氦气试漏作业指导书
氦质谱检漏仪操作规程(3篇)
第1篇一、概述氦质谱检漏仪是一种用于检测气体泄漏的高效、精确的仪器，广泛应用于真空系统、半导体设备、化工、科研等领域。
为确保操作人员的人身安全和仪器的正常运行，以下为氦质谱检漏仪的操作规程。
二、操作前的准备工作1. 环境检查：确保操作环境安全，通风良好，无腐蚀性气体。
2. 设备检查：检查氦质谱检漏仪外观是否完好，电源线、连接线等是否完好无损。
3. 仪器预热：打开仪器电源，预热30分钟以上，使仪器达到工作状态。
4. 参数设置：根据检测需求，设置合适的检测参数，如漏率阈值、扫描时间等。
三、操作步骤1. 连接仪器：将氦气源、抽气系统、波纹管等连接至氦质谱检漏仪，确保连接牢固。
2. 真空系统连接：将氦质谱检漏仪连接至待检测的真空系统，确保连接正确无误。
3. 设置检测参数：根据待检测系统的真空度、漏率等要求，设置合适的检测参数。
4. 启动检测：开启氦气源，调整流量至合适范围，启动检测程序。
5. 观察检测结果：仔细观察仪器显示屏，根据漏率值、泄漏位置等信息，判断是否存在泄漏。
6. 记录数据：将检测结果记录在检测记录表中，包括检测时间、漏率值、泄漏位置等。
四、注意事项1. 安全操作：操作过程中，注意个人防护，佩戴防护手套、眼镜等。
2. 防止误操作：熟悉仪器操作流程，避免误操作导致仪器损坏或安全事故。
3. 注意仪器保养：定期对仪器进行清洁、保养，确保仪器性能稳定。
4. 氦气处理：使用完氦气后，关闭氦气源，确保氦气排放到安全区域。
5. 设备维护：定期对仪器进行校准、维护，确保检测结果的准确性。
五、操作结束后的工作1. 关闭仪器：检测结束后，关闭氦气源、抽气系统等，断开电源。
2. 清理现场：清理操作现场，确保无安全隐患。
3. 整理记录：整理检测记录，归档保存。
六、附录1. 氦质谱检漏仪操作流程图2. 氦质谱检漏仪常见故障及排除方法通过以上操作规程，可以确保氦质谱检漏仪的正确使用，提高检测效率，确保检测结果的准确性。
002真空箱式氦检漏系统操作规程
002真空箱式氦检漏系统操作规程真空箱式氦检漏系统操作规程ZL/MC-002-2011一、开机前检查：1、检测提供给系统的压缩空气是否在0.55-0.8Mpa之间。
2、检测吹氮装置的氮气供应压力是否在0.1-0.2Mpa之间。
3、确保真空箱内无杂物。
4、检查输入氦气瓶的压力为0.1Mpa。
5、检查输入的高压氮气压力为3.0Mpa。
6、检查高压氦气罐出口手动阀处于打开状态。
7、检查低压氦气罐底部放气球阀处于关闭状态。
8、检查高压氦气罐底部放气球阀处于关闭状态。
9、检查排气管路的出口通畅。
二、开机操作：1、将高压氮检快速接头与工件连接。
2、按下工位按钮盒上的启动按钮系统对工件充入设定压力的氮气，并通过保压判断工件是否大漏，如有大漏相应大漏灯亮，如无则相应通过灯亮，工件放气后，将接头与工件分离，大漏工件下线返修，合格工件进入抽空充氦工位。
3、将工件抽空充氦枪与工件连接。
4、按下启动按钮，系统对工件进行抽真空，待抽至设定压力后系统自动对工件进行充氦，充氦结束后完成灯亮，将充氦枪与工件分离。
5、将已经充氦的待检工件放入真空箱内，同时按下位于真空箱上的绿色圆形关箱按钮，箱门自动关闭，真空泵开始对真空箱进行抽真空检漏。
6、观察操作面板上的信号灯，如果工件无漏，则操作面板上的合格灯亮，真空箱门自动打开后将工件放至下一个工序，如果工件有漏，操作面板上的蓝色微漏灯亮，需按下操作面板上的确认按钮，才能打开真空箱门，然后将漏的工件做好记号放入相应的产品区域进行返修。
7、把氦检合格品接上回收枪，按下工位按钮盒上的“启动”按钮，系统对工件内的氦气进行回收。
三、停机操作：1、取出真空箱内的所有工件。
2、按下停机按钮，设备停止运行。
3、按下确认按钮，然后按下关箱按钮箱门自动关闭。
4、关闭电源、气源。
5、清洁卫生，设备保养。
四、注意事项：1、光栅是用于保护操作者人身安全的设施，请每天检查其是否正常。
2、紧急情况下就近按下急停按钮，待情况都解除，在解除急停按钮。
