JSM-6700F扫描电镜使用说明
JSM-6700f_扫描式 电子显微镜操作规程
6700F操作规程早上来时，打开tool界面，查看电镜状态，并先计录下SIP1、SIP2的值。
（只需计早上开机时的值，中午和晚上无需计）打开自动控制器侧面的开关。
一、 放进样品：1．确认高压处于关闭状态，高压开关按钮为蓝色或黑色。
2．点击打开窗口，从窗口中选择和要使用的样品座相对应的图形（用鼠标左键点击）。
点击下方“Exchange”或“Home”按钮。
3．调整样品台Z轴为8mm，T轴为0°（唯一的）。
Z轴T轴X轴Y轴4．确认样品交换室操作面板上“EXCH POSN”灯点亮。
样品座卡抓5．按“VENT”按钮，此时样品交换室进氮气，“VENT”闪烁，待交换室达到大气压后，“VENT”点亮。
6．松开交换室锁扣，打开样品交换室，将已固定好样品的样品座，按箭头方向放到送样杆末端的卡抓内。
样品台固定方法：首先将样品固定在样品台上，再将样品台放到样品座的圆筒槽内，调节样品座下方的螺丝，调整样品表面与样品座圆筒槽上表面齐平。
调好后，拧紧样品座上的固定螺丝，将样品台固定。
样品表面样品座圆筒槽表面样品表面样品座圆筒槽表面样品表面样品座圆筒槽表面样品台样品座圆筒槽样品台高度调节螺丝样品座7．关闭样品交换室门，扣好锁扣。
8．按“EV AC”按钮，开始抽真空，“EV AC”闪烁，待真空达到一定程度时，“EV AC”点亮。
9．将送样杆放下至水平，向前轻推至送样杆完全进入样品室，无法再推动为止，停留1秒钟，确认“HLDR”灯点亮。
10．将送样杆向后轻轻拉回直至末端台阶露出导板外（非常重要，否则易引起送样杆损坏），将送样杆竖起卡好。
导板末端台阶末端台阶导板二、 样品的移动：1．用鼠标右键点击需要观察的区域，该区域即移动到屏幕中心。
2．使用操纵杆：通过左右倾斜操纵杆控制样品水平左右移动，通过前后倾斜操纵杆控制样品水平上下移动，通过扭拧操纵杆控制样品水平旋转。
Y方向X方向三、 图像调整及保存：1．观察条件：5.14-E-004样品放入样品室后，打开“PVG”，查看真空度，达到后，且“HT”变蓝时，才可以准备加高压。
扫描电镜简明操作规程
PHENOM TM台式扫描简明操作规程如何激活phenom当处于不活动状态1小时后，机子切换到待机状态。
电源指示灯呈橙色。
当处于72小时不活动状态时，机子进入省电模式，橙色电源灯开始闪烁。
■从待机或省电模式激活电脑：按电源控制按钮。
√在机子再次完全激活前，绿色电源指示灯会一直闪烁。
从待机状态激活需要大约4mim；从省电模式激活需要大约6min。
√机器立刻可以进行光学成像分析。
√进度条显示仍然处于正在苏醒中。
√沙漏图标显示苏醒正在进行中。
当载入试样时，触摸显示屏上的出仓按钮也可激活机器。
相见4.3载入试样。
试样的工作距离选择大部分试样应使用中工作距离（样品台旋下5-7mm即10-14格），其他的推荐使用长工作距离10-12mm。
不要使用短工作距离，目前发现的几次损害多是由于粉末样品距离太近碰到探头导致的。
试样的准备a.机器能够容纳的试样：直径25mm，高30mm。
b.严禁潮湿试样放入机器里面。
潮湿试样在真空下会放出气体。
这对成像能力造成严重问题，并且对机器造成永久性损坏。
在放入试样时务必将试样进行彻底干燥。
c.在试样放入机器中时，用压缩空气多次吹试样，确保试样中没有松散的颗粒。
d.务必将试样紧紧地固定在试样台上。
将试样从空气移动到真空可能导致松散的试样材料残留下来形成沉积物。
这些碎片能够形成柱状物，并且会歪曲电子束。
普通试样的制备在随后会有合适的说明。
这样可以获得更高质量的图像，并且减少维护。
制备试样时需要的工具：试样台（直径不超过25mm）；试样台夹；标准钳子；试样台盘；牙签（或其他可随意使用的尖锐东西）；这些工具之一即可：石墨乳（润滑剂）、银的涂料、或双面胶；更详细的试样制备过程请阅读操作手册。
其它试样的说明不能用石墨乳和银浆的试样，可以使用双面胶。
粉末试样粉末颗粒包括但不限于粉末、花粉、小铁屑、硅藻材料和其他粉尘状物质。
1、为了准备颗粒试样，先将双面胶粘在光的试样台上。
2、挑一根牙签、镊子或其他带尖的东西，弄一点颗粒试样在尖端。
JSM-6700F扫描式电子显微镜使用指导书
