无尘室_洁净室_净化车间标准规格说明(美标、日标)

无尘室_洁净室_净化车间标准规格说明(美标、日标)
无尘室_洁净室_净化车间标准规格说明(美标、日标)

国标、欧标、美标

门控五金的国标、欧标、美标的区别 在可使用环境温度方面,国标闭门器最低使用环境温度为-15℃;欧标最低使用环境温度为-15℃;美标最低使用环境温度为-39℃。住在如哈尔滨、长春等中国北方地区的朋友常常会有这样的体验:冬天的北方非常寒冷,大雪纷飞,室外温度低至-10~20℃,更有甚者会达到-30℃之下。实际上,低温对闭门器也会造成影响,低温情况下可能会将闭门器中的油冻住,造成性能下降,影响使用。在这样的情况下,闭门器最低使用环境温度自然越低越好,相较于国标和欧标而言,美标的最低使用环境温度明显略胜一筹。 消费者和项目采购人员在购买产品时,自然希望买到质量好、使用寿命长的产品。在使用寿命方面,国标要求闭门器在使用寿命使用频率低的情况下需达20万次;欧标要求闭门器使用寿命需达50万次;美标对闭门器使用寿命的要求分为三个等级,一级要求可使用200万次,二级要求可使用100万次,三级要求可使用50万次。 比起国标以及欧标闭门器,美标闭门器使用寿命显然更长,当然,价格也会昂贵一些。有些项目采购人员可能会抱有这样的想法:可以买便宜一点的闭门器,节约成本,等闭门器坏了再买新的。其实,闭门器出现问题后,仍然需要付出维修或更换的成本,且需要维修和更换的次数也是未知的,长久而言,付出的成本可能更高。更重要的是,在闭门器出现故障等待更换的过程中,为人身安全埋下了不可预测的隐患。例如,火灾发生时,当酒店防火门的闭门器无法正常使用,防火门无法紧闭,就不能有效防止烟、火的进入,从而会增大火灾造成的人员伤亡。既然如此,何不一开始就购买质量可靠、使用寿命长的闭门器,保障安全,无后患之忧! 国标、欧标和美标,三者之间各有差异,相较之下,无论是可使用的环境温度还是使用寿命,美标的标准要求都更高一些,而产品送检时的检测环节也更细致严格

无尘室检测一般都有哪些

不知道有多少人知道无尘室,想必除非是长期接触,不然是很难有所了解的。具体需要检测的项目有哪些,包括哪些方面等等问题,对于从事相关行业的人来说,都是需要知道的。所以,为了解开大家的疑惑,下面就让我们来看看其具体项目都有哪些吧。 1、风速风量换气次数 无尘室的洁净度主要是靠送入足够量的洁净空气,以排替、稀释室内产生的颗粒污染物来实现的。为此,测定无尘室或洁净设施的送风量、平均风速、送风均匀性、气流流向及流型等项目十分必要。 单向流主要是依靠洁净气流推挤、排替室内、区内的污染空气以维持室内、区内的洁净度。因此,其送风断面风速及均匀性是影响洁净度的重要参数。较高的、较均匀的断面风速能更快、更有效地排除室内工艺过程产生的污染物,因此是主要关注的检测项目。 非单向流主要是靠送入的洁净空气来冲淡与稀释室内、区内的污染物以维持其洁净度。因此,换气次数越大,气流流型合理,稀释效果越显著,洁净度也相应提高。所以非单相流无尘室、洁净区的送风量及相应的换气次数,是主要关注的气流测试项目。为了获得可重复的读数,记录各测点风速的时间平均值。

换气次数:根据无尘室总风量除以无尘室的容积求得。 2、温湿度 无尘室或洁净设施温、湿度测定,通常分为两个档次:一般测试和综合测试。第一个档次适用于处于空态的交竣验收测试,第二个档次适用于静态或动态的综合性能测试。这类测试适用于对温度、湿度性能要求比较严格的场合。 本检测在气流均匀性检测之后和空调系统调整之后进行。进行这项检测时,空调系统已经充分运转,各项状况已经稳定。每个湿度控制区至少设置一个湿度传感器,并且给传感器充分的稳定时间。所做测量应适合实际使用的目的,待传感器稳定之后才开始测量,测量时间不少于5分钟。 3、压差 这项检测的目的是验证完工设施与周围环境之间、设施内各空间之间保持规定压差的能力,适用于所有3种占用状态。需要定期进行这项检测。压差的测试应在所有的门都关闭的条件下,由高压向低压、由平面布置上与外界远的里间房间开始,依次向外测试;有孔洞相通的不同等级相邻的无尘室(区),其洞口处宜有合理的气流流向等等。 看到这里,大家应该有了一个粗浅的了解了吧,感兴趣要想深入了解的可以找专业网站或是公司了解详情。

空气洁净度等级标准及规范相关

2,ISO1644的ISO5相当于系列的100级(≥μm粒子,≤颗/升,或100颗/ft3,或3530颗/m3)3,洁净度等级在100级以下者(1000,10000级等)通常用μm粒径考核的居多; 4,随着微电子技术的发展,洁净度等级相应提高,洁净室检测粒径也越来越小(见表),对粒子检测仪器的要求当然也越来越高,对洁净室设计和施工方而言,在验收时,可能不止用一个粒径(如μm)而要用到更多的粒径,如μm μm甚至μm。

