真空系统组成及各种真空泵的工作原理
真空泵的工作原理
真空泵的工作原理一、引言真空泵是一种用于将封闭容器内的气体抽出以形成真空的设备。
它在许多工业和科学领域中起着重要的作用，例如半导体创造、材料处理、实验室研究等。
本文将详细介绍真空泵的工作原理及其相关参数。
二、真空泵的分类根据工作原理和结构不同，真空泵可以分为以下几种类型：1. 常压泵：用于将大气压力下的气体抽入真空系统。
2. 扩散泵：通过将气体份子扩散至较高的压力区域来实现抽气。
3. 机械泵：利用旋转或者往复运动的叶片或者活塞来抽气。
4. 陶瓷泵：利用陶瓷材料的特殊性能来实现抽气。
三、机械泵的工作原理机械泵是最常用的真空泵类型之一，其工作原理如下：1. 压缩过程：机械泵通过旋转或者往复运动的叶片或者活塞，将气体压缩并排出。
这些叶片或者活塞与泵腔之间形成密封，使得气体只能通过进出口进出。
2. 排气过程：在压缩过程中，气体被压缩至泵腔的出口，然后被排出泵体。
排出的气体经过排气管道进入排气系统，最终被释放到大气中。
四、机械泵的关键参数1. 抽速：机械泵的抽速是指单位时间内泵抽气的能力。
通常以升/秒或者升/分钟为单位表示。
2. 极限压力：机械泵能够达到的最低压力。
极限压力越低，泵的抽气能力越强。
3. 转速：机械泵的转速影响抽气速度和噪音水平。
较高的转速通常意味着更高的抽气速度，但也会增加噪音水平。
4. 温升：机械泵在工作过程中会产生热量，温升表示泵体温度相对于环境温度的增加程度。
较低的温升有助于保持泵体的稳定性和延长使用寿命。
五、机械泵的应用领域机械泵广泛应用于以下领域：1. 半导体创造：在半导体创造过程中，需要将工艺室内的气体抽出以形成洁净的工作环境。
2. 材料处理：在材料处理过程中，机械泵用于移除工件表面的气体和杂质，以提高处理效果。
3. 实验室研究：在实验室研究中，机械泵常用于真空系统的组装和维护。
六、结论真空泵是一种重要的设备，广泛应用于工业和科学领域。
机械泵作为其中最常见的类型，通过压缩和排气过程实现气体的抽出。
真空泵工作原理
真空泵工作原理真空泵是一种常见的设备，广泛应用于科研、工业生产和医疗等领域。
它的工作原理是通过抽取系统内部的气体，使其达到真空状态。
本文将介绍真空泵的工作原理及其应用。
首先，我们来了解一下真空泵的基本结构。
真空泵主要由驱动装置、泵体、进气口和排气口等部分组成。
驱动装置可以是电机、气动装置或手动装置，用于提供泵体的运动能量。
泵体内部通常有一个或多个叶轮，通过旋转或摆动的方式抽取气体。
进气口用于将气体引入泵体，排气口则将抽取的气体排出。
真空泵的工作原理可以分为干式和液环式两种。
首先，我们来看看干式真空泵的工作原理。
干式真空泵通过叶轮的旋转运动，将进入泵体的气体抽取出来。
叶轮的旋转产生一个虚拟的密封腔，气体在此腔内被抽取。
同时，泵体内部的气体也会被抽取到排气口，然后排出系统。
干式真空泵适用于抽取干净的气体，如空气、氮气等。
接下来，我们介绍液环式真空泵的工作原理。
液环式真空泵利用液体的旋转来抽取气体。
在泵体内部，有一个旋转的液环，通常是水或油。
当液环旋转时，它会形成一个密封腔，将气体抽取出来。
液环式真空泵适用于抽取带有水蒸气或其他液体的气体。
除了上述两种常见的真空泵工作原理，还有其他一些特殊的真空泵。
例如，根据工作原理的不同，还有根引导式真空泵、分子泵、根引导式分子泵等。
这些真空泵在特定领域具有独特的应用。
真空泵在科研、工业生产和医疗等领域有着广泛的应用。
在科研领域，真空泵常用于实验室中的真空系统，用于制备高纯度材料、进行物质表征等。
