电子厂洁净室空调系统简介
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電子廠濕空氣處理程序
100%
kJ /k g
DP 75%RH 50%RH 25%RH 32 30 28 26 24 22
W
B
蒸發冷卻 等溫加濕 冷卻 加熱
20 18 16 14 12 10
冷卻除濕
8 6 4 2 g/kg
-10
-5
0
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
CDB
乾球溫度
AHU SA DUCT
RA SA SA SA
RA
16
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FFU系統
MAU
(獨立設置外氣空調箱)
MA
濕度控制
FROM OA
溫度控制
潔淨度控制
溫度控制
RA SHAFT
SA
SA
RA
RA
17
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RA SHAFT
軸流風機系統
(獨立設置外氣空調
溫度控制
SA SHAFT
潔淨度控制
溫度控制
SA SHAFT
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4
空气循环系统
空氣循環系統功能
潔淨度之控制
風管系統
溫度之控制
濕度之維持
FFU系統
軸流風機系統
空氣循環量 氣流方式
5
潔淨室熱源分佈
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空氣循環量
空气循环量 1. 洁净室温湿度及微尘粒子的控制，完全由空气循环 掌握。 2. 换气次数：表示空气循环量的重要参数。 N=空气循环量÷室内体积 以黄光区为例：FFU风速为0.35M/S，层高为3.6M, 空气由FFU吹出到达高架地板的时间为10秒，则黄 光区的换气系数为360次/小时。（图示） 普通空调比较：办公室空间为300立方米，空调送 风量为2000CMH，换气次数约为7次/小时。
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7
MAU
外氣空調箱结构 外氣空調箱功能
壓力之控制 濕度之控制
MAU
外氣微塵粒之預處理
氣態分子之控制
8
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濕空氣性质及处理
湿空气性质
温度高的空气吸收水的能力强。 相对湿度：濕空氣水蒸汽分壓與同溫度飽和狀 態下水蒸汽分壓之百分比，稱之相對濕度，單 位為[%RH] 。
MA
VD
VD
濕度控制
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潔淨室系統流程
DE-SMOKE
MA Outside MA P = -5Pa TRUSS t = 22 C
RA SHAFT
RA
RA
P = 30Pa
FAB
t = 23 C
RA
RA
RA P = 25Pa RA RAP t = 25 C
RA
RA
19
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RA SHAFT
6
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空氣循環量及氣流
3.以非常高的换气次数达到控制室内温湿度的波动在设计 要求范围内，并迅速排除微尘粒子。 气流 1. 气流速度：根据试验发现，气流速度低于0.2M/S或高于 0.7M/S均容易产生涡流，所以目前洁净室风速一般取0.25 ～0.5M/S范围之间。 2. 保持均一稳定的层流，是达到洁净度稳定效果的重要因 素。 3. 障碍物对气流的影响：制程设备、人员、照明器具等。 在调试阶段，我们投入大量人员和时间对洁净室内的 FFU风速、气流平行度进行调整，使其符合设计要求。
11
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空氣中水分含量
冬季空氣處理
