无尘室_洁净室_净化车间标准规格说明(美标、日标)
无尘室(Clean Room)的级数标准规格
無塵室(Clean Room)的級數標準規格
無塵室又稱潔淨室，是將一定空間範圍內空氣的微塵粒子、有害氣體、細菌等之污染物控制在一定的數量內。
無塵室的等級是以一立方英呎含有多少大於0.5um 的微塵粒子來定義的。
下表是根據「美國聯邦標準209D規格」定義的無塵室級數。
一般人大概很難了解 Micron (微米，u) 的大小，這裡有一些實際的比較可以讓你更進一步的了解 Micron (u) 的大小。
∙一個細菌大約有 2 um 大。
∙一個香菸的煙霧顆粒大約有 5 um 大。
∙一顆紅血球大約有 8 um 大。
∙一顆白血球大約有 25 um 大。
∙一個花粉大約有 30 um 大。
∙一根成人的頭髮的直徑大約有 80 um 大。
微塵污染的來源
根據統計，無塵室中的微塵污染來源大部分來自於【人】。
比如說人員進入無塵室，灰塵沾附於衣服上順便帶進無塵室，還有人體皮膚的角質層掉落…等等。
所以嚴格管控無塵衣的穿著的正確性，以及人員進出無塵室時的清潔度就非常重要。
另外，吸完煙者需等三十分鐘以上才能進無塵室，因為香菸的顆粒有 5 微米，而且剛完吸菸者所產生的微塵為非吸煙者的 90 倍，經過三十分鐘後才降為 15 倍。
无尘车间标准要求
无尘车间标准要求标题：无尘车间标准要求引言概述：无尘车间是一种高度洁净的生产环境，广泛应用于电子、医药、食品等行业。
为了确保无尘车间的有效运行和产品质量，各国都有一系列的标准要求。
本文将详细介绍无尘车间的标准要求。
一、空气洁净度要求1.1 空气净化级别：无尘车间的空气洁净度通常根据ISO 14644标准进行分类，常见的级别有ISO 5、ISO 6、ISO 7、ISO 8等。
1.2 空气流速要求：根据车间内的工艺要求和设备布局，空气流速应符合相应标准，确保污染物得以有效排除。
1.3 空气过滤要求：无尘车间内的空气过滤系统需要定期维护和更换，以确保过滤效果和空气质量。
二、温湿度控制要求2.1 温度控制：无尘车间内的温度应符合生产工艺的要求，通常要求在一定的范围内保持稳定。
2.2 湿度控制：对于某些特殊的生产工艺，无尘车间内的湿度也需要进行控制，以确保产品质量和生产效率。
2.3 温湿度监测：无尘车间需要安装温湿度监测设备，实时监测环境参数，及时调整控制参数。
三、地面和墙面要求3.1 地面材质：无尘车间地面通常采用防静电、防滑、易清洁的材料，以确保无尘环境的维护和清洁。
3.2 墙面涂料：墙面要求采用防尘、易清洁的涂料，确保车间内的空气质量和产品质量。
3.3 地面和墙面清洁：无尘车间需要定期清洁地面和墙面，避免灰尘和污垢对生产环境的影响。
四、设备和工具要求4.1 设备密封性：无尘车间内的设备需要具有良好的密封性，防止污染物进入设备内部影响生产质量。
4.2 工具选择：在无尘车间内使用的工具需要符合相关标准，避免产生尘埃或污染物。
4.3 设备维护：无尘车间内的设备需要定期维护和保养，确保设备正常运行和生产质量。
五、人员行为和着装要求5.1 人员培训：无尘车间内的人员需要接受相关的无尘车间操作培训，了解车间标准要求和操作规程。
5.2 着装要求：进入无尘车间的人员需要穿戴相应的防尘服、鞋套、帽子等防护用具，避免带入外部污染物。
洁净室(无尘室)标准
洁净室(无尘室)标准(一)洁净室之定义洁净室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。
「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。
亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为「洁净室」。
(二)洁净室之等级世界各国均有自定规格，但普遍还是用美国联邦标准209为多，以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。
209E与209D等最大之不同在于209E表示单位增加了公制单位，洁净室等级以‵M′字头表示，如M 1、M1.5、M2.5、M3…..依此类推，配合国际公制单位之标准化，M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微尘粒子数目字以10的幂次方表示，取指数为之，若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间，则以1.5、2.5、3.5….表示。
美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英呎为单位，日本则是采用公制，即以每立方公尺为单位，以0.1μm微粒子为计数标准。
