FEI(Phenom)飞纳台式扫描电镜产品手册
Phenom简易操作步骤
Phenom 飞纳 台式扫描电镜
简易操作步骤
1. 装样
将制作完成的样品用专用镊子放入样品杯
调平：顺时针方向旋低样品杯，保证样品的最高点和样品杯口平面持平； 调低：继续顺时针旋低五个刻度，即样品下降2.5mm ；
插入样品杯，试样灯亮起，关闭舱门，舱门会自动锁上。
2. 观察
在光学模式下找到要观测的样品，然后点击切换到电子模式。
调焦，辅以亮度、对比度调节，由低倍到高倍依次调节，直至获得最清晰的图片效果为止。
3. 取图
建议“高倍聚焦，低倍拍照”，即在较高倍数下调节焦距，然后保持焦距不变，缩小放大倍数拍照取图。
在setting 界面设置图像的分辨率（resolution ）和图片质量(quality)，修改图片名称，返回image 界面后点击拍照即可。
4. 卸样
点击image 界面的退出样品图标
，点击“√”确定，可实现舱门自动解锁，
取出样品即可。
扫描电镜使用说明书
扫描电镜使用说明书一、产品概述扫描电镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种高分辨率的显微镜，能够通过扫描样品表面并检测扫描电子束的反射电子，从而获取样品的形貌和元素成分信息。
本说明书将详细介绍扫描电镜的使用方法和注意事项。
二、安全操作1. 在使用扫描电镜之前，请确保机器的电源已经正确接入地线，避免触电事故的发生。
2. 在打开扫描电镜之前，先检查样品台和操作盖是否已经安装好并正确固定。
3. 使用扫描电镜时，应该配戴好相关的防护眼镜和手套，确保个人安全。
4. 禁止将未经处理的有毒或易燃物质放入扫描电镜中进行观察。
三、仪器操作流程1. 打开电源开关，等待仪器自检完成，并确保控制面板上的指示灯正常。
2. 使用适当的工具调整样品台的位置和角度，使样品处于扫描电子束正下方。
3. 将待观察的样品放置到样品台上，并使用夹具或胶带固定，避免因振动而影响图像质量。
4. 根据样品特性和需要，选择合适的放大倍数和扫描模式，并进行相关设置。
5. 确保样品台和探针头之间的距离适当，并调整探针电子的聚焦和对准。
6. 点击开始扫描按钮，此时电子束将开始扫描样品表面，并生成相应的图像。
7. 观察并分析样品表面的形貌，使用相关软件进行图像处理和测量。
8. 在观察结束后，关闭电源开关，并进行必要的清洁和维护。
四、注意事项1. 在操作过程中，应该避免触摸样品表面，以免影响图像质量。
2. 在调整参数时，应该谨慎操作，避免产生误操作，导致损坏仪器或样品。
3. 镜头和样品台需要保持干净，可使用专门的清洁剂和软布进行清洁。
4. 扫描电镜不适合长时间连续工作，应该注意适当间隔，避免过热或损坏。
5. 扫描电镜需要定期进行保养和维护，以保证其正常工作。
6. 使用扫描电镜时应该有足够的耐心和耐心，避免急躁操作和粗心大意。
五、故障排除1. 若扫描电镜出现异常现象，如图像模糊、偏移等，可先通过重新校准参数来尝试解决问题。
FEI台式扫描电镜Phenom 英文手册
Electron microscopy for professionals‘The perfect combination’Phenomenal results• 24x to 24,000x magnification • Millimeter to nano scale imaging • Easy to operate • High throughput• Low operating and imaging costsHow do you stay competitive in a world where critical dimensions are continuously getting smaller? With the Phenom™, because it offers you direct access to the high resolution and high quality imaging you need in a growing number of industrial, educational and R&D applications. The Phenom has proven to be the new standard in desktop electron microscopy. It is an advanced professional solutionthatenablesengineers, technicians and researchers to solve their imaging problems.Bringingopticalandelectron microscopy togetherElectron microscopy enables you to see details at a sub-micron level beyond the wavelength of light. The Phenom combines all the advantages of an optical microscope without compromising on ease of use or time to result. The Phenom closes this gap and offers you the best of both worlds