在工业生产中，真空泵被广泛应用于食品加工、电子制造、化工等行业。
例如，在食品加工中，真空泵可以用于包装食品，延长食品的保鲜期。
在医疗领域，真空泵常用于医疗设备中，如血液透析机、呼吸机等。
总之，真空泵是一种非常重要的设备，它通过抽取系统内部的气体，使其达到真空状态。
干式和液环式是两种常见的真空泵工作原理，它们分别适用于不同类型的气体。
除了这两种，还有其他一些特殊的真空泵。
真空泵在科研、工业生产和医疗等领域有着广泛的应用。
真空泵的工作原理
真空泵的工作原理真空泵，作为一种常见的设备，广泛应用于工业、科研和医疗等领域。
它主要用于抽取容器或系统中的气体，从而产生真空环境。
本文将详细介绍真空泵的工作原理和相关知识。
一、真空泵的基本组成真空泵主要由排气口、活塞、柱塞、凸轮、机壳和电机等部分组成。
排气口是气体排出的通道，活塞和柱塞构成泵腔，凸轮通过电机驱动活塞和柱塞的运动，机壳起到保护和支撑的作用。
二、真空泵的工作原理1. 排气过程当电机启动后，凸轮开始旋转，带动活塞和柱塞一起向上运动。
此时，泵腔内的压力降低，使泵腔与进气口之间产生差压。
外部气体通过进气口流入泵腔，随后随着活塞和柱塞的继续上升，泵腔内的气体被排出泵体，进入排气口，并被泵出系统。
2. 吸入过程当活塞和柱塞达到最高点后，开始向下运动。
此时，泵腔与进气口之间产生差压，外部气体通过进气口流入泵腔。
随着活塞和柱塞的继续下降，泵腔内的气体被进一步压缩，同时泵腔的体积减小。
当活塞和柱塞接近最低点时，泵腔内的气体压力继续升高，达到一定数值后，气体无法回流，被迫排出泵腔。
3. 循环过程随着凸轮的旋转，活塞和柱塞不断地上下运动，形成排气和吸入的循环过程。
每次运动都可以排出一部分气体，使泵腔内的压力不断降低，最终实现产生真空环境的目的。
三、真空泵的分类及应用真空泵根据其工作原理和结构特点的不同，可以分为离心泵、容积泵、磁悬浮分子泵、旋片泵等多种类型。
不同类型的真空泵适用于不同的应用领域。
1. 离心泵离心泵通过快速旋转的叶轮产生离心力，将气体抛出泵体，达到抽取气体的目的。
广泛应用于航空航天、船舶工业和化工等领域。
2. 容积泵容积泵依靠容积的变化实现气体的抽取。
常见的容积泵有活塞泵和螺杆泵。
活塞泵通过活塞的上下运动改变泵腔的容积；螺杆泵则通过螺杆的旋转运动改变泵腔的容积。
容积泵适用于实验室和科研领域。
3. 磁悬浮分子泵磁悬浮分子泵采用气体分子撞击旋转子的方式进行气体抽取。
它具有无摩擦、无磨损和无油污染等优点，广泛应用于半导体制造、光伏产业和超高真空系统等领域。
发电厂用的各种真空泵或真空机组的工作原理
真空泵在发电厂中的应用十分重要，它们在煤气化、炉窑干燥、脱硫脱硝、锅炉除氧等过程中都发挥着关键作用。
在这篇文章中，我将深入探讨发电厂用的各种真空泵或真空机组的工作原理，从而帮助您更深入地理解和掌握这一主题。
第一，让我们先了解一下真空泵的基本工作原理。
在发电厂中，真空泵主要是通过不断排出气体来降低被抽空的容器内气压，从而创造出真空环境。
在这个过程中，真空泵需要克服大气压力才能将气体抽离，因此需要足够的功率来实现。
接下来，让我们来探讨一下发电厂中常用的各种真空泵或真空机组的工作原理。
首先是液环真空泵，它是一种通过液体压缩气体的真空泵。
在发电厂中，液环真空泵常用于除气、除氧、过滤和脱硫等工艺过程中。
其工作原理是通过液体的旋转来压缩气体，将气体排出系统，从而实现真空环境。
液环真空泵具有噪音低、可靠性高、耐腐蚀等优点，适合于发电厂的使用。
其次是螺杆真空泵，它是一种通过螺杆压缩气体的真空泵。
