MEMS技术及其应用(整理版)
微机电系统的原理和应用技术
微机电系统的原理和应用技术微机电系统又称MEMS，是利用微纳米加工技术制造的一类微小机电系统，通常尺寸为毫米或微米级别。
其独特之处在于将机电元件、传感器、电子器件、控制器等集成在一个芯片上，实现了微小化、集成化、低成本化等优势。
微机电系统广泛应用于传感器、执行器、生物医学等领域，成为当前智能化、微型化、网络化的重要组成部分。
MEMS的原理主要基于微纳米加工技术，包括微电子加工技术、光刻技术、湿法腐蚀技术、离子注入技术等多种工艺的综合应用。
其制造过程包括设计、光刻、薄膜沉积、湿法腐蚀、离子注入等多个步骤，需要高精度、高技术的设备和技术人员进行操作。
由于MEMS器件具有微小、轻量、低功耗、高灵敏度等特点，因此在传感、控制、通讯、医疗、能源等诸多领域有广泛应用。
在MEMS技术中，传感器是最典型的应用之一，其主要功能是将物理量转化为电信号，并提供测量、检测、控制等重要信息。
常见的MEMS传感器包括加速度计、压力传感器、温度传感器、光学传感器等。
加速度计可用于汽车安全气囊、电子游戏、运动监测等领域，压力传感器可用于空气压力测量、液位控制、工业自动化等领域，温度传感器可用于电子电路温度补偿、环境温度测量等领域。
MEMS传感器具有体积小、响应速度快、适用于多种环境等优点，因此在智能手机、照相机、汽车等产品中得到广泛应用。
除了传感器之外，MEMS技术还可用于制造执行器，即将电信号转化为物理动作。
常见的MEMS执行器包括微型电机、振动器、泵、阀门等。
微型电机可用于风扇、马达、机器人等领域，振动器可用于手机震动、游戏手柄、体感控制等领域，泵和阀门一般应用于微流体控制、药物输送、化学反应等领域。
MEMS执行器具有灵活性高、响应速度快、能量密度高的特点，具有广泛的应用前景。
在医疗和生物医学领域，MEMS技术也被广泛应用。
MEMS传感器可用于生物监测、疾病诊断等领域，如Biosensor可用于葡萄糖监测、尿素测定、心肌酵素测定等；MEMS执行器可用于微型机器人、控制药物输送等领域，如微型钢丝操作器可用于微创手术、组织粉碎、药物输送等。
微机电系统(mems)工程技术 半导体制造工艺技术
微机电系统(mems)工程技术半导体制造工艺技术微机电系统（MEMS）是一种融合微电子技术、机械工艺和微纳米加工技术的新型技术，具有微小体积、高性能和低功耗等优点，被广泛应用于传感器、执行器、微机械系统等领域。
MEMS制造工艺技术作为其核心技术之一，在MEMS设备的设计、生产和测试过程中起着至关重要的作用。
一、MEMS制造工艺技术的基本原理MEMS制造工艺技术是利用微纳米加工技术对微电子元件进行加工，实现微小尺寸的器件。
其基本原理包括光刻、薄膜沉积、刻蚀、清洗和包装等步骤。
在制造过程中，需要考虑到器件的性能、成本和效率等因素，并采用不同的工艺流程进行处理。
二、MEMS制造工艺技术的工艺流程1.设计阶段：确定MEMS器件的功能和结构，并进行软件仿真和电路设计，制定完整的器件设计方案。
2.掩膜光刻：利用掩膜和紫外光曝光的技术，将器件的图形准确转移到光敏材料上，形成所需的图形。
3.薄膜沉积：采用物理气相沉积、化学气相沉积等技术，在衬底表面沉积一层或多层薄膜，用于制备MEMS器件的功能部件。
4.刻蚀工艺：采用干法或湿法刻蚀技术，将多余的材料去除，形成所需的器件结构。
5.清洗和检测：在制造过程中，需要对器件进行清洗和检测，确保器件的质量和性能。
6.包装封装：将制备好的器件封装在封装体中，保护器件免受外部环境的影响。
三、MEMS制造工艺技术的发展趋势1.纳米加工技术：随着纳米加工技术的发展，MEMS器件的尺寸将进一步减小，性能将得到显著提升。
2.多功能集成：未来的MEMS器件将具有多功能集成的特点，可以同时实现多种功能，提高器件的综合性能。