目錄1.目的 (2)2.範圍 (2)3.權責 (2)4.參考資料 (2)5.儀器介紹 (2)6.操作程序 (4)7.注意事項 (8).1.目的本文旨於介紹JSM-6700F掃描式電子顯微鏡之工作原理及操作方法等基本資料，以維顯微鏡之工作品質及人員與設備之安全。
2.範圍HR-FESEM室JSM-6700F掃描式電子顯微鏡之操作。
3.權責3.1本工作指導書由技術人員會同儀器負責教授訂定。
修訂方式亦同。
3.2本工作指導書供相關操作人員參考。
4.參考資料捷東JSM-6700F掃描式電子顯微鏡操作說明書。
5.儀器介紹5.1 External view of JSM-6700F5.2 General view of column6.操作程序6.1 開啟SEM OPE switch6.2 打開SEM電腦主機&螢幕6.3 點選操作軟體視窗-- JEOL PC-SEM 6700(桌面)6.4 確認SEM操作前步驟OK，檢視以下數值：a.氮氣鋼瓶內壓1小格以上，操作壓力≥5Kgb.確認EDS及BEI detector已伸出chamber外c.確認tilt位置在0d.確認STAGE上WD在8mm及螢幕上WD在8mme.確認STAGE歸至原位X=35.00、Y=25.00、R=0.00(Soft:stage/exchange—選擇holder --exchange)f.確認放大倍率縮至最小(250倍)g.確認加速電壓是否在10KVh.確認ROTATION 與BEAM SHIFT是否已歸位i.確認Probe Current是否在7j.確認EXCHANGE CHAMBER抽真空k.確認l.close (橘色燈亮)6.5 將樣品置入試片載台a.試片大小需符合JEOL specimen holders，將試片處理完後放置於樣品holder上，試片高度不可超過樣品holder上方0.5公分，並確認試片已固定好。
b.洩真空，按SPECIMEN EXCHANGE CHAMBER(約一秒鐘聽到“喀”一聲)前室真空腔的扣型開關打開。
浅析fei扫描电镜的工作方式和操作流程
浅析fei扫描电镜的工作方式和操作流程fei扫描电镜是一种高分辨率的电子显微镜，它利用电子束而不是光束来形成图像。
下面是fei扫描电镜的工作方式和操作流程的概述。
1、准备样品：首先，需要准备要观察的样品。
样品通常需要被切割、研磨、涂覆导电材料或冷冻处理等预处理步骤，以便在FE-SEM中进行观察。
样品也可以是固体、粉末、薄片、纤维等不同形式。
2、投射电子束：电子枪生成高能电子束。
这个电子束通过一个称为“透镜系统”的装置来控制和聚焦。
透镜系统由多个磁透镜组件组成，用于聚焦和形成非常小的束斑。
3、扫描样品表面：样品放置在一个可移动的样品台上。
样品台可以水平和垂直移动，以便对样品进行精确定位。
一旦样品定位正确，电子束开始在样品表面上进行扫描。
4、探测信号：当电子束照射到样品表面时，与电子相互作用的产生多种信号。
常见的信号包括二次电子和反射电子。
这些信号被称为“显微镜图像”，可以提供关于样品表面形貌、元素分布或晶体结构等信息。
5、接收和处理信号：使用一系列探测器来接收不同类型的信号，并将其转换成电子图像。
例如，二次电子探测器用于产生样品表面形貌图像，而反射电子探测器用于获取更深入的信息，如材料的组成和晶体结构。
6、形成图像：接收到的信号经过放大、滤波和数字化处理后，传送到显示器上形成图像。
通过调整扫描参数(如电子束能量、聚焦、扫描速度等)，可以获得所需的图像对比度和分辨率。
7、分析和解释图像：一旦获得了图像，研究人员可以对图像进行进一步的分析和解释。
他们可以观察样品的微观结构、孔隙性质、晶体取向等，并根据需要进行定量测量和形态分析。
8、数据记录和保存：FE-SEM通常配备有数据记录和保存的功能，可以将观察到的图像和相关信息保存在计算机或其他储存设备中。
这样，研究人员可以随时回顾、比较和分享结果。
fei扫描电镜广泛应用于材料科学、生命科学、纳米技术等领域，帮助研究人员获得高分辨率的表面形貌和微结构信息。
操作需要一定的专业知识和技能，以确保样品的准备和操作步骤正确无误，并获得可靠和准确的显微图像。
SEM操作规程范本
JSM-7800F扫描电镜操作规程1、确认Maintenance界面内的GUN/AC内GUN参数（电流值稳定）和SIP1和SIP2的真空度正常方可运行！！2、选择正确的样品座放置样品并固定，样品高度不要超过样品座上方10mm。
