纯水在电子工业当中的重要作用
工业纯水标准

工业纯水标准
工业纯水(industrial-purified water)是指经过一系列工艺处理后,去除了水中的杂质和有害物质,具有一定纯净度和稳定性的水。
工业纯水广泛应用于制药、化工、电子、食品等多个工业领域,对于保证产品质量和生产过程的稳定性非常重要。
工业纯水的标准可以根据不同行业和具体用途而有所差异,一般包括以下几个方面的指标:
1. 导电性:工业纯水的电导率应达到一定的低值,一般要求在5-20μS/cm之间。
2. 总溶解固体(TDS):工业纯水的总溶解固体含量要尽可能低,一般要求小于100 mg/L。
3. 单位体积比容:工业纯水的比容应较小,一般要求小于1.1 mL/g。
4. PH值:工业纯水的pH值应接近中性(7),一般要求在6-
8之间。
5. 细菌总数:工业纯水的细菌总数应控制在一定范围内,一般要求小于100 cfu/mL。
此外,工业纯水在具体应用中还可能需要满足其他特定的要求,如病原微生物的清除、重金属和有机物的去除等。
需要注意的是,不同国家和地区对于工业纯水标准的要求可能会略有差异,企业在选择和使用工业纯水时,应参考相应的规定和标准。
半导体行业用水标准

半导体行业用水标准集团标准化工作小组 #Q8QGGQT-GX8G08Q8-GNQGJ8-MHHGN#电子行业水质标准1.电子工业与超纯水在半导体制作工艺中,80%以上的工序要经过化学处理,而每一道化学处理都离不开超纯水;在硅片的处理工序中,一半以上的工序经过超纯水清洗后便直接进入高温处理过程,此时如水中含有杂质便会进入硅片,造成器件性能下降成品率低。
电子工业提出的超纯水电阻率≥18MΩ.cm (25℃),已极其接近理论纯水水质 M Ω.cm(25℃)。
对电解质、DO、TOC、SIO2、颗粒及细菌等技术指标提出更高要求。
如256 兆位的动态随机储存器生产工艺,光刻线条宽已达微米,要保证这一指标,超纯水中颗粒径就得≤μm,而且≥μm 不得超过500 个/升超纯水。
2、水质标准超纯水水质标准大多数由中科院半导体所主要制定。
电子级水国家标准:详见表3、超纯水中杂质的污染源制备超纯水的水源由于水是一种溶解能力很强的溶剂,因此天然水中含有各种盐类和化合物,溶有CO2, 还有胶体(包括硅胶和腐殖质胶体),天然水中还存在大量的非溶解性质,包括粘土、砂石、细菌、微生物、藻类、浮游生物、热源等等。
材料的影响:制备超纯水的材料设备的材质都是用金属和塑料制成的,金属在水中会有痕量溶解,造成金属离子污染。
一些高分子材料在合成时常常加入各种添加剂、增塑剂紫外吸光剂着色剂,引入大量的金属、非金属杂质、同时还会带来有机污染。
材质的污染主要以污染值来衡量,所谓污染值是指,单位面积的材料使单位体积的纯水电阻率的增加值。
表分别列出了各种材料的污染值和TOC 的溶出值。
表各种材料的污染值(TOC 的溶出值)4水的电阻值在测定水的导电性能时,与水的电阻值大小有关,电阻值大,导电性能差,电阻值小,导电性能就良好。
根据欧姆定律,在水温一定的情况下,水的电阻值R大小与电极的垂直截面积F成反比,与电极之间的距离L成正比。
水的电阻率的大小,与水中含盐量的多少,水中离子浓度、离子的电荷数以及离子的运动速度有关。
各行业用纯水级超纯水方案介绍

解决方案 -- 详细内容冶金纯水设备冶金纯水设备● 一、应用范围概述:钨酸氨,金属钨粉,钨棒等钨冶金行业:钼酸氨、金属钼钒等贵金属冶金●二、典型工艺流程预处理系统-反渗透系统-中间水箱-粗混合床-精混合床-纯水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-抛光混床-精密过滤器-用水对象(≥18MΩ.CM)(传统工艺) 预处理-反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-抛光混床-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象(≥18MΩ.CM)(最新工艺) 