S4800操作(普通用户)
S4800扫描电镜(SEM)操作手册
观测条件的选择
2、工作距离（WD）的设定 WD(working distance)是指物镜下端面到 焦点面之间的距离。 WD越小，图像的分辨率越高，而景深越浅。 做能谱时，WD必须设定为15mm。
观测条件的选择
3、探测器的选择 S－4800配备有上下两个二次电子探测器， 在WD较小时(<5)，推荐使用上探测器， 在WD较大时(>10)，推荐使用下探测器。 如果选择MIX，则同时使用两个探测器， 在整个WD的可变范围内，信号量不会发 生极端的变化。
2、加载样品
3）将样品架插入样品室
插入样品之前需要确认： (a)样品台的位置处于交换位置，并且没有处于锁定状态（Lock开关的灯 不亮） (b)加速电压处于OFF状态
（1）按交换室操作部分的AIR键，使交换室放气； （2）峰鸣器响后（对应键的灯不闪），将交换室打 开； （3）轻轻推入交换棒，此时保证交换棒后端的旋钮 处于UNLOCK状态； （4）用一只手拿着交换棒的旋钮，另一只手将样品 插入交换棒中；
观测条件的选择
1、加速电压的选择 从电子光学的角度讲，随着加速电压的升 高，电镜的分辨率也提高，但是电压越高，电 子束在样品中扩散范围就越大，同时放电和辐 照损伤现象也越严重。因此要根据样品的种类 及所要得到的信息，适当地选择加速电压。对 于导电性好的样品，可以选择较高的加速电压； 相反，对于导电性较差的样品，则应选择较低 的加速电压。
样品台旋转Rotation——R (360°连续)
样品台
样品台以通过其表面中心的法线为轴做平面内 旋转，是靠马达驱动的（自动）。
样品台旋转Rotation——R
Eucentric：当选中时，表示样品台旋转后， 观察区域仍然保持在当前位置。 Abs：绝对角度 正值0~360° Rel：相对角度（始终以当前位置为0） 可以输入正值0~360 °(顺时针) 负值0~-360 °(逆时针)
高分辨扫描电镜 日立S-4800操作步骤
P r o c e d u r e f o r FIRST USER ofFIRST USER of day1.Turn on CPU power (inside lower cabinet)2.Turn on Computer Monitor3.Login to Windows (no password)4.Login to S-4800 software by clicking icon PC-SEM to open control panel (nopassword)5.Click box (Vacc, Ie) upper left of Toolbar (if dialog box w/FLASHING button isnot open)6.Click Flashing.7.“Flashing Execute ok?” Click Execute (Intensity 2 is normally ok).8.Repeat steps 5 & 6; Ie will transiently register current – should be between 20 and40 µA.9.Check Evacuation Control Panel for ion pump readings (IP1, 2, 3). Values are in10-3 Pa (For Lab Manager Only)ALL USERSU s e r S e t-u p f o r ALL1.For sample exchange, be sure that the sample stage settings – Rotation (R) = 0.0,Tilt (T) = 0.0, X = 25.0, Y = 25.0 and Z = 8.0 are all set to these positions asindicated on the front of the microscope.2.Click AIR button on right side of microscope – after a few seconds, air isadmitted to the Sample Exchange Chamber (SEC). There is a beep when the SEC is at atmospheric pressure.3.Pull open and turn black knob CW to UNLOCK position and remove sampleholder.4.While wearing gloves and at workbench, not on stage, install new sample onsample holder and adjust the height using the fixture console. See pictures taped to wall for details. This will give a working distance of 8 mm when the sample is inserted into the sample stage.5.Insert sample holder aligning to dual bayonet connectors in the SEC; rotate blackknob CCW to LOCK position. Then pull SEC and rod out to guide endpoint.(Check that rod is pulled out to endpoint). CLOSE SEC door.6.Press EVAC button – air is pumped out of the SEC. A beep sounds when vacuumis attained.7.Press OPEN to open the chamber door – a beep sounds when the chamber door isopen. Visually examine to check that stage is in chamber.8.Push rod all the way in until the sample holder fully engages the sample stage;rotate black knob CW to UNLOCK position.9.Grasp black knob and