空气洁净度 空气洁净度 1.空气洁净度和级别 空气洁净度是洁净环境中空气含悬浮粒子量的多少的程度。通常空气中含尘浓度低则空气洁净度高,含尘浓度高则空气洁净度低。按空气中悬浮粒子浓度来划分洁净室及相关受控环境中空气洁净度等级,就是以每立方米空气中的最大允许粒子数来确定其空气洁净度等级。 洁净度标准的制定 以前有关国家都各自制定自己的标准,但基本上都是参照美国标准FS-209的各版进行,仅单位制及命名方法有所变换或改变。在命名上基本可分为两类:一是以单位体积空气中大于等于规定粒径的粒子个数直接命名或以符号命名,这种命名方法以美国FS-209A~E版为代表,其规定粒径为μm,以空气中≥μm 粒径的粒子浓度采用英制pc/ft3直接命名,如标准中的100级,表示空气中≥μm 粒径的粒子浓度为100pc/ft3直接命名,即每立方英尺的空气中≥μm粒径的粒子数量为100个,(我们平时使用的是国际单位,即通常所指的是每立方米的空气中所含≥μm粒径的粒子数量,因为1立方米≈35.2立方英尺,所以我们看到标准中100级对应≥μm粒径的粒子数量不是100个,而是3520个,就是这个道理)。 二是以单位体积空气中大于等于规定粒径的粒子个数以10n表示,按指数n 命名空气洁净度的等级,这种命名方法以日本JISB9920为代表,其规定粒径为μm,以空气中≥μm粒径的粒子浓度(采用国标单位制)10n pc/m3命名为n级,如该标准2级,其表示≥μm粒径的粒子浓度为100 pc/m3,即102pc/m3。俄罗斯的标准亦基本上采用此种命名方法。 现在国际标准ISO14644-1已发布实施,美国标准FS-2009E亦于2001年11月宣布停止使用。 按国际标准,空气中悬浮粒子洁净度等级以序数N命名,各种被考虑粒径D 的最大允许浓度Cn可用公式确定:

欧标和美标对应于中餐燃气炒菜灶的不同要求

欧标和美标对应于中餐燃气炒菜灶的不同要求 【摘要】从工作实践经验总结欧标(EN203)和美标[ANSIZ83.11(CSA1.8)]对应中餐炒菜灶的不同要求,除对产品获取欧美认证指导参考,更重要的是从燃气应用安全本质的角度探讨设备的安全措施选择以及产品品质的要求。提出对国内执行标准的建议。 【关键词】中餐燃气炒菜灶;欧标;美标 1. 中餐燃气炒菜产品简介中餐燃气炒菜灶除了使用鼓风燃烧器的炒炉功能部分之外,还有使用引射大气式燃烧器的具备炮台炉等功能结构的辅助设备 2.基准气不同 (1)基准气和测试用气欧标(EN203)使用EN437燃气分类,燃气参数有高热值和低热值的概念,燃器具的参数和检测数据是以低热值形式表达。 美标[ANSIZ83.11(CSA1.8)]的燃气参数没有高热值和低热值的概念,燃器具的参数和检测数据所使用的燃气热值的数值对应于欧标相当于高热值。 欧标常用热值单位是兆焦耳每立方米(MJ/m3),北美热值常用单位是英制热量单位每立方英尺(BTU/ft3),1BTU/fe3=0.0372MJ/m3。 (2)额定燃气压力和测试压力美标和欧标燃气额定供气压力和测试用燃气压力的不同。欧标常用燃气压力单位是毫巴(mbar),1mbar=100Pa;美标常用的燃气压力单位是英寸水柱(inH2O),1inH2O=254Pa。 3.结构关键零件要求不同 总体结构要求的可维修性能 (1)燃烧器和喷嘴燃烧器除了对固定、清洁保养、可装拆性能要求之外,重点谈一下喷嘴和一次空气调校,欧标规定:“所有使用喷嘴必须被标注,以100毫米倍数形式进行标注,喷嘴须易于拆卸更换,主炉不能使用可调节喷嘴。”,美标没有喷嘴孔径标示的规定,但美标强调喷嘴与引射器的位置,要求喷嘴与引射器固定。欧标规定:“对I2H,I2E,I2E+,I2L,I3+风门需固定不能调节,其他可以使用可调节风门,但需要借助工具才能被调节。”,要求风门是固定的,而美标强调风门要可调节。 (2)火焰监控装置欧标“所有炉头必须有火焰监控装置”;美标没有明确规定,就是说可以不配置,但对于封闭结构和大流量的燃气具以及可能存在熄火安全问题的其他情况,一般也要求配备火焰监控装置。

洁净室的测试及验收标准

洁净室的测试及验收标准 控制洁净室空气参数的目的—检查洁净室是否符合给定的洁净度级别。无论是在投产调试工作完成后的洁净室检测阶段,还是洁净室使用阶段都要完成空气参数的控制工作。在各种标准和建议(16)中都详细地制订了和提出了洁净室空气参数的测试和控制方法。至今这些方法已成为广大科技界的共同财富。 在洁净室内,按其用途的不同应控制下列参数: 1、测试状态的确定 2、空气中粒子的浓度 3、气流的风速和单向性(对单向气流而言) 4、风量和换气次数 5、最终过滤器的整体性 6、空气温度和湿度 7、洁净室的密闭性 8、洁净室表面的洁净度 测试状态的确定:根据设计要求,一般洁净室都是对洁净室内的空气进行静态检测,一般不做动态检测,如需动态检测,需要制定或参照其他标准。 空气粒子浓度的检测 洁净度级别 洁净室和洁净区均按一项指标划分级别—一定粒径粒子的最大允许浓度(每1m3空气中的粒子数)。 空气洁净度级别和空气洁净度的测定方法均按下表中的规定确定,根据该标准的规定,洁净室的洁净级别是由粒径≥给定阀值D的粒子的最大允许浓度确定的。 在确定实际洁净室的洁净度级别时,应对粒径≥阀值的粒子进行统计,下面的粒子给定粒径都是指阀值粒径。

