高精度二维转台指向误差分析

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机载二维干涉仪测向误差分析

机载二维干涉仪测向误差分析
中 图分 类 号 : N9 T 5 文献标识码 : A
Er o a y i f Di e to n i g f rAi b r e r r An l ss o r c i n Fi d n o r o n
Two. m e i n Pha e I t r e o e e . Di nso s n e f r m tr
机 载 二维 干 涉仪 测 向误 差分 析
毛 虎 , 建 波 , 宏坤 杨 邱
10 2 ) 3 0 2
( 军航空大 学 , 春 空 长

要: 以相 位 干 涉 仪 测 向原 理 为 基 础 , 机 载 二 维 干 涉 仪 测 向误 差 产 生 原 因 进 行 了详 细 的 阐 述 。分 析 了 内部 噪 声 造 成 对
的 相 位 测 量 误 差 和 载 机 倾斜 造 成 的基 线 位 置 变 化 对 测 向结 果 的影 响 。 虑 电 波传 输 的 多径 效 应 , 讨 了二 径 信 道 和 Ri 信 道 考 探 c e 下 的 测 向误 差 。针 对仿 真结 果 中各 类 误 差 的变 化 规 律 , 揖 具 体 改 进 思 路 和 解 决 方 法 。 关键词 : 相位 干 涉 仪 , 向误 差 , 测 多径 效 应
引 言
干 涉 仪测 向具 有 适用 天 线 阵列 形式 多样 、 向 测 精 度高 、 算法 简单 等优点 , 电子 战 中应 用最 为广 泛 是 的测 向体制 。虽然 近 2 O年来发 展 的阵列测 向 , 测 其
由于 干涉 仪 测 向要 用 到 相位 差 、 率和 基线 长 频
度 等 参数 信息 , 向结果 不 可避 免 的要受 到参数 测 测 量 误 差 的影 响E6, 外 , s]另 - 信号 在 传输 过 程 中的多 径

高精度导航系统的误差分析与补偿

高精度导航系统的误差分析与补偿

高精度导航系统的误差分析与补偿在当今科技飞速发展的时代,高精度导航系统在各个领域都发挥着至关重要的作用,从航空航天、航海运输到日常出行,其精准的定位和导航能力为人们的生活和工作带来了极大的便利。

