SuperView W1光学3D表面轮廓仪粗糙度分析操作步骤
光学轮廓分析实验报告
实验名称：光学轮廓分析实验日期：2023年X月X日实验地点：光学实验室实验目的：1. 了解光学轮廓分析的基本原理和实验方法。
2. 掌握使用光学轮廓仪进行表面形貌测量的操作步骤。
3. 分析测量结果，评估样品表面的几何特征。
实验仪器：1. SuperView W1光学3D表面轮廓仪2. 样品（半导体芯片、光学元件等）3. 计算机4. 数据处理软件实验原理：光学轮廓分析是利用光学干涉原理对样品表面进行非接触测量，从而获得样品表面的三维形貌信息。
SuperView W1光学3D表面轮廓仪采用白光干涉技术，以优于纳米级的分辨率，测试各类表面并自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。
实验步骤：1. 将样品放置在载物台镜头下方，确保样品表面与镜头平行。
2. 检查电机连接和环境噪声，确认仪器状态。
3. 使用操纵杆调节Z轴，找到样品表面干涉条纹。
4. 微调XY轴，找到待测区域，并重新找到干涉条纹。
5. 完成扫描设置和命名等操作。
6. 点击开始测量，进入3D视图窗口旋转调整观察。
7. 台阶样品分析：校平样品表面，选择基准区域，进行排除和包括操作。
8. 台阶高度测量：进入分析工具界面，点击台阶高度图标，获取自动检测状态下的面台阶高度相关数据。
9. 手动检测：根据需求选择合适的形状作为平面1和平面2的测量区域，数据栏可直接读取两个区域的面台阶高度。
实验结果：1. 通过实验，成功获取了样品表面的三维形貌信息。
2. 利用数据处理软件对测量结果进行分析，得到了样品表面的粗糙度、轮廓等几何特征。
3. 对比样品表面的实际几何特征，实验结果与预期相符。
实验讨论：1. 光学轮廓分析具有非接触、高精度、高分辨率等优点，在精密加工、材料分析等领域具有广泛的应用。
2. 实验过程中，样品表面干涉条纹的观察和调整是关键步骤，需要操作者具备一定的经验。
3. 在台阶样品分析中，基准区域的选取对测量结果有较大影响，需要根据实际情况进行选择。
表面粗糙度仪使用方法
表面粗糙度仪使用方法
表面粗糙度仪是一种用于测量物体表面粗糙度的仪器。
它可以帮助我
们了解物体表面的平滑程度，以及表面上存在的微小凸起和凹陷。
下
面是使用表面粗糙度仪的详细方法：
1. 准备工作：首先需要将表面粗糙度仪放置在平稳的水平台上，并将
其连接到电源。
然后，打开电源开关并等待数秒钟，直到设备完全启动。
2. 校准：在进行任何测量之前，需要对设备进行校准。
这可以通过将
标准样品（通常由制造商提供）放置在设备上并按下校准按钮来完成。
3. 准备待测样品：将待测样品清洁干净，并确保其表面没有任何污垢
或杂质。
如果需要，可以使用清洁剂或酒精来清洁样品表面。
4. 测量：将待测样品放置在设备上，并按下开始按钮开始测量过程。
该过程可能需要一些时间才能完成，具体时间取决于待测样品的大小
和形状。
5. 结果分析：一旦测量过程完成，设备会自动显示结果。
这些结果通
常包括表面粗糙度、峰谷高度差等指标。
可以使用这些指标来评估样
品表面的平滑程度和质量。
6. 记录数据：最后，需要将测量结果记录下来。
这可以通过手动记录或使用计算机软件完成，具体取决于设备和用户的要求。
总之，使用表面粗糙度仪需要进行校准、准备待测样品、进行测量、分析结果和记录数据等步骤。
只有在正确执行这些步骤的情况下，才能获得准确和可靠的测量结果。
表面粗糙度仪操作规程
设备操作规程
第一版
表面粗糙度仪操作规程
一、SJ-301检出器接线的链接；
1、在装配测针时决不可触碰测针和太用力以免造成机器损坏。
2、在继续将测针往里推，它是两段式的卡寻设计，所以要推到第二段才有效。
3、检出器在退回状态时是无法折装的。
4、确定检出器与驱动部的插孔位置再装上去。
二、打开电源；
1、确认电池开关已打开，连接AC电源到插座；