所列为整数级别序数N和最常见值D的粒子最大允许浓度 洁净度级别表示实例 ISO 4级;静态;给定粒径微米(352粒子/m3)。 ISO 5级;静态;给定粒径微米(3520粒子/m3);微米(29粒子/m3)。 因此,在测试具体的洁净室的相应洁净度级别时,不需要检测如上表所示的该级别的所有粒子粒径。而只要检测为该种洁净室给定的粒子粒径。

测定洁净度级别的方法 在检测洁净室的洁净度级别时,应测定洁净室内1点或数点的悬浮粒子浓度(即取样点的粒子浓度)。 因此必须满足下列要求 1)确认洁净室的状态与给定的相符; 2)确定给定粒径,洁净室取样点的数量和位置; 3)确定每一取样点的取样数量; 4)确定对每一种给定粒径在每1取样点上,每1次取样的取样量和取样时间; 5)取样之后应对每一种给定粒径的粒子进行相应统计; 6)将取样数据填入按各种给定粒径统计的粒子统计记录表内(适于采用无计算机软件的粒子计数器的场合下); 7)整理取得的数据; 8)对结果进行分析; 9)整理方案确定级别应符合上表要求。 气流的检测 在洁净室中的气流: 气流风速(通常是控制单向气流的风速) 气流均匀性(单向气流风速稳定性)并目视检查气流。 空气(单向气流)的风速和风量 空气单向气流的风速是在垂直于气流方向的平面上并距离风源150-500mm处测得的。 测试点的数量应大于被测表面面积的平方根,但不得小于3,应在每一个设定的网格中进行测量,测量点应均匀地分布在平面上。 应在距离过滤器表面150mm处测试过滤器出口处的风速。在评价气流的均匀性时,应在距离过滤器表面300mm以上处测试风速。 每1点的测量时间不得少于10秒。并且要确定平均值,最大和最小值。

(完整word版)无尘车间洁净度标准

无尘车间洁净度如何确定详细分析 一、净化车间的规格 净化车间的规格一般适用于美国联邦规格NO.209B。这个规格对净化间的环境要素即空气洁净 度、温湿度、室内压等都进行了规格化规定。但是,伴随着洁净化程度的不断提高,美国联邦规格进行了改版,其内容主要是以洁净度进行分类。最新版已成为NO209E,名称也进行了变更。NO.209E 的级别表示是把0.5um以上的颗粒数为10x个/m3,把X表示成级别,同时加上米制M的意思,表 示成M3.5等等。在表7里表示的是美国联邦规格NO.209B,表8表示的是美国联邦规格NO.209E。 在日本,相应的规格是JIS B9920。JIS9920的级别表示是把O.lum以上的颗粒数规定为10X个,用 Y表示级别。表9、图2表示了JIS B 9920的级别的主要内容。 表8,美国联邦规格NO.209E的洁净度级别分类

*上表中表示的级别上限值仅仅是为了级别分类而定义的,并不表示实际的粒径分布值。**针对中间级别的浓度上限值,用如下的公式进行计算。 粒子直径/m3=10M(0.5/d)2.2,其中,M : SI单位里的级别名称,D :粒径(um) *** 国际单位(Systeme International d 'nites 的缩写) 图1,209E的洁净度级别(图略)图中的?标记表示评价洁净度级别用的对象粒子。 ()内数值是用English unit表示级别。 图2,JIS B 9920的洁净度级别的上限浓度 三、不同用途所要求的洁净度 如前所述,净化间的级别一般分成M3.5(100)、M4.5(1000)、M5.5(10000)、M6.5(100000) 4个级别。但根据各产业领域的作业工序不同,形成必要的级别是不一样的。例如,在半导体制造 工厂等里边,根据作业内容,要求有M1(10)—M5.5(1000)的净化间。而且,在制药工厂里,根据产品的纯度、作业工序,需有从M3.5到M6.5(100,000)范围广泛的级别不等净化间。因此说,各种产业所需要的净化间,其要求的洁净度是不同的。就一般级别而言,表11可以作为参考。 表11,各产业所要求的净化间级别一览