在发电厂中，螺杆真空泵常用于真空脱气、真空干燥、脱水除盐等工艺过程中。
其工作原理是通过螺杆的旋转来压缩气体，将气体排出系统，从而实现真空环境。
螺杆真空泵具有体积小、重量轻、运行平稳等优点，适合于发电厂的使用。
还有离心真空泵、旋片真空泵等各种类型的真空泵在发电厂中也有着重要的应用。
它们都有着各自独特的工作原理和适用范围，在发电厂的不同工艺过程中发挥着重要作用。
总结回顾，发电厂用的各种真空泵或真空机组的工作原理是多种多样的，但其基本的工作原理都是通过不断排出气体来降低被抽空的容器内气压，从而创造出真空环境。
不同类型的真空泵在发电厂中有着不同的应用场景，但它们都是确保工艺过程正常运行的关键设备。
个人观点和理解上，我认为发电厂用的各种真空泵或真空机组在保障工艺过程顺利进行的也需要不断进行技术创新和性能提升，以满足不断变化的生产需求。
只有不断提升真空泵的工作效率、稳定性和可靠性，才能更好地为发电厂的生产提供支持。
希望通过本文的深度讨论，您能更全面、深刻和灵活地理解发电厂用的各种真空泵或真空机组的工作原理，从而更好地应用于实际生产中。
几种常见真空泵的工作原理
几种常见真空泵的工作原理在科技领域中，真空泵是非常重要的设备，它们被广泛应用于工业生产和科研领域。
在不同的应用中，我们需要不同类型的真空泵。
现在，让我们来了解几种常见的真空泵的工作原理。
1. 旋转叶片真空泵旋转叶片真空泵是一种广泛应用于高真空系统中的泵。
它主要由叶片、转子和壳体组成。
在泵的工作过程中，转子和叶片不断地旋转和摩擦，吸气并排出气体，从而形成真空。
该泵主要适用于中真空和高真空的应用。
2. 根式真空泵根式真空泵是一种无油泵，它主要由一个长的两段铸铁体和一个定子组成。
泵在工作时，动态转子（由螺旋状齿轮和轴承组成）在一个静态螺旋齿轮（定子）上旋转，形成一个气密隔离空间。
在旋转齿轮之间的空间中，由于相对的移动造成的体积变化，气体被不断地输送、压缩和排放出来，从而形成真空。
根式真空泵比较适用于大气压附近的真空。
3. 磁悬浮离心泵磁悬浮离心泵是一种超高真空泵，它采用磁悬浮技术，电机通过调节电磁场控制转子的旋转。
在该泵中，气体由转子和组成离心泵的螺旋泵体在离心力的作用下从进口处进入，随后被加速并向外推送，最终排放到泵体的出口处。
该泵具有高效、节能和噪音低等优点。
4. 涡旋泵涡旋泵是一种利用涡旋运动原理进行真空抽取的泵。
它主要由高速旋转的叶片和固定腔体构成。
在泵的工作过程中，涡旋泵的叶片一侧的压力比另一侧低，从而使得气体不断地进入低压缩腔并向外排放。
涡旋泵的适用范围主要是中真空和高真空的应用。
5. 扩散泵扩散泵是一种不能自吸的泵，它主要由扩散器和油回收器两部分组成。
在泵的工作过程中，油在扩散器中形成薄膜，气体进入并穿过薄膜，从而使得气体分子得到扩散和收缩。
最终，气体被吸入到扩散器的油回收器中，并且在高温下分解，产生油气、氢气和一些其他气体。
该泵适用于高真空和超高真空的应用。
以上就是几种常见真空泵的工作原理介绍，它们在各自的应用环境中发挥着重要作用。
希望这篇文档对你的学习和工作有所帮助。
真空泵的工作原理
真空泵的工作原理
真空泵是一种用于将容器内的气体抽空的装置。
它通过不同的工作原理实现对气体的抽除。
1. 备压式真空泵：备压式真空泵利用以机械泵作为前级泵（又称高真空泵）的真空工况进行真空度提高操作。
机械泵首先将气体抽入一个接近大气压力的低真空工况，然后备压式真空泵通过再次抽气将气体的压力进一步降低，使气体达到所需的高真空工况。
备压式真空泵广泛应用于科研、制造业等领域，其工作效率较高。