by combining light optical and electron optical technologies in one integrated system.Phenom: world’s fastest scanning electron microscopeThe Phenom takes you through your world in seconds – from millimeters to the sub-micron scale, while its award winning user interface makes it easy to operate for everyone. The Phenom will do for microscopy what personal computers did for office efficiency. The superb imagequality of the Phenom will help create new ways to ramp up production and reduce the time required for root cause analysis. It is the ideal tool for researchers in their quest for next-generation products or to help teacherspresent scientific concepts more easily. The Phenom provides an exciting leap in teaching methods with an engaging and interactive design that creates a truly effective learning experience.‘Imagine the possibilities.See them with the Phenom.’Outperform by image qualityMaterials and metallurgyThe composition and morphology of many engineering materials are typically observed with light microscopes, but when higher magnification and 3D detail is required, a scanning electron microscope (SEM) is needed. The Phenom takes metallurgical imaging to a new level of clarity. It can be used to perform micro-structural analysis of metals to identify variances that occur after treatment, as well as to determine composition and stress distribution. For failure analysis of 3D objects, the large depth of focus can show the fracture origins and fatigue features.Particles & Pharmaceutical industry As important as size distribution is, the shape and agglomeration of sub-micron particles is only visible with an electron microscope. The Phenom is the professional solution to expand your lab capabilities. With an ultimate resolution of 30nm, the Phenom will clearly identify and compare the morphology of fine particles or deposits for new formulations.Fibres and filtersNon-woven micro and nano fibresare developed and manufactured forfiltration, textiles, and other products. TheFibremetric™ system is a solution thatallows you fast analysis and reporting ofstatistical data on your production sample.Monitoring the production process bymeans of this semi-online quality controlkeeps production within toleranceswithout waste. Product development canbenefit from the Fibremetric™ system asa