各行业无尘室及洁净度特点

各行业无尘室及洁净度特点

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各行业无尘室及洁净度特点 电子制造业: 随着计算机、微电子和信息技术的发展,推动了电子制造业的飞速发展, 也带动了洁净室技术的发展,同时对洁净室的设计提出了更高的要求,电子制造业的无尘车间设计是一项综合的技术,只有充分了解电子制造业的无尘车间设计特点,做到设计合理,才能让电子制造产业的产品次品率降低,提高生产效率。 电子制造业洁净室的特点:?洁净度等级要求高,风量、温度、湿度、压 差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控,另外该类洁净室对静电要求极其严格。其中对湿度的要求尤甚。因为过于干燥的厂房内极易产生静电,造成CMOS集成损坏。一般来说,电子厂房的温度应控制在22℃左右,相对湿度控制在50-60%之间(特殊洁净车间有相关温湿度规定)。这时可有效地消除静电,并使人也感觉舒适。芯片生产车间、集成电路无尘室和磁盘制造车间是属于电子制造行业洁净室的重要组成部分,由于电子产品在制造、生产过程中对室内空气环境和品质的要求极为严格,主要以控制微粒和浮尘为主要对象,同时还对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等作出了严格的规定。1?、电子制造厂万级洁净室内的噪声级(空态):不应大于65dB(A)。2?、电子制造厂洁净室垂直流洁净室满布比不应小于60%,水平单向流洁净室不应小于40%,否则就是局部单向流了。3?、电子制造厂洁净室与室外的静压差不应小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa。?4、电子制造行业万级洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的最大值: (1)补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。 (2)保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。 (3)电子制造行业洁净室净化空调系统加热器,应设置新风,超温断电保护,若

各行业无尘室及洁净度特点

各行业无尘室及洁净度特点 电子制造业: 随着计算机、微电子和信息技术的发展,推动了电子制造业的飞速发展,也带动了洁净室技术的发展,同时对洁净室的设计提出了更高的要求,电子制造业的无尘车间设计是一项综合的技术,只有充分了解电子制造业的无尘车间设计特点,做到设计合理,才能让电子制造产业的产品次品率降低,提高生产效率。 电子制造业洁净室的特点: 洁净度等级要求高,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控,另外该类洁净室对静电要求极其严格。其中对湿度的要求尤甚。因为过于干燥的厂房内极易产生静电,造成CMOS集成损坏。一般来说,电子厂房的温度应控制在22℃左右,相对湿度控制在50-60%之间(特殊洁净车间有相关温湿度规定)。这时可有效地消除静电,并使人也感觉舒适。芯片生产车间、集成电路无尘室和磁盘制造车间是属于电子制造行业洁净室的重要组成部分,由于电子产品在制造、生产过程中对室内空气环境和品质的要求极为严格,主要以控制微粒和浮尘为主要对象,同时还对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等作出了严格的规定。 1、电子制造厂万级洁净室内的噪声级(空态):不应大于65dB(A)。 2、电子制造厂洁净室垂直流洁净室满布比不应小于60%,水平单向流洁净室不应小于40%,否则就是局部单向流了。 3、电子制造厂洁净室与室外的静压差不应小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa。

4、电子制造行业万级洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的最大值: (1)补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。 (2)保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。 (3)电子制造行业洁净室净化空调系统加热器,应设置新风,超温断电保护,若采用点加湿时应设置无水保护,寒冷地区,新风系统应设置防冻保护措施。无尘室的送风量,应取下面三项最大值:保证电子制造厂无尘室空气洁净度等级的送风量;根据热,湿负荷计算确定电子厂洁净室的送风量;向电子制造厂洁净室内供给的新鲜空气量。 生物制造业: 生物制药工厂的特点: 1、生物制药工厂不仅设备费用高、生产工艺复杂、洁净级别和无菌的要求高,而且对生产人员的素质有严格的要求。 2、在生产过程中会出现潜在的生物危害,主要有感染危险,死菌体或死细胞及成分或代谢对人体和其他生物致毒性、致敏性和其他生物学反应,产品的致毒性、致敏性和其他生物学反应,环境效应。 洁净区: 需要对环境中尘粒及微生物污染进行控制的房间(区域),其建筑结构、装备及其使用均具有防止该区域内污染物的引入、产生和滞留的功能。 气锁间: 设置于两个或数个房间之间(如不同洁净度级别的房间之间)的具有两扇或多扇门的隔离空间。设置气锁间的目的是在人员或物料出入其间时,对气流进

洁净无尘室之定义标准和设备要求

精心整理 洁净无尘室之定义(一)洁净室之定义(供大家参考)洁净室(CleanRoom),亦称为无尘室或清净室。「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件特性。湿度,。 (二)以下仅就209D 如M1、,尘粒子总数中化为10的幂次方,取其指数而得。 (三)洁净室控管之项目1.能除去空气中飘游之微尘粒子。2.能防止微尘粒子之产生。 3.温度和湿度之控制。 4.压力之调节。 5.有害气体之排除。 6.结构物与隔间之气密性。 7.静电之防制。8.电磁干扰预防。9.安全因素之考虑。10.节能之考量。 (四)洁净室之分类1.乱流式(TurbulentFlow):空气由空调箱经风管与洁净室内之空气

过滤器(HEPA)进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。优点:构造简单、系统建造成本,洁净室之扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高洁净室等级。缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活,欲达需求之洁净度,往 线形,此 。其 (2) ULPA 装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响了工作及品质,ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易;B.维修设备时可在维修区轻易执行。(2)洁净管道(CleanTube):将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,