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本文部分内容来自网络整理，本司不为其真实性负责，如有异议或侵权请及时联系，本司将立即删除！== 本文为word格式，下载后可方便编辑和修改！ ==氦检漏作业指导书篇一：氦气检漏作业指导书B版本篇二：氦检漏步骤氦检漏步骤1、抽真空至5Pa以下就可以开始检测。
2、插上检漏仪电源，关闭上部手动挡板阀，开启检漏仪总电源，此时，“放气”灯亮起，等待系统运行3、当“系统正常”及旁边的两个灯都显示为绿色时，观察预置参数，应为10-15，一般取15，观察数值，应为10的-8至-9次方时，可以开始检漏（等待几分钟）4、按“检漏”键，缓慢开启顶部手动挡板阀，注意：检漏口的压强不得超过10MPa,否则机器易损坏，5、数值稳定后，先记录下来，这就是“本底”6、逐个将氦气充入焊缝，并封堵插入口，将数值变动记录下来。
全部完成充氦后再观察20分钟，看数值有无大的变动。
7、关机时，应先关闭上部手动挡板阀，然后开启放气键，最后关电源。
篇三：氦质谱检漏仪使用说明 (1)氦质谱检漏仪使用说明一、检漏仪及其真空系统的组成VARIAN959-50检漏仪检漏漏率范围从1X10-3（毫升/秒）到2X10-10（毫升/秒）（相当于30年漏1毫升），它主要由质谱管、高真空泵、热偶规管、一系列按钮控制的阀、测试接口、真空和漏率指示，以及电路板等部分组成，其真空系统结构为（分子泵型），如图1：图1 检漏仪真空系统结构图（分子泵型）检漏仪开启后，V1、V2、V6阀打开，测试口与质谱管保持真空连接。
如果按下“VENT”键，放气阀V3打开，V1关闭，测试口处于大气状态，同时V2打开，使分子泵、质谱管和机械泵连通。
分子泵运行时，质谱管真空度要达到2X10-4TORR以上，才能给离子源灯丝加热。
二、检漏仪工作原理图2 检漏仪工作原理图如果被检系统有微小漏孔，在小孔周围喷氦气时，总有部分氦原子会通过漏孔进入检漏仪接口，通过其真空系统扩散到质谱管。
质谱管是检漏仪核心组成部分，参见上图2，在电场和磁场作用下，灯丝发射电子使气体电离，电离后带正电的离子通过聚焦和孔集中后，进入分析磁场（磁场强度为2340高斯），由于受洛仑磁力作用，离子会发生偏转，其它外界条件相同的情况下，偏转半径由带电粒子电量与质量之比即荷质比决定，荷质比小的离子偏转半径小，荷质比大的粒子偏转半径大，只有氦离子才能通过抑制小孔到达收集极，信号经放大后，检漏仪报警。
氦质谱检漏规程 - 副本
1、目的：为了确保产品符合技术要求，特制定检验文件指导现场进行检漏工作。
2、范围：车2.1适用于公司所有真空产品的检漏作业。
3、引用标准：3.1 QJ 3123-2000 氦质谱真空检漏方法3.2 QJ 2861-96 氦质谱检漏最小可检漏率检验方法3.3 JHFM.00-YG 核安全级真空阀门项目出厂验收测试大纲3.4 JHFM.00-SG002 核安全级真空阀门项目功能性试验大纲3.5 LH/3S-9S-05/01（D）-E-03-A0 核安全级真空气氛阀技术规格书3.6GB/T15823-2009 氦泄露检测方法4、定义：4.1真空检漏技术：就是用适当的方法判断真空系统、容器或器件是否漏气、确定漏孔位置及漏率大小的一门技术，相应的仪器称为检漏仪。
在真空系统、容器、器件制造过程中借助真空检漏技术确定它们的真空气密性、探查漏孔的位置，以便采取措施将漏孔封闭从而使系统、容器、器件中的真空状态得以维持。
4.2漏率：漏率的大小需进行校准后方能确定。
一般采用比较法，即将被检漏孔与标准漏孔在检漏仪上进行比较，就可得出被检漏孔的漏率。
检测真空系统或其零部件的漏孔的方法。
对一定的容器进行足够长时间的抽气后，容器压力不再变化，这时的抽气量必定与容器的漏气量和放气量之和相等，即puSe=qL+q0，式中pu为容器的极限压力，Se为容器排气口处的有效抽气速率，qL和q0分别为容器的漏气量和放气量。
如放气量少到可以不计，则平衡式变为puSe=qL，或pu=qL/Se。