2. 扩散式真空泵：扩散式真空泵通过高速扩散来实现气体的抽除。
它将气体引入到热管中，通过高温使气体分子产生较大的速度，然后再通过喷嘴进行扩散，从而使气体分子减速碰撞，从而达到抽除气体的目的。
扩散式真空泵广泛应用于光学薄膜镀膜、真空冶金等领域。
3. 旋片式真空泵：旋片式真空泵利用旋转的叶片通过容器排出气体。
叶片在旋转时形成密封腔，将气体吸入。
接着，叶片继续旋转，将被吸入的气体推向出口，从而实现对气体的抽除。
旋片式真空泵适用于各种气体的抽除，具有结构简单、体积小和成本低的特点。
4. 分子泵：分子泵是一种基于分子流动原理的真空泵。
它通过高速旋转的转子使气体分子的平均自由程增加，从而增强气体分子在泵内运动的机会，进而实现对气体的抽除。
分子泵主要用于超高真空系统中。
真空泵工作原理
真空泵工作原理一、引言真空泵是一种用于抽取气体，从而创造真空环境的设备。
它在许多领域中都起着重要的作用，如科学研究、工业生产和医疗设备等。
本文将详细介绍真空泵的工作原理，包括其基本原理、工作过程和常见类型。
二、基本原理真空泵的工作原理基于气体分子的运动规律。
气体分子在真空泵内运动时，会受到泵的作用力，从而改变其运动状态。
真空泵通过不同的机制，将气体分子从被抽取的空间中排出，从而降低该空间的气压，创造真空环境。
三、工作过程1. 压缩真空泵的工作过程通常从压缩开始。
当真空泵启动时，气体被进入泵的工作腔室。
泵的工作腔室内部通常有一个活塞或旋转叶片，通过运动将气体压缩并推向出口。
2. 排气在压缩过程中，气体被推向泵的出口。
出口通常连接到真空系统或大气环境中。
气体通过出口排出，从而降低了被抽取空间的气压。
3. 冷却真空泵在工作过程中会产生热量，因此需要冷却系统来保持泵的正常工作温度。
冷却系统可以是空气冷却或水冷却，具体取决于泵的类型和应用场景。
四、常见类型1. 旋片真空泵旋片真空泵是一种常见的真空泵类型，其工作原理基于旋转叶片的压缩和排气过程。
旋片真空泵通常由一个旋转的叶片和一个固定的壳体组成。
当叶片旋转时，气体被压缩并排出。
2. 涡旋真空泵涡旋真空泵利用离心力将气体压缩并排出。
该泵类型通常由一个旋转的叶轮和一个固定的壳体组成。
当叶轮旋转时，气体被离心力推向壳体的出口。
3. 分子泵分子泵是一种高真空泵，其工作原理基于气体分子的撞击。
分子泵内部有许多小孔，当气体分子进入小孔时，会与其他分子发生碰撞并被排出。
这种泵通常用于需要极高真空度的应用。
五、应用领域真空泵在许多领域中都有广泛的应用，包括：1. 科学研究：真空泵在物理、化学和材料科学等领域中用于制备高真空环境，以便进行实验和研究。
2. 工业生产：真空泵在半导体制造、食品加工和化工等行业中用于抽取气体和创造真空环境，以便进行生产和加工。
3. 医疗设备：真空泵在医疗设备中用于抽取气体和液体，如血液透析机和呼吸机等。
真空泵系统
真空泵系统真空泵系统是一种非常重要的设备，主要作用是将气体排出系统，以达到所需要的真空度。
该系统通常由真空泵、阀门、管道和控制系统组成。
在不同领域，真空泵系统有着广泛的应用，如半导体、光学、医疗、研究和制造等领域。
一、真空泵系统的分类真空泵系统根据其工作原理不同，可以分为以下三类：1.机械泵真空系统机械泵真空系统主要由机械泵、阀门、管道和电控系统组成。
机械泵是将气体从磁力导航管道系统中排出的设备，其内部运用机械运动将气体吸入，再将气体压缩排出。
机械泵真空系统的优点包括：体积小、结构简单、易于安装和维护。
它们通常用于中低真空度的系统。
2.扩散泵真空系统扩散泵真空系统主要由扩散泵、阀门、管道和电控系统组成。
