探针卡说明
42-并行测试探针卡的移动规则选择
科学技术1 探针卡及其特性此参数介绍探针卡是连接探针机和芯片的一个测试接口，它是测试过程中非常重要而且精密工具，通过卡上的探针与芯片的焊垫直接接触， 通过探针机进行测试， 从而筛选出芯片的不良品，降低封装的成本。
按照探针排列方式可将探针卡分为悬臂式、垂直式。
随着半导体芯片体积的越来越小，焊垫面积的越来越小，管脚数量的越来越多，时间成本的越来越高等因素，能应用于并行测试的、高密度的垂直式探针卡在市场上需求量也在随之增加。
并行测试探针卡可根据不同产品的需求， 设计成X4, X8, X16, X32. X64等等不同规格， 各个测试位可排列成横、竖、斜的一字形， 也可排列成正方形、矩形等，并行测试的测试位数量，主要取决于晶圆上芯片的数量，程序中适合并行测试的测试项数量，以及 整体测试时间等因素； 而测试位的排列则要考虑到晶圆边缘的扎出次数，当然并行测试探针卡的设计还要考虑到技术参数和维护难度、成本。
探针卡的重要特性参数有：1）探针的排列校准 (Alignment (X,Y location) - 防止探针扎出焊垫区域外而降低芯片的可靠性。
2）探针的平面度 (Planarity (Z height) - 防止针位过高时，探针 接触不到焊垫， 造成的电路不通；或针位过低时扎穿焊垫，对后期封装及芯片质量造成影响 （容易出现短路）3）接触电阻 (Contact Resistance ) -影响测试结果4）针压 (needle force) - 针压过大会造成针痕大或深，影响到封装及芯片质量， 针压过小，会引起针与芯片的接触不良。
5）漏电流 (Leakage/Leakage at Over travel )- 影响测试结果6）探针针尖参数 (Tip Parameters) -影响测试结果、针痕， 甚至会对封装及芯片可靠性造成影响。
（针径、针尖锥角、针尖长度、针尖直径、针尖直径、触点压力）2 (Multi-site)多位并行测试中探针卡移动规则对芯片及针卡寿命的影响并行测试 指同一时间内完成同一晶圆上的多个芯片的测试，能够提高单位时间内的测试效率， 降低测试成本，尤其晶圆上芯片数量过多，测试时间长、程序中允许并行测试的测试项数量多时，并行测试的方法更能明显提高测试效率。
全探针卡测试机安全操作及保养规程
全探针卡测试机安全操作及保养规程全探针卡测试机是一种用于测试电路板和电器元件的设备。
为了保障工作安全和设备的正常使用，需要制定相关的操作和保养规程。
本文将从安全操作和设备保养两个方面进行详细介绍。
安全操作1. 操作规程1.在使用测试机之前必须的先对测试机进行检查，确保测试机处于正常状态并且没有损坏。
2.操作之前，必须穿戴好劳保用品，特别是带好护目镜。
3.在对待带有电压的元件时需要特别的小心，如果不确定操作中有没有危险，应在操作前先查看相关资料。
4.操作时一定要认真观察测试机的显示屏，谨慎操作，避免误操作带来的危险和损坏。
5.操作完毕后需要对测试机进行彻底的清洁和检查，包括各个零件、接线端口、内部元件等等。
2. 注意事项1.如若在操作前没有先查看对应的资料，可能会引起安全事故，严重时会导致电击伤或火灾等危险情况。
2.如测试机处于损坏的状况下，必须在进行维修以后再使用。
3.在使用测试机的过程中，需要经常地对测试机的状况进行检查，及时发现问题并及时排除。
4.禁止在触电面积(接口和排插)上绕线、系用、储藏工件工具，同时也禁止将金属作品置于接电面上方。
5.严禁将测试机的电缆随意剪断或改装，这样会破坏绝缘层，引起电气事故。