然而,要实现真正高精度的导航并非易事,其中存在着多种误差因素,这些误差可能会导致导航结果的偏差,甚至影响到相关任务的成败。

因此,对高精度导航系统的误差进行深入分析,并采取有效的补偿措施,具有重要的现实意义。

一、高精度导航系统的误差来源(一)卫星信号误差卫星导航系统是高精度导航的重要组成部分,但其信号在传播过程中会受到多种因素的影响。

例如,大气折射会使卫星信号的传播速度发生变化,导致测量误差;卫星钟差和星历误差也会对定位精度产生影响。

(二)接收机误差接收机本身的性能和质量也会引入误差。

接收机的热噪声、量化误差以及通道间的不一致性等,都可能导致测量结果的不准确。

(三)多路径效应当卫星信号在传播过程中遇到障碍物时,会产生反射和散射,接收机可能会同时接收到直射信号和多个反射信号,从而造成多路径效应。

这会使测量值产生偏差,尤其在城市峡谷等复杂环境中更为明显。

(四)惯性导航系统误差惯性导航系统依靠测量加速度和角速度来推算位置和姿态,但传感器的测量误差会随着时间积累,导致导航精度逐渐下降。

(五)地球物理因素地球的自转、重力场异常等地球物理现象也会对导航系统产生影响。

例如,地球的自转速度并非恒定不变,这会影响到导航系统的参考坐标系。

二、误差分析方法为了准确评估和理解这些误差的影响,需要采用一系列的分析方法。

(一)统计学方法通过对大量的测量数据进行统计分析,计算误差的均值、方差、标准差等统计量,以评估误差的大小和分布特征。

(二)频谱分析将误差信号转换到频域进行分析,可以揭示误差的频率成分,帮助我们了解误差的来源和变化规律。

(三)蒙特卡罗模拟通过随机模拟的方式生成大量的可能情况,以评估误差在不同条件下对导航系统性能的影响。

(四)模型分析建立导航系统的数学模型,通过理论推导和分析,研究误差的传播和积累规律。

高精密转台技术指标

高精密转台技术指标

高精密转台技术指标转台技术在现代工业和科研领域中扮演着重要的角色,尤其在精密加工、测量和实验研究等领域中的应用越来越广泛。

为了满足不同应用需求,高精密转台技术的提升和发展成为了研究的热点。

本文将介绍高精密转台技术的几个关键指标,以期帮助读者更好地了解和选择适合自己需求的转台设备。

首先,转台的定位精度是衡量转台技术性能的一个重要指标。

定位精度是指转台在旋转过程中的位置控制误差,一般以角度为单位。

高精密转台的定位精度要求较高,一般在几个角秒到几个角分的范围内。

这要求转台具备稳定的控制系统、高精度的编码器和准确的位置反馈机制。

其次,转台的重复定位精度也是一个重要的技术指标。

重复定位精度是指转台在多次旋转中,返回同一个位置的能力。

高精密转台的重复定位精度要求较高,一般在几个角秒的范围内。

这要求转台具备良好的稳定性和抗干扰性能,以及高精度的位置反馈和控制算法。

另外,转台的速度范围和速度稳定性也是需要考虑的指标。

转台的速度范围是指转台能够达到的最大旋转速度和最小旋转速度之间的范围。

速度稳定性是指转台在旋转过程中能够保持稳定的旋转速度。

高精密转台一般要求有较宽的速度范围和较高的速度稳定性,以适应不同的应用需求。

此外,转台的载荷能力也是一个重要的指标。

载荷能力是指转台能够承受的最大负荷,一般以质量为单位。

高精密转台要求具备较高的载荷能力,可以承受较大的工件或测量装置。

这要求转台具备坚固的结构设计和稳定的驱动系统。

最后,转台的机械稳定性和抗干扰性也是需要关注的指标。

机械稳定性是指转台在旋转过程中能够保持稳定的结构和运动状态。

抗干扰性是指转台能够抵抗外界震动、振动和其他干扰因素的能力。

高精密转台要求具备较好的机械稳定性和抗干扰性,以确保准确的定位和稳定的运动。

综上所述,高精密转台技术指标包括定位精度、重复定位精度、速度范围和速度稳定性、载荷能力以及机械稳定性和抗干扰性。

在选择转台设备时,需要根据具体应用需求来衡量这些指标,并选择适合的转台设备。

基于数字式二维自准直仪的转台角位置误差校准时的影响因素分析

基于数字式二维自准直仪的转台角位置误差校准时的影响因素分析

重 要 环节

SM
R)

