气体质量流量转换表
堀场汇博隆(C)S48 300HMT流量计、流量控制器说明书
气体质量流量控制器（流量计）S48 300/HMT使用说明书(Ver.2.0)北京堀场汇博隆精密仪器有限公司目录1、概述 (1)2、术语符号 (2)3、工作原理 (5)4、技术指标 (7)5、产品安装 (8)6、使用方法和操作步骤 (16)7、数字通讯功能使用方法和操作 (18)8、通讯协议编码格式 (20)9、警告和注意 (25)10、故障判断和处理 (28)附录一：通信指令集 (31)附录二：标定和不同气体的换算 (34)1、概述本产品为热式质量流量控制器，利用气流流过毛细管，改变毛细管温度分布，造成上下游温差方法，而测得气体质量流量。
不同于容积式流量计，其流量精度不受气体压力、环境温度影响。
由于上下游温差总是实时反应气流瞬时流量，所以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。
1.1 使用范围质量流量控制器广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等行业的气流测量与控制。
1.2 质量流量控制器和质量流量计质量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为MFC)，具备流量测量和流量控制两种功能。
质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为MFM)，只有流量测量功能，不具备气流控制功能。
1.3 S48 300/HMT质量流量控制器的特点☆ S48 300/HMT型质量流量控制器是在引进HORIBA STEC技术基础上，结合国内需要而研制的一种数字式质量流量控制器产品，采用当今先进的32位ARM系列处理器做数字控制。
具有流量精度高、线性好、零漂小、气流响应速度快、过冲小等特点。
☆RS232/485串口， Modbus（RTU）开放协议。
协议简单可靠，兼容性强，易于组网。
配合上位机，可进行各种复杂的计量、控制操作及组态。
☆耐压高及适用于真空条件下工作。
气体流量不因温度、压力的变化而变化。
气阻较小，工作压力范围宽。
☆主体采用不锈钢（316L）结构，气密材料采用PTFE、氟橡胶等。
七星电子流量计 D07-7B_7BM使用手册
D07 - 7B 型质量流量控制器D07-7BM 型质量流量计使用手册版本2013.6目录1. 使用须知................................... 1 6.2.1 开机预热.. (15)2. 用途和特点.............................. 1 6.2.2 检查和调整零点 (15)3. 主要技术指标........................... 3 6.2.3 通气工作 (15)4. 结构和工作原理........................ 4 6.2.4 关机 (15)4.1 结构....................................... 4 7. 注意事项 (15)4.2 工作原理................................. 5 7.1 禁用流量介质 (15)5. 安装和接线...........................7 7.2 使用腐蚀性气体问题 (15)5.1 外形及安装尺寸........................7 7.3 阀口密封问题 (16)5.2 气路接头形式...........................8 7.4 阀控操作注意 (16)5.3 连接电缆插头...........................9 7.5 安装位置问题 (16)5.4 与计算机或外部信号的连接.........11 7.6 注意工作压差 (16)5.5调零和外调零...........................12 7.7 标定和不同气体的换算 (17)6. 使用方法和操作步骤..................13 7.8 D07-7B,7BM标准订单填写格式 (18)6.1 质量流量控制器的操作...............13 8. 故障判断和处理 (21)6.1.1 开机操作..............................13 9. 保证、保修与服务 (23)6.1.2 清洗功能..............................14 9.1 产品保证和保修.. (23)6.1.3 显示仪与计算机连接的操作......14 9.2 保修对使用的要求.. (23)6.1.4 直接与计算机连接的操作.........14 9.3 服务.. (23)6.1.5 阀控功能..............................15 10. 附录 (24)6.1.6 关机操作..............................15 10.1气体质量流量转换系数 (24)6.2 质量流量计的操作...................15 10.2转换系数使用说明 (26)MASS FLOW CONTROLLER & MASS FLOW METER质量流量控制器和质量流量计使用手册1.使用须知尊敬的用户，感谢您购买本公司生产的D07系列质量流量控制器/质量流量计产品。