3.自组装技术：自组装技术的应用将使MEMS制造工艺更加灵活和高效，降低成本，提高生产效率。
4.高可靠性设计：随着MEMS器件在汽车、医疗等领域的广泛应用，高可靠性设计将成为MEMS制造工艺技术的重要发展方向。
四、结语MEMS制造工艺技术是一项复杂而重要的工艺技术，对MEMS器件的性能和质量起着决定性的作用。
mems光纤传感技术
mems光纤传感技术
MEMS光纤传感技术（MEMS Fiber Optic Sensing Technology）是一种基于微机电系统（MEMS）和光纤传感原理的新型传感技术。
它将微机电系统技术与光纤传感技术相结合，实现了高灵敏度、高精度的传感器。
MEMS光纤传感技术的工作原理是利用光纤作为传感元件，通过光纤的变形、折射、干涉等效应来感知和测量物理量的变化。
同时，利用微机电系统技术制作微米级别的传感元件，将光纤与微机电系统结合在一起，实现对不同物理量的高精度测量。
MEMS光纤传感技术具有许多优点：
1. 高灵敏度和高精度：MEMS技术的微米级别尺寸和光纤传感技术的高精度测量相结合，可以实现对微小变化的高灵敏度测量。
2. 多样化的应用：MEMS光纤传感技术可以用于测量各种物理量，包括温度、压力、形变、加速度、振动等。
它在工业控制、结构监测、生物医学、环境监测等领域有广泛应用。
3. 长距离传输能力：光纤传感技术可以利用光纤的特性进行长距离的传输，使得传感器可以灵活地布置在远距离的位置。
4. 抗干扰性强：光纤传感技术可以通过光信号的传输和处理来抵抗外界电磁干扰和噪声，提高传感器的稳定性和可靠性。
5. 实时性和快速响应：MEMS光纤传感技术具有快速的响应速度和实时监测能力，能够实时获取物理量的变化情况。
尽管MEMS光纤传感技术在高灵敏度和高精度测量方面具有许多优势，但仍然面临一些技术挑战，例如制造成本、集成度和复杂性等。
随着技术的不断发展和改进，相信MEMS光纤传感技术将在更多领域得到应用和推广。
mems电感加工
mems电感加工MEMS（微电子机械系统）电感加工是一种新型微细加工技术，它有着特性鲜明，耐高温，耐腐蚀，可自由选择加工深度和表面粗糙度等优点。
它可以用于制造几乎所有的微小复杂零件，例如磁芯、电器、滤波器、压力传感器、秤、流量控制器等。
MEMS电感加工是一种高精度的加工方法，能够在微小表面上获得极高的精度，在微小深度上达到不可见的电阻、电压以及磁化度。
MEMS电感加工技术利用一种可变频频率的交流磁场，改变电感加工动力学性能，以实现改变材料形态的目的。
它可以用于多种材料，包括碳素钢、不锈钢、硅钢、合金钢、铝、铜、高纯金属、陶瓷等，可以应用于各种不同的表面处理，例如精细微小的结构制造，以及去除多余的表面材料。
MEMS电感加工技术的发展主要推动了磁场分析技术的发展，用于研究材料在可变磁场中变形、弹性和磁特性的变化，以及材料中磁场的流动、扩散和纹理等，研究可变频率磁场的力学性能变化。
MEMS电感加工具有灵活性、精确度高、深度可调、细小复杂零件的制造等特点，值得提出。
它的优势在于可以满足各种应用场合的需求，可以满足不同的加工要求，特别是高精度的微小的复杂表面加工，也同时具有低能耗、低污染等优点。
MEMS电感加工是目前工业技术发展的一个主要分支，它广泛用于制造微细复杂零件。
它可以节约大量加工时间，减少人工成本，提高产品质量，同时具有节能环保的特性。
未来，MEMS电感加工技术将继续发展，在工业制造过程中的应用越来越广泛，成为不可或缺的重要技术之一。
MEMS电感加工技术的开发和应用，需要综合多学科、多技术、多层次的研究，如材料学、磁场学、机械设计、电子技术、机械制造、火工学等。
只有整合这些技术，才能在精度高、可靠性、成本低、能效高等方面取得显著成果，实现MEMS电感加工技术的发展和应用。