consistent tool for fibre analysis or poresize measurement. The Fibremetric™system powered by the Phenom, isused for that purpose today by leadingmanufacturers. Fibermetric™ automatesanalysis and delivers hundreds ofmeasurements in minutes.Manufacturing process and qualitycontrolOne of the most important objectivesof Failure Analysis (FA) is to provideengineers with the root cause informationneeded to adjust or modify themanufacturing process for higher yieldsand/or a faster ramp to volume. With aPhenom electron microscope, you canimprove the efficiency and effectivenessof sample preparation for higher qualityFA results. Staff members don’t have towait for specially trained personnel or ahigh resolution lab SEM to obtain superiorimages. The Phenom empowers morepeople to obtain the images they need,when they need them.Integrated LearningEngaging students of all ages withmicroscopy is easier than ever. ThePhenom achieves the ease of use of alight microscope with automated touchscreen control, 30 second sample loadingand only a few minutes of training. Samplevariety is limited only by imagination. ThePhenom stimulates the development ofinvestigative techniques, active learningand scientific inquiry skills by givingstudents an interactive, dynamic and funlearning tool.ForensicsThe potentially high human impact offorensic analysis demands the higheststandards of accuracy. The Phenom SEMprovides high magnifications and is aseasy to use as typical laboratory-gradeoptical microscopes. The Phenom cutsaway the time, difficulty and expense of theconventional SEM. The electron image isdisplayed less than 30 seconds later, withthe resolution and depth of focus typicalof a SEM. The Phenom is a true walk-uptool that forensic experts can use for theirinitial analysis, taking away the sampleload of the conventional SEM.The perfect combination for your application‘The ease of use has increased the overall efficiency of our team’Superb image qualityThe Phenom has an innovative user interface and intuitive touch screen controls. This allows superb quality images to be produced with minimal operator training. A unique electron optical design reduces the complexity normally associated wit electron microscopes.Fast sample preparationThe Phenom is designed to handle a wide range of samples with minimal preparation