EJX910A多变量变送器
■ 主要特点：
●1.0%的质量流量精度（量程比10：1以上时） ●先进的自诊断功能（可选）
HART协议型 ●同步输出4~20mA信号和脉冲信号 ●HART协议版本可选HART 5或HART 7 ●长位号可支持32个字符（HART 7） ●增强型突发模式和事件通知（HART 7） ●SIL 2满足安全要求 注：HART 5 支持 HART 协议版本5 HART 7 支持 HART 协议版本7
静 压( S P ) 绝压
量程/范围 MPa abs
量程 L
范围
M 量程
H 范围
1～16 0～16 1～25 0～25
表压
psia (/D1)
145～2300 0～2300 145～3600 0～3600
量程/范围 MPa
psi (/D1)
量程 L
范围
M 量程
H 范围
1～16 0.1～16 1～25 0.1～25
*1：当指定测量功能代码B时。 *2：平方根输出不可用。不支持小信号切除。 *3：不可反转输出。
外部温度或流量信号。输出范围：3.8 mA～21.6 mA。
HART FSK数字协议加载在4～20 mA信号上。
FF协议型的输出规格
故障报警
输出 数字量通讯信号基于FF规格。
CPU故障和硬件故障的模拟量输出状态 高输出：110%，≥21.6 mA DC(标准) 低输出：-2.5%，≤3.6 mA DC
GS 01C25R01-00CY
141
4
阻尼时间常数(一阶函数算法)
放大器阻尼时间常数可通过软件，在0.00～100.00秒范围 内调整，响应时间随之增加。可单独用于DP，SP，ET 和流量。
更新周期 表3 更新周期
质量流量控制器技术说明书
质量流量控制器和质量流量计使用说明书1、特点及应用领域质量流量控制器（Mass Flow Controller缩写为MFC）用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。
质量流量计（Mass Flow Meter缩写为MFM），用于对气体的质量流量进行精密测量。
S49系列质量流量控制器和质量流量计特点：*采用主体不锈钢（316L）结构，与气体接触部分采用铁素体高耐腐蚀软磁不锈钢、*适用于各种腐蚀性气体*气体流量不因温度、压力的变化而失准*高精度 *重复性好*响应速度快、软启动、稳定可靠*低压降*工作压力范围宽（可以在高压或真空条件下工作）。
*操作使用方便，可任意位置安装*便于与计算机连接实现自动控制。
S49系列质量流量控制器和质量流量计主要应用领域：*半导体制造行业的气体流量控制*分析仪器设备的气体计量与控制*各种形式的真空镀膜设备*环境检测与分析设备*化工、石化、食品行业气体流量监测和控制*特种材料表面处理装置与燃烧控制*混气配气系统和泄漏探测系统等2．S49系列质量流量控制器和质量流量计型号本产品采用中华人民共和国电子行业标准SJ/T10583-94以及SJ37所规定的通用技术条件及命名方法。
其中：S49-33/MT型为高精度质量流量控制器S49-33A/MT型高精度质量流量计。
S49-33M/MT型为普通型质量流量控制器S49-33BM/MT型普通型质量流量计。
质量流量计主要精确测量气体流量，质量流量控制器不但具有质量流量计的功能还具备自动控制气体流量的功能。
执行Q/XCHBY001-2003企业标准3．主要技术指标质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N）标定。
2质量流量的单位规定为: SCCM (标准毫升/分);SLM (标准升/分)标准状态规定为: 温度 --- 273.15K ( 0℃ );气压— 101325 Pa (760mm Hg)F.S (Full Scale): 表示满量程值表1 S49-33/MT型﹑S49-33M/MT型质量流量控制器技术指标表2. S49-33A/MT﹑ S49-33BM/MT型质量流量计技术指标注意： S49系列质量流量控制器，质量流量计分不同的流量范围，供用户选择，也可根据用户提出流量定制。
气体质量流量转换系数简表
六氟化钨 WF6 氙气 Βιβλιοθήκη e0.0956 0.0379
13.29 5.858
0.215 1.415
设定流量=实际流量/(转换系数*2） 设定流量量程为200sccm 假设H2实际流量为20sccm，其转换系数为1.01，则其设定流量为20/(1.01*2)=9.9sccm
