微纳加工平台-分析测试中心
北京理工大学代表性实验平台介绍
处京理工犬學建校八十周年| 1940-2020B E I J I N O I N S T n U T f O F T EC H N O I I京理工大学代表性实验平台介绍_茳训楼教学实验平台学校实训楼教学实验平台以建设_流工科实验教学平台为目标，2018年末完成一期建设，2020年秋季计划完成二期搬迁建设。
目前，实训楼教学实验平台已成为学校良乡校区的“新名片”，全楼共计146间房屋，使用面积2.04万m2,1至6层为已建成的工科基础实验教学中心，包括工程训练、电工电子、地面机动装备、基础力学实验教学中心；7层为集中共享办公区；8至10层为工科专业实验教学中心，是极具学校专业特色和军工特色的实验教学平台，包括航空航天、武器系统、光电、信息对抗和自动化。
实训楼一期、二期实验室建设共投入近1亿元经费，充分体现学科实验教学的专业特色，在满足本校学生实践训练和创新创业的需求、为“双一流”建设提供有力支撑的基础上，还向周边学校 和社会提供教育资源服务，形成有效辐射带动，带动区域教育水平提升。
分析测试中心北京理工大学分析测试中心是学校最早建立的校级公共实验平台，成立于2011年6月，2016年10月正式投入运行，共有办公和实验面积约2120m2,专职管理和技术人员15人，拥有单/双球差校正透射电镜、双束扫描电镜、场发射扫描/透射电镜、激光共聚焦显微镜、原子力显微镜等70余台套大型仪器设备，资产总值约1.5亿元。
中心主要可为化合物结构鉴定、化合物定性定量分析、微区表面分析、化合物或材料理化性质分析及材料制备、微纳加工六大业务领域提供技术支持，服务全校14个专业学院/研究院的9个一级学科，年均为40余个研究团队的教师和研究人员提供科研技术服务，同时面向社会全面开放。
胃实验中心-微波暗室作为学校信息通信实验中心这一学科专业公共实验平 台的重要组成，微波暗室是学校公共实验平台的建设与管 理工作中的代表工程，已成为服务多项国家项目的重要科 研基础设施。
微纳加工技术
微纳加工技术一、概述近年来，微纳加工技术作为一种新兴的制造技术，已经成为了科技发展的热点和焦点。
随着科技的不断进步和应用的不断深化，微纳加工技术的应用范围越来越广泛，其中包括了许多重要的领域，如电子、光学、生物、化学等等。
本文将就微纳加工技术的基本原理、应用领域以及发展前景进行详细介绍，并提出了一些未来的发展方向和挑战，以期为相关研究提供参考和借鉴。
二、微纳加工技术的基本原理微纳加工技术是一种在微米和纳米尺度范围内进行制造的技术，其基本原理是利用物理、化学和生物学等科学原理，通过对材料的加工、制备、控制、测量等步骤进行精确的控制和优化，来制造出具有特定功能和性能的微纳器件或系统。
微纳加工技术主要包括了微纳加工、微纳制造和微纳组装三个方面。
其中，微纳加工是指通过相应的加工工艺，使得原材料逐渐变成具有特定形状和尺寸的微小零部件或器件。
微纳制造是指在微纳加工的基础上，对微小的部件进行加工、组装、包装等操作，最终形成具备特定功能和性能的微纳系统。
微纳组装是指将微小的零部件或器件组装成更加复杂、功能更加完备的微纳系统。
三、微纳加工技术的应用领域微纳加工技术具有广泛的应用领域，下面就对一些重要的应用领域进行简单介绍：1. 电子领域微纳加工技术在电子设备的制造、封装和测试等方面都有着很重要的作用。
例如，在芯片制造中，采用微纳加工技术可以提高芯片的制造精度和集成度，降低功耗和故障率，同时还可以增加芯片的功能和性能。
在电子封装中，通过微纳加工技术可以实现高密度的封装和高精度的引脚排布，从而提升了封装的可靠性和性能。