75%RH 50%RH 25%RH 32 30 28 26 24 22 20 18 16 14 12 10 8 6 4 2 g/kg -10 -5 0 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 CDB
kJ /k g
DP
W
B
乾球溫度
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電子廠 潔淨室空調系統 簡介
1
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大纲
洁净空调特性 MAU
结构 功能
空气循环系统
换气次数 FFU系统
濕空氣性质及处理
性质 焓湿图 处理程序
2
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洁净室空调系统特性（一）
温湿度要求比一般空调低：一般空调系统温度要求在25 ℃ ～27 ℃,相对湿度为55～70％；而洁净室空调分别为22～ 23 ℃,相对湿度为40～45％。 对空气品质要求严格：微尘粒子是构成半导体制品发生缺 陷，降低产品良率的主要原因之一，在微尘粒子和某些化 学离子要求也非常严格。 外气量与换气次数大：在半导体工厂中，制程系统使用大 量的化学品和毒气，而这些化学品和毒气所产生的些挥发 气和废气必须予以全数排除，排气量非常大，所以需要补 充大量的外气来维持室内的正压环境。
Freeze Protection Pre-filter (EU3) Medium-filter (EU6) Fan
OA
MA
13
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潔淨室熱源分佈
MA q4 Ta4' SAP q5 q6 Ta1 q3 q1 Ta2 FAB Ta5
RA SHAFT
EQUIPMENT
q2 RA Ta4 qc RA Ta3 RAP
10
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空氣中水分含量
夏季空氣處理程序
75%RH 50%RH 25%RH 32 30 28 26 24 22 20 18 16 14 12 10 8 6 4 2 g/kg -10 -5 0 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 CDB
kJ /k g
DP
W
B
乾球溫度
相對濕度越高，空氣之吸濕能力將越弱；反之， 相對濕度越低，空氣之吸濕能力則越強；當相對濕 度達100%時，稱之飽和狀態，此時之濕空氣不再具 吸濕能力。
以熱水盤管對濕空氣加熱，溫度將提高，此時濕 空氣之絕對濕度不變，但提高後之溫度，其飽和狀 態下之絕對濕度將提高；因此，濕空氣之相對濕度 將降低。
3
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洁净室空调系统特性（二）
ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
气流分布均匀：洁净室空调为带走室内所产生的微尘粒子 ，以维持洁净度，所以除了气流速度需达一定要求标准外 ，气流的形状也必须依不同的洁净室等级而加以适当的控 制。 洁净等级不同的邻室维持适当压差：为防止等级低的室内 空气泄漏到等级高的室内，造成污染。 送风温度与室内温度差距小：由于产品制程对温湿度变化 极为敏感，洁净室部分区域须控制在± 0.3º C，故送风温度 与室内温度差距不能太大。（温度分布图） 运转成本高：由于洁净室热负荷相当大，又需要补充大量 的外气，循环风量大，所以不止是初期建设成本高，建成 后运转及维护费用也相当高，在设计中要考虑节能。
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空氣中水分含量
外氣處理空調箱
Cooling Coil (Step1) Air Washer Cell deck Cooling Coil (Step2) Eliminator Re-heating Coil Chemical Filter HEPA (EU12) Back-draft Damper