气体质量流量转换系数表
气 体 空气 Air 氩气 Ar 砷烷 AsH3 三溴化硼 BBr3 三氯化硼 BCl3 三氟化硼 BF3 硼 烷 B2H6 四氯化碳 CCl4 四氟化碳 CF4 甲烷 CH4 乙炔 C2H2 乙烯 C2H4 乙烷 C2H6 丙炔 C3H4 丙烯 C3H6 丙烷 C3H8 丁炔 C4H6 丁烯 C4H8 丁烷 C4H10 戊烷 C5H12 甲醇 CH3OH 乙醇 C2H6O 三氯乙烷 C2H3Cl3 氧化碳 CO 二氧化碳 CO2 氰气 C2N2 氯气 Cl2 氘气 D2 氟气 F2 四氯化锗 GeCl4 锗烷 GeH4 氢气 H2 溴化氢 HBr 氯化氢 HCl 氟化氢 HF 碘化氢 HI 硫化氢 H2S 氦气 He 氪气 Kr 氮气 N2 氖气 Ne 氨气 NH3 一氧化氮 NO 二氧化氮 NO2 一氧化二氮 N2O 氧气 O2 三氯化磷 PCl3 磷烷 PH3 五氟化磷 PF5 三氯氧磷 POCl3 四氯化硅 SiCl4 四氟化硅 SiF4 硅烷 SiH4 二氯氢硅 SiH2Cl2 三氯氢硅 SiHCl3 六氟化硫 SF6 二氧化硫 SO2 四氯化钛 TiCl4 比热(卡/克℃) 0.24 0.125 0.1168 0.0647 0.1217 0.1779 0.502 0.1297 0.1659 0.5318 0.4049 0.3658 0.4241 0.3633 0.3659 0.399 0.3515 0.3723 0.413 0.3916 0.3277 0.3398 0.1654 0.2488 0.2017 0.2608 0.1145 1.7325 0.197 0.1072 0.1405 3.4224 0.0861 0.1911 0.3482 0.0545 0.2278 1.2418 0.0593 0.2486 0.2464 0.5005 0.2378 0.1923 0.2098 0.2196 0.1247 0.261 0.1611 0.1324 0.127 0.1692 0.3189 0.1472 0.1332 0.1588 0.1489 0.1572 密度(克/升0℃) 1.293 1.7837 3.478 11.18 5.227 3.025 1.235 6.86 3.9636 0.715 1.162 1.251 1.342 1.787 1.877 1.967 2.413 2.503 2.593 3.219 1.43 2.055 5.95 1.25 1.964 2.322 3.163 0.1798 1.695 9.565 3.418 0.0899 3.61 1.627 0.893 5.707 1.52 0.1786 3.739 1.25 0.9 0.76 1.339 2.052 1.964 1.427 6.127 1.517 5.62 6.845 7.5847 4.643 1.433 4.506 6.043 6.516 2.858 8.465 转换系数 1.001 1.407 0.673 0.378 0.43 0.508 0.441 0.307 0.428 0.719 0.581 0.597 0.48 0.421 0.398 0.348 0.322 0.293 0.255 0.217 0.583 0.391 0.278 0.999 0.737 0.451 0.858 0.997 0.93 0.267 0.569 1.01 1 1 1 0.999 0.844 1.415 1.415 1 1.415 0.719 0.976 0.741 0.709 0.992 0.358 0.691 0.302 0.302 0.284 0.348 0.599 0.412 0.34 0.264 0.687 0.206
气体质量流量计参数
气体质量流量计参数气体质量流量计通常用于测量气体流量，其最重要的参数包括测量范围、精确度、响应时间、输出信号类型等等。
本文将对气体质量流量计的参数进行详细介绍。
1. 测量范围气体质量流量计的测量范围通常指的是其能够测量的气体质量流量的最大值和最小值。
这个参数通常以单位时间内的气体质量流量表示，比如 Kg/h、g/min、mg/s等等。
不同型号的气体质量流量计的测量范围可能有所不同，通常根据使用场合和用户需求进行选择。
在选择时，需要考虑到被测量气体的质量流量范围，同时也要考虑到测量范围的精确度和响应时间等等因素。
2. 精确度精确度是气体质量流量计的另一个重要参数。
它通常由测量的误差率来表示，比如±1%、±0.5%等都是比较普遍的精确度要求。
气体质量流量计的精确度会受到多种因素的影响，比如被测气体的流动状态、流速、温度、压力等等。
在选择气体质量流量计时，需要根据实际需求进行选择，尽可能地选择精度高、适用范围广的气体质量流量计。
3. 响应时间响应时间是气体质量流量计的另一个重要参数。
它通常指当气体流量发生变化时，气体质量流量计能够捕捉到变化的时间。