pull back to end of guides. Then make sure that the sampleholder remains on the stage.10.Press CLOSE to close the chamber door. Beep sounds when the door is closedand the vacuum is ready.11.To turn HV ON. Click ON (left of gray box on Toolbar) – for normal operation,V acc=15 kV and I e=10 µA. I e will drop during the first ~30 minutes of usage due to formation of a monolayer of absorbed gas on the tungsten emitter tip. To set Accl Voltage (VAcc) click large black arrow and set KV at .5 to 30. The lower the KV the more surface detail imaged and greater the KV will increase imaging the interior structure/views. Periodically click SET (right side of Toolbar) to re-set the emission to ~10 µA (this will increase V ext).12.Scan rate is selectable on the toolbar – TV1, Slow1 and Slow3.13.H/L button on toolbar selects low magnification (30 X – 2 KX) or highmagnification (800X – 500KX) modes. The magnification can be adjusted with the knob on the control box.14.ABC button on toolbar is Auto Brightness / Contrast. These can also be adjustedusing the Brightness and Contrast knobs on the control box.15.At the beginning of a session, it is important to check the alignment of theelectron beam. Click H/L and set magnification at ~5000X. While increasing magnification Beep will occur at 2000X. The beep is a reminder to click on H/L to reset mag to high. Click ALIGN on the toolbar. A menu box will appear.Click on BEAM ALIGN and center the beam using X and Y knobs(stigma/alignment) on the control box. Click STIGIMATION X, and stopmovement of image using X and Y knobs on control box. Click STIGIMATION Y and stop image movement using X and Y knobs. Click APERTURE ALIGN and stop movement of image using X and Y knobs on control box.Click OFF in ALIGN menu box.16.Adjust coarse focus until WD is ~ 5mm. It may be required to click on “resetfocus condition” in popup dialogue box.17.To obtain the best image resolution, carefully adjust coarse, fine focus, x-stigmation and y-stigmation KNOBS at a high magnification. Adjust brightness and contrast, and observe image in Slow2 mode (button on toolbar). N.B., set Working Distance (WD) only in Hi Mag mode to ~ 5mm by using the Z adjust knob18.Set magnification at ~ 1000X. Then lower Z by turning Z knob on scope.19.Find field of interest by moving X/Y stage. Set to required magnification.20. Before Image captur, be sure to set slow scan mode for best image quality.21.To capture an image, click the 1280 button on the toolbar to the right of the H/Lbutton. This will capture a 1280 x 960 image. The resolution can be changed using the pull-down arrow.22.When the image is captured, it is displayed in the lower left, highlighted inyellow.23.Click the PCI button in the lower left to export the image to QuartzPCI imageanalysis software.24.In QuartzPCI, click