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FFU系統示意图
MA MA P = -5Pa SAP t = 22 C
RA SHAFT
RA
P = 30Pa
FAB
t = 23 C
RA
RA P = 25Pa RA RAP t = 25 C
RA
RA
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RA SHAFT
風管系統
OA RA DUCT
(循環空調箱兼處理外氣)
潔淨度、溫度及濕度控制
洁净区空调系统工作原理
洁净区空调系统工作原理一、引言随着科技的不断发展，洁净区空调系统在许多行业中得到广泛应用，如医疗、电子、制药等。
洁净区空调系统是一种能够保持空气质量的高效空气调节设备，其工作原理是通过过滤、循环和调节空气，以保持洁净区内的环境洁净。
二、过滤系统洁净区空调系统的过滤系统是确保洁净空气的关键。
一般情况下，系统会采用多层过滤器，过滤器的级别根据洁净区的要求而定。
常见的过滤器有初效过滤器、中效过滤器和高效过滤器。
初效过滤器用于过滤大颗粒的灰尘和污染物，中效过滤器用于过滤较小的颗粒，而高效过滤器则能够过滤微小的颗粒，甚至可以过滤细菌和病毒。
三、循环系统洁净区空调系统的循环系统负责将过滤后的洁净空气循环输送到洁净区内，以保持空气质量。
循环系统通常由风机和风道组成。
风机负责将空气吸入系统并通过过滤器过滤，然后将洁净空气通过风道输送到洁净区。
为了保证洁净空气的均匀分布，风道系统会设计成多个出风口，并通过调节出风口的大小和位置来控制空气流向。
四、调节系统洁净区空调系统的调节系统负责调节洁净空气的温度、湿度和压力，以满足洁净区的要求。
调节系统通常由温度传感器、湿度传感器和压力传感器组成。
传感器会监测洁净区的温度、湿度和压力，并将监测到的数据传输给控制系统。
控制系统会根据传感器的数据来控制空调系统的工作，如调节风机的转速、控制加热或制冷设备的工作等。
五、工作原理洁净区空调系统的工作原理是将外界空气经过过滤、循环和调节后输送到洁净区内，以保持洁净区的洁净度。
具体工作流程如下：1.外界空气经过初效过滤器，去除大颗粒的灰尘和污染物。
2.经过中效过滤器，进一步过滤较小的颗粒。
3.经过高效过滤器，去除微小的颗粒，如细菌和病毒。
4.风机将过滤后的洁净空气吸入系统，并通过风道输送到洁净区内。
5.温度传感器、湿度传感器和压力传感器监测洁净区的温度、湿度和压力。
6.控制系统根据传感器的数据来控制空调系统的工作，以满足洁净区的要求。
7.循环系统不断循环洁净空气，保持洁净区内的空气质量。
MAuFFUDCC常用系统及控制简介
1MAU+FFU+DC详细介绍目前电子行业洁净室常用的M AU+FFU+DC系统，MAU主要控制室内的湿度和保证室内的正压，FFU通过空气循环过滤保证洁净度，而DC是来除去室内的显热从而保证室内的温度。
(1)MAU(Make—uDAirUn it)组合式外气空调箱是由风机、冷盘管、热盘管(或电加热)、空气过滤器(初级、中级、高级三级过滤)、加湿器组成，通过初中效过滤、预热、降焓、减湿、再热、高效过滤后送入回风层。
(2)FFU(FanFihe rUnit)是模数化的小型风机过滤单元，安装在顶棚框架上，空气由FFU的风机加压后经HEPA或U LPA过滤送入室内，如此循环，其换气次数直接决定室内洁净度的不同。
FFU的技术性能取决于风机和HEPA或ULPA的质量，制造厂一般是通过额定工况下的性能参数，或FFU整机的空气动力特性曲线。
FFU的风机均采用外转子电机以减小高度，一般配有电子式过载保护开关、故障指示灯，故障输出节点，有传统的低、中、高三档交流控制，目前直流变频控制亦越来越应用在洁净等级比较高的系统。
早在上个世纪6O年代，美国新墨西哥州Sandia国家实验室的科学家们利用HEPA过滤的方法研制成功了层流技术，其后商用FFU陆续在美国一些手术室及工业厂房得到广泛的应用。
但直到1984年，在亚洲才出现大规模应用FF U的事例(大约有5000台)。