这说明容器的极限压力由漏气量与有效抽气速率的比值决定。
如抽气速率一定(常数)，要得到低的极限压力便应降低漏气量，检漏便是关键的措施。
4.3漏孔：漏孔就是真空容器的孔洞和孔隙。
容器内外的压力差会使气体通过漏孔从容器的一侧通向大气侧。
漏孔一般很微小，实际上不能测出漏孔的具体大小，所以漏孔大小都用漏率（在规定的条件下气体流过漏孔的流量）来表示。
漏孔两侧存在着压力差，即可利用气体流动引起的效应来检漏。
检漏仪操作指引
机器启动后，防止检漏仪抖动，严禁移动检漏仪，以防损坏检漏仪的分子泵。
3.5. 进入准备启动状态后如要调整设置漏率值按下面操作进行按下Setup
按软键setpoint在按右侧+/- 符号更改数值更改完后按下Save 键存储，按Escape回到主画面
3.6. 回到主画面，按下开始键开始测量，此时慢慢打开手动阀，观察漏率值变化，如果变
化太大就要确认是否有破大气现象，如没问题，则全部打开手动阀门，后按Zero键归零
3.7.在测试过程中如发现有漏，并且漏点比较大时要停止喷氦气，等待测试值稳定后在进
行测试。
3.8. 测试中测试出漏点后要注意及时归零
3.9. 测试完毕后先将手动阀关掉，然后按停止键停止检漏，在关掉检漏仪的
电源。
在停止检漏仪后不能马上移动检漏仪，必须等待5分钟后才可移动。
试漏作业指导书
有限公司
1.准备工作
1.1用N2作为试漏气体，操作前检查减压表及气阀门是否完好，气管各接头是否漏气，然
后调试压力表上的压力至2.55~3.0Mpa。
1.2从上道工序领取合格产品。
2.操作事项
2.1先用气枪塞牢蒸发器（或冷凝器）的出气口，用试漏专用进气枪塞牢进气口；将工件完
全放进试漏专用池，此时，操作人员绝对不允许与进出气口正对，加压后，在水中浸泡时间不低于8S，观察产品上各个部位有无气泡产生，并观察压力表上的压力读数，如果压力表上的压力读数与减压要求压力相同，且产品并按照图纸技术要求指定的时间里全身无气泡产生，则证明该产品合格。
2.2如果有气泡产生，且产生位置在翅片端板以外的区域时，则需放出N2转焊接处补焊，
但如果有气泡产生位置在翅片端板以内的区域时，则该产品为内漏做好标识放置到指定地点，集中烘干后转隔离栏内再做处理。
2.3补焊后产品，必须按要求重新试漏，至合格为止。
2.4每件产品试漏次数由进气孔的个数决定，有几个气孔必须试漏几次，试漏池的水需采用
流动循环水，并且需定期更换干净透明水。
2.5在试漏过程中，试漏合格的和不合格的要分类整齐摆放，然后用空压气体对将管道内和
翅片上的水吹干净，确保管内含水量减少到最少程度。
2.6每完成规定数量工件时，操作者将自己操作的产品作好标识并填写工序卡做好质量记
录，然后移交下工序签收。
2.7每试漏完毕应关好气阀和水源，清扫场地。
3.注意事项
3.1产品须轻拿轻放，保证翅片质量。
3.2试漏时工件不能进水。
氦质谱检漏仪作业指导书
一、氦质谱检漏仪作业指导书
1.氦质谱检漏仪的结构
氦质谱检漏仪由电源、控制器、探测器、探测器控制器、气体控制器、计算机、显示器等
组成。
2.氦质谱检漏仪的安装
（1）安装氦质谱检漏仪前，应检查检漏仪的各部件是否完整，并确保安装环境温度、湿度、电源电压等符合要求。
（2）安装时，应把检漏仪放置在平整、无振动的地面上，保证检漏仪的稳定性。
（3）安装完成后，应检查检漏仪的各部件是否连接正确，气体流量是否正常，电源电压
是否稳定，探测器的工作状态是否正常。
3.氦质谱检漏仪的操作
（1）操作前，应检查检漏仪的各部件是否连接正确，气体流量是否正常，电源电压是否
稳定，探测器的工作状态是否正常。
（2）将检漏仪连接到计算机，打开软件，设置检漏参数，设置检漏模式，设置检漏时间，设置检漏结果的显示方式等。
（3）启动检漏仪，检漏过程中应定期检查检漏仪的工作状态，并及时调整检漏参数。
（4）检漏完成后，应对检漏结果进行分析，如果出现异常，应及时修改检漏参数，重新
检漏。
4.氦质谱检漏仪的维护
（1）定期检查检漏仪的各部件，确保检漏仪的正常工作。