由于其作业准确度高，成本低、易于操作等特点，MEMS电感加工目前已经广泛应用于汽车零部件制造、电子元件制造、航空航天制造、电子航空设备制造等领域，可以有效满足产品的特殊加工要求。
MEMS加速度计的原理及应用
MEMS加速度计的原理及应用MEMS加速度计（Microelectromechanical Systems Accelerometer）是一种基于微电子机械系统的加速度测量器件。
它利用微电子技术和微米制造工艺，将加速度的作用转化为电信号的变化，从而实现对物体的加速度测量。
MEMS加速度计的原理是利用微机械结构和微运动质量的特性。
一般来说，MEMS加速度计由微型质量块和弹簧支撑系统组成，当物体发生加速度改变时，弹簧支撑系统会受到力的作用，从而导致微型质量块产生相应的位移。
这个位移可以通过微电子传感器转化为电信号，进而进行处理和分析。
1.手机和消费电子产品：MEMS加速度计被广泛应用在手机和其他消费电子产品中，用于实现自动屏幕旋转、运动感应游戏、姿势识别和手势控制等功能。
2.汽车安全系统：MEMS加速度计可用于汽车安全系统中，如气囊部署系统。
当车辆发生碰撞或急刹车等意外情况时，加速度计可以检测到车辆的加速度变化，并触发相应的安全机制。
3.工业监测：MEMS加速度计可以用于工业监测中，如机械设备的振动监测。
通过检测设备振动的频率和幅度，可以预测设备的健康状况和可能的故障。
4.体感游戏和虚拟现实（VR）设备：MEMS加速度计可以用于体感游戏和虚拟现实设备中，如头戴式显示器。
通过感应用户的头部和身体的运动，可以实现更加真实和沉浸式的游戏和虚拟体验。
5.医疗领域：MEMS加速度计可以用于医疗监测和诊断中，如运动追踪和睡眠监测。
通过监测运动和睡眠的模式和质量，可以帮助医生评估患者的健康状况。
6.运动跟踪器：MEMS加速度计在运动跟踪器中被广泛应用，如智能手环和运动手表。
它可以实时监测用户的步数、距离、卡路里消耗和睡眠质量等信息。
总结起来，MEMS加速度计是一种基于微电子机械系统的加速度测量器件，它通过微机械结构和微运动质量的特性，将加速度的作用转化为电信号的变化。
这种技术在手机、汽车安全系统、工业监测、体感游戏、医疗领域和运动跟踪器等领域有着广泛的应用。
MEMS技术(8)
2.热力学应力分析
应力分析是设计分析中的一个重要部分。对 微系统而言，在加工过程中有高温,也会在高温环 境中工作，所以热分析应该在应力分析之前。
微系统的热力学应力分析与宏观系统的分析 有非常大的差异。微系统中有很强的微加工工艺 导致的固有应力出现，这些固有的残余应力必需 被计算并包括进随后的应力分析。
谐振器
使用谐振器的信号传输的技术在微压力传 感器信号转换中能提供更高的分辨率和精 度，但是它的加工复杂程度，例如类似压 力传感器中的将硅梁键合在基底上，限制 了它在其它微器件上的应用。振子所需要 的空间是这种转换方法的另一个缺陷。
电阻加热
这一技术在微致动器中广泛应用，例如微流体 中的微型阀和泵。这种技术比较简单和直接。 然而，这一技术需要精密控制对有热惯性的致 动元件的加热，会影响所选择的致动方式的时 间响应。另外，热元件和工作介质的接触会引 起局部热传输，导致在微型阀中工作介质改变 流动模式。这一技术在液体微流体系统中有严 重的缺陷。对热传输流体密封会引发微系统的 封装和运行问题。
砷化镓：
对外部影响（例如光线中的光子），即使在高温 情况下，响应快； 可用于热绝缘；
它的高压电性使得这种材料适合精密致动；
适合表面微加工； 是光学快门、斩波器和致动器的优良备选材料； 是微器件和微电路所需要的材料； 缺点是价格比硅等其它基底材料高的多。
石英：
即使在高温下，比硅和硅族化合物有更 好的机械稳定性； 热延展率极小，所以是高温应用的理想 材料； 具备精密微致动器需要的出色的谐振能 力； 缺点是难以加工成所需要的形状。