File – can SAVE or EXPORT image (e.g. to a JPEG file).Clicking SAVE will actually create 3 files of which one is PCI format. EXPORT, which creates 1 file, is more efficient choice.25.Back in S-4800 software, click RUN on toolbar to resume scanning.S h u t D o w n P r o c e d u r e1.Turn off beam2.Return stage to proper settings.3.Press OPEN4.Insert rod at unlocked position5.Turn rod to locked position6.Pull rod and sample out to endpoint.7.Press CLOSE8.Press AIR, wait for beep9.Slide open SEC10.Turn black knob to UNLOCK and remove sample11.If done, close SEC and press evacuate to pump down chamber12.Turn off monitorCommon Abbreviations and DefinitionsVext (Extracting voltage) Voltage that is applied between the cathode and first anode.Electrons are emitted from the cathode.Vacc (Accelerating voltage) electrons are accelerated by an accelerating voltage.Flashing- cleansing of the cathode (FE tip) by turning on the flashing power supply in order to remove absorbed gas on the surface of the cathode. This is to be done,before usage, first thing in the morning or the evening.Ie (emission current) is generally set to 10 μA for normal operation.HV (high voltage) Applies HV to the electron gun and controls the extracting voltage to obtain the emission current.Beam monitor (adjustment of the reference voltage) is provided to reduce tip noise, which is a low frequency noise caused by fluctuations of the emission current.Dividing the image signal by a reference signal that is proportional to probe current can stabilize it. It is recommended to keep the beam monitor on for normaloperations.Beam indicator (box with cross hairs) to reset image shift to the center, click theindicator areaUnder signal selection box, L.A is low angle. When BSE is selected, the amount of BSE signal is controlled by BSE ratio selection box. Low angle BSE will be detected with L.A0 to L.A100. With the larger number, the amount of SE is suppressed and results in a BSE richer image.HR is high resolution mode where the short working distance range is limited and it is easier to use at a longer working distance (>5mm).UHR is ultrahigh resolution mode where the full working distance range is availableUnder scan size…Small screen mode has faster frame speeds and in some cases results in better image quality.Dynamic focus allows you to focus the beam for the entire field of view.Condenser lens 1 setting to lower values (1-16 range) results in weaker excitation and larger Probe Current and larger “spot size” and vice versa. Recommended value is 5. Unclicking box will turn off lens and this condition is typically used for mechanical alignments.Focus depth is recommended to be set at 1.0 or larger to increase focus depth.Degauss button should be clicked after changing focus widely or before making the electron optical