by using application specific sample holders.Instant sample loadingSamples are loaded instantly with Phenom’s patented vacuum technology. Insert the sample holder, close the door and the Phenom is ready to go.Shortest time to imageThe first optical image appears within five seconds. Twenty seconds later a first electron optical image will be visible.Never lost navigationYou always know your position on the sample with Phenom’s never lost navigation. Onscreen insets provide a clear overview of the sample. Overviews of the optical and electron optical images provide clear reference points at all times. The sample can easily be moved by touching the feature of interest on the screen; the motorised stage will instantly move to the desired position.Brilliant images, high throughput, ease of useStub Sample HolderThis standard holder is designed for high resolution (30 nm) imaging and can accommodate 3D type samples.Metallurgical (mount) sample holderThis (optional) holder supports resin mounted samples (schlieffen). Embedding and polishing are common techniques used to create flat samples for microscopic investigation.Charge Reduction Sample HolderThis (optional) holder virtually eliminates the need for sputter coating. Samples such as paper, polymers, organics, ceramics and coatings can now be imaged in their natural state, providing more valuable back scatter material contrast information.Micro Tool HolderThis (optional) holder makes it possible to image a wide range of axial shaped objects such as drilling bits and milling tools. The holder has been specially designed for the micro manufacturing market, where the Phenom is used as a quality inspection tool in order to meet and maintain the high quality standards in this type of industry.Main screenArchive screenSystem details• Magnification range 24x – 24.000x• Dimension imaging module 286 x 566 x 495 mm – 50 kg • Touch screen controls• Image options – JPEG, TIFF both in 456², 684², 1024², 2048² pixels • Sample load time < 30 secondsPhenom quickly pays for itselfThe Phenom offers a fast Return on Investment (ROI) because of its economical price, which is comparable with medium class light microscopes, whereas its performance is way beyond.For a fraction of the cost of outsourcing electron optical imaging, a company can bring high