形状记忆合金
形状记忆合金（SMA）在与电阻加热 一起使用的时候是一种很好的致动材 料。它的主要缺点是形状记忆合金适 用性是有限的，而且形状记忆合金的 温度敏感性使得变形经常无法精确预 测。
MEMS介绍
MEMS陀螺仪
Contents
1.MEMS的介绍
2.陀螺仪的介绍
3.MEMS陀螺仪的介绍
4.MEMS陀螺仪在iPhone4中应用
5. MEMS陀螺仪的现状
一 MEMS的介绍与应用
1.MEMS简介
MEMS（Microelectromechanical Systems） 是指集微型传感器、执行器以及信号 处理和控制电路、接口电路、 通信和电源于一体的微型机电系统。 MEMS是微机电系统的缩写。MEMS主要包括 微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的 处理电路等几部分，它是在融合多种微细加工 技术，并应用现代信息技术的最新成果的基础 上发展起来的高科技前沿学科。
三 MEMS陀螺仪的介绍
• 1.MEMS陀螺仪（gyroscope）
• 陀螺仪能够测量沿一个轴或几个轴运动的角速， 是补充MEMS加速计功能的理想技术。组合使用 加速计和陀螺仪这两种传感器，可以跟踪并捕捉 三维空间的完整运动，为用户提供现场感更强的 用户使用体、精确的导航系统以及其它功能。 • 工作原理： MEMS陀螺仪是利用科里奥利力，即 旋转物体在有径向运动时所受到的切向力。
五 MEMS陀螺仪的现状
• 虽然手机汽车方面可能用到，但毕竟是高端产品才有， 所以MEMS陀螺仪在我们的生活中并不常见，也不熟悉 。 • 据了解，这种传感器的核心技术还是被外国垄，我们国 家的技术不发达。如果外国的军事武器都装备这种传感 器，可能是对中国的军事力量一种沉重的打击，在以科 技技术是第一生产力也是综合国力的第一体现的环境， 努力提高科技技术是很必要的。
• 三轴陀螺仪
三轴陀螺仪MEMS结构。从左到右分 别是X, Y和Z轴，它们设计在一个晶片 上，同时用微机械技术加工出来。
MEMS压力传感器原理及应用详解
MEMS压力传感器原理及应用详解目前的MEMS压力传感器有硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器，两者都是在硅片上生成的微机电传感器。
硅压阻式压力传感器是采用高精密半导体电阻应变片组成惠斯顿电桥作为力电变换测量电路的，具有较高的测量精度、较低的功耗，极低的成本。
惠斯顿电桥的压阻式传感器，如无压力变化，其输出为零，几乎不耗电。
其电原理如图1所示。
硅压阻式压力传感器其应变片电桥的光刻版本如图2。
图1 惠斯顿电桥电原理图2 应变片电桥的光刻版本MEMS硅压阻式压力传感器采用周边固定的圆形的应力杯硅薄膜内壁，采用MEMS技术直接将四个高精密半导体应变片刻制在其表面应力最大处，组成惠斯顿测量电桥，作为力电变换测量电路，将压力这个物理量直接变换成电量，其测量精度能达0.01%~0.03%FS。
硅压阻式压力传感器结构如图3所示，上下二层是玻璃体，中间是硅片，硅片中部做成一应力杯，其应力硅薄膜上部有一真空腔，使之成为一个典型的绝压压力传感器。
应力硅薄膜与真空腔接触这一面经光刻生成如图2的电阻应变片电桥电路。
当外面的压力经引压腔进入传感器应力杯中，应力硅薄膜会因受外力作用而微微向上鼓起，发生弹性变形，四个电阻应变片因此而发生电阻变化，破坏原先的惠斯顿电桥电路平衡，产生电桥输出与压力成正比的电压信号。
图4是封装如IC的硅压阻式压力传感器实物照片。