洁净度测试

洁净度测试SOP 1.范围 制剂车间、提取车间内的洁净区、QC卫检室、采样车、洁净工作台、压缩空气、洁净区自主采风设备进风的洁净度测试。 2.职责 检验员:负责本厂洁净区尘埃粒子数、沉降菌、照度的测试 QC、QA主管:监督检查执行情况 3.要求 3.1.我厂洁净区洁净度是按10万级和30万级设计、施工,所以也应按10万级和30万级的洁净 级别进行监测。 3.2.洁净厂房洁净度测试标准按《洁净室(区)环境评定标准》执行。 4.尘埃粒子 4.1.仪器和设备:激光尘埃粒子计数器。 4.2.采样方法 将已稳定激光粒子计数器采样口打开,启动泵进气即可。 4.3.注意事项 4.3.1.检查测定仪器是否正常,并作外表洁净后方可进入测试环境,采样管必须清洁并无渗漏, 仪器按规定预热至稳定。 4.3.2.测试点及采样次数均应在测试开始前确定,防止在测试过程中随意改变测试点及改变采样 次数。 4.3.3.计数器采样口和仪器工作位置应在同一气压和温度下,以免产生测量误差。 4.3.4.在确认洁净室(区)送风量和压差达到要求后,方可进行采样。布置采样点时,应避开回 风口。 4.3. 5.更换测试点时,应待仪器读数下降至稳定后,方可开始新测试点的读数。 4.3.6.测试过程中测试人员应位于采样口的下风侧。 4.3.7.采样管的长度为仪器使用所允许的长度。无规定时,不宜超过1.5米。 4.3.8.测试结果不符合洁净级别要求时,应按原方法重复一次,并且每个测试点的采样次数增加 2次;重复测试结果符合规定时,即可判定为符合该洁净级别的要求。 4.4.测试规则 4.4.1.测试条件

4.4.1.1.温度湿度 要求与生产及工艺相适应(温度18~26℃,相对湿度45~65%为宜) 4.4.1.2.压差 洁净度级别不同的洁净室(区)之间压差>5P a,洁净区与非洁净区之间压差>10P a。4.4.2.测试状态:静态测试和动态测试 4.4.2.1.静态测试:系指洁净厂房的空气净化调节系统已处于正常运行状态,生产设备已安装,室 内没有生产人员的测试。 4.4.2.2.动态测试:系指洁净厂房的空气净化调节系统已处于正常运行状态,生产设备及生产人员 等已处于正常生产状态下的测试。 4.4.2.3.静态测试时,室内人员应不超过2人。测试记录和报告中应标明所测试的状态。 4.4.3.测试时间 4.4.3.1.对单向流,空气净化调节系统正常运行时间不少于10min后开始测试。 4.4.3.2.对非单向流,空气净化调节系统正常运行时间不少于30min后开始测试 4.4.4.采样点数目

洁净车间环境检测

如何对洁净车间洁净度进行检测? 在对净化车间进行洁净度检测时,尽管规定了空气的最小采样量,但在实际工作中,介绍:我们应在保证最小采样量前提条件下,根据已有的检测设备,尽量采用大流量的尘埃粒子计数器。 1、检测仪器的选用 尽管对净化车间内的洁净度的测量,可以采用净化工程光散射粒子计数器、凝结核粒子计数器、电子显微镜和光学显微镜,但目前用得最多的为光散射粒子计数器。由于此种粒子计数器在使用中可以对室内空气的含尘量进行自动、连续、及时地对应测量,并且可以直接显示瞬时的含尘浓度,也可以对不同粒径的含尘浓度进行测量,使用简单、方便、及时、灵活。计数器大体上可分这两种类型:一种是照射系统光轴与检测系统光轴交叉布置的侧向散射型;另一种是两光轴布置在同一直线上的前向散射型。 2、净化车间洁净度检测时,使用光散射粒子计数器的取样量 关于尘埃粒子计数器检测时的空气取样量,在国标GBJ73-84中规定:对于100级的净化车间,每次取样量应大于或等于1L,对于1000~10000级的净化车间,每次取样量应大于或等于0.3L,对于10000级的净化车间,每次取样量应大于或等于 0.1L。 对于100级净化车间,宜采用大流量粒子计数器进行测试。如果不具备,也应采用每次采样量不小于1L的粒子计数器。 在对净化车间进行洁净度检测时,尽管规定了空气的最小采样量,但在实际工作中,我们应在保证最小采样量前提条件下,根据已有的检测设备,尽量采用大流量的尘埃粒子计数器。 3、检测点的布置

根据中华人民共和国国家标准GBJ73-84《洁净厂房设计规范》的规定:在对净化车间进行洁净度检测时,检测点应为距室内地坪1.00m的水平面内;对于单向流型净化车间测点总数应不小于20点,测点间距为0.5-2.0m。水平单向流测点仅布置在第一净化车间工作区内;非单向流净化车间按净化车间面积小于或等于50m2布置5个测点。 4、关于等动力采样的问题 所谓等动力采样就是在检测时,粒子的计数器的采样管的入口方向与被采样的单向气流方向相一致,而且空气进入取样管入口的平均速度与该位置单向气流的平均速度相同。 因为对净化工程的检测我们主要关心两种粒径,即0.5um和5um。非等动力采样对于≤0.5um的粒子影响不大。如果取样空气用于计算大于或等于 0.5um 的粒径浓度,如果这些粒子不受非等动力条件的影响,则计算结果也不受影响。因此,净化车间区域内的非等动力取样仅对大于或等于0.5um粒子才有意义。

无尘车间洁净度标准

无尘车间洁净度标准-CAL-FENGHAI-(2020YEAR-YICAI)_JINGBIAN

无尘车间洁净度如何确定详细分析 一、净化车间的规格 净化车间的规格一般适用于美国联邦规格。这个规格对净化间的环境要素即空气洁净度、温湿度、室内压等都进行了规格化规定。但是,伴随着洁净化程度的不断提高,美国联邦规格进行了改版,其内容主要是以洁净度进行分类。最新版已成为 No209E,名称也进行了变更。的级别表示是把以上的颗粒数为10x个/m3,把X表示成级别,同时加上米制M的意思,表示成等等。在表7里表示的是美国联邦规格,表8表示的是美国联邦规格。在日本,相应的规格是JIS B9920。JIS9920的级别表示是把以上的颗粒数规定为10X个,用Y表示级别。表9、图2表示了JIS B 9920的级别的主要内容。 表8, 美国联邦规格的洁净度级别分类