扩散泵是一种通过分子扩散将气体分离的设备，能够在高真空度下运行。
扩散泵真空系统的优点包括：高真空度、高效率、低噪音和较长的寿命。
3.吸气分子泵真空系统吸气分子泵真空系统主要由吸气分子泵、阀门、管道和电控系统组成。
吸气分子泵是利用转子吸气原理将气体排出系统的设备。
吸气分子泵真空系统的优点包括：高真空度、快速排气、低噪音和低振动。
二、真空泵系统的主要部件1.泵真空泵是真空泵系统的核心部件，其功能是将气体从系统中排出。
根据工作原理的不同，有机械泵、扩散泵、分子泵等不同类型的泵。
在选购真空泵时需考虑流量、抽速、最终真空度、耗电量等因素。
2.阀门真空泵系统中的阀门主要起控制气体流动的作用，根据位置和作用可以分为进气阀门、出气阀门、截止阀、调节阀、安全阀等。
在选购阀门时需考虑其适用气体种类、材质、密封性能和气体流量等因素。
3.管道管道是真空泵系统中负责输送气体的重要组成部分，主要分为软管和硬管两种。
在选择管道时需考虑其材质、减少气体压力损失和防止气体泄漏。
4.控制系统控制系统是真空泵系统中负责控制气体流动和保持系统稳定的组成部分，可以根据需要选择不同的控制器和传感器。
三、真空泵系统的安装维护1.安装在安装真空泵系统时，需要预留与管道连接的进出口口径，并采用密封材料保证系统不漏气。
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真空系统的组成及各种真空泵的工作原理在真空实用技术中，真空的获得和测量是两个最重要的方面，在一个真空系统中，真空获得的设备和测量仪器是必不可少的。
目前常用的真空获得设备主要有旋片式机械真空泵、油扩散泵、涡轮分子泵、离子溅射泵、升华泵等。
真空测量仪器主要有U型真空计、热传导真空计、电离真空计等。
随着电子技术和计算机技术的发展，各种真空获得设备向高抽速、高极限真空、无污染方向发展。
各种真空测量设备与微型计算机相结合，具有数字显示、数据打印、自动监控和自动切换量程等功能。
究竟什么是真空系统?用一句话来概括，就是用来获得有特定要求的真空度的抽气系统。
真空系统设计的基本内容：是根据被抽容器对真空度的要求，选择适当的真空系统设计方案，进行选、配泵计算；确定导管、阀门、捕集器、真空测量元件等，进行合理配置，最后划出真空系统装配图和零部件图。
真空应用设备种类繁多，但无论何种真空应用设备都有一套排除被抽容器内气体的抽气系统，以便在真空容器内获得所需要的真空条件。
举例来说：一个真空处理用的容器，用管道和阀门将它与真空泵连接起来，当真空泵对容器进行抽空时，容器上要有真空测量装置，这就构成了一个最简单的真空抽气系统(如图1)。
图1所示的最简单的真空系统只能在被抽容器内获得低真空范围内的真空度，当需要获得高真空范围内的真空度时，通常在图1所示的真空系统中串联一个高真空泵。
当串联一个高真空泵之后，通常要在高真空泵的入口和出口分别加上阀门，以便高真空泵能单独保持真空。
如果所串联的高真空泵是一个油扩散泵，为了防止大量的油蒸气返流进入被抽容器，通常在油扩散泵的入口加一个捕集器——水冷障板。
凡是由两个以上真空泵串联组成的真空系统，通常都把抽低真空的泵叫做它上一级高真空泵的前级泵(或称前置泵)，而最高一级的真空泵叫做该真空系统的主泵，即它是最主要的泵，被抽容器中的极限真空度和工作真空度就由主泵确定。
被抽容器出口到主泵入口之间的管路称为高真空管路，主泵入口处的阀门称为主阀。
通常前级泵又兼作予真空抽气泵。
被抽容器到予抽泵之间的管路称为予真空管路，该管路上的阀门称为予真空管道阀。