在电子测试中，微纳加工技术也可以用于制造测试芯片和测试工具，提高测试的精度和效率。
2. 光学领域微纳加工技术在光学器件的制造和应用中也有着广泛的应用。
例如，在衍射光栅的制造中，采用微纳加工技术可以制造出大面积的高精度衍射光栅，从而实现高分辨率和高光谱分辨率的光学传感器。
在光波导的制造中，利用微纳加工技术可以制造出高密度、高精度和多层次的光波导，从而实现复杂的光学功能和系统集成。
微纳制造导论-检测技术
检测技术
一. 检测技术概述 二. 检测内容、原理及设备
一. 检测技术概述
定义：在工艺流程中为确定样品的物理和电学特性的技术和过程。 作用：使用测试设备和传感器来收集并分析关于样品参数和缺陷的
数据。工艺人员应用测试所得结果确保产品性能，并做出相应的工艺改善， 从而提高成品率。
意义：对样品性能的检测贯穿于整个制造工艺，以确保产品满足规
3D形貌图像及台阶测量
微分干涉表面分析
二. 检测内容、原理及设备
红外检测仪
1、傅立叶变换红外（FTIR）显微镜是进行此类微观分析的有力 工具，它不仅能探测小至微米量级的细微结构，还能鉴别各种有机 和无机成分。
2、红外热像仪可将物体发出的不可见红外能量转变为可见的热图 像，从而观察不透明样品中器件结构等。
台阶深度测量
粗糙度测量
二. 检测内容、原理及设备
激光共聚焦原理
2015/12/13
采用激光束作光源，激光束经照明针孔， 经由分光镜反射至物镜，并聚焦于样品上， 对标本焦平面上每一点进行扫描。 组织样品 中如果有可被激发的荧光物质，受到激发后 发出的荧光经原来入射光路直接反向回到分 光镜，通过探测针孔时先聚焦，聚焦后的光 被光电倍增管（PMT）探测收集，并将信号 输送到计算机，处理后在计算机显示器上显 示图像 。在这个光路中，只有在焦平面的光 才能穿过探测针孔，焦平面以外区域射来的 光线在探测小孔平面是离焦的，不能通过小 孔。因此，非观察点的背景呈黑色，反差增 加，成像清晰。由于照明针孔与探测针孔相 对于物镜焦平面是共轭的，焦平面上的点同 时聚焦于照明针孔与探测针孔，焦平面以外 的点不会在探测针孔处成像，即共聚焦。
范要求。因此，在MEMS制造过程中，检测质量非常重要，合理的检测方 案与严格的数据分析是产品制造的关键。
14218027_MEMS中试平台：破解中小企业创新难题
纳米技术已经逐渐融入到我们的日常生活中了？没错，你知道吗，女生平时使用的防晒霜，开车族经常关注的汽车轮胎，时尚潮流的虚拟现实，这些都是纳米技术的功劳。
事实上，我们所认识的纳米产业，大多只是局限于纳米材料，其实，纳米产业涉及的范围十分广阔，还包括微纳制造、智慧健康、智能制造等等各方面。
产业发展的支撑服务平台纳米产业作为苏州工业园区长期战略产业，微纳制造作为纳米产业的重要领域之一，一直是园区重点发展领域。
但是，由于微纳制造设备投入巨大，运行维护花费大，中小型MEMS公司往往很难承受。
而MEMS领域的代工厂和大封装厂门槛较高，加上我国MEMS产业的创新链不完善，缺乏工业级中试线的支撑，科研团队在研发做出样品后又无法直接进入代工厂，中小MEMS企业难以实现渐进式的规模化成长。
为了解决中小MEMS企业创新面临的产品工程化研发中试困境，支撑中小MEMS企业和产业的创新发展，按照苏州工业园区管委会战略部署，苏州纳米科技发展有限公司于2014年9月建成6英寸微纳机电制造（MEMS）中试平台，并专门成立了苏州纳米产业技术研究院有限公司微纳制造分公司，负责平台运营。