注意：接触样品座，取放样品时务必戴手套操作！！！3、装样品前必须确认高压处于关闭状态。
4、点击SEM应用程序软件中Specimen窗口的Exchange Position按钮，使样品交换室控制面板EXCH POSN灯点亮，并确认样品台处于样品交换的位置（X：0.000mm，Y：0.000mm，Z=40.0mm，R：0.00，T：0.00）。
5、按下VENT按钮对Exchange chamber放气，直至VENT常亮，表示样品交换室处于大气状态。
6、松开交换室锁扣，打开样品交换室，将已固定好样品的样品座，按箭头方向置于样品座夹具内。
7、完全关闭样品交换室门，扣好锁扣。
8、按下EVAC按钮，开始抽真空，EVAC闪烁，待真空达到要求时，EVAC常亮。
9、手持样品交换杆，将样品杆放下至水平并向前轻推，将样品Holder 完全送进交换室中，注意当HLDR灯亮起后，再完全拉出样品杆，垂直立起放置，此时样品已正常放置于样品室内。
注意：在拉动样品杆时，若有警报声，应立即停止操作，将样品杆归位，检查操作步骤是否正确。
10、在SEM应用程序软件界面正确选择所使用Holder的类型，输入样品高度值，点击OK确认。
11、输入Z值10mm。
11、查看样品室真空度，确认真空度小于5.0×10-4 Pa时才可开始进行图像操作。
12、观察样品，获取图像。
（1）点击ON，打开高压，根据样品选择所需的电压。
（2）如果有多个样品，按下LDF按钮切换到低倍模式，选择要观察的样品位置，选好后按LDF按钮切换回高倍模式。
（3）确认Scanning Mode在Quick View状态，寻找样品表面的明显特征。
JSM-6700F扫描式电子显微镜使用指导书.doc
JSM-6700F扫描式电子显微镜使用指导书目錄l.i 的............................................................... . (2)2•範圍............................................................... . (2)3權責............................................................... . (2)4.參考資料............................................................... .. (2)5.儀器介紹............................................................... .. (2)6 •操作程序...............................................................7 •注意事項............................................................... .. (8)■1•目的本文旨於介紹JSM-6700F掃描式電子顯微鏡Z工作原理及操作方法等基本資料，以維顯微鏡之工作品質及人員與設備之安全。
2•範圍HR-FESEM室JSM-6700F掃描式電子顯微鏡之操作。
3•權責3.1本工作指導書由技術人員會同儀器負責教授訂定。
修訂方式亦同。
3.2本工作指導書供相關操作人員參考。
4•參考資料捷東JSM-6700F掃描式電子顯微鏡操作說明書。
5.儀器介紹5.1External view of JSM-6700F5.2General view of column6 •操作程序6.1 開啟SEM OPE switch6.2打開SEM電腦主機&螢幕6.3點選操作軟體視窗-JEOL PC-SEM 6700（桌面）6.4確認SEM操作前步驟0K,檢視以下數值：a・氮氣鋼瓶內壓1小格以上，操作壓力上5Kgc.確認tilt 位］［在0b・確認EDS及BEI detector已伸出chamber夕卜d・確認STAGE ± WD在8mm及螢幕上WD在8mme・確認STAGE 歸至原位X=35.00> Y二25.00、R=0.00（Soft:stage/exchange一選擇holder ・-exchange）f・確認放大倍率縮至最小（250倍）g・確認加速電壓是否在10KVh・確認ROTATION與BEAM SHIFT是否已歸位i・確認Probe Current是否在7j・確認EXCHANGE CHAMBER抽真空k・確認I.close （橘色燈亮）6.5將樣品置入試片載台a.試片大小需符合JEOL specimen holders,將試片處理完後放置於樣品holder ±,試片高度不可超過樣品holder ±方0.5公分，並確認試片己固定好。