resolution imaging in-house for everyone to use.Phenom-World BV is a part of the NTS-Group based in Eindhoven, The Netherlands.NTS-Group and FEI Company have been working together on the Phenom project since its inception, and NTS has provided much of the design and engineering expertise that helped to make Phenom the successful product it is today.Phenom-WorldPhenom-World BV Dillenburgstraat 9E 5652 AM Eindhoven The Netherlands©2010. Specifications and prices are subject to change without notice. All rights reserved. Reproduction, copying, usage, modifying, hiring, renting, public performance, transmission and/or broadcasting in whole or in part is prohibited without the written consent of Phenom-World BV.Find your Phenom-World contact information at B R 00101W W v 1.3。
扫描电镜使用技巧 Get,有机颗粒样品分析有妙招
扫描电镜使用技巧 Get，有机颗粒样品分析有妙招飞纳台式扫描电镜颗粒统计分析测量系统（Phenom Particle Metric），简称颗粒系统，由荷兰Phenom-World 公司发布于2013 年11 月。
颗粒系统通过颗粒与背景衬度的差异对颗粒进行图像识别，在获取SEM 图像的同时可以获取所有颗粒的形貌数据，例如直径、等效面积、等效体积、圆度等。
并且可以将这些数据进行统计。
颗粒探测范围：100 nm - 0.1 mm，颗粒探测速度高达1000 颗/分。
图1. Phenom Particle Metric 配置图在实际操作过程中，颗粒与背景元素差异大的颗粒可以很好的识别，但由于图像识别技术局限性，如颗粒与背景元素差异较小，例如有机颗粒，则软件难以进行有效识别，在这种情况下，我们可以采用喷金的办法人为创造出黑色颗粒边界，从而增加软件识别的准确性。
粘在导电胶表面的颗粒与导电胶之间形成空隙区，如图2 右上所示，在喷金过程中，此孔隙区无法被金覆盖。
喷金完成之后，结构示意图如图3 所示。
此时在SEM 视图下，可以清晰看到颗粒边缘的黑色边界，图4 为颗粒在喷金后阴影边界与颗粒识别案例。
识别结果证明适当喷金有利于提升颗粒系统识别的准确性。
而喷金多少呢？我们通过实践总结规律得出，喷金厚度为颗粒尺寸5 ~ 10% 范围内，可以有效增强颗粒系统识别的准确性。
图2. 颗粒样品喷金过程示意图图3. 颗粒样品喷金结果示意图图4. 喷金后阴影边界与颗粒识别案例在拍照过程中，应注意调节图像的亮度/对比度，如亮度对比度都较低，则容易造成软件识别率下降，如图5 所示。
因此，我们在实际操作过程中，可适当增大亮度，增大对比度，待颗粒周围出现明显黑色边缘时，尚可开展颗粒系统统计，如图6 所示。
图5. 亮度对比度偏小，造成识别率较低图6. 亮度对比度合适，识别率较高。
FEI台式扫描电镜PHENOM(飞纳)
成份模式成像原理： ４块背散射探测 器扇区所得的信号相叠加。
形貌模式成像原理： ４块背散射探测器扇 区分为相对的两组，所得的信号相减。
5
成份模式图像
形貌模式图像
包含样品成份与形貌信息
仅突出样品表面形貌特征
高亮度 ＆ 长寿命 ＣｅＢ６ 灯丝
Ｐｈｅｎｏｍ采用ＣｅＢ６灯丝，不仅亮度为钨灯丝的１０倍，为您提 供更高的图像对比度，寿命更是长达１５００小时，为钨灯丝的 １５－４０倍，可正常使用２－４年无需更换灯丝，免去了您频繁更 换灯丝的麻烦，保证工作进度。
空气过滤网ＳＥＭ图像
左：纤维系统自动进行纤维直径及孔径的测量
右：左图中纤维尺寸的分布柱状统计图。用 户可以对统计图坐标进行调整。纤维的最小、 最大及平均尺寸均显示在图片下方。
应用示例
齿轮
木炭 10
球形石墨
金属滤网
ＦＥＩ 公司旗下Ｐｈｅｎｏｍ－Ｗｏｒｌｄ ＢＶ 荣誉出品
应用示例
11
卵壳内侧
过滤纤维
Ｐｈｅｎｏｍ 采 用 ４ 扇 区 式 背 散 射 电子探测器，为您提供两种成 像模式：
• 成份模式（Ｆｕｌｌ ｍｏｄｅ）：同 时给出样品表面形貌与成份 信息，不同元素可由其对比 度的不同加以分辨。
• 形貌模式（Ｔｏｐｏｇｒａｐｈｉｃａｌ ｍｏｄｅ）：在图像中去除了成 份不同所造成的差异，强化 样品的３Ｄ信息，使样品表面 的凹凸起伏等微观结构更加 明晰。尤其适用于表面粗糙 度和缺陷分析。
操作简便，全程导航
Ｐｈｅｎｏｍ直观的用户界面、简便的触摸屏控制，以及各项自 动调节功能，使用户仅需极少的培训，就可以得到高质量的 图像。独一无二的设计将通常电子显微镜所具有的复杂性降 低到类似于光学显微镜的水平，使更多用户可以轻松操作。