江苏省（苏州）纳米产业技术研究院副院长，也是苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司微纳制造分公司的研发总监王敏锐博士参与了平台的早期筹备工作。
他告诉记者，早在2012年，平台就开始策划筹备了，2014年通线成功。
该平台是我国首个按照市场化、全开放模式运营的MEMS中试平台，与科研机构的概念验证、样品研发试验不同，平台主要开展工程化中试和中小批量生产服务，前端与产品样品研发衔接，后端与规模化工程衔接，是一个完全工业级别的中试线。
平台的建成填补了我国MEMS产业研发机构与规模化工厂之间的空白，构建了我国MEMS产业领域“研发—中试—规模生产”的完整产品创新技术支撑体系。
如今，平台跟众多企业和科研院合作，共同研发成功多种重要的MEMS产品技术平台和特种设备。
目前已成功导入应用于移动通讯、消费电子、汽车电子、医疗器材、国防军工等诸多领域的硅麦克风芯片、压力传感芯片、红外温度传感芯片、微扫描镜芯片等产品，极大的支撑推动了相关MEMS企业的产品创新和发展。
武汉光电国家实验室(筹)光电测试与加工中心测试化验加工收费标准
说明：
运行费：设备运行所需水、电、气及日常维护维修费用，水电气费用根据往年实际使用数据及设备维护合同等依据测算。
工艺用气体及设备运行日常维护、 实计算。
消 耗：设备耗材、零备件、超净环境保持费。
根据往年数据测算。
人员费：设备运行管理人员工资、津贴、奖励。
对于学校固定编制人员，其人员费为超额工作的津贴和奖励。
折旧费：采用平均年限法计提折旧，但未考虑房屋及构筑物折旧。
设备折旧年限为8年。
管理费：学校、光电国家实验室、平台分别按总收入的百分比提取管理费。
数字PCR 仪校准方法研究
方法对数字 ＰＣＲ 仪进行校准ꎮ 据了解ꎬ国内计量
机构有选取温度示值误差、温度均一性、升降温速
率、拷贝数示值误差、拷贝数重复性、微滴荧光强
度重复性和微滴个数重复性作为性能指标进行校
准评定ꎮ Ｂｉｏ￣Ｒａｄ 在 对 微 滴 式 数 字 ＰＣＲ 仪 开 展
ＭＥＤＳＹＳ 公司的 ＣｌａｒｉｔｙＴＭ 数字 ＰＣＲ 系统ꎮ ③基
水的特点ꎬ实现高通量的独立微反应 [６￣９] ꎮ 基于
微 孔 的 商 业 化 数 字 ＰＣＲ 系 统 有 美 国 Ｌｉｆｅ￣
ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ 公 司 的 ＱｕａｎｔＳｔｕｄｉｏ ３Ｄ、 新 加 坡 ＪＮ
提升国产品牌数字 ＰＣＲ 仪的研发质量ꎬ保证实验
性ꎬ已成为亟待解决的难题ꎮ
目前ꎬ国内外计量机构按照机构内部确认的
５８７
系为:ｄｄＰＣＲ ｓｕｐｅｒｍｉｘ ｆｏｒ ｐｒｏｂｅｓ １０ μＬꎬ１０ μｍｏｌＬ－１
１.３.４ 荧光通道一致性 分别用 ＦＡＭ 通道测定
μｍｏｌＬ
贝数浓度ꎬ得 到 比 值 的 平 均 值 来 表 征 荧 光 通 道
的 ＦＡＭ 标记的探针对应的前后引物各 ０.５ μＬꎬ１０
－１
ＨＥＸ 标记的探针对应的前后引物各 １.８
采集终点荧光信号ꎬ基于泊松分布对核酸起始浓
度进行绝对定量的仪器 ꎮ
１９９９ 年ꎬＶｏｇｅｌｓｔｅｉｎ 等 [２] 首 次 正 式 提 出 了 数
字 ＰＣＲ 的概念ꎬ以 ９６ 孔板和 ３８４ 孔板作为反应
[１]
收稿日期:２０２０￣０８￣３０ꎻ 接受日期:２０２０￣１０￣２３
基金项目:南京市质量技术监督局科技项目( ｋｊ２０１７０１７) ꎮ
. ＱＸ２００、ＱＸ
All Rights
微纳加工与表征开放服务平台建设若干问题的思考