响应时间越短，说明气体质量流量计的响应能力越强。
气体质量流量计的响应时间受到多种因素的影响，比如被测气体的密度、流速、温度等等。
在选择气体质量流量计时，需要根据实际需求进行选择，尽可能地选择响应时间短、适用范围广的气体质量流量计。
4. 输出信号类型气体质量流量计的输出信号类型通常有模拟输出和数字输出两种。
模拟输出是指将气体质量流量转换成模拟信号输出，通常为电流信号或电压信号。
数字输出则是将气体质量流量转换成数字信号输出，通常为RS232或RS485等串口信号。
不同用户和不同场合对气体质量流量计的输出信号类型需求也是不同的。
对于需要接入服务器或PLC等设备的用户，数字输出是比较理想的选择；对于需要接入报警器或显示屏等设备的用户，模拟输出则更为合适。
关于气体流量单位
关于气体流量单位关于气体流量单位——sccmSCCM=standard cubic centimeter per minute标准状态毫升/分(ml=cm3),标准状态为 0℃,1atm.SLM 标准升/分钟SCCM(标准毫升/分)SLM (标准升/分)流量是指气体流动过程中，单位时间内通过任一截面的气体量。
流量有两种方式来表示，即体积流量和质量流量。
前者指通过管路任一截面的气体体积，后者为通过的气体质量，在气体工业中一般均采用体积流量以m3／h（或L／h）为度量单位。
因气体体积与温度、压力和湿度有关，为便于比较通常所说的体积流量是指标准状态（温度为20℃，压力为0．101MPa，相对湿度为65％）而言，此时的流量以Nm3／h为单位，“N”即表示标准状态。
有时也简写成不规范的h-1。
Nm3／h=1000L/60min=16.667L/min。
CFM是流量单位cubic feet per minute 立方英尺每分钟CMM、CFM都是指每分钟所排出空气体积，前者单位为立方米/每分；后者单位为立方英尺/每分钟。
1CMM=35.3CFM。
slpm，scfm，gph，lpm都是流量的单位，它们是怎么定义的？slpm即英文stard liter per minute，即标准公升每分钟流量值，与lpm的通常无区别，但slpm规定了必须是常温常压状态下的标准公升，而lpm是指目前该物质的公升。
scfm的意思是，立方英尺每分钟的流量值scfm和公制进率关系为1m^3/min=35.4cfm，1cfm=7.3scfmgph即英文gallons per hour,即加仑每小时流量值lpm即英文lines per millimetre，公升每分钟流量值我这里有一些压强单位换算公式：1Psi=6.89*10^3Pa=68.9*10^-3bar1bar=10^-5Pa=14.5Psi1Pa=10^5bar=145*10^-6Psi压力换算压力1巴（bar）=105帕（Pa）1达因/厘米2（dyn/cm2）=0.1帕（Pa）1托（Torr）=133.322帕（Pa）1毫米汞柱（mmHg）=133.322帕（Pa）1毫米水柱（mmH2O）=9.80665帕（Pa）1工程大气压=98.0665千帕（kPa）1千帕（kPa）=0.145磅力/英寸2（psi）=0.0102千克力/厘米2（kgf/cm2）=0.0098大气压（atm）1磅力/英寸2（psi）=6.895千帕（kPa）=0.0703千克力/厘米2（kg/cm2）=0.0689巴（bar）=0.068大气压（atm）1物理大气压（atm）=101.325千帕（kPa）=14.696磅/英寸2（psi）=1.0333巴（bar）PSI英文全称为Pounds per square inch。
热式气体质量流量计使用说明书
□Nm3/h
□Nm3/min
流量积算仪出厂已设定，不许用户设置任何改动。改动请与厂家联系 。
1、 显示窗口，上窗口八位累计下四位瞬时流量 2、 测量状态下按键 5 秒进入设置菜单（在设置状态下按键 5 秒进
入下一组参数或返回）在设置状态下移动修改位 3、 在测量状态下按键 5 秒累计值清零，在设置状态下增加参数值
或改变设置类型/翻页功能 4、 在设置状态下，减小参数值或改变设置类型 5、 在设置状态下，启动修改状态或存入修改参数值 密码 1111 对应菜单参数 标定点 1-8 点为，非线性 标定点 9-16 点为，非线性 通讯地址出厂设为 1 通讯速率：19200、9600、4800、2400，出厂设为 9600 模拟输出：4-20MA、0-10MA、0-20MA，出厂设为 4-20MA 输出下限：0-9999，一般为 0 输出上限：0-9999，可对应量程的任何一段 小数点位：个 十 百 千位
技术指标：
测量范围：（0.05-141）NM/H(标准状态 20℃、 不含液体的洁净气体 精度：±1.0% 压力：小于 4.0MPA 温度：-20-350℃ 液晶显示：累积流量、瞬时流量 信号输出：4~20MA 0~10MA 或 0-20MA 供电电源：24VDC 探杆直径：19mm 供货结构：插入式、管段式 电气接口：M20*1.5 或 1/2NPT 防爆等级：ExdⅡCT4 质保期：产品正常使用期的一年内