axis alignment (You can do this by hitting the F2 hotkey)To select many images, press and hold down the control keyLayout button opens the Report Generation window for printing the imageSC stands for the specimen chamberApt heat should be set at auto. If the objective aperture lens is contaminated, charging will degrade image quality and the image will drift because of micro discharge. Such problems are noticeable at low accelerating voltages. The aperture is heated to about 150C to remove contaminants to one tenth or less of what it would be at room temperature.The display switch is on when the line is depressed (a 1 or switch is up is on)For use at high magnifications or low accelerating voltages, the use of the anti-contamination trap is recommended to prevent specimen contamination by hydrocarbon build-up. Fill the trap with liquid nitrogen (LN2). The Dewar is usable for about 5 hours at room temperature. ** Before introducing air into the chamber, wait for a few hours until the LN2 Dewar has completely emptied so that the trap will not frost up and deteriorate the vacuum. The air introduction value does not have a protection link with the cold trap.WD (working distance) is the distance between the bottom face of the objective lens and the surface of the specimen. At a shorter working distance, higher resolution is obtainable. At a longer WD, a larger tilt angle and a greater depth of focus are obtainable. To change the WD, move the Z to a lower #, which moves the stage up. Short-Cut KeysCtrl O Open SEM Data ManagerCtrl P PrintCtrl C Copy ImageCtrl L Open Captured Image windowF1 Help can be openedF2 Activates Degauss functionF5 Runs or stops scanning alternatelyF4 Changes alignment mode to the next stepShift F4 Changes alignment mode to previous stepNotes for AdministratorPassword is “hitachi”To preset magnifications, open the Image Tab of the Setup dialog window and input desired values in the three Preset Magnification boxes. A PM mark is indicated in the Magnification indicator area when the preset magnification is set.Setting up logins: Option menu, login setting (must be logged in as S-4800) to create or change login names and passwords for each user. Can also change password setting under Option menu.TroubleshootingWhen operating at short working distances and experiencing uneven brightness at low magnifications, turn specimen bias voltage off.Magnetic samples such as iron can cause astigmatism correction to be difficult.The use of double-sided adhesive tape may cause specimen drift. Use the least amount possible to minimize out gassing.Perform beam and aperture alignment when you change HV value, accelerating voltage, probe current mode, or setting of Cond Lens1. For all alignments, either drag the mouse in the grid area of the Alignment dialog window or