材料表面摩擦系数减小。
值得一提的是，这项技术在钛合金人造关节上得到了广泛的应用。
McKellop[3]等人通过实验表明离子注入对Ti-6Al-4V的耐磨性能有显著提高，图1所示未经过模拟关节磨损实验后的Ti-6Al-4V球照片。
(a) (b)
图 1 通过模拟关节磨损实验的Ti-6Al-4V球，
(a)原始合金球(b)离子注入改性后的
等离子体浸没式离子注入技术
离子体浸没式离子注入是近年来迅速发展的一种材料表面改性新技术。
工作时，作为靶的工件外表面全部浸没在低气压、高密度的均匀等离子体中，工件上施加频率为数百赫兹、数千至数万伏高压负脉冲偏压。
包覆在试样表面的离子被加速并注入试样，实现表面改性。
它克服了传统方法的方向性固有缺陷，因此在复杂形状的三维工件表面改性工艺与技术上表现出无与伦比的优越性。
图2所示描述了等离子体浸没式离子注入与传统方法的区别[4]。
传统的离
子注入是通过一束离子注入到材料表面，调整离子束的方向的同时靶件也旋转，而等离子体浸没的方式则更加直接、方便。
图2 等离子体浸没式离子注入与传统离子注入的示意图
相较于传统的离子注入方法，等离子体浸没法具有明显的优越性[5]：
1)由于被处理工件完全浸没在等离子体中，因此该技术特别适合对三维尺
度、复杂型面的工件进行表面改性处理；
2)在工件上施加了负的高压直流或脉冲偏压，离子直接来自包围工件的等
离子体。
所以处理时间短，效率高，且设备相对简单。
3)原位同时实现不同的改性工艺，满足各种不同的使用要求。
低气压、高
密度的等离子体源既可由气相法产生，又可由固态粒子产生；既可注入
又可以沉积，或者两者同时进行。
因此能完成多组元的同时沉积或注
入。
对成分的控制能力强，有可能获得新型高性能的新材料。
4)沉积离子的能量较高，有利于提高薄膜的致密性和附着性。
PIII技术的
关键是第一如何获得低气压、高密度的等离子体；第二施加在衬底上的
脉冲电源。
本文将重点介绍几种低压高密度等离子源，并给出一些等离
子体浸没式离子沉积技术在复杂形状样品上沉积(类)金刚石薄膜的实验
结果。
等离子体浸没式离子注入技术已经日趋成熟，并有大规模的应用。
但依然存在的一些问题限制了它的进一步发展：
1)没有离子质量的分离，所以等离子体中所有的离子都被注入，不适于一
些半导体加工；
2)离子能量也不是单一的，主要取决于气压和脉冲方式；
3)原位的注入剂量难以监控；
4)虽然PIII能处理一些一定几何形状的绝缘材料，但对于厚的电绝缘构
件，施加偏压是不可能的；
5)在离子轰击和离子在鞘层中的加速产生的二次电子，导致高电流密度和
x射线的产生。
参考文献
[1]景俊海。
离子注入表面改性技术的应用。
表面技术。
1991，20（1）：21-23。
[2]陈勇军。
史庆南，左孝青。
王茗，吴新光。
金属表面改性——离子注入技术的发展与应用。
表面技术，2003，32（6）：4-7。
[3]H. A. McKellop and T. V. Rostlund. The wear behavior of ion-implanted Ti-6A1-4V against UHMW polyethylene. Journal of Biomedical Materials Research, 1990, Vol. 24: 1413-1425.
[4]J. R. Conrad, J. L. Radtke, R. A. Dodd, Frank J. Worzala, and Ngoc C. Tran. Plasma source ion implantation technique for surface modification of materials. J. Appl. Phys. 62, 4591 (1987).
[5]任瑛，张贵锋，董闯，姜辛。
等离子体浸没式离子注入沉积技术及应用。
真空科学与技术学报。
2009，29（3）。