2、连接AC电源线插头到插座，按下电源开关。
三、测量条件的设定；
1、按 CONDITION键，出现测量条件设定画面；
2、按 STAND键，出现规范设定画面；
3、按下想要的粗度规范，按的粗度规范键会反白；
4、按标题键，规范设定画面结束；
5、按 HOME键，回到主画面。
四、校正；
1、将粗度标准片放置校正水平台上；
2、将驱动检出器单元固定于支撑脚架上；
3、调整支撑脚架高度，使检出器与测量面平行；
4、测针的移动方向与粗度标准片的切割方向平行；
5、测量时检出器须与测定面平行；
6、按 START/STOP 键，会自动开始校正。
பைடு நூலகம்
五、开始测量；
1、在主画面下，按 START/STOP 键，检出器开始移动，测量进行中；
2、测量完成，计算进行中，检出器返回原点，计算完成，测量结果显示。
六、测量结果的打印；
测量结束后按一下 PRINTER 键，将会结果打印出来。
七、测量完成后关闭电源。
编制：
审核：
批准：
粗糙度测量仪使用方法说明书
粗糙度测量仪使用方法说明书一、引言本说明书旨在介绍粗糙度测量仪的使用方法，帮助用户正确操作仪器，得到准确可靠的测量结果。
请在使用前仔细阅读本说明书，并按照指示进行操作。
二、仪器概述粗糙度测量仪是一种用于测量物体表面粗糙度的仪器，可以广泛应用于各种工业领域。
本仪器具有测量范围广、精度高、操作简便等特点，适用于各种不同材料和形状的工件表面。
三、仪器组成1. 主机：包括显示屏、操作面板、控制按钮等部分。
2. 探头：用于接触被测物体表面，测量其粗糙度。
3. 电源适配器：提供仪器所需的电源供应。
四、使用步骤1. 连接电源适配器：将电源适配器插头连接到主机背面的电源插孔，然后将电源适配器插头插入电源插座，注意电源适配器输出电压与实际电源电压匹配。
2. 打开仪器：按下主机上的电源按钮，待仪器开机后，等待系统自检完成。
3. 测量参数设置：操作面板上提供了各种测量参数设置选项，包括测量范围、测量单位、采样长度等。
按照实际需求，通过操作按钮进行参数设置。
4. 选择探头：根据被测物体的表面形状和材料特性，选择适合的探头类型，并将其安装在主机上。
5. 接触测量：将探头轻轻接触被测物体表面，保持平稳，避免晃动或施加过大的力量，确保测量结果准确可靠。
6. 结果显示：仪器会实时显示测量结果，包括粗糙度数值、曲线图以及统计数据等。
根据需要，可以进行数据保存或打印。
7. 关机：测量完成后，按下主机上的电源按钮，将仪器关闭，并拔掉电源适配器。
五、注意事项1. 在测量过程中，保持被测物体表面干净，避免有任何杂质和污染物影响测量结果。
2. 使用过程中避免剧烈震动和撞击，防止影响仪器的测量精度和性能。
3. 在操作仪器前，请确保已经阅读并理解本说明书中的所有内容，并按照指示操作。
4. 仪器不耐受高温、潮湿和腐蚀性气体环境，请在适宜的环境条件下进行使用和存储。
5. 若有任何疑问或异常情况发生，请立即停止使用，并联系售后服务部门寻求帮助。
六、维护保养1. 清洁保养：定期清洁仪器表面和探头，使用干净柔软的布进行擦拭，避免使用有腐蚀性的清洁剂。
粗糙度测试仪操作说明
粗糙度测试仪操作说明
粗糙度测试仪使⽤说明
⼀、操作步骤：
1.打开仪器电源适配器开关，按下仪器启动按钮和计算机主机电源按钮；
2.等待计算机启动好后，打开Vision64软件，此时出现初始化界⾯，同时能听到仪器内部初始化运转声⾳。
待初始化完成后，软件进⼊操作界⾯；
3.在样品托盘上放置样品；
4.点击Open打开相应的测试模块Recipe；
5.在软件界⾯Z轴控制⾯板中进⾏对焦，直到视野中出现⼲涉条纹；
6.根据样品情况选择恰当的放⼤倍率，之后使⽤仪器左侧与前部的样品台倾斜调节旋钮调节视野中条纹数⽬，最终通过Z轴控制⾯板调节保持0级条纹（最亮条纹）处于视野中央；
7.调节光强Intensity，光强应尽可能⼤，但必须保证不使图像最亮区域发红即可，⼀般此处选⽤⾃动光强Auto；