主泵出口到前级泵入口之间的管路称为前级管道，该管路上的阀门称为前级管道阀，而软连接管道是为了隔离前级泵的振动而设置的。
总起来说，一个较完善的真空系统由下列元件组成：1．抽气设备：例如各种真空泵；2．真空阀门；3．连接管道；4．真空测量装置：例如真空压力表、各种规管；5．其它元件：例如捕集器、除尘器、真空继电器规头、储气罐等。
获得真空用真空泵。
真空泵按工作条件的不同分为两类: 能够在大气压下工作的真空泵称为初级泵(如机械泵),用来产生预备真空。
需要在预备条件下才能工作的真空泵称为次级泵(扩散泵),次级泵用来进一步提高真空度,获得高真空。
真空分段: ①粗真空760 ～10 Pa;②低真空10 ～10- 2Pa; ③中真空10- 2～10- 4 Pa; ④高真空10-4～10-7Pa;⑤超高真空10- 12～10- 14 Pa; 扩散泵是高真空泵, 当机械泵的极限真空度不能满足要求时,通常加扩散泵来获得高真空。
这种泵不能从通常气压下开始工作,只能在低于1 Pa 气压下才能工作。
因此,必须与初级泵串联使用。
由机械泵和油扩散泵组成的高真空系统工作过程介绍未抽气前，主阀活塞在下面闭合，4预真空管道阀、5前级管道阀、7放气阀均关闭。
开始抽气前打开扩散泵9冷却水, 然后开机械泵, 这时机械泵对4预真空管道阀5前级管道阀到机械泵出口的一段管道抽气,当抽气到一定程度时, 5前级管道阀打开,机械泵对扩散泵的前级抽气,当抽到符合扩散泵开启条件时,扩散泵电炉通电加热,这时维持20～30min,以便扩散泵充分加热,进入工作状态。
扩散泵进入工作状态后, 5前级管道阀关闭，4预真空管道阀打开，机械泵对被抽容器抽气,抽气达到要求时, 4预真空管道阀关闭，数秒钟后, 3主阀5前级管道阀打开,扩散泵对被抽容器抽高真空。
10.水冷障板作用是防止扩散泵油蒸汽进入高真空的被抽容器。
在扫描电镜真空系统中采用的是液氮低温冷各种真空泵的工作原理1.旋片式机械泵旋片式机械泵的结构图它由转子、定子、旋片（或称刮板）、活门和油槽等构成。
泵的定子装在油槽中，定子的空腔时圆柱形。
转子是圆柱形轮子，它偏心地装成与定子空腔内切的位置。
转子可绕自己的旋转对称轴转动，转子是由马达带动的。
转子中镶有两块刮板，刮板之间用弹簧相连，使刮板紧贴在定子空腔内壁上。
当转子转动时，被抽容器中的气体经过进气口到定子与转子之间的空间，由活门及进气口排出。
定子浸在油中，油是起密封、润滑与冷却作用的，进油槽是为了让油进入空腔。
进空腔的油除了上述作用外，还起着协助打开活门的作用，因为在压强很低时被压缩的气体不足以打开活门，而不可压缩的油，将强迫活门打开，活门的作用是让气体从泵中排出，而不让大气进入泵中。
泵的工作原理如下图所示。
（a）表示两刮板转动时上刮板A与进气口之间的体积不断增大，这时被抽容器内气体从进气口进入这部分空间。
（b）、（c）表示进入泵中的气体被刮板B与被抽容器隔开并被压缩到活门。
当转子转动到图（d）的位置时，被压缩的气体的压强大于大气压强，这时活门被打开，气体排出泵外。
两个刮板不停地重复以上过程，实现了对容器连续抽气的目的。
以下是另一种旋片式机械泵的结构图。
2油扩散泵金属油扩散泵利用低压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。
这种泵的极限真空为10-4～10-5帕，工作压力范围为10-1～10-4帕,抽速范围为几十至十几万升／秒（1升＝10-3米3）。
油扩散泵是获得高真空的主要设备，广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。