adjust theSigma/alignment X and Y knobs on the control panel. Set the magnification at 5, 000X for aperture alignment.The lowest magnification that can be obtained at a WD of 25mm or more is 20X.To maximize brightness and contrast, start B/C monitor mode by double clicking the MontiF button or operate menu, BC monitor. When the maximum and minimum values of the waveform are adjusted to fit within the upper and lower reference lines, appropriate brightness and contrast will be obtained. To terminate this mode, click the cancel button in the BC monitor mode message or one of the scanning speed buttons.To maximize focus, set magnification to 1,000X and start the focus monitor by clicking the Monitor button (MontiF) on the control panel and focus the image so that the waveform shows sharp peaks. To close the focus monitor, click the cancel button in the focus monitor mode or click one of the scanning speed buttons.Auto focus or auto stigma functions will not work correctly with little or no surface detail on the specimen or when the specimen is charging. These functions should also be performed at magnifications higher than 5,000X.For high magnification work, staging locking is recommended for better mechanical stability. The Z and T axes are locked or released by the Lock button on the specimen stage. ** If the Z or T axis is moved while the stage is locked, the stage mechanism may be damaged. X, Y, and R axes are free and movable when the stage is locked.Objective lens apertures are 50 μm for settings 2 or 3. The electron optical column of the HRSEM is designed to achieve highest resolution with a 50 μm aperture. Suggestions on getting better image quality:1.Higher spatial resolution can be obtained at higher accelerating voltages2.For uncoated, insulator specimens, accelerating voltages less than 1kV arerecommended for minimizing charging. In some cases, high accelerating voltages (20kV or higher) may produce a better image.3.Influence of contamination at lower voltages is more pronounced4.Disturbances by leakage magnetic field (wobbling or distortion of the image) aregreater at low accelerating voltages.5.Generally a soft-tone image is obtained at low accelerating voltages because moreSEs are detected than BSEs.6.Ion Pump readings should be this or better:IP1: 2 x 10^-7 PaIP2: 2 x 10^-6IP3: 5 x 10^-5SC: 2 x 10^-3Stereo ImagingPg 3-165BSE ImagingA mixed signal is available. When +BSE is selected, the amount of BSE signal is controlled by the BSE ratio selection box. Low angle BSE will be detected with LA0 to LA100. With a larger number, the amount of SE is suppressed and this will result in a BSE richer image. HA results in a high angle BSE image.Refer to sections 3.5.1 SE Detector and 3.5.1.2 Signal control。
S4800扫描电镜(SEM)操作手册
4、调节电子光学系统