MEMS硅压阻式压力传感器图3 硅压阻式压力传感器结构图4 硅压阻式压力传感器实物MEMS电容式压力传感器电容式压力传感器利用MEMS技术在硅片上制造出横隔栅状，上下二根横隔栅成为一组电容式压力传感器，上横隔栅受压力作用向下位移，改变了上下二根横隔栅的间距，也就改变了板间电容量的大小，即△压力=△电容量。
电容式压力传感器实物如图。
图5 电容式压力传感器结构图6 电容式压力传感器实物MEMS压力传感器的应用MEMS压力传感器广泛应用于汽车电子：如TPMS（轮胎压力监测系统）、发动机机油压力传感器、汽车刹车系统空气压力传感器、汽车发动机进气歧管压力传感器（TMAP）、柴油机共轨压力传感器;消费电子，如胎压计、血压计、橱用秤、健康秤，洗衣机、洗碗机、电冰箱、微波炉、烤箱、吸尘器用压力传感器、洗衣机、饮水机、洗碗机、太阳能热水器用液位控制压力传感器;工业电子，如数字压力表、数字流量表、工业配料称重等。
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MEMS器件根据其特性分成微传感器、微执行 器、微结构器件、微机械光学器件等。
微传感器
机械类 磁学类
力学
力矩
速度
加速度
位置
流量 角速度(陀螺) 气体成分 PH值 湿度 离子浓度
化学类
生物类
微执行器
马达
齿轮 探针 沟道
开关 弹簧
扬声器 微梁
微结构器件 薄膜
微腔
锥体
微轴
微光学器件 微镜阵列
微斩光器 微干涉仪
Materials
硅基材料 单晶硅，多晶硅，非晶硅，二氧化硅，氮化硅，碳 化硅，SOI(Silicon On Insulator)。 聚合物材料 光刻胶，聚二甲硅氧烷 其他材料 砷化镓，石英，玻璃，钻石，金属。
驱动材料
NiTi 坡莫合金 锆钛酸铅（PTZ） 水凝胶（Hydrogels）
6、广义化特点
MEMS的应用
Application Fields of MEMS
由于MEMS器件和系统具有体积小、重量 轻、功耗小、成本低、可靠性高、性能优异、 功能强大、可以批量生产等传统传感器无法比 拟的优点，因此在航空、航天、汽车、生物医 学、环境监测、军事以及几乎人们接触到的所 有领域中都有着十分广阔的应用前景。
大 ,为人类最后征服各种绝症延长寿命带来了希望。
OMOM智能胶囊消化道内窥镜系统（简称“胶囊内镜”）
金山科技集团研制的胶囊内镜
―胶囊内镜”是集图像处理、信息通讯、光电工程、 生物医学等多学科技术为一体的典型的微机电系统 （MEMS）高科技产品，由智能胶囊、图像记录仪、 手持无线监视仪、影像分析处理软件等组成。 图象记录仪
仿生学中的应用（仿生纤毛）
地下水流微传感器
Field of Research
理论基础：在当前 MEMS 所能达到的尺度下，宏观世界基本的物理 规 律 仍 然 起 作 用 ， 但 由 于 尺 寸 缩 小 带 来 的 影 响 （ Scaling Effects），许多物理现象与宏观世界有很大区别，因此许多原来 的理论基础都会发生变化，如力的尺寸效应、微结构的表面效应、 微观摩擦机理等，因此有必要对微动力学、微流体力学、微热力 学、微摩擦学、微光学和微结构学进行深入的研究。 技术基础：设计、工艺加工( 高深宽比多层微结构 ) 、微装配工艺、 微系统的测量等。 应用研究：如何应用这些MEMS系统也是一门非常重要的学问。人 们不仅要开发各种制造MEMS的技术，更重要的是如何将MEMS器件 用于实际系统，并从中受益。
其他应用
投影显示器
数字微镜装置可被用来作投影显示器（DMD）。图示为美国TI公司研制的DMD， 它通过可以旋转10的扭转镜来完成投影显示的。微镜通过支撑柱和扭转梁 悬于基片上，每个微镜下都有驱动电极，在下电极与微镜间加一定的电压， 静电力使微镜倾斜输入光被反射至镜头、投影到屏幕上。未加电压的微镜处 的光线反射至镜头外。这样，微镜使每点产生明暗，投影出图象。