6.需要注意的是，测试机的工作环境应该符合测试机的工作规范相关要求，以免影响测试机正常的工作状态。
3. 急救措施1.如若在测试机使用过程中发生危险状况，第一时间需要中断操作，并立即停止电源连接。
2.如遇上人员触电伤，应立即采取措施将被触电人员与电源断开，并同时拨打急救电话，进行第一时间的抢救和治疗。
3.在操作测试机时，工作人员应当时刻关注监测仪的报警和警告，避免因它们的忽视而导致错误和伤害的发生。
设备保养1. 保养周期为了保证设备的正常稳定运行，应按照以下保养周期进行设备和维护，同时还应定期的对设备进行检查以确保设备处于完好状态。
1.每天，使用测试机前和使用完毕后，对使用部位进行清理。
2.每周，定期检查测试机及相关设备是否有损坏，在需要时更换损坏部件。
探针卡安全操作及保养规程
探针卡安全操作及保养规程探针卡是一种用于电子设备内部测试和诊断的工具，它能够通过接触电路来获取设备内部的信号，并对其进行分析，以检测是否存在故障。
在使用探针卡的过程中，需要遵循一定的安全操作规程，以确保操作者的安全，并保证设备的正常使用。
本文将为大家介绍探针卡的安全操作和保养规程。
一、探针卡的安全操作规程1. 准备工作在使用探针卡前，需要对设备进行必要的准备工作。
首先，需要仔细阅读操作手册，了解探针卡的使用方法和注意事项。
其次，需要使用合适的工具和材料，如手套、安全眼镜、绝缘胶带等。
最后，需要将设备关闭，并断开电源，以避免发生电击或其他意外。
2. 操作过程在操作探针卡时，需要严格遵守以下规程：（1）保持安静在操作时需要尽可能保持安静，避免发出嘈杂的声音或造成其他干扰，以确保能够清晰地听到探针卡信号的变化。
（2）正确插入探针在插入探针时，需要避免使用过大的力量，以免造成器件损坏或短路。
一般情况下，插入的角度应该与电路板平行，并且避免与其他物体接触，以避免产生误差。
（3）避免接触危险区域在使用探针卡时，需要避免接触危险区域，如高电压部位、高温部位等，以确保操作者的安全。
（4）保持动作轻柔在使用探针卡时，需要保持动作轻柔，避免使用过大的力量，以免造成器件损坏或短路。
（5）避免与其它仪器接触在使用探针卡时，需要避免与其他仪器接触，以避免干扰探针卡的正常工作，或造成其他设备损坏的隐患。
（6）检查设备状态在使用探针卡之前，需要检查设备的状态，确保设备本身没有问题，并且其他设备的工作不会对其造成影响。
（7）不要接触探针卡的金属部分在使用探针卡时，需要避免直接接触探针卡的金属部分，以避免产生静电干扰，影响探针卡正常工作。
二、探针卡的保养规程为保证探针卡的正常使用寿命，需要对其定期进行保养。
以下是探针卡的保养规程：1. 清洁探针卡定期清洁探针卡是保养的重要环节，可以有效延长探针卡的寿命。
在清洁探针卡时，需要将其拆卸，并使用干净的刷子、橡皮擦等材料进行清洁。
射频探针卡原理
射频探针卡原理射频探针卡是一种用于测试电路板的工具，它可以检测电路板上的信号，帮助工程师快速定位故障。
射频探针卡的原理是利用电磁波的传播特性，将信号从电路板上传输到测试仪器上，从而实现信号的检测和分析。
射频探针卡的结构射频探针卡由探针头、探针尾、探针座和连接线组成。
探针头是用于接触电路板的部分，通常采用针状结构，可以精确地接触到电路板上的信号点。
探针尾是连接探针头和连接线的部分，通常采用弹簧结构，可以保证探针头与电路板的良好接触。
探针座是用于固定探针头和探针尾的部分，通常采用磁吸或夹紧结构，可以方便地更换探针头和探针尾。
连接线是用于将信号从探针头传输到测试仪器的部分，通常采用同轴电缆或平衡电缆，可以保证信号的传输质量。
射频探针卡的工作原理射频探针卡的工作原理是利用电磁波的传播特性，将信号从电路板上传输到测试仪器上。