激 光 跟 踪 仪 发 射 的 激光 经


标反 射镜返 回 到


激 光 跟踪 仪



标 反 射 镜跟 随转 台 转 动 时



HJ

仪 可 跟 随 进 行连 续 测 量


测 量得到 的 数据经过拟 合计


前转 台 角 位 置 误 差 校 准 的 主 要 方 法 有


影响 因 素

中 图 分类号
T B9 2 2 文
献标 识 码
A 文 章 编 号

6 7 4


79 5

20







00 2 0

03


言 体 来 进 行 测 量


测 量 方法 同


准 直 仪法类 似

转台是 位置

种 专 用 测 试设备



备有

二 等 或三 等 正

23
面棱 体


分 辨力 不 低 于



的 在 塔 差
则会 出现转 台 转 动 中

棱 体 工作面 没有 办

自 准 直仪
以 及 配 套 的 工 装 等 法 反 射


准直 仪 发 出 的 平 行 光

金刚石飞切二维转鼓加工精密转台定位精度分析

金刚石飞切二维转鼓加工精密转台定位精度分析

tr n h r li g n ' a p i t n a d t e p p lr a in Th l a p e iin f i g c t n wo dme s n ld u p o e sn emie t e ma ma i g p l a i n h o u a i t . s c o z o e ut r cs l n u t g t - i n i a r m r c s ig, r o y i o b c u e o h h p ft e d u i c mp e n h c u a y r q ie n s hg e a s ft e s a e o h r m s o lx a d t e a c r c e ur me ti ih,i o ain e up n s p st nn c u a y o t lc t q ime t o ii ig a c r c f s o o
q ai ,t i a t l a p id t ep e iin p st n n n lssf ra ay i p e i o u n a l ,e t b i e h o i o ig p e i o — u l y h s ri e p l h rcso o i o i g a ay i o n lss r cs n t r tb e sa l h d t ep st n n rcs n a t c e i i s i i n l s d 1 Th o r ia e c n e so ft r tb e i c l ltd b i lt n o h r cs n t r tb e r t t n a c r c ,fo ay i mo e s . e c o dn t o v r in o u n a l s ac a e y smua i ft e p e i o u n a l o a i c u a y r m u o i o

二维数控精密转台精度计算与分析

二维数控精密转台精度计算与分析

二维数控精密转台精度计算与分析作者:周锐琦史国权胡明亮来源:《中国新技术新产品》2014年第04期摘要:根据二维转鼓的生产要求和提出的技术指标,对二维数控精密转台进行了精度计算和分析。

介绍了对转台精度起主要影响作用的各项误差,得到二维数控精密转台的指向误差,并对指向误差进行分配,得出二维数控精密转台三类误差指标。

关键词:二维数控;转台精度;指向误差中图分类号:V216 文献标识码:A1 概述针对非规则(二维)光学转鼓在扫描探测器中的广泛应用和产量需求,自主研发能够和Ultraform250超精密切削机床配套使用的二维数控精密转台夹具。

由于二维数控精密转台是针对非规则光学转鼓的高效、高质量飞切加工的,在加工过程中,产生加工误差的因素很多。

如果对转鼓规定一系列技术指标,那么转台的有关误差对转鼓的技术指标的影响是很大的。

因此,要尽可能设法减少这些误差,所占的比重越大,留给补偿其他各类误差的空间就越小。

其结果不是降低零件的加工精度,就是增加加工难度。

根据所生产转鼓的技术指标:平行度误差15角秒,倾角误差20角秒,转角误差20角秒,对转台结构的精度进行逆推,经过计算得出转台各主要误差指标。

2 转台的系统误差由于转台的结构是二维数控工艺装置夹具结构,对静态条件下的转台性能指标要求比较高,下面对转台精度起主要影响作用的各项误差给出定义:回转误差是指各轴在进行转动时,轴端的运动轨迹所形成的包络线摆动范围的最小圆锥角度。

它能够直接影响轴的空间指向。

垂直度误差是指转台空间直角坐标系中两轴轴线之间的实际空间夹角与90°角的差值。

位置误差是指在静止状态下,转台的实际位置和理想位置的差值。

3 二维数控精密转台的指向误差3.1 指向误差的定义(见图1)转台的指向误差指的是在横滚轴上确定一个单位向量λ0,当转台转动一定的角度后,转台的理想指向λ1与实际指向λ2之间的角度偏差。

指向误差实际上是一种空间角度误差,能够直接反应出转台的定位精度。

提高二维工作台定位精度的误差补偿方法研究

提高二维工作台定位精度的误差补偿方法研究

收稿日期:2020-12-16提高二维工作台定位精度的误差补偿方法研究徐品烈1,田利忠2,种宝春1,常亮1,赵玉民1,孙莉莉1(1.中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京100176;2.中国电科电子装备集团有限公司,北京100176)摘要:通过测量二维工作台XY 轴直线度误差、垂直度误差、定位精度误差等,采用水平分割法对误差线性拟合,分析了每种误差对单轴定位精度和关联轴定位精度的影响,这种补偿方法能够有效地提高二维工作台的定位精度。