* 上表中表示的级别上限值仅仅是为了级别分类而定义的,并不表示实际的粒径分布值。 ** 针对中间级别的浓度上限值,用如下的公式进行计算。 粒子直径/m3=10M d),其中,M : SI单位里的级别名称,D : 粒径(um) ***国际单位(Systeme International d’Unites的缩写) 图1 ,209E的洁净度级别(图略)图中的●标记表示评价洁净度级别用的对象粒子。 ()内数值是用English unit 表示级别。 图2 ,JIS B 9920的洁净度级别的上限浓度 表9 三、不同用途所要求的洁净度 如前所述,净化间的级别一般分成(100)、(1000)、(10000)、(100000)4个级别。但根据各产业领域的作业工序不同,形成必要的级别是不一样的。例如,在半导体制造工厂等里边,根据作业内容,要求有M1(10)—(1000)的净化间。而

无尘室等级对照表

车间净化工程: 亦称为无尘室或清净室。是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。 空气洁净度等级: 空气洁净度等级(air cleanliness class)是洁净空间单位体积空气中,以大于或等于被考虑粒径的粒子最大浓度限值进行划分的等级标准。 基本信息: 一、洁净室的空气洁净度,应进行下列测试 (一)空态、静态测试 空态测试:洁净室已竣工,净化空气调节系统已处于正常运行状态,室内没有工艺设备和生产人员的情况下进行测试。 静态测试:洁净室净化空气调节系统已处于正常运行状态,工艺设备已安装,室内没有生产人员的情况下进行测试。 (二)动态测试 洁净室已处于正常生产状态下进行测试。 洁净室的风量、风速、正压、温度、湿度、噪声的检测,可按一般通用、空气调节的有关规定执行。 二、空态、静态测试 (一)测试前的准备

1. 应对洁净室及其净化空气调节系统进行彻底清洁。 2. 采用光散射粒子计数器对高效空气过滤器进行检漏测试。首先测定高效空气过滤器的上风侧静压箱内(或风管内)粒径大于或等于0.5μm的尘粒数应为大于或等于30,000粒/升。如若不够,可引入烟雾,然后开始检漏。将粒子计数器(或检漏装置)的采样口距离高效空气过滤器2-3厘米处,可以2-4厘米/秒的速度移动,对高效空气过滤器整个断面封头胶处和安装框架处进行扫描。 当粒子计数器读数为空气口大于或等于0.5μm的尘粒超过3粒/分·升(或其穿透率大于0.01‰)即认为该处有明显渗漏,必须进行堵漏。 (二)测试内容 1. 总送风量、总回风量、新鲜空气量、排风量等; 2. 洁净室压力值; 3. 层流洁净室断面风速和气流流向; 4. 洁净工作区的洁净度; 5. 室内温度、湿度及其控制能力的调整测试; 6. 洁净室内噪声。 (三)洁净工作区空气洁净度的测试方法 对于粒径大于或等于0.5μm的尘粒计数,宜采用光散射粒子计数法,也可采用滤膜显微镜计数法。 光散射粒子计数法: 1. 光散射粒子计数器采样量100级:每次采样量大于或等于1

无尘洁净室尘埃粒子检测标准操作规程

洁净室尘埃粒子检测标准操作规程 ⒈目的:阐述洁净室(区)中悬浮粒子的测试方法,用以规范员工的检测操作。 ⒉范围:适用于公司内部生产洁净区尘埃粒子检测工作 ⒊责任:生产车间、生产部、质量管理部、QC检验室主任、检验员。 ⒋测依据: ⒌内容: 仪器:光散射粒子计数器和滤膜显微镜。 光散射粒子计数器用于粒径≥μm;滤膜显微镜用于粒径≥5μm的悬浮粒子的计数。使用光散射粒子计数器时应严格按照仪器说明书操作。 5.2测定标准 测试方法 5.3.1 仪器开机,预热至稳定后,方可按说明书的规定对仪器进行校正。 5.3.2 采样管口置采样点采样时,在确认计数稳定后方可开始连续读数。 5.3.4 采样管必须干净、严禁渗漏。 5.3.5 采样管的长度应根据仪器的允许长度,除另有规定外,长度不大于1.5m。 5.3.6 计数器采样口和仪器工作位置应处在同一气压和温度下,以免产生测量误差。 5.3.7 必须按照仪器的检定周期,定期对仪器作检定,以保证测试数据的可靠性。