加高压后即可寻找感兴趣的区域观察图像了。为了获得高质 量的图像，通常要进行电子光学系统的调节，也称为合轴 或对中(Alignment)。
（1）点击ALIGN键，出现合轴画面 （2）主要的合轴有： a.电子束合轴：Beam Align 目标：把光圈调到中心 b.物镜光栏合轴：Aperture Align 目标：把图像晃动量调到最小 c.象差校正合轴：Stigma Align X，Y 目标：把图像晃动量调到最小 （3）操作：调节操作面板的STIGMA/ALIGNMENT X 和Y
（9）按顺时针方向旋转交换棒至UNLOCK位置， 卸下样品，然后将交换棒完全拉出；
（10）按CLOSE键，气阀关闭。
3、加高压及条件设定
1）设定样品尺寸 点击STAGE设定键，在SPECIMEN窗口画面，点
击SET键，设定样品的尺寸。 2）设定加速高压和发射电流 点击加速电压显示部分，设定所需要的加速电压和
1、启动操作程序PC－SEM
打开显示器Display的开关； 系统启动，要求输入系统的用户名和密码； 核实用户名和密码后，电镜操作程序PC－
SEM自动启动，要求输入程序的用户名和 密码； 核实用户名和密码后，电镜操作程序打开。
2、加载样品
1）将样品装在样品托（specimen stub)上 （1）根据样品大小选择合适尺寸的样品托
观测条件的选择
2、工作距离（WD）的设定 WD(working distance)是指物镜下端面到
焦点面之间的距离。 WD越小，图像的分辨率越高，而景深越浅。 做能谱时，WD必须设定为15mm。
观测条件的选择
3、探测器的选择 S－4800配备有上下两个二次电子探测器， 在WD较小时(<5)，推荐使用上探测器， 在WD较大时(>10)，推荐使用下探测器。 如果选择MIX，则同时使用两个探测器， 在整个WD的可变范围内，信号量不会发 生极端的变化。
Hitachi S-4800 型扫描电镜简易操作指南解读
注意！
本文件的目的在于帮助用户记忆培训的内 容，不能代替培训。有意自己操作扫描电 镜的用户请到现场参加培训。 为了把此文件的篇幅限制在一个合理程度， 文件内容难于面面俱到。 欢迎各位对本文件的内容提出宝贵意见！
S－4800 扫描电镜外观
2、加载样品
2）将样品托装在样品架（specimen holder）上 （1）把样品托安装在样品架的顶端； （2）调整样品的高度，使得样品的上表面 与样品高度计的下面尽量相平。
注意： (a)取放样品操作时必须带手套以减少污染； (b)必须使用样品高度计调节样品的高度，使WD与Z尽量保持一 致，这样不仅操作性好，而且有利于保护仪器和样品。 (c)注意调节螺杆（adjusting screw）不要从样品架底座下面 伸出来，这样会造成机械故障。
加高压后即可寻找感兴趣的区域观察图像了。为了获得高质 量的图像，通常要进行电子光学系统的调节，也称为合轴 或对中(Alignment)。 （1）点击ALIGN键，出现合轴画面 （2）主要的合轴有： a.电子束合轴：Beam Align 目标：把光圈调到中心 b.物镜光栏合轴：Aperture Align 目标：把图像晃动量调到最小 c.象差校正合轴：Stigma Align X，Y 目标：把图像晃动量调到最小 （3）操作：调节操作面板的STIGMA/ALIGNMENT X 和Y
2、加载样品
1）将样品装在样品托（specimen stub)上 （1）根据样品大小选择合适尺寸的样品托 （15mm,1inch,1.5inch,2inch）； （2）用碳导电胶带或银导电胶将样品粘在 样品托上。
注意： (a)对于不导电或导电性不好的样品，需要进行喷金等的导电处 理； (b)当在较高倍率下观察时（大于等于10万倍），建议使用银导 电胶，可以防止样品漂移；用了导电胶的样品需要用台灯烤 干或用吹风机吹干后再插入样品室。
HITACHI S4800扫描电子显微镜操作规程
HITACHI H-7650 透射电镜操作规程编号: QW148 HITACHI S4800扫描电子显微镜操作规程样品准备及要求:1.含水样品测试前必须干燥，样品要尽量的小，多孔样品做之前一般要烘两到三天;2.粉末样品测试时尽量用最少量的样品，否则容易使电镜污染;3.严禁观察磁性样品;4.样品须处于样品台中央位置，样品表面平坦，样品厚度不可太大。
操作步骤:一、开机顺序1. 开墙上主机电源的开关，开启冷却循环水;2. 将仪器后面板处的主电源开关(Main Power) 打开，之后按下Reset键;3.启动Evac Power，等待TMP指示正常后顺序打开IP1、IP2 和IP3的电源开关:4.达到真空度要求后，开启操作台电源，PC机自动启动进入Windows操作系统，并自动运行S-4800操作程序，此时点击OK (没有密码)后自动进入S 4800操作软件。
二、样品安装1.在实验台上事先粘好样品，并用高度规检测其高度;2.装样品前确认工轴、WD,x,y以及Rotation是否复位(Z轴=8，WD=8，x=25，y=25，Rotation=0)，如未复位，将其复位;3.点击样品交换室的Air键，当听到笛的一声后轻轻的拉开样品交换室;4.将样品杆手柄处于Unlock位置，把样品机座装于样杆的香蕉头处并转动手柄到Lock位置;5.轻轻推住样品交换室，点击Evac键，抽好真空后点市Open键，样品交换室与样品室间的闸门自动打开;5. 轻轻的推动样品杆的手柄将样品送至于样品台上，旋转手柄至Unlock, 拉出样品杆，最后点击Close关闭阀门，安装样品结束。
三、图像观察1.加高压后即可进行调试观察;2.首先在TV1模式下找到所要观察的区域;3.在高倍下用coarse键粗聚焦，然后用fine键细调聚焦，直到图像清楚;4.放回到观察倍数，用ABC或手动调到适合的对比度:5. 在SLOW模式下观察调试后的图像，不合适重新执行步骤2，3，若合适即可拍照。
S4800扫描电镜(SEM)操作手册
• 如您的样品带有磁性或操作过程中遇到意外情况， 请垂询技术员彭开武/郭延军
（ Tel: 82545516 ）。
启动操作程序PC－SEM 加载样品
加高压及条件设定 调节电子光学系统
观察样品 记录图像 图像处理 SEM数据管理器 取出样品 刻录光盘 结束操作
采用慢扫描的方式能够提高图像的信噪比，从而提高图像的 质量，因此通常采用慢扫描方式记录图像。但是扫描速度越慢， 样品的放电现象越显著。所以，如果样品放电现象比较严重， 不能采用慢扫描方式记录图像，这时可以采用多次快速扫描叠 加的方式记录图像，同样可以提高信噪比。但是对于漂移明显 的样品无法采用这种技术。对于既放电又漂移的样品，采用单 次快速扫描的方式反而可以获得最高质量的图像。
倾转注意：