60年代开始，油扩散泵又有了新的发展。
主要的改进是：①泵的材料采用放气量甚小的不锈钢。
②采用饱和蒸气压很低、热稳定性好的油如聚苯醚和硅油作为泵的工作液。
③改革结构，新型油扩散泵在泵口法兰不变和不过分增大泵的外形尺寸条件下，在法兰下部突出地扩大泵腔的断面，其抽气速率可增大20～40％。
如在此装设一个大直径扩散喷嘴和液氮冷却的大直径挡油帽等。
泵可有通常泵（指没有扩大泵腔断面的泵）的抽气速率，并比较彻底地克服了泵的返油而获得低于10-8帕清洁超高空。
因此,油扩散泵在清洁超高真空的工业生产和科学试验中又取得重要的地位。
结构和工作原理油扩散泵主要由泵体、扩散喷嘴、蒸气导管、油锅、加热器、扩散器、冷却系统和喷射喷嘴等部分组成（见图）。
当油扩散泵用前级泵预抽到低于1帕真空时,油锅可开始加热。
沸腾时喷嘴喷出高速的蒸气流，热运动的气体分子扩散到蒸气流中，与定向运动的油蒸气分子碰撞。
气体分子因此而获得动量，产生和油蒸气分子运动方向相同的定向流动。
到前级，油蒸气被冷凝，释出气体分子，即被前级泵抽走而达到抽气目的。
另一种低成本的玻璃油扩散泵扩散泵是高真空泵, 当机械泵的极限真空度不能满足要求时,通常加扩散泵来获得高真空。
这种泵不能从通常气压下开始工作,只能在低于1 Pa 气压下才能工作。
因此,必须与初级泵（机械泵）串联使用。
扩散泵开始工作之前, 必须先开动机械泵抽气, 达到预备真空时( 约1.3 Pa) , 便可以使用电炉对扩散泵蒸发器中的油进行加热, 约25～35 min的时间, 便可观察到, 扩散泵油开始沸腾, 油蒸汽开始顺向每一级喷口定向喷发, 形成射流。
当硅油加热至沸腾时430℃, 便产生大量油蒸汽, 蒸汽经过导管由各级喷嘴高速喷出, 此时, 由于来自被抽容器的气体不断向蒸汽流中扩散,( 便称扩散泵) 便被带到下方伞形帽喷发的射流, 这股射流的压强大于上一级射流, 气体分子进入下一级射流, 这一级压强又大于上一级射流, 而油蒸汽被冷凝水套凝结, 沿着管壁经过回油管流回蒸发器, 被带到下方的气体则由机械泵以每秒4 升的速率抽走, 20 min 后可达到扩散泵的极限真空度。
这些工作状态, 只有透过玻璃很容易观察到,扩散、喷发和冷凝的过程, 这也是扩散泵名称的由来, 这些工作状态金属扩散泵是无法观察到的。
3.涡轮分子泵涡轮分子泵外形立式涡轮分子泵Pfeiffer TPU 150 的结构图利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向流动而抽气的真空泵。
涡轮分子泵的优点是启动快，能抗各种射线的照射，耐大气冲击，无气体存储和解吸效应，无油蒸气污染或污染很少，能获得清洁的超高真空。
涡轮分子泵广泛用于高能加速器、可控热核反应装置、重粒子加速器和高级电子器件制造等方面。
结构和工作原理主要有立式和卧式两种立式涡轮分子泵的剖面图图3为一个动叶片的工作示意图。
在运动叶片两侧的气体分子呈漫散射。
在叶轮左侧(图3a),当气体分子到达A 点附近时，在角度α1内反射的气体分子回到左侧；在角度β1内反射的气体分子一部分回到左侧，另一部分穿过叶片到达右侧；在角度γ1内反射的气体分子将直接穿过叶片到达右侧。
同理，在叶轮右侧(图3b),当气体分子入射到B点附近时，在α2角度内反射的气体分子将返回右侧；在β2角度内反射的气体分子一部分到达左侧，另一部分返回右侧；在γ2角度内反射的气体分子穿过叶片到达左侧。
倾斜叶片的运动使气体分子从左侧穿过叶片到达右侧，比从右侧穿过叶片到达左侧的几率大得多。
叶轮连续旋转，气体分子便不断地由左侧流向右侧，从而产生抽气作用。