是什么原因导致FFU在这么长的时间没有得到广泛的发展呢?有三个问题占主导地位：噪声较大问题；压力平衡问题，在很大的静压箱里，各不同角落的风机是否能得到均衡的压力，这在当时也是不能够得到保证的；维护问题，FFU本身造价就比较高，如果它的电机寿命不能保证的话，更换又会带来附加投资。
这些都是造成当时的企业不选择使用FFU的主要原因。
电子厂洁净室空调系统简介
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洁净室空调系统特性（二）
气流分布均匀：洁净室空调为带走室内所产生的微尘粒子，以维持洁净度，所以除了气流速度需达一定要求标准外，气流的形状也必须依不同的洁净室等级而加以适当的控制。 洁净等级不同的邻室维持适当压差：为防止等级低的室内空气泄漏到等级高的室内，造成污染。 送风温度与室内温度差距小：由于产品制程对温湿度变化极为敏感，洁净室部分区域须控制在±0.3ºC，故送风温度与室内温度差距不能太大。（温度分布图） 运转成本高：由于洁净室热负荷相当大，又需要补充大量的外气，循环风量大，所以不止是初期建设成本高，建成后运转及维护费用也相当高，在设计中要考虑节能。
電子廠 潔淨室空調系統 簡介
大纲
洁净空调特性
空气循环系统 换气次数 FFU系统
濕空氣性质及处理 性质 焓湿图 处理程序
MAU 结构 功能
洁净室空调系统特性（一）
温湿度要求比一般空调低：一般空调系统温度要求在25 ℃～27 ℃,相对湿度为55～70％；而洁净室空调分别为22～23 ℃,相对湿度为40～45％。 对空气品质要求严格：微尘粒子是构成半导体制品发生缺陷，降低产品良率的主要原因之一，在微尘粒子和某些化学离子要求也非常严格。 外气量与换气次数大：在半导体工厂中，制程系统使用大量的化学品和毒气，而这些化学品和毒气所产生的些挥发气和废气必须予以全数排除，排气量非常大，所以需要补充大量的外气来维持室内的正压环境。
回主畫面
空气循环系统
風管系統 FFU系統 軸流風機系統
空氣循環系統功能 潔淨度之控制 溫度之控制 濕度之維持
潔淨室熱源分佈
空氣循環量 氣流方式
回主畫面
空氣循環量
空气循环量 1. 洁净室温湿度及微尘粒子的控制，完全由空气循环掌握。 2. 换气次数：表示空气循环量的重要参数。 N=空气循环量÷室内体积 以黄光区为例：FFU风速为0.35M/S，层高为3.6M,空气由FFU吹出到达高架地板的时间为10秒，则黄光区的换气系数为360次/小时。（图示） 普通空调比较：办公室空间为300立方米，空调送风量为2000CMH，换气次数约为7次/小时。
电子厂房净化空调方式选择
电子厂房净化空调方式选择引言当前的电子厂房洁净室洁净等级大部分在1000级（ISO6级）—10000级（ISO7级）之间，其相当的换气次数平均在25—60次/H,要求的洁净室环境参数比较严格，大部份要求为室内温度22±2℃，相对湿度55±5%，洁净室内工艺设备发热量大，部份工艺设备排除热量所需的排风量也很大。
由于要求高，发热量大，导致电子厂房洁净室空调系统的能耗是很惊人的，所以在设计之初对于洁净室空调系统的方式选择就需要认真考虑。
目前大多数已建成的电子厂房中，洁净室的空调系统一般都会使用常规净化空调方式---新风机组+混风机组+高效过滤器（HEPA），而另一种净化空调方式---新风机组+干盘管+FFU（FFU为英文缩写，全称为Fan Filter Unit, 中文意思为风机过滤器单元）比较少见，原因有：（1）常规净化方式一直沿用，不愿更新改变；（2）部分企业认为新风机组+干盘管+FFU方式的洁净空调系统是用于高洁净度(≥100级)要求的项目中，担心用于1000级—10000级项目时造价会偏高。
为此，本文着重从两种空调方式的特点及能耗方面进行分析探讨，说明新风机组+干盘管+FFU方式的洁净空调系统在电子厂房是确实可行的，并总结此净化空调方式在设计过程中需要注意的一些问题。
一、两种净化空调方式的分析比较1.1 新风机组+混风机组+高效过滤器（HEPA）空调方式介绍该空调方式指的是室外新风经过新风机组处理后送入混风机组，混风机组把回风与新风混合并处理至所要求的空气参数后直接用风管送风到各终端高效过滤器（HEPA）,通常新风机组将新风处理到室内焓值，不承担室内负荷，只承担新风负荷，由混风机组承担室内的湿负荷和显热负荷，空调方式示意图见图1。