Phenom 简易用户手册介绍
调节样品的位置 通过旋转样品杯上的高度调节环钮来降低样品的高度 继续降低样品直到样品的最高面和样品杯的旋转环钮上
Phenom-World BV 荣誉出品(源自飞利浦电镜技术)
3
平面平齐 继续降低样品，使得样品最高面比样品杯旋转环钮上平面至少低 2 毫米，环钮周围
有竖直刻线，每一刻度为 0.5 毫米，要达到 2.5 毫米，需要将环钮旋转 5 格 至关重要的一点是：样品的最高面必须低于样品杯的最高面，否则样品在装进机器
的过程中会被破坏，机器也会遭到破坏，这种破坏不属于免费保修范围 请参阅详细说明书了解样品的高度不视野和分辨率的关系
当主机面板上的开锁灯亮起的时候，说明这时候打开舱 门是安全的
会亮起 样品正确安装，准备操作
Phenom-World BV 荣誉出品(源自飞利浦电镜技术)
4
用户控制界面
一般来讲，所有的控制操作方式都是一样的
轻触戒点击触摸屏上的图标即可激活此图标表示的功能 通过旋转戒者按压控制旋钮调节已激活图标代表的功能
Phenom-World BV 荣誉出品(源自飞利浦电镜技术)
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光学成像
当样品正确安装丏舱门正确关闭后，样品会自动移到光学成像位置 光学照相机被激活，光学像出现主观测屏幕上 优化图像
触摸戒者点击 使其激活，变成绿色，然后旋转控制旋钮来调节焦距 触摸戒者点击 在粗略聚焦和精细聚焦乊间转换， 通过按压控制旋钮也可以实现此
功能 字母 F 出现在图标上 说明当前聚焦是精细聚焦 亮度和对比度的优化调节通过选择 实现，绿色代表当前已激活的调节功能
用大拇指和弯曲的食指捏住舱门突出的把手，适当 用力将舱门完全拉上去，丌要做多次停顿。
操作手册扫描电镜使用方法说明书
操作手册扫描电镜使用方法说明书为了帮助用户准确并便捷地使用操作手册扫描电镜（以下简称SEM），本说明书详细介绍了SEM的使用方法。
请用户在使用前仔细阅读并按照说明书的步骤进行操作，以充分发挥SEM的功能和性能。
一、SEM简介操作手册扫描电镜（Scanning Electron Microscope）是一种常见的科学仪器，广泛应用于材料科学、生物科学、纳米技术等领域。
SEM通过扫描样品表面，并利用透射电子显微镜产生的信号进行成像，可以获得高分辨率的显微图像。
二、SEM的基本组成SEM主要由以下部件组成：电子枪、感应线圈、轴向磁透镜、扫描线圈、二次电子检测器、成像系统、显示器和控制系统等。
下面将逐一介绍各部件的作用和使用方法。
1. 电子枪电子枪是SEM的核心部件，负责产生高能的电子束。
在使用SEM 前，请确保电子枪处于正常工作状态。
操作时应避免碰触电子枪，以免造成损坏或伤害。
2. 感应线圈感应线圈用于控制电子束的尺寸和聚焦，用户可通过控制系统调整线圈来获得所需的电子束性能。
在操作过程中，需要根据实际要求进行相应的调节，以获得清晰的图像。
3. 轴向磁透镜轴向磁透镜用于进一步聚焦电子束，它可以通过控制磁场强度来改变电子束的聚焦效果。
用户可以通过控制系统进行调节，以提高图像的分辨率和对比度。
4. 扫描线圈扫描线圈负责控制电子束在样品表面上的扫描范围，用户可以通过控制系统设置扫描参数，如扫描速度和扫描线数等。
请确保设置合理的扫描范围，以充分观察样品的细节。
5. 二次电子检测器二次电子检测器用于检测被电子束激发后的次级电子，它能提供样品表面形貌信息。
在使用二次电子检测器时，保持探测器清洁，并根据需要进行灵敏度调节，以获取清晰的形貌图像。
6. 成像系统成像系统负责将电子束激发的信号转化为图像，用户可以通过控制系统来实时观察样品表面的形态。
在观察过程中，可以调整对比度、亮度和放大倍数等参数，以获得所需的图像效果。
FEI台式扫描电镜Phenom 中文手册
科研实验室 由于使用简便、价格低廉，Phenom 非常适 于应用于科学研究。技术专家们在开发创新 产品和系统时，可利用 Phenom 的解析能力 和宽泛的景深清晰地显现新材料的特征。
主屏
存档屏
Phenom 投资回报快 Phenom的价格与中档光学显微镜相仿，但性能则 远超其上。只要花上雇请外单位做电镜花费的一部 分，就可以把人人都可以使用的高分辨率成像系统 带回家。
制药行业 随着制药和化学行业临界尺寸的持续变小， 光学显微镜的解析能力已不能满足需要。 Phenom 分辨率达 30 nm，可为清晰地确认 和比较新剂型中微粒或沉淀物的形貌。
制造工序及质量控制 Phenom 的高分辨率成像使工序和质量控 制检查中的差错探测变得更容易。其宽泛的
景深范围可以看到在光学显微镜下不可见的 新物质和化合物。制造商转向更小尺寸时， 由 Phenom 得到的图像可帮助得到新的加工 参数。
“用心想像，用 Phenom 观量”
Phenom的事实 • 置于桌面上 • 20 到 20,000 的放大倍数 • 毫米到微米尺度均可成像 • 易操作 • 处理量大 • 单位图像价格低廉，操作成本低 • 无需其它辅助设备
实际应用的完美伴侣
冶金应用 Phenom 将冶金成像带到一个新的清晰度水 平。Phenom 可用来对金属作微结构分析， 发现热处理后发生的变更，确定成分和应力 分布。Phenom 光学彩色图像可作为参考 图像。对于 3D 物体的失效分析，Phenom 的大景深使断裂起源和疲劳特征都能够显示 出来。