关键词:水平分割法;误差补偿;定位精度中图分类号:TH161+.2文献标志码:B文章编号:1004-4507(2021)01-0038-04Study on Error Compensation Method to Improve PositioningPrecision of 2D StageXU Pinlie 1,TIAN Lizhong 2,CHONG Baochun 1,CHANG Liang 1,ZHAO Yumin 1,SUN Lili 1(1.The 45th Research Institute of CETC,Beijing 100176,China ;2.CETC Electronics Equipment Group Co.,Ltd.,Beijing 100176,China )Abstract:By measuring linearity error ,verticality error and positioning error of the XY axis of 2D stage ,horizontal division method is used to fit the error linearization ,and the influence of each error on positioning precision of the single axis and the related axis is analyzed ,the error compensation method is able to improve positioning precision of 2D stage effectively.Key words:Horizontal segmentation ;Error compensation ;Positioning precision二维工作台是半导体专用设备中最常见的结构部件。

高精度测绘技术的误差分析与控制方法

高精度测绘技术的误差分析与控制方法

高精度测绘技术的误差分析与控制方法引言:高精度测绘技术在现代社会的发展中起到了至关重要的作用。

然而,由于各种因素的干扰,测绘结果往往会存在一定的误差。

因此,本文将就高精度测绘技术的误差分析与控制方法展开探讨。

一、误差来源分析在进行测绘工作时,误差的来源主要可以归纳为人为因素和自然因素两个方面。

1. 人为因素人为因素是指操作人员的技术水平、仪器的使用状况和数据处理的方法等对测绘结果所造成的误差。

操作人员的错误操作、不良习惯以及技术水平的参差不齐都会导致测绘结果的误差增加。

而仪器的使用状况则涉及到仪器的校准是否准确、使用寿命是否过长等问题。

数据处理的方法则是在采集到原始数据后进行的处理过程,其中的算法选择、参数设定等都会对结果产生重要影响。

2. 自然因素自然因素是指地质、气候以及测量环境等因素对测绘结果产生的影响。

比如地壳运动、大气湍流以及测量地点的地理环境等因素都会对测绘结果的精度造成较大的影响。

二、误差的分类根据误差的性质和产生原因,我们可以将误差分为系统误差和随机误差两类。

1. 系统误差系统误差又称为偏差,是指由于测量仪器或测量方法存在的固有缺陷而引起的误差。

系统误差在重复测量中是一致的,并且会导致测量结果有所偏离真实值。

系统误差的大小和方向常常难以确定,因此在测绘工作中需要采取一定的控制和补偿措施来减小其影响。

2. 随机误差随机误差是指由于各种不确定因素所引起的误差,其大小和方向是随机的,并且在重复测量中呈现出一定的随机性。

随机误差对测量结果的影响主要表现为数据的离散程度和稳定性。

通过重复测量和统计分析可以降低随机误差的影响。

三、误差控制方法为了保证高精度测绘结果的准确性,我们需要采取一系列的误差控制方法。

这些方法主要包括以下几个方面:1. 仪器的选用和校准在进行测绘工作前,我们需要选择合适的仪器设备,并且对其进行校准。

校准可以通过仪器厂家提供的校准方法进行,也可以通过与已知数据进行对比的方式来确定误差大小并进行补偿。

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V o _ 3 No. l3 4
A u .2 2 g O1
高 精 度 二维 转 台指 向误 差 分 析
张 西龙 , 孙 宝玉 , 孙 建 伟 , 刘铁 军
( 春 工 业 大 学 机 电工 程 学 院 , 林 长春 1 0 1 ) 长 吉 3 02