单位 联系人 类序
1 被
2 测 气3 体
4 工 艺5 条6 件7
8 9 10 11 流 12 量 计 安 13 装 条 件 14
15 订 16
项
目
介质
介质 组份名称
组份 百分比%含量
含油、湿、尘量(%)
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
0.1405 3.4224 0.0861 0.1911 0.3482 0.0545 0.2278 1.2418 0..0593 0.2486 0.2464 0.5005 0.2378 0.1923 0.2098 0.2196 0.1247 0.261 0.1611 0.1324 0.127 0.1692 0.3189 0.1472 0.1332 0.1588 0.1489 0.1572 0.0956 0.0379
0.441 0.307
0.1659
3.9636
0.428
0.5318 0.4049 0.3658
0.715 1.162 1.251
0.719 0.581 0.598
2 4 CH 乙烷 2 6 CH 丙炔 3 4 CH 丙烯 3 6 CH 丙烷 3 8 CH 丁炔 C 4H 6 丁烯 C 4H 8 丁烷 C4H10 戊烷 C5H12 甲醇 CH3OH 乙醇 C 2H 6 O 三氯 乙烷 3 3 3 C H Cl 一氧 化碳 CO 二氧 化碳 2 CO 氰气 C 2N 2 氯气 Cl2 氘气 D2 氟气 F2 四氯 化锗 GeCl4
比热( 比热(卡/克℃) 0.24 0.125 0.1168 0.0647
密度( 密度(克/升 0℃) 1.293 1.7837 3.478 11.18
转换系数 1.006 1.415 0.673 0.378
0.1217
5.227
0.43
0.1779
3.025
0.508
0.502 0.1297
1.235 6.86
0.2488
1.25
1.00
0.2017
1.964
0.737
0.2608 0.1145 1.7325 0.197 0.1072
2.322 3.163. 0.1798 1.695 9.565
0.452 0.858 0.998 0.931 0.267
气 体
比热( 密度( 比热(卡/克℃) 密度(克/升 0℃)
3.418 0.0899 3.61 1.627 0.893 5.707 1.52 0.1786 3.739 1.250 0.90 0.76 1.339 2.052 1.964 1.427 6.127 1.517 5.62 6.845 7.5847 4.643 1.433 4.506 6.043 6.516 2.858 8.465 13.29 5.858
气体质量流量转换系数表
(2010-07-20 10:00:23) 标 分类： 电子半导体集中供气 签：
质量流量
五氟化磷
六氟化钨
三溴化硼
气 体 空气 Air 氩气 Ar 砷烷 AsH3 三溴 化硼 BBr3 BBr3 三氯 化硼 3 BCl 三氟 化硼 B 2H 6 硼烷 BF3 四氯 化碳 CCl4 四氟 化碳 CF4 甲烷 CH4 乙炔 C 2H 2 乙烯Fra bibliotek转换系数
锗烷 GeH4 氢气 H2 溴化氢 HBr 氯化氢 HCI 氟化氢 HF 碘化氢 HI 硫化氢 H2S 氦气 He 氪气 Kr 氮气 N2 氖气 Ne 氨气 NH3 一氧化氮 NO 二氧化氮 NO2 一氧化二氮 N2O 氧气 O2 三氯化磷 PCI 3 磷烷 PH3 五氟化磷 PF5 三氯氧磷 POCI3 四氯化硅 SiCI4 四氟化硅 SiF4 硅烷 SiH4 二氯氢硅 SiH2CI2 三氯氢硅 SiHCI3 六氟化硫 SF6 二氧化硫 SO2 四氯化钛 TiCI4 六氟化钨 WF6 氙气 Xe
0.569 1.01 1.00 1.00 1.00 0.999 0.844 1.415 1.415 1.00 1.415 1.415 0.719 0.976 0.741 0.709 0.992 0.358 0.691 0.302 0.302 0.302 0.284 0.384 0.599 0.412 0.34 0.264 0.687 0.206 0.215 1.415
2 4
0.4241 0.3633 0.3659 0.399 0.3515 0.3723 0.413 0.3916 0.3277 0.3398 0.1654
1.342 1.787 1.877 1.967 2.413 2.503 2.593 3.219 1.43 2.055 5.95
0.481 0.421 0.398 0.348 0.322 0.294 0.255 0.217 0.584 0.392 0.278