测试规则 5.4.1 测试条件 5.4.1.1 温度和湿度:洁净室的温度和相对湿度应与其生产及工艺要求相适应,温度控制在18~26℃,相对湿度控制在45~65%之间为宜。 5.4.1.2 压差:空气洁净度不同的洁净室(区)之间的压差应≥5Pa,空气洁净度级别要求等高的洁净室(区)对相邻的空气洁净度级别低的洁净室(区)一般要求呈相对正压。 5.4.2 测试状态:有静态测试和动态测试。 5.4.2.1 静态测试时室内空调系统已处于正常运行状态,测试人员不得多于2人。尘埃粒子数必须符合规定。 5.4.2.2 动态测试时已处于正常生产状态,所产生粒子不影响最终产品的作业,可允许超出标准,但当操作完成10分钟后,粒子水平必须恢复到以洁净区尘粒最大允许数范围之内,应定期监控动态条件下的洁净状况。 5.4.2.3 测试报告中应标明测试时所采用的状态。 5.4.3 测试时间:对单向流,测试应在净化空调系统正常运行时间不少于30分钟后开始。 5.4.4 悬浮粒子计数 5.4.4.1 采样点数目及其布置 5.4.4. 采样点数目及其布置应根据产品的生产及工艺关键操作区设置。 5.4.4. 采样点布置要求均匀,避免采样点在某局部区域过于稀疏。 5.4.4. 采样点一般在工作台面上0.2m高度的平面上均匀布置。 5.4.4.2 采样点的限定:对于任何小洁净室或局部空气净化区域,采样点的数目不得少于2个,总采样次数不得少于5次。每个采样点采样次数可以多于1次,但不同采样点的采样次数可以不同。 最少采样点数目

如何对洁净车间洁净度进行检测

对于洁净车间设计和施工需要投入很多的时间和精力,之后还要对其进行检测。具体如何检测呢? 其实也是有方法的,具体是:1、查看仪器的选用 尽管对洁净车间内的洁净度的测量,可以选用净化工程光散射粒子计数器、凝结核粒子计数器、电子显微镜和光学显微镜,但当时用得最多的为光散射粒子计数器。由于此种粒子计数器在运用中可以对室内空气的含尘量进行自动、连续、及时地对应测量,并且可以直接显现瞬时的含尘浓度,也可以对不一样粒径的含尘浓度进行测量,运用简略、便利、及时、灵活。计数器大体上可分这两种类型:一种是照射系统光轴与查看系统光轴交叉安顿的侧向散射型;另一种是两光轴安顿在同一直线上的前向散射型。 2、计数器的取样量 对于尘土粒子计数器查看时的空气取样量,有相关规定:对于100级的净化车间,每次取样量应大于或等于1L,对于1000~10000级的净化车间,每次

取样量应大于或等于0.3L,对于10000级的净化车间,每次取样量应大于或等于0.1L。 对于100级净化车间,宜选用大流量粒子计数器进行测验。假设不具备,也应选用每次采样量不小于1L的粒子计数器。 3、查看点的安顿 根据相关规定:在对净化车间进行洁净度查看时,查看点应为距室内地坪1.00m的水平面内;对于单向流型净化车间测点总数应不小于20点,测点间隔为0.5-2.0m。水平单向流测点仅安顿在第一净化车间工作区内;非单向流净化车间按净化车间面积小于或等于50m2安顿5个测点。 4、对于等动力采样的疑问 所谓等动力采样就是在查看时,粒子的计数器的采样管的进口方向与被采样的单向气流方向相一致,并且空气进入取样管进口的平均速度与该方位单向气流的平均速度一样。 由于对净化工程的查看首要关怀两种粒径,即0.5um和5um。非等动力采

洁净无尘室之定义 标准和设备要求

洁净无尘室之定义 (一)洁净室之定义(供大家参考)洁净室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为「洁净室」。 (二)洁净室之等级世界各国均有自定规格,但普遍还是用美国联邦标准209为多,以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。209E与209D等最大之不同在于209E表示单位增加了公制单位,洁净室等级以‵M′字头表示,如M1、、、M3…..依此行推,配合国际公制单位之标准化,M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中>=(m之微尘粒子数目字以10的幂次方表示,取指数为之,若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间,则以、、….表示。美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英尺为单位,日本则是采用公制,即以每立方公尺为单位,以(m微粒子为计数标准。日本标准之表示法以Class 1,Class 2,Class 3……Class8表示,最好的等级为Class 1,最差则为Class 8,以每立方公尺中微尘粒子总数

中化为10的幂次方,取其指数而得。 (三)洁净室控管之项目1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。2. 能防止微尘粒子之产生。3. 温度和湿度之控制。4. 压力之调节。5. 有害气体之排除。6. 结构物与隔间之气密性。7. 静电之防制。8. 电磁干扰预防。9. 安全因素之考虑。10. 节能之考量。 (四)洁净室之分类1.乱流式(Turbulent Flow):空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室,并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。优点:构造简单、系统建造成本,洁净室之扩充比较容易,在某些特殊用途场所,可并用无尘工作台,提高洁净室等级。缺点:乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出,易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活,欲达需求之洁净度,往往须耗时相当长一段时间。 2.层流式(Laminar):层流式空气气流运动成一均匀之直线形,空气由覆盖率100%之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式适用于洁净室等级需定较高之环境使用,一般其洁净室等级为Class 1~100。其型式可分为二种:(1)水平层流式:水平式空气自过滤器单方向吹出,由对边墙壁之回风系统回风,尘埃随风向排出室外,一般在下流侧污染较严重。优点:构造简单,运转后短时间内即可变成稳定。缺点:建造费用比乱流式高,室内空间不易扩充。(2)垂直层

洁净室洁净度的测试方法

洁净室洁净度测定工艺 1 范围 本工艺规定了(5~9级)洁净室中悬浮粒子的测试方法和就悬浮粒子而言的空气洁净度的评价。 本工艺适用于洁净室中悬浮粒子洁净度的监测和洁净度等级的验证。 本工艺不包括洁净度1~4级洁净系统的测试。 2规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款,其最新版本适用于本标准。 JGJ71 洁净室施工及验收规范 GB50073洁净厂房设计规范 GB50243 通风与空调工程施工质量验收规范 3 术语 3.1 洁净室clean room 对尘粒及微生物污染规定需进行环境控制的房间或区域。其建筑结构、装备及其使用均具有减少对该区域内污染源的介入、产生和滞留的功能。 3.2 粒子particle 一般尺寸为0.001~1000μm的固态和液态物质。 3.3 洁净度cleanliness