当探针头接触到电路板上的信号点时，信号会通过探针头进入探针尾，然后通过连接线传输到测试仪器上。
在传输过程中，信号会受到电磁干扰和衰减，因此需要采取一些措施来保证信号的传输质量。
为了减少电磁干扰和衰减，射频探针卡通常采用同轴电缆或平衡电缆作为连接线。
同轴电缆具有良好的屏蔽性能和低损耗特性，可以有效地减少电磁干扰和衰减。
平衡电缆具有良好的抗干扰能力和抗干扰能力，可以有效地减少电磁干扰和衰减。
为了保证信号的传输质量，射频探针卡还需要采取一些措施来保护信号。
例如，可以在探针头和探针尾之间加入阻抗匹配电路，以保证信号的匹配性。
还可以在连接线上加入滤波器，以去除高频噪声和杂波。
此外，还可以在测试仪器上加入放大器和滤波器，以增强信号的强度和减少噪声。
射频探针卡的应用射频探针卡广泛应用于电子产品的生产和维修中。
它可以帮助工程师快速定位故障，提高生产效率和维修效率。
射频探针卡可以用于测试各种类型的电路板，包括数字电路板、模拟电路板、射频电路板等。
它可以检测电路板上的信号，包括时钟信号、数据信号、控制信号、射频信号等。
探针卡使用须知
探针卡使用须知ＩＣ探测卡又称为探针卡（probe card），用来测试ＩＣ芯片（wafer）良品率的工具，是ＩＣ生产链中不可或缺的重要一环。
探针卡是一种非常精密的工具，经由多道非常小心精密的生产步骤而完成。
为使您的针卡拥有最高的使用效能，请仔细阅读以下详细说明，并小心使用、定期的维护。
一．探针卡的存放：１，请勿将探针卡放置于过高或过低于常温的环境下。
由于膨胀系数的不同，过高或过低的温度可能会使您的探针卡受到损坏。
２，请勿将探针卡放置于潮湿的环境下。
潮湿的环境可能使您的探什卡产生低漏电、高泄漏电流等不良情况。
３，请勿将探针卡放置于具有腐蚀性化学品的环境下。
４，请务必将探针卡放置于常温、干燥、清洁的环境下，并以坚固的容器保存。
避免剧烈的震动，以免造成针尖位置的偏移。
二．探针卡的一般维修：通常一张探针卡需要有规律性地维护方能确保它达到预期的使用效果。
每张探针卡约使用25，000次时就需要检查它的位置基准和水平基准值，约使用250，000次时需要重新更换所有探针。
一般的标准维护程序包括化学清洁（探针卡在使用一段时间后针尖上会附着些污染物，如外来碎片、灰尘等。
），调整水平其及位置基准等。
在每次取下探针卡作调整或清洁后，必须以特殊药剂清洗后烘干，以确保探针卡的电子性能。
三．为何要对探针卡进行规律性的维护：探针卡在使用一段时间后如果针尖位置偏移可能会导致接触断路、接触短路，破坏焊垫周围的保护层；如果因本身的污染或水平基准偏差可能会导致高阻抗、接触短路、高泄漏电流、不一致的参数测量、信号及电源传导失败等现象。
这些问题都会导致测试良率下降而引起不必要的损失。
所以要对探针卡进行规律性的维护尽量避免这些问题使损失减小到最少。
探针卡的制作流程
探针卡的制作流程探针卡是一种用于测试电子元件和电路板的工具，其制作过程需要经过多个步骤。
本文将介绍探针卡的制作流程，包括所需材料、步骤以及注意事项。
一、所需材料制作探针卡所需的材料如下：1. 电路板：选择适合的尺寸和材质的电路板，可以根据实际需求进行裁剪。
2. 探针：选用合适的探针，常见的有针状探针、弹簧探针等。
根据不同测试需求选择合适的探针。
3. 接线：需要用到导线、焊接工具等。
4. 插头：根据实际需求选用不同类型的插头。
二、制作步骤以下是探针卡制作的基本步骤：1. 设计电路板：根据测试需求绘制电路板的原理图，包括所需的探针接口、电路连接等。