8.根据所测量样品的粗糙程度（纵深）设置适当的扫描速度、回溯扫描⾼度（Backscan）、扫描深度（Length）；
9.点击界⾯左上⾓Measurement按钮开始测试；
10.待测试完成后保存原始数据（Save > Save DataSet）或进⾏截图保存；
⼆、注意事项：
1.对焦时应遵循由下⾄上的对焦原则，即事先将镜头置于离样品较近的⾼度，然后向上移动镜头调焦，防⽌物镜在调焦过程中撞击样品⽽损坏；
2.为保证测量的准确性，对焦以及调节倾斜前请确认⽬前测量模块所采⽤的测量模式（VSI或PSI），可辨识条件下Tilt后应保证对应模式视野中条纹的数⽬：VSI模式0-15条，PSI模式<5条。
制订：张智畅 2013.03.02 审核：。
粗糙度轮廓仪操作规程
粗糙度轮廓仪操作规程一、引言二、安全操作规程1.操作人员必须穿戴个人防护装备，如安全鞋、安全帽和护目镜等。
2.在操作前，必须了解并掌握粗糙度轮廓仪的使用说明和相关安全知识。
3.应确保粗糙度轮廓仪的工作区域干燥，并远离可燃物和易燃物。
4.禁止将手指或其他物体插入到仪器中进行测量，以避免发生伤害事故。
5.在操作过程中，应避免不必要的身体接触，以防止误伤或误操作。
6.当粗糙度轮廓仪出现异常情况时，例如漏电或冒烟，应立即停止使用，并向维修人员报告。
三、操作流程1.准备工作a.将粗糙度轮廓仪放置在平稳的台面上，调整好仪器的位置和倾斜度。
b.接通电源，并确保电压稳定。
c.检查测量探头的状态和清洁度，必要时进行清洁，并确保探头与被测物体接触良好。
2.选择测量参数a.根据实际需求，在仪器的操作面板上选择适当的测量参数，如截距、滤波器和测量范围等。
b.确保所选参数能够覆盖被测物体的整个表面，并与所要求的精度一致。
3.进行测量a.将被测物体放置在测量台上，并通过调整台面的高度，确保测量探头与物体表面保持垂直接触。
b.启动粗糙度轮廓仪，并按下开始测量按钮，仪器将开始自动扫描并测量物体表面的粗糙度。
c.在测量过程中，应稳定操作，防止因过快移动或晃动仪器而造成不准确的测量结果。
d.等待测量完成后，仪器将自动显示测量结果，可将结果记录下来或导出至计算机进行进一步处理。
4.清理和存放a.测量完成后，应关闭粗糙度轮廓仪的电源，并进行清洁。
b.使用柔软的布或纸巾将仪器表面和测量探头擦拭干净，并谨防损坏。
c.将粗糙度轮廓仪放置在干燥通风的地方，避免阳光直射和高温环境。
四、维护保养1.定期检查粗糙度轮廓仪的电源线、数据线和测量探头的连接是否牢固。
2.检查仪器的显示屏、按键和控制面板是否正常运作，如发现问题应及时向维修人员报告。
3.定期清洁仪器的内部和外部部件，使用适当的清洁剂和清洁工具，但不得涂抹在测量探头上。
4.需定期校准仪器以确保测量结果的准确性，应按照仪器说明书或相关标准进行校准。
粗糙度检测仪操作规程
使用过程中不得因磕碰造成仪器损坏，或碰伤仪器高度须调至与标准块同高，以避免造成力不均，损伤探针和标准块。
作业注意事项参考文件参考工具作业步骤仪器效验安全注意事项有效期内使用5.1.5“示值校准。
”粗糙度检测仪和标准块需每年外校。
并在5.1.4、将校准块放于平稳桌面。
（Ra=1.62um）偏差≤10%完成 校准 。
选择“功能选择”项，选择“示值校准”，调整偏差百分比直至测5.1.3、使用标准块进行校准（Ra=1.62um）量值与标准块 安装时不要触碰 测量探针点动键进入系统菜单装于粗糙度仪两端。
每次使用前应对5.1.2、打开主机底部的电源开关。
标准块进行测量1、目 的：为有效管控零件品质，助益产品质量。
2、范 围：适用于公司产品粗糙度检测。
3、责 任 人：质保科主管。
4、作业内容： 5.1 仪器效验：5.1.1、将检测探头、保护架、支架、安作业方法使用过程中不得因磕碰造成仪器损坏，或碰伤将探针拆下放入盒中，不能让探头外露造成损 伤作业方法作业注意事项作业方法说明作业注意事项安全注意事项安全注意事项参考文件参考文件参考工具必备工具5.3.4、使用完标准块后，必须立即放回包装盒。