1.2 新风机组+干盘管+FFU空调方式介绍所谓干盘管，是因为在这种系统中冷冻盘管仅承担显热负荷，其冷冻水进水温度一般在13℃以上，也就是说在室内空气的露点温度以上，盘管一般不可能产生冷凝水,属于干工况运行,所以其叫干盘管，而13℃的冷冻水常用的制取方法为利用水--水板式换热器把冷水机组的7℃/12℃冷冻水转换过来。
MAu+FFU+DCC常用系统及控制简介
1MAU+FFU+DC详细介绍目前电子行业洁净室常用的MAU+FFU+DC系统，MAU主要控制室内的湿度和保证室内的正压，FFU通过空气循环过滤保证洁净度，而DC是来除去室内的显热从而保证室内的温度。
(1)MAU(Make—uDAirUnit)组合式外气空调箱是由风机、冷盘管、热盘管(或电加热)、空气过滤器(初级、中级、高级三级过滤)、加湿器组成，通过初中效过滤、预热、降焓、减湿、再热、高效过滤后送入回风层。
(2)FFU(FanFiherUnit)是模数化的小型风机过滤单元，安装在顶棚框架上，空气由FFU 的风机加压后经HEPA或ULPA过滤送入室内，如此循环，其换气次数直接决定室内洁净度的不同。
FFU的技术性能取决于风机和HEPA或ULPA的质量，制造厂一般是通过额定工况下的性能参数，或FFU整机的空气动力特性曲线。
FFU的风机均采用外转子电机以减小高度，一般配有电子式过载保护开关、故障指示灯，故障输出节点，有传统的低、中、高三档交流控制，目前直流变频控制亦越来越应用在洁净等级比较高的系统。
早在上个世纪6O年代，美国新墨西哥州Sandia国家实验室的科学家们利用HEPA过滤的方法研制成功了层流技术，其后商用FFU陆续在美国一些手术室及工业厂房得到广泛的应用。
但直到1984年，在亚洲才出现大规模应用FFU的事例(大约有5000台)。
是什么原因导致FFU在这么长的时间没有得到广泛的发展呢?有三个问题占主导地位：噪声较大问题；压力平衡问题，在很大的静压箱里，各不同角落的风机是否能得到均衡的压力，这在当时也是不能够得到保证的；维护问题，FFU本身造价就比较高，如果它的电机寿命不能保证的话，更换又会带来附加投资。
这些都是造成当时的企业不选择使用FFU的主要原因。
但是这一切，在1984年都发生了改变。
首先是噪声问题得到了控制，大规模的FFU洁净厂房都可以把噪声控制在65dBA以下，这符合工业厂房的标准。
其次随着自动控制的发展，监测和调节各个角落的静压也变得容易起来。
电子工程净化空调系统
电子工程净化空调系统1.1同一建筑物内净化空调系统的划分，应符合下列规定：1 运行班次或使用时间不同和温度、相对湿度要求不同的洁净室、洁净区，应分别设置；2 净化空调系统与一般空调系统，应分别设置。
1.2洁净室、洁净区的送风方式可分为集中送风、隧道送风、风机过滤器机组送风等类型，其类型应根据洁净室、洁净区的使用功能特点确定，且宜采用风机过滤器机组送风方式。
1.3洁净室、洁净区除下列情况之一外，均应充分利用回风：1 在生产过程中向房间内散发的有害物质超过规定时；2 对其他工序有危害或不能避免交叉污染时。
1.4洁净厂房设有多套净化空调系统时，宜采用新风集中处理。
1.5洁净室、洁净区的送风量、新风量应符合现行国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》GB 50472的有关规定，在具体生产工艺允许时，应采用相关规定的下限值。
1.6洁净室、洁净区与周围空间的静压差值，应按工程设计值进行控制。
当工程设计无规定，且洁净室、洁净区的新风量由补偿室内排风量和保持洁净室、洁净区与周围空间静压差值所需新风量之和确定时，应按现行国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》GB 50472规定的下限值进行控制。
1.7净化空调系统采用集中空气处理和集中送风方式，且按洁净度要求确定的风量大于消除热湿负荷计算的风量时，应采用一、二次回风的送风系统。
除生产工艺特殊要求外，在同一空气处理系统中，不应同时有加热和冷却的运行过程。
1.8净化空调系统采用新风和循环风分别处理的方式时，用于空调的冷冻水宜按控温、调湿要求采用不同的供水温度。
1.9净化空调系统宜自动调节送风量，并应合理选择自动调节控制方法及检测参数。