2. 制作电路板：根据设计好的原理图，将电路板上的电路线路铺设好。
可以采用蚀刻、打孔等方法制作电路板。
3. 安装探针：在电路板上选择合适位置，安装探针。
可以使用焊接方法将探针与电路板连接好。
4. 连接插头：根据探针卡的实际使用需求，焊接插头并与探针连接。
5. 调试测试：完成探针卡的制作后，进行测试和调试，确保探针卡能够正常使用。
三、注意事项在制作探针卡时需要注意以下几点：1. 安全防护：在制作过程中要注意安全防护措施，例如佩戴防静电手套，以避免静电对电子元件的损坏。
2. 仔细焊接：在焊接探针和插头时要仔细操作，确保焊接牢固可靠，避免松动或短路等问题。
3. 电路布线：在制作电路板时，要注意电路线路的布局和连接方式，避免线路交叉或短路等问题。
4. 测试验证：完成探针卡的制作后，应进行充分的测试和验证，确保其能够准确、稳定地进行测试。
通过以上步骤和注意事项，我们可以制作出一张功能完备、性能稳定的探针卡。
制作探针卡不仅可以用于电子元件和电路板的测试，还可以用于电子设备的维修和调试。
探针卡的制作流程并不复杂，只需遵循上述步骤和注意事项，即可成功制作出符合要求的探针卡。
总结：本文介绍了探针卡的制作流程，包括所需材料、制作步骤和注意事项。
制作探针卡需要仔细设计电路板、安装探针并连接插头，最后进行测试验证。
探针卡说明
探针卡说明
探针卡（probe card ）是晶圆测试（wafer test ）中被测芯片（chip ）和测试机之间的接口，主要应用于芯片分片封装前对芯片电学性能进行初步测量，并筛选出不良芯片后，再进行之后的封装工程。
探针卡的使用原理是将探针卡上的探针与芯片上的焊垫（pad ）或凸块（bump ）直接接触，导出芯片讯号。
再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测晶圆。
它对前期测试的开发及后期量产测试的良率保证都非常重要，是晶圆制造过程中对制造成本影响相当大的重要制程。
下图为探针卡与机台的关系图示：
Probe Card
Probe Card Holder
Wafer Prober
Test Head
Interface Ring
LSI Tester
探针卡主要由PCB 、探针、ring 构成。
根据不同的需求，还会有电子元件、stiffener 等的需求。
下图为探针卡的结构图。
PCB 探针卡断面构成
探针 树脂焊接点
Ring。
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探针卡说明
探针卡（probe card ）是晶圆测试（wafer test ）中被测芯片（chip ）和测试机之间的接口，主要应用于芯片分片封装前对芯片电学性能进行初步测量，并筛选出不良芯片后，再进行之后的封装工程。
探针卡的使用原理是将探针卡上的探针与芯片上的焊垫（pad ）或凸块（bump ）直接接触，导出芯片讯号。
再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测晶圆。
它对前期测试的开发及后期量产测试的良率保证都非常重要，是晶圆制造过程中对制造成本影响相当大的重要制程。
下图为探针卡与机台的关系图示：
Probe Card
Probe Card Holder
Wafer Prober
Test Head
Interface Ring
LSI Tester
探针卡主要由PCB 、探针、ring 构成。
根据不同的需求，还会有电子元件、stiffener 等的需求。
下图为探针卡的结构图。
PCB 探针卡断面构成
探针 树脂焊接点
Ring。