a)千万不要超过允许的倾转范围，为了安全起见， 不要倾转到极限，应留有一定的余量（至少1 °）
b)如果进行了倾转操作，当结束操作后使样品台回 到交换位置时，一定要先把T调回到0，然后再调Z 到8mm。
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3）将样品架插入样品室
插入样品之前需要确认：
(a)样品台的位置处于交换位置，并且没有处于锁定状态（Lock开关的灯不 亮）
(b)加速电压处于OFF状态
（1）按交换室操作部分的AIR键，使交换室放气；
（2）峰鸣器响后（对应键的灯不闪），将交换室打 开；
（3）轻轻推入交换棒，此时保证交换棒后端的旋钮 处于UNLOCK状态；
样品台
样品台以通过其表面中心的法线为轴做平面内 旋转，是靠马达驱动的（自动）。
Eucentric：当选中时，表示样品台旋转后，观察区域仍然保 持在当前位置。
S-4800扫描电镜操作步骤
扫描电镜S-4800操作规程一、日常开机打开Display开关，电脑自动开机进入s-4800用户界面，PC_SEM程序自运行，点击确认进入软件界面。
二、装样品1.将样品台装在样品座上，根据标尺调整高度及确认样品位置后旋紧。
2.按下AIR键，当AIR灯变绿时拉开样品交换室，水平向前推出交换杆，把样品座插在交换杆上，逆时针旋转交换杆（即按照杆上的标示转至LOCK）锁定样品座后，将交换杆水平向后拉回原处。
3.关闭交换室，按下EV AC键，当EV AC绿灯亮时，按OPEN键至绿灯亮样品室阀门自动打开。
4.水平插入交换杆，直至样品座被卡紧为止，顺时针旋转交换杆（即按照杆上的标示转至UNLOCK）后水平向后拉回原处，点CLOSE键至绿灯亮样品室阀门自动关闭。
三、图像观察1.加高压点击屏幕左上方的高压控制窗口，弹出HV Control对话窗。
选择合适的观察电压和电流，点击ON，弹出提示样品高度的对话框，点击确定出现HV ON 提示条，待图像出现后，关闭HV Control对话窗。
2.在低倍、TV模式下，找到所要观察的样品，点击H/L按钮切换到高倍模式，通过调节样品位置，找到所要观察的视场。
3.聚焦、消像散选好视场后，放大到合适的倍数聚焦消像散。
先调节聚焦粗调和细调旋钮，使图像达到最佳状态，若图像有拉长现象，则需进行消像散。
调节STIGMATOR/ALIGNMENT X使图像在水平方向的拉长消失，再调节STIGMATOR/ALIGNMENT Y使图像在垂直方向的拉长消失。
4.图像采集及保存用A.B.C.键或BRIGHTNISS/CONTRAST旋钮自动或手动调节图像的对比度和亮度，扫描速度变为慢扫，点击抓拍按钮进行采集。
采集后暂时存放在窗口下侧，选中要保存的图像，点击Save，弹出Image Save对话框，输入文件名，选好存储位置保存即可。
5.对中调整改变加速电压和电流时，或图像在高倍聚焦发生漂移时，需要进行对中调整，方法如下：(1)选取样品上一个具有明显特征的位置放在视场中心。
S扫描电镜操作步骤
S扫描电镜操作步骤集团标准化工作小组 [Q8QX9QT-X8QQB8Q8-NQ8QJ8-M8QMN]扫描电镜S-4800操作规程一、日常开机打开Display开关，电脑自动开机进入s-4800用户界面，PC_SEM程序自运行，点击确认进入软件界面。
二、装样品1.将样品台装在样品座上，根据标尺调整高度及确认样品位置后旋紧。
2.按下AIR键，当AIR灯变绿时拉开样品交换室，水平向前推出交换杆，把样品座插在交换杆上，逆时针旋转交换杆（即按照杆上的标示转至LOCK）锁定样品座后，将交换杆水平向后拉回原处。
3.关闭交换室，按下EVAC键，当EVAC绿灯亮时，按OPEN键至绿灯亮样品室阀门自动打开。
4.水平插入交换杆，直至样品座被卡紧为止，顺时针旋转交换杆（即按照杆上的标示转至UNLOCK）后水平向后拉回原处，点CLOSE键至绿灯亮样品室阀门自动关闭。
三、图像观察1.加高压点击屏幕左上方的高压控制窗口，弹出HV Control对话窗。
选择合适的观察电压和电流，点击ON，弹出提示样品高度的对话框，点击确定出现HV ON提示条，待图像出现后，关闭HV Control对话窗。
2.在低倍、TV模式下，找到所要观察的样品，点击H/L按钮切换到高倍模式，通过调节样品位置，找到所要观察的视场。
3.聚焦、消像散选好视场后，放大到合适的倍数聚焦消像散。
先调节聚焦粗调和细调旋钮，使图像达到最佳状态，若图像有拉长现象，则需进行消像散。
调节STIGMATOR/ALIGNMENT X使图像在水平方向的拉长消失，再调节STIGMATOR/ALIGNMENT Y使图像在垂直方向的拉长消失。
4.图像采集及保存用键或BRIGHTNISS/CONTRAST旋钮自动或手动调节图像的对比度和亮度，扫描速度变为慢扫，点击抓拍按钮进行采集。
采集后暂时存放在窗口下侧，选中要保存的图像，点击Save，弹出Image Save对话框，输入文件名，选好存储位置保存即可。
S4800扫描电镜操作说明书
冷场发射扫描电子显微镜S4800操作说明（普通用户）燕山大学材料学院材料管A104（场发射，钨灯丝）编写人：李月晴吕益飞普通用户在熟练操作1个月后，如无不良记录，可申请高级用户培训。
高倍调清晰：局部放大(Red) →聚焦Focus→消像散一、日常开机1，开启冷却循环水电源。
2，按下Display开关至，PC自动开机进入用户界面并自动运行PC_SEM程序，以空口令登入。
3，打开信号采集开关，位置打到1，为打开。
4，打开电源插排的开关。
5，打开装有EDS软件的主机电源。
6，记录仪器运行参数(右下角Mainte)，即钨灯丝真空度。
如：IP1：0.0×10-8Pa；IP2：0.0×10-8Pa；IP3：9.6×10-7Pa。
PeG-1，<1×10-3；PeG-2，<1×10+2。
注意：PeG≤1×10-3Pa时才能加高压测量。
记录的参数：①点Flashing时会显示：In2(Ie)Flashing时电流最大值，如32.9μA；②加上高压后会显示，V ext=3.4kV。
二、轰击（点flashing，即在阴极加额外电压）目的：高温去除针尖表面吸附的气体1，最好在每天开始观察样品前一时做flashing；2，选择flashing intensity为2 ；3，若flashing运行时Ie小于20µA，则反复执行直至Ie值超过20µA且不再增加。
4，若flashing后超过8个小时仍继续使用，重新执行flshing 。
三、加液氮容积不要超过1L，能维持4~6h。
四、样品制备及装入样品制备简单，对样品要求较低，只要能放进样品室，都可进行观察。