预处理-一级反渗透-加药机(PH调节)-中间水箱-第二级反渗透(正电荷反渗膜)-纯水箱-纯水泵-EDI装置-紫外线杀菌器-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象(≥17MΩ.CM)(最新工艺)预处理-反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象(≥15MΩ.CM)(最新工艺)预处理系统-反渗透系统-中间水箱-纯水泵-粗混合床-精混合床-紫外线杀菌器-精密过滤器-用水对象(≥15MΩ.CM)(传统工艺)●三、标准参考显像管、液晶显示器用纯水水质(经验数据)集成电路用纯水水质国家电子级纯水标准●四、设备特点为满足用户需要,达到符合标准的水质,尽可能地减少各级的污染,延长设备的使用寿命、降低操作人员的维护工作量.在工艺设计上,取达国家自来水标准的水为源水,设有介质过滤器,活性碳过滤器,钠离子软化器、精密过滤器等预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床(EDI电除盐系统)系统等。
系统中水箱均设有液位控制系统、水泵均设有压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器,真正做到了无人职守,同时在工艺选材上采用推荐和客户要求相统一的方法,使设备与其它同类产品相比较,具有更高的性价比和设备可靠性.医用纯化水设备医用纯化水设备● GMP 对工艺用水的要求药品生产企业的工艺用水主要是指制剂生产中洗瓶、配料等工序以及原料药生产的精制、洗涤等工序所用的水。
纯水系统流程与工作原理

纯水系统流程与工作原理纯水系统是一种用于提供高纯度水的设备,主要用于实验室、医疗、电子、制药和化工等行业。
它的主要工作原理是通过一系列的物理和化学处理过程,去除水中的杂质和离子,从而得到纯净的水。
下面将详细介绍纯水系统的流程和工作原理。
纯水系统的流程可以分为预处理、反渗透和混床的三个主要步骤。
首先是预处理步骤,其目的是去除水中的大颗粒悬浮物、有机物和细菌等,以减少对后续处理步骤的影响。
预处理通常包括以下几个环节:1.混合沉淀:将加入的混凝剂与水中的悬浮物和有机物结合成沉淀物,通过沉降或过滤的方式去除;2.活性炭吸附:利用活性炭的吸附作用去除水中的有机物和异味物质;3.精密过滤:通过精密滤芯过滤,去除水中的微小颗粒、细菌和病毒等。
经过预处理后的水进入反渗透(RO)步骤。
反渗透是纯水系统中的核心步骤,其主要原理是利用半透膜的特性,使水分子通过而去除溶解在水中的溶质和离子。
反渗透通常包括以下几个关键环节:1.进料泵:将经预处理的水送入反渗透膜模块;2.管道压力调节:通过调节进料水的压力,保证反渗透膜的正常工作;3.RO膜:将进料水分离出纯净水和浓水两部分,其中纯净水经过RO膜通过,而浓水中的溶质和离子则被留在膜的一侧。
最后是混床步骤,通过混合阳离子交换树脂和阴离子交换树脂,去除水中剩余的离子,使水的电导率进一步降低,得到高纯度水。
混床主要包括以下环节:1.阳离子交换器:吸附水中的阴离子,释放阳离子;2.阴离子交换器:吸附水中的阳离子,释放阴离子;3.混床:将阳离子交换树脂和阴离子交换树脂混合在一起,使阳离子和阴离子交换。
经过上述处理步骤后,最终获得的水质符合纯水的要求。
为了保证纯水的质量持续稳定,纯水系统通常还会配备水质监测和控制设备,以及消毒装置,用于定期检测和消除水中的细菌和微生物。
总体来说,纯水系统的工作原理是通过预处理、反渗透和混床等步骤,逐步去除水中的杂质和离子,得到纯净的水。
这些步骤的结合和运行,可以确保水质的稳定和可靠性。
纯水、超纯水、中水回用工程业绩

【纯水、超纯水、中水回用工程业绩】一、引言在当今社会,水资源的保护和合理利用已经成为全球性的关注点。
随着工业和城市化的发展,水资源的净化和再利用变得更加迫切。
纯水、超纯水和中水回用工程业绩作为一种重要的水资源利用方式,已经在工业生产和日常生活中发挥着越来越重要的作用。