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FEI 公司旗下Phenom-World BV 荣誉出品PHENOM TMG2飞纳台式扫描电子显微镜第二代数秒之内，遍览微观世界飞纳将带给您令人惊叹的高质量图片和前所未有的便捷操作，详情请咨询Phenom World BV中国公司：复纳科学仪器（上海）有限公司本文由深圳易商仪器有限公司/提供！数秒之内，遍览微观世界>>> 数秒之内，遍览微观世界现在，Phenom-World B.V.向您隆重介绍第二代Phenom(飞纳)台式扫描电镜：Phenom G2和电镜能谱一体化的Phenom proX。
Phenom(飞纳) G2和proX 采用全新的硬件及软件架构，在继承了前代快速成像、简单易用等优点的同时，为您提供更加卓越的图像质量和精确的元素分析功能。
FEI 公司旗下Phenom-World BV 荣誉出品01 自2007年美国FEI 公司发布第一代Phenom(飞纳)台式扫描电镜以来，Phenom(飞纳)因其卓越的图像质量、30秒超快成像速度、简单易用的操作界面以及接近光学显微镜的超值价格，成为诸多科学家及工业研究人员的首选显微成像工具。
2009年，为了进一步促进Phenom(飞纳)台式扫描电镜的研发，FEI 公司与国际知名的NTS-Group 公司、Sioux 嵌入式系统公司合作，成立Phenom-World B.V.公司，专门从事新一代Phenom(飞纳)的研发生产。
Phenom G2包含两款： 专业版 G2 pro 标准版 G2 pure 主要参数:产品主要特点:◎高质量的图像◎30s 快速成像◎操作简便，结合控制旋钮和触摸显示器便可获得 高倍SEM 图像◎长寿命/高亮度/低色差CeB6灯丝(1500 h)◎自动灯丝对中，自动聚焦◎图像亮度、对比度自动调节◎光学与低倍电子双重导航，想看哪里点哪里◎直接观测绝缘体，无需喷金◎兼得样品表面形貌与成份信息◎防震设计，对放置环境无特殊要求◎丰富的拓展模块：全景图像拼合、3D 粗糙度重 建、纤维测量系统......◎多功能样品杯选件：控温样品杯（-25~50℃）、 自动倾斜/旋转样品杯、降低荷电效应样品杯......0220-120x (G2 pro)20x (G2 pure)80-45,000x (G2 pro)70-17,000x (G2 pure)<25nm (G2 pro)<30nm (G2 pure)5 kV <30s四分割背散射电子探测器台式电脑大小普通实验室或办公室、厂房光学显微镜：电子显微镜： 分 辨 率：加速电压：成像时间：探 测 器：主机体积：放置环境：新一代电镜能谱一体化Phenom proX 台式扫描电子显微镜电镜主要参数光学显微镜：电子显微镜：分辨率：探测器：加速电压：成像时间：主机体积：放置环境：20-120x 80-45,000x <25nm四分割背散射电子探测器5kV、10kV、15kV <30s 台式电脑大小普通实验室或办公室能谱仪主要参数探测器类型：硅漂移探测器（SDD）冷 却 方 式：无液氮Peltier 效应电制冷探测器晶体活性面积：25mm 2能量分辨率：<137eV（Mn Kα） X 射线分析模式：15kV元素探测范围：Boron（5）-Uranium（92）FEI 公司旗下Phenom-World BV 荣誉出品>>> 数秒之内，遍览微观世界032012年Phenom Word BV公司推出了全世界第一款电镜能谱一体化台式扫描电镜Phenom proX系统 。
Phenom proX 的能谱仪(EDS)完全嵌入在电镜主机中，集成的能谱仪采用半导体制冷技术，无需额外冷却设备。
Phenom proX继承了Phenom系列产品简单易用、低维护成本的优点。
◎自动可靠的元素识别集成EDS的Phenom proX操作界面，点击您感兴趣的样品位置，即可完成元素的定性定量分析。
元素分析软件提供基本分析模式和高级分析模式，用户根据测试需要进行选择。
04FEI 公司旗下Phenom-World BV 荣誉出品◎高质量的图像Phenom（飞纳）G2采用低加速电压（5kV）、低真空度（0.1mBar）、高灵敏度背散射电子探测器与长寿命高亮度低色差CeB6灯丝的最优化组合，为您提供高信噪比、表面细节丰富的优质图像：◎20x-45,000x 连续放大，分辨率<25nm，令人惊叹的大景深。
◎探测背散射电子，展现清晰形貌结构的同时，提供丰富的成份信息。
◎低加速电压，电子穿透深度浅，避免样品的破坏，展现更多表面细节。
Phenom（飞纳）专利样品杯和低真空设计，装入样品后30秒钟内即可得到高质量图像，耗时仅为传统电镜的1/10左右， 为您省去了大量抽真空的时间，极大的提高您的工作效率。
ZnO（复旦大学）金属锡球图像传统SEM在15kV 加速电压下得到的海藻图像，电子穿透效应非常严重。
Phenom（飞纳）5kV 加速电压下得到的海藻图像。
◎30秒快速成像05>>> 数秒之内，遍览微观世界◎操作简便，全程导航Phenom 独一无二的设计将通常电子显微镜所具有的复杂性降低到类似于光学显微镜的水平，使更多用户可以轻松使用。
Phenom（飞纳）直观的导航界面，用户经过半小时培训即可得到高质量的图像。
◎直接观测不导电样品利用标准样品杯（上图）与降低荷电效应样品杯（下图）得到的头发图像降低荷电效应样品杯利用控制旋钮和触摸屏您可以完成以下操作◎自动/手动聚焦◎自动/手动亮度对比度调节◎自动/手动灯丝对中调节◎自动样品移动Phenom （飞纳）采用马达驱动样品台，点击屏幕上希望观测的区域，即可轻松移动样品。