微纳加工与表征开放服务平台建设若干问题的思考微纳加工与表征开放服务平台是指提供微纳加工技术与表征分析技术的开放服务平台，以满足科研机构、企业和个人对微纳技术的需求，促进微纳技术的快速发展与应用。
在当前技术飞速发展的背景下，微纳加工与表征开放服务平台建设面临着诸多问题与挑战。
本文将结合实际情况，对微纳加工与表征开放服务平台建设所面临的若干问题进行深入思考。
1. 技术研发与设备更新迭代问题微纳加工和表征分析技术是处于不断更新迭代的发展阶段，新的技术和设备不断涌现，对于开放服务平台来说，需要不断跟进和更新设备，进行技术研发和更新，因而面临投入大，风险高和压力大的问题。
在这个问题上，可以考虑采用与国内外联合研发、共享设备的形式，争取政府资金支持，提高自身的研发能力，掌握核心技术，实现设备的更新迭代。
2. 服务平台的标准与规范问题微纳加工与表征开放服务平台建设面对的问题之一是缺乏统一的标准与规范，这会影响到服务平台在技术开发、设备更新和服务质量上的提升。
为了解决这一问题，可以借鉴国际上先进的标准和规范，积极主动参与国际标准的制定，制定行业标准与规范，推动我国微纳加工与表征技术的统一标准与规范。
3. 人才队伍培养与引进问题微纳加工与表征开放服务平台建设需要大量高素质的技术人才，然而我国目前在微纳技术领域的高端人才供给仍然不足，人才缺乏的问题限制了服务平台的发展。
为了解决这一问题，可以加大科研投入，多渠道引进优秀人才，建立产学研合作机制，加强人才培养，积极推动人才引进政策的改革。
微纳加工与表征开放服务平台建设需要有稳定的市场需求，然而市场开拓是一项复杂的工作，需要平台具备市场营销能力和资源整合能力。
针对这一问题，可针对性地开展市场调研，积极寻找合作伙伴，拓展市场渠道，建立起完善的营销体系，提升服务平台的市场竞争力，实现良好的经济效益。
微纳加工与表征开放服务平台建设需要有严格的管理机制和高效的运营体系，而目前我国在这方面还存在着许多不足之处，比如管理体系不完善、运营成本高等问题。
微纳加工与表征开放服务平台建设若干问题的思考
微纳加工与表征开放服务平台建设若干问题的思考【摘要】本文围绕着微纳加工与表征开放服务平台的建设展开讨论。
首先介绍了微纳加工技术在社会发展中的重要性，然后阐述了该平台的定义与特点。
接着分析了目前面临的挑战，并提出了解决问题的建议。
最后探讨了如何提高平台效益及其重要性，并展望了未来发展方向。
文章力求深入剖析问题，并提出解决方案，旨在促进微纳加工与表征开放服务平台的健康发展，为相关领域的科研和产业发展提供有益参考。
【关键词】微纳加工技术、微纳加工与表征开放服务平台、挑战、解决问题、效益、建设重要性、发展方向、总结1. 引言1.1 引言在当今社会，微纳加工技术已经广泛应用于微电子、生物医药、纳米材料等领域，成为推动科技创新和产业发展的重要力量。
而微纳加工与表征开放服务平台的建设，则是为了更好地整合资源、提高效率、促进技术创新，推动相关领域的发展。
本文将探讨微纳加工与表征开放服务平台在当今社会的重要性，其定义与特点，面临的挑战，以及如何解决建设中的问题和提高其效益。
也会对建设微纳加工与表征开放服务平台的重要性进行总结，并展望未来的发展方向。
希望通过本文的探讨，能够进一步推动微纳加工与表征开放服务平台的发展，为促进科技创新和产业发展做出贡献。
2. 正文2.1 微纳加工技术在当今社会的重要性微纳加工技术在当今社会的重要性不可忽视。
随着科技的发展，微纳加工技术被广泛应用于各个领域，包括电子、医疗、传感器、能源等。
其精密度高、工艺复杂、成本低廉的特点，使其成为当今社会中不可或缺的一部分。
在电子领域，微纳加工技术被广泛应用于芯片制造、光电显示、MEMS传感器等领域。