本文将从深度和广度的角度探讨这一主题,并进一步评估其在不同领域中的应用和潜在发展。
二、纯水的意义和应用1. 纯水的定义纯水是指经过多重净化处理,去除了杂质和离子的水,通常具有极低的电导率和极高的纯净度。
纯水的生产工艺通常采用反渗透、离子交换等技术,目的是得到纯度高、化学稳定的水。
2. 纯水在工业生产中的应用纯水在电子、光伏、医药等高科技产业中具有广泛的应用。
在电子行业,纯水作为清洗电路板、半导体生产工艺的重要原料;在医药行业,纯水用于制药生产和实验室分析。
3. 纯水技术在环境保护中的作用纯水技术在环境保护领域也发挥着重要的作用。
纯水可以用于废水处理、工业废水回用等环保工程,有助于提高水资源的再利用率和减少对自然水体的污染。
三、超纯水的特点和发展1. 超纯水的生产工艺超纯水是在纯水基础上进一步提纯而成,通常采用深度过滤、电去离子、紫外辐照等技术。
超纯水的电导率极低,微生物和有机物含量接近于零。
2. 超纯水在半导体和光伏行业的应用超纯水是半导体和光伏产业的关键原料之一,用于清洗芯片、太阳能电池片等高精密电子元件。
超纯水的纯度和稳定性对产品的质量和性能有着直接影响。
3. 超纯水技术在洁净室环境中的作用超纯水技术也在洁净室环境中发挥着关键作用。
洁净室是半导体、医药等领域对空气质量要求极高的场所,供水系统的纯净度对保证洁净室内空气质量至关重要。
四、中水回用工程的意义和前景1. 中水回用工程的定义和范围中水回用工程是指将生活污水、工业废水等通过处理,达到再次利用标准的工程技术。
中水回用工程涉及的范围广泛,包括城市污水处理厂、工业园区、生态农业等领域。
超纯水溶解氮-概述说明以及解释

超纯水溶解氮-概述说明以及解释1.引言1.1 概述概述在当今科学研究领域中,超纯水溶解氮是一个备受关注的话题。
超纯水是指经过多道净化工艺处理后,几乎不含任何杂质的水。
相比之下,普通自来水或其他含有杂质的水源可能会对溶解氮的过程和结果产生影响。
因此,研究超纯水在溶解氮过程中的特性和机制具有重要意义。
本文旨在探讨超纯水溶解氮的过程和机制,并进一步讨论该技术在不同领域的应用前景以及其对环境和健康的影响。
通过本文的阐述,读者将能够深入了解超纯水溶解氮的重要性和潜在的影响。
在接下来的章节中,我们将首先定义和介绍超纯水的特性。
这将使读者对超纯水的纯度和净化过程有一个清晰的理解。
随后,我们将探讨溶解氮的过程和机制。
这部分将解释溶解氮的原理以及超纯水在该过程中的作用。
在结论部分,我们将进一步探讨超纯水溶解氮的应用前景,包括工业、医药领域以及环境保护等方面。
我们还将讨论超纯水溶解氮可能对环境和健康产生的一些影响,以及可能的解决方法。
通过本文的撰写和研究,我们希望能够提高对超纯水溶解氮重要性的认识,促进相关领域的进一步研究和应用。
最终,我们期望该技术能够为社会发展和环境保护做出积极的贡献。
1.2文章结构文章结构部分的内容可以根据整篇文章的结构来进行描述。
在本文中,文章的结构可以根据目录划分为引言、正文和结论三个部分。
引言部分将首先概述本文的研究主题,即超纯水溶解氮。
接下来,介绍文章的结构,说明本文将包含哪些内容,以帮助读者理解整个文章的脉络。
最后,明确本文的目的,即在深入探究超纯水溶解氮过程和机制的基础上,探讨其应用前景以及对环境和健康的影响。
正文部分将包含两个小节。
首先,在2.1节中,将详细定义超纯水的概念和特性,讨论超纯水的制备方法以及其在实验室和工业领域中的应用案例。
其次,在2.2节中,将深入探讨溶解氮的过程和机制,包括氮的溶解度和溶解速率的影响因素,以及溶解氮的化学反应和物理过程。
结论部分将总结本文的主要内容和研究结果,并提出超纯水溶解氮的应用前景,如在电子工业、制药工业等领域的重要性和潜在应用。
半导体行业用水标准
电子行业水质标准1. 电子工业与超纯水在半导体制作工艺中,80% 以上的工序要经过化学处理,而每一道化学处理都离不开超纯水;在硅片的处理工序中,一半以上的工序经过超纯水清洗后便直接进入高温处理过程,此时如水中含有杂质便会进入硅片,造成器件性能下降成品率低。