扫描电镜操作手册
扫描电镜操作手册扫描电镜操作手册一、目的本操作手册旨在为使用扫描电镜（Scanning Electron Microscope，简称SEM）的用户提供操作步骤和指南，以确保仪器的正确使用和延长其使用寿命。
二、操作步骤1、准备样品：根据SEM的要求，准备需要观察的样品。
确保样品具有足够的稳定性和导电性。
2、打开仪器：按顺序打开SEM的电源开关，并确保仪器稳定运行。
3、选择工作模式：根据样品的特性选择适当的工作模式（如高分辨率、低分辨率等）。
4、调整工作参数：根据需要，手动设置电子束加速电压、扫描速率、扫描分辨率等参数。
5、安装样品：将样品固定在样品台上，确保其稳定不动。
6、聚焦和校准：通过操作台面上的按钮或软件界面，调整电子束的聚焦位置和校准参数，确保图像的清晰度和准确性。
7、观察和记录：启动扫描过程，观察样品的微观结构，并使用计算机软件记录观察到的图像。
8、调整和优化：根据需要，对扫描参数进行调整和优化，以获得更好的图像质量。
9、关闭仪器：在完成观察后，按顺序关闭SEM的电源开关，并确保仪器完全停止运行。
三、注意事项1、在操作SEM之前，请务必阅读并了解仪器的操作手册和安全规范。
2、确保SEM的工作环境干燥、清洁，并避免强磁场、振动的干扰。
3、在安装和移动样品时，请避免与仪器碰撞，以免损坏设备。
4、在操作过程中，请勿将身体任何部位置于仪器内部，以防意外伤害。
5、若遇到任何操作问题，请及时联系专业人员进行处理。
四、维护与保养为了保持SEM的性能和延长其使用寿命，建议定期进行以下维护与保养工作：1、清洁真空系统：定期清洗或更换真空系统的组件，以确保仪器在高真空状态下运行。
2、检查电子枪：定期检查电子枪及其组件，确保其正常工作。
如需要，请更换老化的组件。
3、校准和调整：定期进行仪器的校准和调整，以保证图像的准确性和清晰度。
4、更换消耗品：根据需要，更换老化的真空泵油、过滤器等消耗品。
5、软件更新：定期更新SEM的软件系统，以确保其兼容性和稳定性。
JSM-6700F操作规程
JSM-6700F 场发射扫描电镜操作规程1 试样准备1.1 样品要求：表面导电，固态，无磁性，无挥发性气体,干燥样品，最大高度差3mm 。
体相样品可以直接测量，粉末样品需分散固定在一定的介质上。
非导电样品利用离子溅射仪对表面喷镀金属使其导电。
1.2 试样处理：利用双面胶将样品固定在样品托上，进行镀金（导电样品可以省略），然后利用导电胶或导电胶带将样品表面与样品台短接，导电胶需要彻底干燥后方可进行测试。
1.3 样品台安装：将样品托放入样品台内，调节其高度与样品台上表面平行，固定样品托。
2 进样操作2.1 点击工具栏上的样品台更换Stage Exchange 按钮，在弹出的窗口中点击Exchange 。
2.2 按充气按钮VENT 向样品交换室充气，至橙色指示灯长亮。
2.3 打开舱门，把样品台平面向内沿轨道推到底，检查密封圈是否脱落后关闭舱门。
2.4 按抽气按钮EVAC 对样品交换室抽真空，至橙色指示灯长亮。
2.5 将进样杆拉到水平状态，缓缓送入仪器内部。
推到底后确认样品台就位灯HLDR 点亮，即可抽出进样杆（一定要全部拉出后，才可向上复位）。
2.6 点击工具栏上PVG 按钮显示真空计窗口，当真空度值小于5×10-4 Pa 时开始加高压，设定好高压值后点击HT 按钮，使其由篮转绿。
2.7 当电流值达到10 µA 时，打开截止阀 ，按钮灯熄灭后开始测试。
3 取样操作3.1 关闭截止阀 ，按钮灯亮。
3.2关闭高压HT ，按钮颜色由绿转篮。
3.3 点击工具栏上的样品台更换Stage Exchange 按钮，在弹出的窗口中点击Exchange ，等待样品台中置灯 点亮(如果不亮进行样品台矫正Maintenance －Stage －Calibtation －Auto )。