编制：王野 审核：方燕 批准：姜永瑞作业步骤检测粗糙度作业步骤日常维护立即充电。
切记：勿使用苯等5.3.2、用干抹布擦拭仪器表面。
有机溶剂擦拭仪器5.3.3、对仪器要轻拿轻放，勿使过大的外力。
5.3 日常维护5.3.1、检测完毕后，检查电源标识，若电源不足，将仪器收放整齐，放 入皮箱中。
装拆下放入包装箱内。
注意不要碰到检测探 头。
5.2.4将检测数据填写到检测记录上。
如有不符合的推给车间，予以返工或报废处理。
5.2.5关闭电源，将检测探头、保护架、支架安用螺丝刀拆保护架时5.2.3为使测量数值准确，采集时，选择工件上四个不同位置，测得数值的平均数做为最终结果。
5.2.2、按动开始键 启动测量，传感器显示测量状态并最终显示测量数值。
粗糙度仪使用方法
粗糙度仪使用方法
粗糙度仪是一种用于测量表面粗糙度的仪器，广泛应用于金属、非金属材料、机械制造等领域。
以下是粗糙度仪的使用方法：
1. 准备工作
a. 确保粗糙度仪已充电或连接电源；
b. 检查工件表面，确保其无油污、灰尘或其他杂质；
c. 将工件固定在稳定的支撑上，确保在测量过程中不会移动。
2. 开机与校准
a. 按下粗糙度仪的电源键，开启仪器；
b. 按照仪器说明书的要求，选择合适的测量参数（例如测量方式、滤波方式、评价长度等）；
c. 将探头放在附带的标准表面上进行校准。
按下校准键，等待仪器提示校准成功。
3. 测量
a. 将粗糙度仪的探头轻轻放在工件表面上，确保探头与表面接触良好，并且与测量方向一致；
b. 按下开始键，启动测量。
粗糙度仪会自动测量并记录数据；
c. 若仪器未自动保存数据，需手动按下保存键，将数据保存到仪器内存中。
4. 读取数据
a. 在屏幕上查看测量结果，并了解工件表面的粗糙度；
b. 如有必要，可通过数据输出接口将测量结果导出到电脑进行
进一步分析。
5. 关闭仪器
a. 按下电源键，关闭粗糙度仪；
b. 清洁探头，将粗糙度仪放回仪器箱中妥善保存。
注意事项：
1. 使用粗糙度仪前，请阅读仪器说明书，了解仪器的性能、功能及操作方法；
2. 使用过程中，请遵循仪器说明书中的注意事项和安全规定；
3. 测量前，务必先进行校准，确保测量结果的准确性；
4. 测量时，请避免探头受到冲击或磨损，以免影响测量结果；
5. 使用完毕后，请及时关闭仪器，清洁并妥善保存。
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SuperView W1光学3D表面轮廓仪粗糙度分析操作步骤
SuperView W1光学3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。
它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。
SuperView W1光学3D表面轮廓仪粗糙度分析操作步骤：
1.将样品放置在夹具上，确保样品状态稳定；
2.将夹具放置在载物台上；
3.检查电机连接和环境噪声，确认仪器状态；
4.使用操纵杆调节三轴位置，将样品移到镜头下方并找到样品表面干涉条纹；
5.完成扫描设置和命名等操作；
6.点击开始测量（进入3D视图窗口旋转调整观察一会）；
7.进入数据处理界面，点击“去除外形”，采用默认参数，点击应用获取样品表面粗糙度轮廓；
8.进入分析工具模块，点击参数分析，直接获取面粗糙度数据，点击右侧参数标准可更换参数标准，增删参数类型；
9.如果想获取线粗糙度数据，则需提取剖面线；
10.进入数据处理界面，点击“提取剖面”图标，选择合适方向剖面线进行剖面轮廓提取；
11.进入分析工具界面，点击“参数分析”图标，点击右侧参数标准，勾选所需线粗糙度相关参数，即可获取线粗糙度Ra数据。