通过微纳加工技术，可以大大提高电子器件的性能和稳定性，推动电子行业的发展。
在医疗领域，微纳加工技术被用于制造微型医疗器械、药物传递系统、细胞培养芯片等。
这些微型医疗器械不仅可以帮助医生更精准地诊断和治疗疾病，还可以帮助患者更好地监测和管理健康状况。
微纳加工技术在当今社会中发挥着重要作用，推动着各个领域的发展和进步。
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13
多色荧光成像系统
IS4000MM
14
紫外可见分光光度计
UV-3600
15
紫外分光光度计
UV-2600
16
紫外分光光度计
日立U-3900
17
超微量紫外可见分光光度计
Thermo Nanodrop 2000c
18
超微量紫外可见分光光度计
DENOVIX DS-11
19
紫外可见分光光度计
4
金相显微镜
DM2700H
5
动态热机械分析仪
DMA Q800
材料物性
6
热机械分析仪
TMA 402 F1
7
热重及同步热分析仪
TGA/DSC2
8
导热系数测定仪
瑞领LW-9389
9
热常数分析仪
TPS2500S
10
闪射法导热仪
LFA467
11
红外热像仪
FLIR-T335
12
比表面积测试仪
ASAP2020M+C
NIKON FN1
56
脑片专用显微镜
BX51 MICROSCOPE
57
正置显微镜
Olympus BX53
58
倒置荧光显微镜
Nikon Eclipse Ti-E
59
正置显微镜
DM 4000 M LED
60
超景深三维显微镜
Keyence VHX-2000C
61
倒置荧光显微镜
Leica DMI3000B
62
13
全自动接触角设备
OCA20
14
材料表面性能综合测试仪
CFT-I
15
激光颗粒分布测试仪
Mastersizer 3000
16
模块化智能型高级流变仪
MCR302
光谱
17
傅立叶变换红外光谱仪
VERTEX 70
18
紫外可见分光光度计
UV-3600
四、微纳加工平台
项目类别
序号
设备名称
设备型号
C402
千级超净间仪器
偏光显微镜
ZEISS Axio Scope.A1
离心机
63
制备型超速离心机
OPTIMAL-80XP
64
高速冷冻离心机
HITACHI CR21N
65
高效离心机
AVANTIJ-26XP
66
高速冷冻离心机
EPPppendorf 5810R
切片机
67
冰冻切片机
LEICA CM1950
68
全自动切片机
徕卡RM2265
ABI 7500
33
荧光定量PCR仪
BIO-RAD
34
荧光定量PCR仪
LightCycler Nano
35
多功能酶标仪
Synergy4
36
多功能荧光酶标仪
MD Gemini EM
化学发光
37
化学发光检测仪
Victor X4
38
高灵敏度化学发光成像仪
ChemiDoc XRS
39
化学发光成像系统
ChemiDoc XRS+System
1
紫外曝光机
EVG610TB
联影Umr 770 3.0T
3
磁共振小动物生理监护仪
SAII Model1030
4
磁共振兼容生理监护系统
INVIVO PRECESS
5
磁共振兼容运动平台
研发
超声成像
6
超声实时分子影像系统
Visualsonics VEVO2100
7
全数字彩色多普勒超声诊断系统
FDC-6000
8
彩色超声波及心动图系统
西门子ACUSON X150
6
凝胶色谱仪
Waters Alliance e2695
7
离子色谱仪
Thermo Fisher