摘 要 : 据二 维转 台 的结构特 点 , 立 了它 的空 间坐标 系。基 于 多体 系统运 动 学理 论 , 立 根 建 建 了转 台的数 学模 型 , 并推 导 出它在静 止和 运 动两种 状 态 时 的 4 ×4变 换矩 阵, 而 计算 出转 台 从 设 备轴 的理论 指 向和 实际指 向之 间 的误 差 。最后 , 用逆 分 析 的 方法 分 析 了转 台在 静 止 时 的 采 误 差补偿 问题 , 对提 高 转 台设 备 的指 向精度具 有 一定 的意义 。
量;
俯仰 ) 转 动 角加 速 度 1 0/ 包 括 方 位 和 俯 仰 ) , 0 。s (
的技 术要 求 。 为 了能够 清 晰地 表 达 转 台结 构 , 而 便 于建 从
立 空间 坐标 系 , 象 出转 台结构 , 规定 图示 的初 抽 并
始 位 置 转 台 的 结 构 , 图 2所 示 。 如
关 键词 :空 间坐标 系 ;多体 系统运 动学 ;数 学模 型 ;变换 矩阵 ;逆分 析 ;误 差补偿 中图分 类号 : 1 TH 1 5 文献标 志码 : A 文 章编 号 :1 7 —3 4 2 1 )40 7 -6 6 41 7 (0 2 0 —3 70
Po n ig erora alss f i h a c r c D u n a e itn r n y i ora hg c u a y 2 t r t bl
1 1 二 维 转 台 描 述 .
以某型号 高 精 度二 维 转 台 为例 , 究 转 台 的 研 指 向误 差 , 台 的实物 图如 图 1 转 所示 。
坐标 系_ 。为 了方 便 , 中建 立 的坐 标 系均 为 右 1 ] 文
手笛 卡尔坐 标 系 。3个 坐标 系 之 间 的联 系 如 图 3
为:
,—— M点在 坐标 系 0 的位 置矢 量 。 因此 , 间 内 点 “在 坐 标 系 0 空 中 的 表 达 式
f — q+ U — P+ p e+ s s U 十 e+
由上 面分 析可 以得到 转 台各 刚体 之 间坐标 系 的关 系 , 了使 坐标 系之 间的空 间位置 清 晰简 洁 , 为
系, 1 第 个是 在无 误差 状态 下 的理 想 坐标 系 ; 2 第
个是 转 台在 静止 时 , 由于 几何 误 差 和 装 配误 差 的 影响 , 需要建 立静 态误差 坐标 系 ; 3个 是 由轴 的 第 回转误 差等 引起 的动态 误 差 , 要 建 立运 动 误 差 需
1 多体 系统 描 述
运 动速 度方 面保证 转动 角速度 2 。s包括 方位 和 0/ (
p , —— 分别 为 0 0 的位 置误 差 矢 量和 es e ,
运动 误差矢 量 ;
“—— 空间 内任一点 ; u—— 点在运 动坐标 系下 的位 置矢 量 ; q—— 坐 标 系 0 在 坐 标 系 0 中 的位 置 矢
Ab tac :Sp c o r na es s e i ita c r n o t t u t r lf a u e he hi — c u a y 2 sr t a e q o di t y t m s bu l c o di g t he s r c u a e t r soft gh a c r c D t nt bl. Ba e n he m u t— y t m n ma is t o y,t t ma ia ur a e sdo t lis s e ki e tc he r he ma he tc lmod lo he t n a e i e f t ur t bl S e t bls d,a na i— r e s a ihe nd De v t Ha t nbe g t a f ma i t i s d d e t b t he d a c a t tc r r nsor ton ma rx i e uc d a o h t yn mi nd s a i s a e or c l u a i h i i e r . W ih n e s n l s s m e ho t t s f a c l tng t e po ntng r or t i v r e a a y i t d,we a l z he s a i r or na y e t t tc e r c m p n a i n f r t e t n a e t mpr ve t i tn c ur c o e s to o h ur t bl o i o he po n i g a c a y. Key wo d r s:s a e c o di a e;m u t— y t m n ma is;m a he tc 1m o l r nsor to a rx; p c o r n t lis s e ki e tc t ma ia de ;t a f ma i n m t i