3.4 此时把进样杆拉到水平状态，缓缓送入仪器内部。
推到头后再缓缓抽出进样杆。
（一定要拉到底，方可向上复位）此时样品台就位灯HLDR 应该熄灭3.5 按充气按钮VENT 为样品交换室充气，至橙色指示灯长亮3.6 打开舱门，把样品台沿轨道取出后关闭舱门（检查密封圈是否脱落）。
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JSM-6700F扫描电镜使用说明
JSM-6700F, 扫描电镜, 使用说明
1．确认设备和环境状态正常后，按操作台上的OPNPOWER”的右钮开机，开启操控面板电源，开计算机，进入JEOLPC-SEM工作界面，程序会自动进行以下三方面准备：
1） Flash（加热灯丝去除灯丝表面污染），为了使灯丝工作电流稳定，最好在Flash30分钟后进行观察；
2）样品台复位，根据需要选择进行或取消。
3）样品台选择，根据需要选择或取消。
2．检查工作状态，确认主机上WD为8㎜，EXCH灯亮，TILT 为0；按VENT键，灯闪烁，停闪后打开样品室门，把样品架放在样品台坐上（注意运行样品台选择程序，否则样品台移动范围不对，造成设备损害），关上样品室门；按EVAC键，灯闪烁，停闪后将样品送入样品室内，这时要确认HLDR灯亮；抽真空10分钟左右，确认样品室真空度小于2×10-4Pa后方可加电压。
3．按主机上的GUN VAVLE CLOSE键，此灯熄灭，电子束开始扫描。
用操控器上的LOW MAG选用低放大倍率，用样品台上的WD 轴粗调焦，出现图象后再逐步放大，最后用FOCUC细聚焦；为了调焦方便，可以按操控器上的RDC IMAG键选用小窗口，和按操控器上的QUICK VIEW快速扫描。
当放大倍数高于5000倍时应注意图象的象散，检测的方法是把图象倍率再增加，用聚焦钮在焦点附近调焦，如果图象有“涂污”的痕迹，而且在焦点的欠焦一侧和过焦一侧涂污方向垂
直，就表示有象散存在，用操控器上的消象散X、Y纽使涂污消失，此时图象清晰度会明显提高，调焦和清象散应在比照相所需的放大倍数高的放大倍数下进行，至少高出1.5倍。
4．按操控器上的ACB钮即可自动调整亮度对比度,也可用CONTRAST和BRIGHTNESS钮手工调整。
得到一幅满意的图象时,可按FREEZE记录下图象。
5．完成观测后关高压（HT），按GUN VAVLE CLOSE钮，指示灯变黄。
6．运行样品台位置初始化程序，EXCH POSN指示灯亮，拉动样品杆将样品置于样品交换室内，HLDR灯亮，按VENT按钮，样品交换室放气，取出样品后按EVAC按钮。
7．退出操作界面，关计算机。
按“OPN POWER”左钮关机，关控制面板电源。
8．对于不同的样品的观测和图象倍率大小、不同信号图象分析的工作条件选择：
1）电压一般使用10kV；对于导电性差的样品可选低一点电压如3-10 kV，需要高的放大倍率且样品不易被电子束穿透，可选用较高的电压，如15kV左右；做EDS分析时电压要用15-20kV。
2）电流一般用10uA，做EDS能谱时可选用20uA。
3）工作距离（WD）一般用8mm，如果要观察高的放大倍率（5万倍以上）,可以把工作距离调小到3-8mm；如果放大倍率不高且要图像立体感强,可以把工作距离调大一点8-15mm。
用EDS能谱时工作
距离调到15mm；用背散射电子探测器时工作距离应调在8-15mm，此时样品倾角台倾角为0时才可插入探测器。
4）分析样品表面形貌用SEI二次电子探测器；在低于12000倍时，可用LOW MAG低位二次电子探测器；特殊需要可用背散射电子探测器，成份分析用COMPO模式，凹凸分析用TOPO模式。
5）样品和样品坐的固定，最好直接用样品坐上螺钉固定，如不能直接固定就要用导电胶或导电带，导电胶使用注意胶的干燥时间，要在空气中或加热中充分干燥。
使用导电带比导电胶方便，但在观察10000倍以上图象时，图象容易漂移，对于磁性材料或能被磁化的材料只能用螺钉固定。
6）目前样品坐尺寸有二种，一种是Φ26×10mm，另一种是Φ12.5×10mm，根据实际尺寸选用，但为了减少样品发射气体及减少胶、带的用量，尽可能减小样品尺寸，不要在样品台上同时装载过多的样品。