◎全程导航Phenom （飞纳）独有的光学/低倍SEM 导航功能，为您全程提供整个/局部样品的导航图像，点击您感兴趣的区域即可准确移动样品，不必再频繁的缩小、放大图像，方便您在不同样品、不同区域之间切换，轻松实现想看哪里点哪里。
Phenom（飞纳）操作界面。
通过点击右侧图标可以轻松完成图像缩放、聚焦、亮度对比度调节、旋转等操作。
界面右侧显示光学导航和低倍SEM 导航窗口，方便用户在不同样品、不同区域间进行切换。
Phenom 独有的光学导航和低倍SEM 导航窗口，导航窗口中的彩色矩形框指示了主窗口中的观测区域。
Phenom 结合控制旋钮和触摸显示屏调节SEM图像06Phenom （飞纳）采用低真空技术，背散射电子成像，可以有效抑制荷电效应的产生，使得直接观测各种不导电样品成为可能，免去了耗时费力的样品预处理过程。
利用降低荷电效应样品杯，更可将开始荷电的放大倍数提高8倍左右。
FEI 公司旗下Phenom-World BV 荣誉出品◎成份 & 表面形貌两种成像模式Phenom （飞纳）选择背散射电子成像。
背散射电子的产率、出射角度，与样品成份和表面形貌息息相关，因而可以同时给出样品成份和形貌信息。
Phenom（飞纳）采用4分割背散射电子探测器，为您提供两种成像模式：-成份模式（Full mode）:同时给出样品表面形貌与成份信息，不同元素可由其对比度的不同加以分辨。
-形貌模式（Topographical mode）:在图像中去除了成份不同所造成的差异，强化样品的3D 信息，使样品表面的凹凸起伏等微观结构更加明晰。
尤其适用于表面粗糙度和缺陷分析。
Phenom（飞纳）可以快速的在两种成像模式间任意切换。
◎长寿命/高亮度/Phenom（飞纳）采用只有2.5ev 逸出功的钨灯丝的15-40倍，可正常使用1-3丝的麻烦，保证工作进度。
像不受震动影响，可放置在较高楼层。
Phenom（飞纳）拥有远程检测功能，通过网络，专业工程师可随时为您远程检测系统、答疑解难，为您提供全方位的保护，让您的Phenom 随时处于最佳工作状态。
工程师互 联 网防火墙FULL 模式成像原理: 4分割背散射电子探测器扇区所得的信号相叠加。
TOPO 模式成像原理: 4分割背散射电子探测器扇区所得的信号相抵消。
成份模式图像形貌模式图像CeB6灯丝07>>> 数秒之内，遍览微观世界AAC C BBD D◎丰富的拓展功能：Phenom Pro Suite 应用模块Phenom Pro Suite 是专为Phenom（飞纳）台式扫描电子显微镜设计的应用模块，其开发目的是使用户可以从Phenom 的SEM 图像中提取更多信息，拓展Phenom 的应用，满足特定的用户需求。
标准组件：-自动全景图像拼合-远程控制界面选配组件：-3D 粗糙度重建-纤维测试系统自动全景图像拼合主要特点： －最大８.07mm 的超大视野（FOV），完整呈现样品全貌 －高达近1亿像素的超高分辨率 －自动采集图像，每分钟可采集超过100张1024 x 1024 分辨率的图像 －简明的单页用户界面，操作简便 －可与纤维系统联用利用自动全景图像拼合得到的灯丝图像，分辨率高达8500万像素。
远程控制界面Phenom Pro Suite 应用模块中的远程控制界面使得您可以在不同地点对Phenom（飞纳）进行远程操作，您也可以在报告中实时演示Phenom 中的图像；也为在不同地点同事之间的合作提供了便利。
Phenom Pro Suite模块用户界面08应用自动全景图像拼合模块可以得到大范围的高分辨图像。
用户只需在总览图中定义扫描区域，自动全景图像拼合模块将自动开始以指定的分辨率对该区域进行扫描。
所得图像将拼合成一副全景图像加以保存，方便进行进一步的观测。
1024 x 1024像素的照片局部特写，揭示左图方框内样品的表面细节。
3D 粗糙度重建FEI 公司旗下Phenom-World BV 荣誉出品3D 粗糙度重建摸块（3D Roughness Recon-struction）是Phenom（飞纳）台式扫描电镜所独有的强大图像处理工具。
借助3D 粗糙度重建模块，Phenom 可以产生样品的3D 还原图，对其进行任意旋转，并进行亚微米量级的粗糙度测量，帮助用户更加细致的分析样品形貌。
钻头表面SEM 图像，放大倍数600x。
图像中可以看到钻头表面磨损所致的纹理，但由于为2D 图像，纹理的起伏不够直观，无法进行较为精确的测量。
钻头表面SEM 图像，放大倍数2900x左：利用3D 粗糙度重建模块得到的钻头表面的3D 重建图像，图像可进行任意角度的旋转，使得样品表面的粗糙起伏变得更加明晰。
图中包含三条测量曲线，右侧区域内显示了Rz 与Ra 的测量结果。
右：左图中的测量结果的放大图，给出了样品表面起伏高度的定量测量结果：钻头表面最大沟壑深度为1.13um。
09>>> 数秒之内，遍览微观世界适用领域：◎纹理分析◎缺陷&失效分析◎摩擦学-磨损分析◎机械加工的质量控制◎证物鉴定........主要特点：◎自动创建3D 图像- 全3D 图像- 2D 或3D 图像，通过颜色指示高度- 过滤后的3D 图像◎3D 图像可任意旋转◎自动粗糙度测量- Ra（平均粗糙度）和Rz（粗糙高度）- 用户可设定波纹过滤- 支持5线同时测量◎远优于光学或机械测量手段- 高分辨率高精度- 不破坏样品◎无需倾斜样品◎数秒之内完成快速3D重建纤维系统2.0纤维系统使得直接观察和测量微米、纳米纤维变得前所未有的快捷、简单。