微电子机械系统是以微电子、微机械及材料科学为基础，研究、设计 和制造具有特定功能的微型装置（包括微结构器件、微传感器、微执行器 和微系统等方面）的一门科学。
1959年就有科学家提出微型机械的设想，但直到1962年 才出现属于微机械范畴的产品—硅微型压力传感器。其 后尺寸为50～500微米的齿轮、齿轮泵、气动蜗轮及联 接件等微型机构相继问世。而1987年由华裔留美学生冯 龙生等人研制出转子直径为60微米和100微米的硅微型 静电电机，显示出利用硅微加工工艺制作微小可动结构 并与集成电路兼容制造微小系统的潜力，在国际上引起 轰动，科幻小说中描述把自己变成小昆虫钻到别人的居 室或心脏中去的场景将要成为现实展现在人们面前。同 时，也标志着微电子机械系统(MEMS)的诞生。
采用MEMS 技炮弹
MEMS 技术在轻武器面杀伤弹药引信中的应用
单兵20 mm 高爆 榴弹微机电引信
航空航天的应用
在 1995年的国际会议上已有人正式提出研制全硅卫星的概念 。 即整个卫星由硅太阳能电池板、硅导航模块、硅通信模块等组 合而成 ,这样 ,可使整个卫星的质量缩小到以 kg计算 ,从而使卫 星的成本大幅度降低 。
世界上第一个微静电马达
What is the peculiarity of MEMS technology?
MEMS是受到集成电路工艺的启发而发展起来的，它不仅具有集 成电路系统的许多优点，同时集约了多种学科发展的尖端成果。
1、微型化特点
4、集成化特点
2、多样化特点
3、稳定性特点
5、批量化特点
工作时间：8小时左右 视 角 度：140度 视 距：3cm 分 辨 力：0.1mm 体 积：13mm ×27.9mm 重 量：<6g 外 壳：无毒耐酸耐碱高分子材料
影像工作站
OMOM胶囊内镜的工作原理是：患者像服药一样用水将智 能胶囊吞下后，它即随着胃肠肌肉的运动节奏沿着胃→十 二指肠→空肠与回肠→结肠→直肠的方向运行，同时对经 过的腔段连续摄像，并以数字信号传输图像给病人体外携 带的图像记录仪进行存储记录，工作时间达6～8小时，在 智能胶囊吞服8～72小时后就会随粪便排出体外。医生通过 影像工作站分析图像记录仪所记录的图像就可以了解病人 整个消化道的情况，从而对病情做出诊断。 优点: 操作简单:整个检查仅为吞服胶囊、记录与回放观察三个 过程。医生只需在回放观察过程中，通过拍摄到的图片即 可对病情做出准确判断。 安全卫生:胶囊为一次性使用，避免交叉感染 ;外壳采用不 能被消化液腐蚀的医用高分子材料，对人体无毒、无刺激 性 ,能够安全排出体外。 扩展视野:全小肠段真彩色图像清晰微观，突破了小肠检 查的盲区，大大提高了消化道疾病诊断检出率。 方便自如:患者无须麻醉、无须住院，行动自由，不耽误 正常的工作和生活。
成本非常低廉。 胰岛素注射泵疗法或者连续皮下注射胰岛素（CSII）可以替代一天必须输注几次的 单次胰岛素注射法，这种疗法越来越被人们看好。按照CSII治疗方法，糖尿病患者连接 一个可编程的注射泵，注射泵与一个贮液器相连，胰岛素就从这个贮液器输注到人体皮 下组织内，在一天的输液过程中，可根据病人的情况设定液量。
MEMS定义
早在二十世纪六十年代，在硅集成电路制造技术发明不久，研究人 员就想利用这些制造技术和利用硅很好的机械特性，制造微型机械部件， 如微传感器、微执行器等。如果把微电子器件同微机械部件做在同一块
硅片上，就是微机电系统——MEMS: Microelectromechanical
System。
由于MEMS是微电子同微机械的结合，如果把微电子电路比作人 的大脑，微机械比作人的五官（传感器）和手脚（执行器），两者的 紧密结合，就是一个功能齐全而强大的微系统。
MEMS技术及其应用
主要内容
MEMS技术简介
MEMS技术应用
微机械制造技术
MEMS器件
MEMS简介
What is MEMS Technology?