1.10用于净化空调系统的空气处理机组，应选用气密性优良的产品，其漏风率应低于1%。
1.11当净化空调系统在过渡季、冬季需冷却负荷时，应充分利用室外空气对洁净室、洁净区送风进行预冷。
电子洁净厂房空调系统设计
电子洁净厂房空调系统设计摘要：通过介绍某电子洁净厂房净化空调系统设计，阐述了电子洁净厂房空调设计的主要系统，介绍了洁净室新风空调箱的控制原理，并总结出实际工程设计中应注意的问题，并提出此类设计对日后施工、运行和管理的要求。
关键词：电子洁净厂房净化空调新风空调机组干盘管1.工程概况本电子洁净厂房净化空调系统设计为某光工厂研发生产项目，工程建设地点位于湖北省武汉市，丙类，77905.86m2，层数：-1/3，建筑高度29.75m，地面建筑共分三层：地下一层为水泵提升站，一层为辅助动力区、下夹层区，二层为洁净生产区、MOCVD区、辅助动力区+辅助办公区，三层为洁净钢屋架层、洁净预留区。
本文主要介绍二层洁净生产区的净化车间的空调系统设计。
具体平面布置图详见以下附图1：图1 二层洁净生产区平面布置图2.工程设计参数按工艺生产要求及工艺专业提供的设计条件，并按照GB50073-2013《洁净厂房设计规范》及GB50472-2008《电子工业洁净厂房设计规范》的要求，净化车间室内设计参数如下表1：表1 通风设备设计参数表3.净化空调系统设计3.1 冷热源系统本项目生产区净化空调冷源采用6℃/12℃低温冷冻水及13℃/19℃中温冷冻水，由动力站房供给；热源采用38℃/28℃中温热水及80℃/60℃高温热水，接自动力站房。
3.2 洁净室空气循环系统电子洁净厂房中，工艺设备散热量大，造成空调冷负荷较大，并且按照设计规范要求，洁净等级较高的区域或房间换气次数高达50~60 次[1]。
为满足负荷和换气次数的要求，必须保证足够的送风量，而送风量的加大又使净化空调机组、风机及风管的尺寸的偏大，加之吊顶上空间的限制，给设计和施工带来了很多困难。
“新风处理机组（MAU）+ 风机过滤单元（FFU）+ 干盘管（DCC）” [2]的空调形式是电子净化厂房空调设计中经常采用的一种空调系统。
在该系统中，MAU 处理新风负荷：夏季冷却新风并除湿，冬季加热新风并加湿；DCC 处理室内负荷，一般为全年供冷；FFU 用来循环空气从而达到洁净度要求的换气量。
洁净室空调系统
洁净室空调系统洁净室关乎到很多行业的生产过程，而空气质量是衡量洁净室的重要指标之一。
洁净室空调系统作为洁净室空气质量的保证，是洁净室建设中必不可少的一环。
洁净室空调系统的作用洁净室空调系统的主要作用是过滤空气中的微粒，维持洁净室内部的空气质量。
洁净室中的微粒主要有空气中的粉尘、细菌、病毒及其他微生物等，而这些微粒对于某些行业的生产过程极其敏感，例如电子、制药、食品等行业。
洁净室空调系统采用的是层级过滤的方法，将空气中的微粒逐级过滤。
通常，洁净室空调系统至少要包括初效过滤器、中效过滤器和高效过滤器三个层级。
其中，初效过滤器主要用于过滤较大的颗粒，中效过滤器主要用于过滤径直在1微米左右的微粒，高效过滤器主要用于过滤径直在0.3微米左右的微粒。
洁净室空调系统的组成洁净室空调系统包括了以下几个部分：风机盘管组风机盘管组负责空气的循环和供应。
它将空气吸入，通过过滤器过滤后，再将洁净空气送入洁净室内。
过滤器组过滤器组包括初效过滤器、中效过滤器和高效过滤器。
初效过滤器通常采用带有颗粒捕获功能的棉絮材料或者合成纤维材料，如玻纤棉，可以较为有效的过滤掉大颗粒的灰尘、毛发等杂物。
中效过滤器常用的材料有玻璃纤维、非织造布、打碳棉等，可以将直径在1-10微米之间的颗粒物过滤掉。
高效过滤器则采用玻璃纤维、非织造布等高效材料，可以过滤掉直径在0.3微米以内的微粒。
冷却器组冷却器组负责调节空气温度、湿度等参数。
一般采用水冷式或空气冷却式的制冷方式来控制温度，采用加湿器等多种方式来调节湿度。
管道组管道组负责将过滤后的空气从风机盘管组输送到洁净室内，在输送过程中需要保证管道的密封性。
过滤净化区组如果洁净室的要求比较高，需要增设过滤净化区组。
其主要作用是通过进一步过滤和空气净化来提高空气质量。
洁净室空调系统的设计洁净室空调系统的设计需要考虑多方面的因素。
其中主要包括洁净室的级别、空气质量要求、房间布局、人员活动状况等因素。