日本标准之表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表示，最好的等级为Class 1，最差则为Class 8，以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方，取其指数而得。
(三)洁净室控管之项目1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。
2. 能防止微尘粒子之产生。
3. 温度和湿度之控制。
4. 压力之调节。
5. 有害气体之排除。
6. 结构物与隔间之气密性。
7. 静电之防制。
8. 电磁干扰预防。
9. 安全因素之考虑。
10. 节能之考量。
(四)洁净室之分类1.乱流式(Turbulent Flow)：空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。
无尘车间洁净度标准
无尘车间洁净度如何确定详细分析一、净化车间的规格净化车间的规格一般适用于美国联邦规格No.209B。
这个规格对净化间的环境要素即空气洁净度、温湿度、室内压等都进行了规格化规定。
但是，伴随着洁净化程度的不断提高，美国联邦规格进行了改版，其内容主要是以洁净度进行分类。
最新版已成为No209E，名称也进行了变更。
No.209E 的级别表示是把0.5um以上的颗粒数为10x个/m3，把X表示成级别，同时加上米制M的意思，表示成M3.5等等。
在表7里表示的是美国联邦规格No.209B，表8表示的是美国联邦规格No.209E。
在日本，相应的规格是JIS B9920。
JIS9920的级别表示是把0.1um以上的颗粒数规定为10X个，用Y表示级别。
表9、图2表示了JIS B 9920的级别的主要内容。
表8, 美国联邦规格No.209E的洁净度级别分类级别上限值是各级别名。
上限值用指定粒径以上的浓度（单位堆积粒子数）表示。
** 上表中表示的级别上限值仅仅是为了级别分类而定义的，并不表示实际的粒径分布值。
** 针对中间级别的浓度上限值，用如下的公式进行计算。
粒子直径/m3=10M(0.5/d)2.2，其中，M : SI单位里的级别名称，D : 粒径（um）***国际单位（Systeme International d’Unites的缩写）图1 ，209E的洁净度级别（图略）图中的●标记表示评价洁净度级别用的对象粒子。
（）内数值是用English unit 表示级别。
图2 ，JIS B 9920的洁净度级别的上限浓度表9，三、不同用途所要求的洁净度如前所述，净化间的级别一般分成M3.5（100）、M4.5（1000）、M5.5（10000）、M6.5（100000）4个级别。
但根据各产业领域的作业工序不同，形成必要的级别是不一样的。
例如，在半导体制造工厂等里边，根据作业内容，要求有M1（10）—M5.5（1000）的净化间。
净化车间标准
净化车间标准
首先，净化车间的洁净度标准是非常重要的。
洁净度标准通常
是以空气中悬浮微粒的数量来衡量的，常用的单位有颗粒数/立方米（ISO标准）、颗粒数/立方英尺（美国标准）等。
在制定净化车间
标准时，应根据生产的具体要求和产品的特性来确定洁净度标准，
以确保产品的质量和生产的正常进行。
其次，净化车间的空气流速和空气质量也是需要重点考虑的。
空气流速应能够有效地将污染物带出车间，保持空气的流通和洁净度。
同时，空气质量也应符合相关标准，确保生产过程中不会对产
品质量产生影响。
此外，温度、湿度和静电的控制也是净化车间标准中必不可少
的内容。
在一些特定的生产环境中，温度和湿度的控制对产品的质
量和生产过程起着至关重要的作用。
静电的控制也是非常重要的，
特别是在电子、半导体等行业，静电可能会对产品产生严重的影响，因此在净化车间标准中应有相关的规定和措施。
总之，净化车间标准的制定和执行对于保证产品质量和生产环
境的洁净度至关重要。
在制定净化车间标准时，应综合考虑洁净度、
空气流速、空气质量、温度、湿度和静电等因素，确保生产过程中
不会对产品质量产生影响。
同时，净化车间标准的执行也是非常重
要的，只有严格执行标准，才能保证产品的质量和生产环境的洁净度。
因此，应加强对净化车间标准的宣传和培训，确保所有相关人
员都能够严格执行标准，以保证生产的顺利进行和产品质量的稳定。
净化车间等级划分标准
净化车间等级划分标准净化车间是一种特殊的工作环境，用于处理对微尘、微生物和其他污染物极其敏感的工艺或实验。
为了满足不同应用的需求，净化车间被划分为不同的等级，根据其能够提供的空气洁净度来进行分类。
以下是常见的净化车间等级划分：1. ISO 14644-1标准ISO 14644-1是国际标准化组织（ISO）制定的净化空气等级的标准。