洁净环境内单位体积空气中含大于或等于某一粒径的悬浮粒子的允许统计数。 3.4 单向流unidirectional air flow(曾称为层流laminar flow) 沿着平行流线,以一定流速向单一方向流动的气流。 3.5 非单向流non-unidirectional air flow(曾称为乱流) 具有多个通路循环特性或气流方向不平行的,不满足单向流定义的气流。 3.6 t分布t distribution 正态总体中的一种抽样分布,其分布函数为 总体平均值-样本平均值 t = ———————————— (1) 标准误差 3.7 置信度上限(UCL)upper confidence limit 从正态分布抽样得到的实际均值按给定的置信度(此处为95%)计算得到的估计上限将大于此实际均值,则称计算得到的这一均值估计上限为置信度上限。 3.8 静态测试at-rest test 洁净室净化空气调节系统已处正常运行状态,工艺设备已安装,洁净室内没有生产人员的情况进行的测试。工程施工质量竣工验收的测试为静态测试。 3.9 动态测试operational test 洁净室已处正常生产状态下进行的测试。

空气洁净度分级标准

空气洁净度 空气洁净度 1.空气洁净度和级别 空气洁净度是洁净环境中空气含悬浮粒子量的多少的程度。通常空气中含尘浓度低则空气洁净度高,含尘浓度高则空气洁净度低。按空气中悬浮粒子浓度来划分洁净室及相关受控环境中空气洁净度等级,就是以每立方米空气中的最大允许粒子数来确定其空气洁净度等级。 洁净度标准的制定 以前有关国家都各自制定自己的标准,但基本上都是参照美国标准FS-209的各版进行,仅单位制及命名方法有所变换或改变。在命名上基本可分为两类: 一是以单位体积空气中大于等于规定粒径的粒子个数直接命名或以符号命名,这种命名方法以美国FS-209A~E版为代表,其规定粒径为0.5μm,以空气中≥0.5μm粒径的粒子浓度采用英制pc/ft3直接命名,如标准中的100级,表示空气中≥0.5μm粒径的粒子浓度为100pc/ft3直接命名,即每立方英尺的空气中≥0.5μm粒径的粒子数量为100个,(我们平时使用的是国际单位,即通常所指的是每立方米的空气中所含≥0.5μm粒径的粒子数量,因为1立方米≈35.2立方英尺,所以我们看到标准中100级对应≥0.5μm粒径的粒子数量不是100个,而是3520个,就是这个道理)。 二是以单位体积空气中大于等于规定粒径的粒子个数以10n表示,按指数n命名空气洁净度的等级,这种命名方法以日本JISB9920为代表,其规定粒径为0.1μm,以空气中≥0.1μm粒径的粒子浓度(采用国标单位制)10n pc/m3命名为n级,如该标准2级,其表示≥0.1μm粒径的粒子浓度为100 pc/m3,即102pc/m3。俄罗斯的标准亦基本上采用此种命名方法。 现在国际标准ISO14644-1已发布实施,美国标准FS-2009E亦于2001年11月宣布停止使用。 按国际标准,空气中悬浮粒子洁净度等级以序数N命名,各种被考虑粒径D的最大允许浓度Cn可用公式确定:

钢材材质国标与美标对照表

钢材材质国标与美标对照表 浏览字体:大中小 美国 中国GB 日本JIS 德国 钢种ASTM 牌号牌号标准号钢号钢号材料号标准号 (A53 钢 GGP G3452 (Q235 )种F) (St33) 1.0033 DIN1626 STPY41 G3457 A283-D A135-A STPG38 G3454 (St37) 1.0110 DIN1626 A53-A STPG38 G3456 A106-A St37-2 1.0112 DIN17175 St35.8 1.0305 STS38 G3455 DIN1629/4 St35.4 1.0309 碳素10 A179-C 钢管STB30 G3461 St35.8 1.0305 DIN17175 A214-C A192 STB33 G3461 St35.8 1.0305 DIN17175 A226 STB35 G3461 St35.8 1.0305 DIN17175 A315-B (St42) 1.0130 STPG42 G3454 DIN1626 A53-B St42-2 1.0132 20 STPT42 G3456 A106-B St45-8 1.0405 DIN17175 STB42 G3461 A106-B St45-8 1.0405 DIN17175

A178-C St45-4 1.0309 DIN1629/4 STS42 G3455 A210-A- 1 G345 1.083 STS49 5 St52.4 2 DIN1629/4 低合16Mn A210-C STPT49 G345 St52 1.083 DIN1629/3 金 6 1 钢管 G346 15MnV STBL39 4 G346 16Mn STPL39 A333-1.6 0 1.035 TT St35N SEW680 G346 6 15MnV STBL39 A334-1.6 4 低A333-7.9 1.035 SEW680 09Mn2V TT St35N 温A334-7.9 6 钢G346 SEW680 管STPL46 0 A333-3.4 1.563 (06A1NbCuN) 10Ni14 STBL G346 A334-3.4 7 4 A333-8 1.566 SEW680 (20Mn23A1) X8Ni9 A334-8 2

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