在确定了空气质量要求后，需要根据房间布局和人员活动状况等因素，设计风机盘管组和过滤器组的位置和数量。
洁净空调控制系统的设计及应用
洁净空调控制系统的设计及应用摘要：洁净空调控制系统是现代化建筑环境控制技术的重要组成部分。
本文介绍了洁净空调控制系统的设计原理、功能特点和应用场景，对其在实际应用中所起的作用进行了深入探讨。
通过对控制系统的实现方法进行了分析和比较，建议在洁净空调系统的设计和应用中应采取多种控制策略的配合，以提高系统的稳定性和可靠性。
同时，本文还讨论了洁净空调控制系统在日常维护和运行过程中应注意的一些技术要点和注意事项。
关键词：洁净空调控制系统、设计、应用、控制策略、稳定性正文：1．洁净空调控制系统的设计原理洁净空调控制系统是基于自动控制技术，通过传感器、执行器、计算机等设备对室内空气的温度、湿度、气流速度、氧气含量以及颗粒浓度等指标进行实时监测和控制，从而达到保持室内空气的洁净度和舒适性的目的。
2．洁净空调控制系统的功能特点（1）对室内空气进行实时监测和控制，确保室内环境的洁净和舒适。
（2）采用多种控制策略，如PID控制、自适应控制等，提高系统的稳定性和可靠性。
（3）可通过远程监控和控制实现对系统的远程管理和维护。
（4）能够进行故障检测和自动报警，提高系统的安全性和稳定性。
3．洁净空调控制系统的应用场景洁净空调控制系统主要应用于各类要求洁净环境的场所，如医院、电子厂、实验室、卫生间等。
在食品加工、制药、微电子、生物医学等行业中，洁净空调控制系统更是必不可少的关键技术。
4．洁净空调控制系统的控制策略（1）PID控制：PID控制是洁净空调控制系统中最常见和基础的控制策略，通过对实时数据进行反馈和调整，保持室内环境的稳定性和舒适度。
（2）自适应控制：自适应控制是一种适应不同环境变化的控制策略，通过学习和适应不同的环境变化，提高系统的鲁棒性和性能。
（3）模糊控制：模糊控制是一种模糊数学的控制方法，通过对输入输出之间的模糊关系进行建模和推理，解决根据经验无法确定精确定量的问题。
5．洁净空调控制系统的应用建议（1）在洁净空调系统的设计和应用中应采取多种控制策略的配合，以提高系统的稳定性和可靠性。
MAu+FFU+DCC常用系统及控制简介
1MAU+FFU+DC详细介绍目前电子行业洁净室常用的MAU+FFU+DC系统，MAU主要控制室内的湿度和保证室内的正压，FFU通过空气循环过滤保证洁净度，而DC是来除去室内的显热从而保证室内的温度。
(1)MAU(Make—uDAirUnit)组合式外气空调箱是由风机、冷盘管、热盘管(或电加热)、空气过滤器(初级、中级、高级三级过滤)、加湿器组成，通过初中效过滤、预热、降焓、减湿、再热、高效过滤后送入回风层。
(2)FFU(FanFiherUnit)是模数化的小型风机过滤单元，安装在顶棚框架上，空气由FFU 的风机加压后经HEPA或ULPA过滤送入室内，如此循环，其换气次数直接决定室内洁净度的不同。
FFU的技术性能取决于风机和HEPA或ULPA的质量，制造厂一般是通过额定工况下的性能参数，或FFU整机的空气动力特性曲线。
FFU的风机均采用外转子电机以减小高度，一般配有电子式过载保护开关、故障指示灯，故障输出节点，有传统的低、中、高三档交流控制，目前直流变频控制亦越来越应用在洁净等级比较高的系统。
早在上个世纪6O年代，美国新墨西哥州Sandia国家实验室的科学家们利用HEPA过滤的方法研制成功了层流技术，其后商用FFU陆续在美国一些手术室及工业厂房得到广泛的应用。
但直到1984年，在亚洲才出现大规模应用FFU的事例(大约有5000台)。
是什么原因导致FFU在这么长的时间没有得到广泛的发展呢?有三个问题占主导地位：噪声较大问题；压力平衡问题，在很大的静压箱里，各不同角落的风机是否能得到均衡的压力，这在当时也是不能够得到保证的；维护问题，FFU本身造价就比较高，如果它的电机寿命不能保证的话，更换又会带来附加投资。
这些都是造成当时的企业不选择使用FFU的主要原因。
但是这一切，在1984年都发生了改变。
首先是噪声问题得到了控制，大规模的FFU洁净厂房都可以把噪声控制在65dBA以下，这符合工业厂房的标准。
其次随着自动控制的发展，监测和调节各个角落的静压也变得容易起来。