（2）定期清洁检漏仪，防止检漏仪的结构受潮、受污染。
（3）定期更换检漏仪的耗材，如滤芯、探测器等，确保检漏仪的正确性。
二、结论
氦质谱检漏仪是一种用于检测气体泄漏量的仪器，其安装、操作和维护都需要严格按照操作规程进行，以确保检漏仪的正确性和可靠性。
吸枪氦检仪P3000操作指导书
中央空调事业部设备操作指导书设备名称氦吸枪检漏仪P3000编号ZS-WZ-135 共1页第1页1、设备用途：Protec P3000 是一种吸入器检漏仪，该仪器最适宜于制冷系统充注前或在生产过程中对充氦部件的试漏，具有测量灵敏度高、反应时间快、操作方便等综合优点。
2、技术规范：检测方式：吸枪法；反应时间<1秒；最低可检漏率：4.0*10-7mbarl/s；工作温度范围：5℃-40℃；使用电压：AC220V 3、参数设定：依据使用说明书要求和工厂实际设置报警漏率参数为 2.0*10-5mbarl/s，并可根据新的测试要求来重新调整漏率设定参数。
4、操作步骤：4.1 接通电源，打开电源开关，仪器便自行自检。
分子泵加速数字从0-1500Hz连续变化，分子泵加速成功后仪器发出短暂的音响讯号，READY灯和手持探头上的绿色指示灯亮，此时仪器指示为He=<4.0*10-7mbarl/s，若指示值有变化，应按手持式探头上的抑零按扭使仪器自动扣除本底氦气，仪器已进入上次工作模式，可以开始检漏。
4.2 检漏时探尖从下而上缓慢移动,逐个焊口检查,移动速度不超过10mm/s,探尖离被测工件表面距离应尽可能接近,但不要触及被检测工件表面,一般控制在1-5mm。
4.3 漏点检查：当检漏过程中，仪器环形指示器光环快速移动时，表明该部位可能有漏，应在该可疑部位缓慢移动；当光环指示达到最大时，数字显示窗显示的当前漏率若大于设定值，仪器会发出频密的报警声，表明该部位有漏！4.4 当一段时间停止检漏时，应在“MENU”菜单中选取“Standby”功能，使仪器暂停工作，需重新使用时再按一下“MENU”键，1分钟左右仪器又恢复正常工作。
4.5 仪器使用过程中，如发现本底指示偏高，应及时按一下探头清零键，以克服本底浓度。
5、注意事项及安全事项5.1 该检漏仪属贵重精密仪器，务必轻拿轻放，不准随意搬动,未经培训者严禁操作。
5.2 操作者应保持仪器和台面整洁，并经常清洗探尖过滤器，下班后应盖上防尘布。
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发行日期2003/ 6 / 19 检测装置操作与校准规范------氦气检漏機頁次2/2
4.3.4. 若測試蓋有任何破損，儀器會自動鳴叫，LEAKRATE指針將達到滿針狀態，打
開壓克力蓋，用探測杆逐一測試，找出微漏蓋；若無破損，儀器無鳴叫及其它反
應。
4.3.
5.完成測試，按下紅色停止鍵，此時ROUGH燈與TEST燈滅，STANDBY燈亮。
4.3.6.開啟壓克力蓋，按紅色停止鍵約2~3秒，排除真空，收起蓋子。
5. 維護保養:
定期對氦气檢漏機進行清潔保養，每天做日保養。
6. 校准:
該儀器為專用檢測量具，每年由原廠進行一次校准。
7. 注意事項:
7.1.氦气檢漏機需常年保持開啟狀態，除保養與維修外。
7.2. 定時更換真空泵油，每日需擦潤滑劑潤滑橡膠墊。
7.3. 保持室內濕度與溫度。
8. 參考文件:
8.1.《檢驗規范―密封性檢驗(氦气檢漏機/螢光燈測試)》(文件編號:WI---QC---90)
8.2. 儀器說明書
9. 使用表單:
9.1.《檢測裝置明細表》(文件編號:FM---QC---101)
9.2.《檢測裝置維護保養/校准計劃表》 (文件編號: FM ---QC---102)
9.3.《檢測裝置維護保養記錄表》(文件編號: FM ---QC---103)
9.4.《檢測裝置校准記錄表》(文件編號: FM ---QC---104)
9.5.《品質風險評估表》(文件編號: FM ---QC---105)
发行日期2003/ 6 / 19 检测装置操作与校准规范------氦气检漏機頁次3/2。