光谱、波谱
8
核磁共振波谱仪
AVANCE III 400
9
电感耦合等离子发射光谱仪
PerkinElmer OPTIMA 7000DV
10
荧光光谱仪
FSP920
11
荧光光谱仪
Maya2000-pro
12
荧光分光光度计
BD Canto II
27
便携式流式细胞仪
BD Accuri c6
28
多功能细胞定量分析仪
贝克曼库尔特QUANTA SC
PCR仪、
酶标仪
29
实时荧光定量PCR系统
Roche LightCycler 480II
30
实时荧光定量PCR仪
CFX96
31
实时荧光定量PCR仪
PikoReal 96
32
荧光定量PCR仪
40
微孔板化学发光检测仪
PROMEGA GLOMAX96
41
微孔板型发光检测仪
Glomax 96
光学显微镜
42
激光共聚焦显微镜
Leica SD AF
43
多光子显微镜
NI-E A1MP+
44
激光共聚焦显微镜
Leica TCS SP5
45
共焦荧光显微镜
microtime100
46
原子力显微镜
Dimension lcon
47
原子力显微镜
Agilent 5500
48
生物原子力显微镜
MPF-3D-BIO
49
多光谱分离型荧光显微镜
NUANCE EX+
50
研究级倒置显微镜
IX83
51
倒置研究型显微镜
Nikon Ti-E
52
奥林巴斯倒置显微镜
1X71
53
拉曼光谱显微镜
IX73
54
正置显微镜
奥林巴斯-BX63
55
正置荧光显微镜
设备平台服务项目
一、生物与化学分析平台
项目类别
序号
设备名称
设备型号
色谱、质谱
1
串联四极杆液质联用仪
XEVO TQD
2
气相色谱—质谱联用仪
Agilent 7890B-5977A
3
研究级凝胶色谱仪系统
VISCOTEK 270MAX
4
高效液相色谱仪
岛津SHIMADZU LC-20A
5
液相色谱仪
UltiMate 3000
UV-2700
20
Lambda25紫外/可见分光度计
Lambda25
21
傅立叶变换红外光谱仪
Vertex 80V
22
近红外光谱分析仪
AntarisMX
23
傅立叶变换红外光谱仪
VERTEX 70
24
全自动总有机碳分析仪
Tekmar Lotix
细胞检测
25
分选型流式细胞仪
BD Ari III
26
分析型流式细胞仪
9
开放式超声系统
Sonix ultrasound
10
开放式高速超声成像仪
S-Sharp Prodigy
11
全数字化B超系统
UT200
发光成像
12
小动物光声成像系统
Endra Nexus128
13
小动物三维成像系统
CALIPER IVIS SPECTRUM
14
动物活体成像系统
Cri Maestro
X光成像
15
小动物用显微CT
1176型
16
三维7
三维成像C臂X光机
研制
二、生物成像平台
三、材料测试平台
项目类别
序号
设备名称
设备型号
显微形貌
1
场发射扫描电子显微镜和能谱仪
NOVA NANOSEM450
2
原子力显微镜
Dimension lcon
3
偏光显微镜
ZEISS Axio Scope.A1
69
全自动振动切片机
VT1200S
70
冷冻切片机
HM525
71
振动切片机
Vibratome 3000professional gold
72
轮转式石蜡切片机
LEICA RM2235
项目类别
序号
设备名称
设备型号
磁共振成像
1
MRI磁共振成像系统
西门子MAGNETOM Trio a Tim 3.0T
2
MRI磁共振成像系统