它定义了空气中颗粒物浓度的限值，并根据这些限值将净化空气划分为九个等级，从最高级别ISO 1到最低级别ISO 9。
ISO 1：洁净室内每立方米空气中直径大于0.1µm的颗粒物数不超过10个。
ISO 2：洁净室内每立方米空气中直径大于0.1µm的颗粒物数不超过100个。
ISO 3：洁净室内每立方米空气中直径大于0.1µm的颗粒物数不超过1,000个。
ISO 4：洁净室内每立方米空气中直径大于0.1µm的颗粒物数不超过10,000个。
ISO 5：洁净室内每立方米空气中直径大于0.1µm的颗粒物数不超过100,000个。
ISO 6：洁净室内每立方米空气中直径大于0.1µm的颗粒物数不超过1,000,000个。
ISO 7：洁净室内每立方米空气中直径大于0.1µm的颗粒物数不超过10,000,000个。
ISO 8：洁净室内每立方米空气中直径大于0.1µm的颗粒物数不超过100,000,000个。
ISO 9：洁净室内每立方米空气中直径大于0.1µm的颗粒物数不限制。
2. 美国联邦标准209E美国联邦标准209E是美国国家航空航天局（NASA）制定的净化空气等级的标准。
它与ISO 14644-1类似，将空气质量划分为九个等级，从最高级别Class 1到最低级别Class 100,000。
Class 1：洁净室内每立方英尺空气中直径大于0.5µm的颗粒物数不超过1个。
Class 10：洁净室内每立方英尺空气中直径大于0.5µm的颗粒物数不超过10个。
无尘室等级区分标准
无尘室是一种能够控制空气中微粒子和污染物浓度的特殊环境。
根据微粒子和污染物的浓度等级不同，无尘室可以分为不同的等级。
以下是常见的无尘室等级区分标准：
1. ISO 14644等级：这是国际标准化组织（ISO）制定的无尘室等级标准。
分为六个等级，从最高级别的Class 10到最低级别的Class 100，依次降低微粒子和污染物的浓度。
2. 美国联邦标准等级：这是美国联邦政府制定的无尘室等级标准。
分为四个等级，从最高级别的Class 100到最低级别的Class 1000，依次降低微粒子和污染物的浓度。
3. 日本工业标准等级：这是日本工业标准组织（JIS）制定的无尘室等级标准。
分为三个等级，从最高级别的JIS Class 100到最低级别的JIS Class 1000，依次降低微粒子和污染物的浓度。
4. 欧洲标准等级：这是欧洲标准化组织（CEN）制定的无尘室等级标准。
分为四个等级，从最高级别的ISO Class 5到最低级别的ISO Class 8，依次降低微粒子和污染物的浓度。
以上是常见的无尘室等级区分标准，每个标准都有其独特的等级划分和要求，具体应用时需要根据实际情况选择合适的标准。
无尘室_洁净室_净化车间标准规格说明(美标、日标)
M3.5 100 - - 26500 750 10600 300
3530 100 -
M4
- - 75700 2140 30900 875 10000 283 -
M4.5 1000 - -
-
-
-
M5
--
-
-
-
M5.5 10000 - -
-
-
-
-
35300 1000 247
-
100000 2830 618
无尘室/洁净室/净化车间标准规格说明（一）
目前世界各国虽有自订规格，但普遍还是采用美国联邦标准 209 为多，今就 209D 及 209E 和世界上其他各国之所订标准再做更进一步之介绍与相互比较。表 1-1 为美国联邦标准 209D 之洁净室规格。
表 1-1 美国联邦标准 209D 洁净室规格
洁净室
表 1-3 日本 JIS（9920 ~1989）标准
粒径\级 数 0.1 0.2 0.3 0.5 5.0
Class1 Class2 Class Class4 Class5 Class6 3
101
10
2
24 236 2，360 23，600
-
1
10 101 1，010 10，100 101，000
表 1-2 美国联邦标准 209E
洁净度等级 0.1um
0.2um
单位
单位
公制 英制 (m3) (ft3) (m3)
M1
350 9.91 75.7
0.3um 单位 (ft3) (m3) 2.14 30.9
微尘粒子
0.5um
单位
(ft3)
(m3)
0.875 10.0
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5um 单位 (ft3) (m3) 0.283 -
1.00 -
(ft3) -
-
M2
3500 99.1 757 21.4 309 8.75
100 2.83 -
-
M2.5 10 12400 350 2650 75.0 1060 30.0
353 10.0 -
-
M3