轴 承
此处 只建 立 每 个 刚 体 在 静 态 误 差 时 的静 态 坐标
系, 坐标 系之 间的空 间位置 关 系如 图 4所 示 。 图 4中 , 坐标 系 X。 o o的 原点 e YZ 。建立 在
转 台基座平 面 的 中心 , 。为平 行 于纸 面 的水 平 直 y 线 ,。 Z 为平 行 于纸 面且 与 y。 直 的 铅 垂 线 , 垂 x。
0 , 0 —— 分别 为 0 0 的参 考系 ; , PS , —— 分 别 为 0 0 位 置 矢 量 和 运 动 矢 ,
量;
二 维转 台通 过 力矩 电机 实 现方 位 、 仰 方 向 俯 的功 能 , 在规定 的转 动 角度 范 围 内完 成 所 要求 的
动作 , 保设备 指 向的精 确性 。它 的工作 范 围为 : 确 方 位角 一 1 0 ~ +1 0 , 仰 角 一 3 。 + 6 。从 8。 8。俯 5~ 0;
i e s na y i e r o pe — a i . nv r e a l ss; r orc m n s ton
0 引 言
二 维转 台 因其体 积小 和重量 轻而 被广 泛用 于
跟踪 、 测量 及仿 真等 场合 中 , 的性 能主要 受到误 它
动之后 , 备 的理 想 指 向和 实 际 指 向之 间 存 在 的 设 角度偏 差 。这 种偏 差 是 一 种 空 间角 度 误 差 , 志 标 着设 备 的定 位精 度 , 也就是 转 台的指 向误差 _ 。 2 ]
图 2 转 台 的结 构 示 意 图
同时垂直 于 y 和 Z 。 。于 , 坐 标 系为 系 统 的总 此
第 4期
张 西 龙 ,等 : 精 度 二 维 转 台 指 向误 差 分 析 高
39 7
体 坐标 系 ; 坐标 系 eX。 的原 点 e 立 在 方 。 YZ 建 位 轴 的平均轴 线 1 1和俯 仰 轴 的平 均轴 线 2 2的 — — 公 垂 线 优 上 , 交 于 1 1线 , 轴 与 1 1重 且 — Z —
C AM/ AE方 向研 究 , — i wd s y 1 3 c r. C E ma : y b. 6 . o l @ n
3 8 7
长 春 工 业 大 学 学 报( 自然 科 学 版 )
第 3 的基座 为 0体 , 后利用 然
1 2 坐 标 系 的 建 立 .
Z HANG Xio g S a —u S inwe, L U ejn — n , UN B oy , UN Ja — i l I Ti u -
( c o l f M e ha r n c En i e rng,Ch n c u i e st fTe h o o y,Ch n c u 3 0 2,Chi a S h o c t o i g n e i o a g h n Un v r iy o c n l g a gh n1 0 1 n)
空 间几何 关系 , 而 更全 面地 掌 握 和 预测 各 个 参 从
数对 系统 精 度 的影 响 。对 于 转 台系统 , 以看 成 可
起来 表现 在设备 的指 向不 准 确上 , 转 台经 过 转 是
收稿 日期 :2 1 - 2 2 0 11—5
基 金 项 目 :国 家 自然科 学 基 金 资 助 项 目( 1 0 0 4 5154) 作 者 简 介 :张 西龙 ( 9 9 ) 男 , 族 , 东 嘉 祥 人 , 春 工 业 大 学 硕 士 研 究 生 , 要 从 事 C 18 一 , 汉 山 长 主 AD/ AM/ AE 方 向 研 究 , — i C C Emal : zh n xln 1 6cr. *联 系 人 : 宝 玉 ( 9 1 ) 女 , 族 , 林 长 春 人 , 春 工 业 大 学 教 授 , 士 , 要 从 事 C / za g i @ 2 . o o n 孙 17~ , 汉 吉 长 博 主 AD
齐次 坐标 变换 的 方法 建 立 低 序 体阵 列 , 可 以得 便
由于转 台在工 作时 静态误 差 和运动 误差 同时
到多 体 系统 中任一个 体在 以基 座为参 考系 中 的位
置关 系 , 进而得 到转 台 的误差模 型 。
存在 , 因此 , 要 在 每 一个 刚体 上 建立 3个 坐 标 需
所示 。
图 3 3个 坐 标 系 之 I 司的 关 系
图 中 : ——相 邻低 序体 的理想 坐标 系 ; 0
0 , —典 型体 的理想 坐标 系 ; 0—
0 O —— 分 别 为 典 型 体 的 静 态 坐 标 系 和 ,s e
运动 坐标 系 ;
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