电子工业提出的超纯水电阻率》18M Q.cm (25 C ),已极其接近理论纯水水质18.3 M Q.cm(25 C)。
对电解质、DO、TOC、SI02、颗粒及细菌等技术指标提出更高要求。
如256 兆位的动态随机储存器生产工艺,光刻线条宽已达0.1 微米,要保证这一指标,超纯水中颗粒径就得W 0.05阿,而且>0.05 urn不得超过500 个/升超纯水。
2、水质标准超纯水水质标准大多数由中科院半导体所主要制定。
2.1 电子级水国家标准:详见表2.13、超纯水中杂质的污染源3.1制备超纯水的水源由于水是一种溶解能力很强的溶剂,因此天然水中含有各种盐类和化合物,溶有C02,还有胶体(包括硅胶和腐殖质胶体),天然水中还存在大量的非溶解性质,包括粘土、砂石、细菌、微生物、藻类、浮游生物、热源等等。
3.2材料的影响:制备超纯水的材料设备的材质都是用金属和塑料制成的,金属在水中会有痕量溶解,造成金属离子污染。
一些高分子材料在合成时常常加入各种添加剂、增塑剂紫外吸光剂着色剂,引入大量的金属、非金属杂质、同时还会带来有机污染。
材质的污染主要以污染值来衡量,所谓污染值是指,单位面积的材料使单位体积的纯水电阻率的增加值。
表3.2分别列出了各种材料的污染值和TOC的溶出值。
表3.2各种材料的污染值(TOC的溶出值)4水的电阻值在测定水的导电性能时,与水的电阻值大小有关,电阻值大,导电性能差,电阻值小,导电性能就良好。
根据欧姆定律,在水温一定的情况下,水的电阻值R大小与电极的垂直截面积F成反比,与电极之间的距离L成正比。
水的电阻率的大小,与水中含盐量的多少,水中离子浓度、离子的电荷数以及离子的运动速度有关。
EDI高纯水
EDI项目组 EDI项目组
主要内容
• 高纯水的工业应用 • EDI原理 原理 • 多元EDI膜堆性能介绍 膜堆性能介绍 多元 • EDI系统运行 系统运行
高纯水的概念
• 高纯水是指化学纯度极高的水 • 电子工业:电阻率为18MΩ*cm(25度)M, 各种电解质含量为1mg/L,粒径小于 0.5µm的微粒1个/ml,细菌总数1个/ml
• 系统在正常使用情况下不需要强制再生
影响膜堆性能的5 影响膜堆性能的5个参数
• • • • • 进水水质 电流 压力 流量 压差
影响膜堆性能的5 影响膜堆性能的5个参数
• 进水水质
– CO2会造成进水水质差 – 对硬度的去除效率较低,硬度超过1.0PPM 会导致结垢 – 超出允许的最大回收率会造成结垢,并可能 导致产水水质下降 – 对硅的去除效率较低
影响膜堆性能的5 影响膜堆性能的5个参数
• 电流
– 长期高电流运行会缩短膜堆寿命 – 略低的运行电流会提高产水水质、降低浓室 结垢的可能性、并会延长膜堆寿命
环境条件
• 阳光照射
– – – – 推荐安装在无阳光直接照射处 避免吸收过多的热量 避免紫外线照射引起聚合物管道和设备老化 强烈推荐室内安装
系统启动
• 成品膜堆在发货之前已经完成再生 • 新装的系统在开始运行时,可能需要一 个短暂的再生过程 • 再生时间一般在3~5小时
系统运行
• 五个确保
– – – – – 确保运行电流在规定范围内 确保进水水质满足要求 确保进水压力在规定高限之内 确保进水流量尤其是极水流量不低于要求 确保淡水、浓水、极水进) 运行电流 再生电流 运行电压 正常回收率 工作压力 工作温度 电阻率 M Ω .cm 流 量 产 品 水 压 差 PH 升 高 温度升高 流 量 极 水 PH 值 流 量 浓 水 PH 值 0.5t/h 1.5 A 2.5 A 1t/h 3 A 4 A 0-500VDC 与进水水质和浓水运行方式相关 85-90% 3~5bar 5-35℃ ≥ 15 0.3-0.6m 3 /h 0.6-1.1m 3 /h 1.5-3 bar 1.5-3 bar 0.5 0.5 < 0.5℃ < 0.5℃ 50-100L/h 5.0-9.0 0.1-0.2 m 3 /h 0.2-0.4 m 3 /h 5.0-9.0
电子学和半导体工业用超纯水标准指南