MEMS (microelectromechanical systems) are devices that involve integrated micro-devices or systems, usually comprised of electrical and mechanical components, produced using microelectronics-compatible batch-processing techniques. These systems merge computation with sensing and actuation to perceive the physical world at a miniaturized level.
微光扫描器 光编码器 微光开关 微光阀 微透镜
MEMS制造工艺
Manufacturing Technology of MEMS
大机械制造小机械，小机械制造微机械 日本为代表 LIGA工艺 Lithograpie(光刻)、Galvanoformung(电铸) Abformung(塑铸) 德国为代表 硅微机械加工工艺：体硅工艺和表面牺牲层工艺 美国为代表
微射流MEMS技术应用于糖尿病治疗.
这个一次性胰岛素注射泵融合了Debiotech的胰岛素输注系统技术和ST的微射流 MEMS芯片的量产能力。纳米泵的尺寸只有现有胰岛素泵的四分之一. 微射流技术还能 更好地控制胰岛素液的注射量，更精确地模仿胰岛自然分泌胰岛素的过程，同时还能检
测泵可能发生的故障，更好地保护患者的安全。
在军事上的应用
MEMS已在空间超微型卫星上得到应用 ,该卫星外形尺寸为 2. 54 cm ×7. 62 cm ×10. 6 cm,重量仅为 250 g 。2000年 1月 ,发射的两颗试验小卫星是证明空基防 御能力增强的一个范例。对小卫星试验来说幸运的是 ,因其飞行寿命短 ,所以 ,暴 露在宇宙辐射之下并不是关键问题。小卫星上基于硅的 RF开关在太空应用中表
美国提出的硅固态 卫星的概念图，这 个卫星除了蓄电池 外，全由硅片构成 ，直径仅15cm。
生物医疗和医学上的应用
微机械技术在生物医疗中的应用尤其令人惊叹。例如:将微型传感器用口服或皮 下注射法送入人体 ,就可对体内的五脏六腑进行直接有效的监测 。 将特制的微型机器人送入人体 ,可刮去导致心脏病的油脂沉积物 ,除去体内的胆固醇 , 可探测和清除人体内的癌细胞 ,进行视网膜开刀时 ,大夫可将遥控机器人放入眼球内 , 在细胞操作、细胞融合、精细外科、血管、肠道内自动送药等方面应用甚广。 MEMS的微小 可进入很小的器官和组织 和智能 能自动地进行细微精确的操作 的特 点 ,可大大提高介入治疗的精度 ,直接进入相应病变地进行工作 ,降低手术风险。 同微电子,集成电路,IC,工艺,设计,器件,封装,测试,MEMS时 ,可进行基因分析和遗传诊 断 ,利用微加工技术制造各种微泵、微阀、微摄子、微沟槽、微器皿和微流量计的器 件适合于操作生物细胞和生物大分子。所以 ,微机械在现代医疗技术中的应用潜力巨