35000 991 7570 214 3090 87.5 1000 28.3 -
-
353000 10000 2470
7.00 17.5 70.0
M6
--
-
-
-
- 1000000 28300 6180
175
M6.5 100000 - -
-
-
-
- 3530000 100000 24700
700
M7
--
-
-
-
- 10000000 283000 61800
1750
美国联邦标准 FS 209D 都以英制每立方英尺为单位，而日本则是采用公制，即以每立方 公尺为单位；另外 209D 与日本 JIS（B9920-1989）标准中另一不同点为 209D 是以 0.5um 之粒 子数为计数基准，而日本则以 0.1um 微粒子为计数标准。日本标准之表示法是以 Class1,Clas s2,Class3,......Class8 表示，即最好之等级为 Class1,最差则为 Class8,表 1-3 为日本 JIS （9920-1989）之标准规定的粒子上限数（个/m3）。其 Class1，Class2...之数目字以 0.1um 粒子为基准，而以每立方公尺中微尘粒子总数中化为 10 之幂次方，取其指数而得。
无尘室/洁净室/净化车间标准规格说明（一）
目前世界各国虽有自订规格，但普遍还是采用美国联邦标准 209 为多，今就 209D 及 209E 和世界上其他各国之所订标准再做更进一步之介绍与相互比较。表 1-1 为美国联邦标准 209D 之洁净室规格。
表 1-1 美国联邦标准 209D 洁净室规格
洁净室
微尘粒子
级数（C 粒子大小 粒子数目 Pa
lass) um rticles/ft3
压力 mmAg
推薦 值域℃
值℃
温度
风速与换气率 照度 lux
（次/hr)
误差 最大 MA 最小 误差%
值℃ X% MIN%
≧0.5
≦1
1
≧5.0
0
层流方式 0.35~
≧0.5 10
≧5.0
≦10 0
±2.8
±10
0.55 m/s
至于 209E 和 209D 等最大之不同点在于 209E 表示单位增加了公制单位，即洁净室等级以 “M”字头表示，如 M1、M1.5、M2、M2.5、M3......依此类推，其目的在于配合国际公制单位 之标准化。M 字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中≧0.5um 之微尘粒子数目字以 10 的幂次 方表示，而取指数为之；若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间（即非整数，则以 1.5、 2.5、或 3.5......等表示之。表 1-2 即为 1992 年 9 月新颁布之美国联邦标准 209E 之内容， 前述之 M 字母后的数字，可从表中 0.5um 列的数值中求出，读者可试算之。
M3.5 100 - - 26500 750 10600 300
3530 100 -
M4
- - 75700 2140 30900 875 10000 283 -
M4.5 1000 - -
-
-
-
M5
--
-
-
-
M5.5 10000 - -
-
-
-
-
35300 1000 247
-
100000 2830 618
1080
100 1000 10000
≧0.5 ≧5.0 ≧0.5 ≧5.0 ≧0.5 ≧5.0
≦100
≦1 ≦1000 ＞1.3 19.4~25 22.2 特殊 45 30 特殊
≦10
需求
需求
~ 1620
≦10000 ≦65
±1.4
乱流方式≧20
±5
次/hr
≧0.5 100000
≧5.0
≦100000 ≦700
表 1-2 美国联邦标准 209E
洁净度等级 0.1um
0.2um
单位
单位
公制 英制 (m3) (ft3) (m3)
M1
350 9.91 75.7
0.3um 单位 (ft3) (m3) 2.14 30.9
微尘粒子
0.5um
单位
(ft3)
(m3)
0.875 10.0
M1.5 1 1240 35.0 265 7.50 106 3.00 35.3
-
- 35 350 3，500 35，000
-
-
-
-29Biblioteka 290Class7
107 1，010，000 350，000 2，900
Class8
108 -
10，100，000 3，500，000
29，000
表 1-3 日本 JIS（9920 ~1989）标准
粒径\级 数 0.1 0.2 0.3 0.5 5.0
Class1 Class2 Class Class4 Class5 Class6 3
101
102 103
104
105
106
2
24 236 2，360 23，600
-
1
10 101 1，010 10，100 101，000