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超纯水在电子学和半导体工业中扮演着重要的角色,因为它被广泛应用于半导体芯片制造、电子器件生产和电子元件组装等工艺过程中。
纯化水用途
纯化水用途
纯化水是指去除水中杂质和离子,使水质达到纯净度的一种水处理方式。
纯化水的用途非常广泛,下面列举几个主要用途:
1.实验室研究:在实验室中,纯水是各种实验的基础。
无论是化学实验、生物实验还是医学实验,纯化水都是必不可少的。
2.电子行业:电子行业中需要使用高纯度的水,以清洗、制造电路板和芯片。
因为即使微小的杂质和离子,也可能会导致电子元件的损坏。
3.制药工业:制药工业中需要使用纯化水制造药品,因为药品中的杂质可能影响其药效,甚至对人体产生危害。
4.饮用水:在许多地方,纯化水被用来作为饮用水。
因为纯化水中没有杂质和离子,可以消除水中有害物质,保障人们的健康。
总之,纯化水不仅可以应用于各种实验和工业制造中,也可以用于饮用水。
纯化水可以提高人们的生活质量,为各种领域的进步和发展提供帮助。
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高纯水在电子工业当中的重要作用
高纯水,是指将水中的导电介质几乎全部去除,又将水中不离解的胶体物质、气体和有机物均去除至很低程度的水。
高纯水的含盐量在0. 3mg/L以下,电导率小于0. 2μs/cm。
高纯水的电阻率为18.2 MΩ.cm。
电导率的计算公式如下:X 是电导率,F 是法拉第常数,Ci 是某种离子浓度,Zi 是离子的电荷数,Ui指离子迁移率X = FΣCiZiUi 理论上,完全不含离子的超纯水在25oC 时电导率为0.055μS/cm.电阻率是电导率的倒数.那么R=1/X ,1/0.055=18.1818 约为18.2 MΩ.cm 。
我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业等级。
高纯水的国家标准为:GB1146.1-89至GB1146.11-89 ,高纯水的电子级水分为五个级别:Ⅰ级、Ⅱ级、Ⅲ级、Ⅳ级和Ⅴ级,该标准是参照ASTM电子级标准而制定的。
电阻分别对应为:18M Ω.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以区分不同水质。
高纯水的水质标准中所规定的各项指标的主要依据有:1.微电子工艺对水质的要求;2.制水工艺的水平;3.检测技术的现状。
高纯水在电子元器件生产中的重要作用日益突出,纯水水质已经成为影响电子元器件产品质量、生产成品率以及生产成本的重要因素之一,水质要求也是越来越高。
在电子元器件的生产过程当中,高纯水主要用作清洗用水以及用来配制各种溶液、浆料,
不同的电子元器件在生产过程中纯水的用途及对水质的要求也略有不同。
下面为大家逐一举例说明:
在显像管和阴极射线管的生产当中,其荧光屏内壁用喷涂法或沉淀法附着一层荧光物质,是锌或其他金属的硫化物组成的荧光粉颗粒并用硅酸钾粘合而成的,其配制需要用到纯水,如纯水水质当中含铜在8ppb以上,就会引起发光变色的现象。
含铁在50ppb以上就会使发光变色、变暗、闪光跳跃。
包含有机物胶体、微粒、细菌等,就会降低荧光层强度及其与玻壳的粘附力,并且会造成气泡、条迹、漏光点等次品产生。
在黑白显像管荧光屏生产的12个工序中,玻壳清洗、沉淀、湿润、洗膜、管颈清洗等5个工序需使用到纯水水质,每生产一个显像管需用纯水80kg。
液晶显示器的屏面需用纯水清洗和用纯水配液,如纯水水质当中存在着金属离子、微生物、微粒等杂质,就会使液晶显示电路发生故障,将会直接影响到液晶屏质量,导致废、次品。
在电解电容器的生产过程当中,铝箔及工作件的清洗需使用纯水,如水质当中含有氯离子,电容器就会有漏电现象发生。
在电子管的整个生产过程当中,电子管阴极涂敷碳酸盐,如果其中混入杂质,就会影响到电子的发射,进而影响电子管的放大性能以及寿命,因此其配液要使用纯水水质效果最佳。