1，化学上和物理上稳定的干燥固体，表面清洁，在真空中及在电子束轰击下不挥发或变形，无放射性和腐蚀性。
2，样品必须导电，非导电样品，可在表面喷镀金膜。
3，带有磁性的样品，由于物镜有强磁性，制样必须非常小心，防止在强磁场中样品被吸入物镜或分散在样品室中，工作距离(WD) 要大于8.0mm。
日立S4800扫描电镜中文使用手册
一、介绍Hitachi S-4800场发射扫描电镜采用了新型ExB式探测器和电子束减速功能,提高了图象质量(15 kV下分辨率1 nm)，尤其是将低加速电压下的图象质量提高到了新的水平(1 kV下1.4 nm)；新型的透镜系统，提高了高分辨模式、高速流模式、大工作距离模式、磁性样品模式等多种工作模式，使其能够精确和清楚地捕捉最短暂的瞬间。
二、操作说明1．开机（1）日常开机：打开Display的开关，PC自动开机进入用户界面并自动运行PC_SEM程序，以空口令登入。
（2）完全关闭电源后开机：接通配电盘电源→拔上MAIN Swith 开关→按一下Reset按钮，→将MAIN控制面板上EVAC POWER按至ON，SC EVAC指示灯处于常绿状态后，等半小时→按下Display开关至ON, PC 自动开机进入用户界面并自动运行PC_SEM程序，以空口令登入。
2．图像观察（1）装入样品制样→把样品托装入样品座，并用标尺确定高度、旋紧→按AIR按钮→将样品座插在样品交换杆上，并锁紧→将交换杆拉至尽头卡紧，关闭交换室→按下EVAC按钮→按下OPEN 按钮打开MV-1后，推进交换杆，旋转样品杆UNLOCK位置后拉出交换杆→按下CLOSE 按钮。
（2）图像观察及保存SC真空恢复正常后（显示为L E-3）→选择适当的加速电压（Vacc）→加高压→在低倍、TV模式下将图像调节清楚→聚焦、消象散→Slow3确认图像质量→点击Capture按钮拍照→点击右下方Save按钮→选择保存位置、使用者及样品信息，保存。
（3）结束观察点击OFF按钮关闭加速高压→将放大倍率还原设至×1.00K→按操作界面上home使样品台回到初始位置→依照装入样品的方式反序取出样品。
3．关机（1）日常关机退出PC_SEM程序→退出Windows XP系统→关闭DISPLAY（2）完全关机短时间关机：退出PC_SEM程序→退出Windows XP系统→关闭DISPLAY→关闭EVAC→等待约35分钟后Multi Indicator区域显示“POFF”→关闭MAIN SWITCH→关闭电源总开关。
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Hitachi S4800操作说明（普通用户V20100525版）
苏州纳米所测试平台电镜室
编写人：
注：本培训手册针对普通用户，不允许在样品观察时改变样品的高度。
培训时，需要电镜室管理员进行现场一对一操作培训。
普通用户在熟练操作1个月后，如无不良记录，可申请高级用户培训。
一、放样品：
放样品是电镜操作中最容易出现问题的环节，请特别重视
1）粘好样品后，用标准高度规（8mm高度）检测样品高度，使样品的最高处和高度规的下边缘精确对其，误差在1mm范围内。
如图1所示。
同时确认样品台和调节螺杆固定好，紧固盘片已固定。
图1
2）在软件操作界面上点击Home键，等绿色显示条停止闪烁后，说明腔室内样品座已完全回归原位。
如图2所示：
图2
3）在样品交换室上按Air键，放空气进入该交换室，等听到“滴”的声音后，可以打开该交换室。
如图3所示
图3
确认样品杆在unlock位置，稍微推样品杆使样品杆前端可见，然后将图1中的样品台装
入样品杆前端，lock样品杆后，将样品杆拉回到底。
合上交换室的门后，按样品交换室上的Evac键，抽交换室真空，等听到“滴”的声音后，再按Open键，可以打开交换室和主机腔室之间的阀门，可以清楚的看到阀门打开，听到“滴”的提示声音。
确认阀门打开后，将样品杆轻推入到底，然后旋转样品杆至unlock位置，抽出样品杆到底，这样样品就已经放在主机腔室中了。
按close键关闭阀门，听到“滴”的提示声音后，说明已关闭。
下面即可开始样品观察了。
[注]: 以上放样品步骤，2分钟左右即可完成，所以不要着急，要一步步来。
二、样品观察
1）样品放好后，在软件界面上选择合适的高压和发射电流，然后点击”ON”加高压，如图4所示。
在加高压时会弹出样品台大小、高度确认对话框，如图5所示。
高度前面已确认是8mm 标准高度，如果样品台大小（平面尺寸）和对话框中数值不相符，则要点击cancel，在软件面板中的Stage部分，选择合适的样品台大小，如图6所示
图4
图5
图6
2) 在LM（低放大倍率）下找到要看的样品，使用stage里面的导航图，在上图6中点击Disp，弹出导航图，找到要观察的样品后，点击Reg，即可在导航图中记录相应的位置。
3）然后切换到HM模式。
单击操作界面上的Align键，如图7所示，点击其中的Beam Align, 做电子束对中调整，调整好后点击off。
图7
4)、在要观察样品区域，增大放大倍率，Focus调焦发现图像移动，需要做Aperture Align，点击图7界面上的Aperture Align，使图像象心脏一般跳动，然后点击off。
5)、如果调焦时，发现图像向一个方向变模糊，需要调Stigmator，如果此时发现图像移动，需要做Stigma Align.X和Stigma Align.X，使图像象心脏一般跳动，然后点击off。
4）和5）步的调整总结在下图8中。
6）得到清晰的图像后，选择Slow或CSS（对于轻微荷电样品用）或TV/Fast（对于强荷电样品，不耐高压且慢扫易变形图像）扫描模式，然后点击拍照键，如图9所示，即可拍照片。
图9
7）保存照片。
在Setup的Record项里可以改变照片下方信息栏的相关信息。
如图9所示。
三、取样品
取样品也是电镜操作中最容易出现问题的环节，请特别重视
1)需要取样品时，先点击图4中的OFF键关电子束。
然后点击图2中的HOME键使样品
座归零位。
2)然后点击图3中的”Open”，等隔离阀打开后（听到”滴“的声音），将处于Unlock位置
的样品杆轻推入到底，然后Lock样品杆，将样品台拉出到底。
3）点击图3中的“Close”，等隔离阀关闭后（听到”滴“的声音后），点击”Air”，放空气进入交换室，等听到“滴”的声音后，可以打开该交换室。
4）打开交换室后，稍微推样品杆使样品杆前端可见，旋转样品杆至”unlock”位置，然后将样品台卸下，将样品杆拉回到底。
合上交换室的门后，按样品交换室上的Evac键，抽交换室真空。
5）将样品从样品台卸下，并清除导电胶带，保持样品台清洁。