4F-DF外层干菲林工程培训
曝光培训内容资料
1、进入菲林房不许戴手表、戒指等首饰，不留长指甲，头发不许外露，须着防尘工衣，经风淋室吹风至少15 秒方可进入。
2、穿著防尘工衣、工鞋不得到菲林房及更衣室以外的地方。
3、D/F 内与露铜板面直接接触的人员需戴手套及戴口罩作业：4、菲林房温度保持在20±2℃ ,每两小时检查一次。
5、菲林房相对湿度保持在55±5%。
6、菲林房含尘量要求0.5um 以上的尘粒≤10kpc /立方英尺。
7 、菲林房使用黄光灯照明。
8、纸张和纸箱不能放在洁净房内，垃圾清洁每班两次，时间13:30,19:30,1:30,7:309、干菲林须在更衣室内拆箱，连同塑料底用粘尘布粘净所附灰尘，经风淋后放入菲林房内之干菲林仓库。
10、其余物料均须经过风淋后方可进入菲林房11、任何机器和物件不能在干净房用酒精浸泡清洗；对于必须用酒精浸泡清洗的物件(如：自动贴膜机吸盘，刀槽等)要拿到干净房以外处理，且要求选取空旷、通风、远离机电设备和热源处进行清洁；清洗过程需派专人监护以即时采取安全措施；主真空值：A35 、36、37≥0.08mPa；A38、39 0.045~0.055mPa；A34 (-38)~(-13)cmHg；A30/31/32/41/47/48/49/50 (-55)~(-45)cmHg；A40/42/45/46≥-80cmHg所有玻璃真空：(-25) ~ (-20) inchHg所有菲林真空：(-25) ~ (-20) inchHg抽主真空时间：15~35sec(要求线隙<4MIL 的,抽气时间不少于30SEC)以上参数检查频率：每班两次。
暴光灯使用寿命：点灯式暴光灯暴光3000 次，长明式暴光灯暴光累计时间MEI 要求700 小时，内部控制2200 小时。
在使用过程中浮现异常时，需更换新灯。
1、关位面5~7 格、路线面6-8 格，上下不超过一格，能量测试暴光尺以残膜读取格数为准。
2、暴光尺检查频率：每4 小时一次，测试前需空曝两次。
湿菲林高层板培训资料
错误
正确
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磨板工段
操作要求：
2、磨板时必须采用人手放板，不能将纸皮抽掉 ，避免造成擦花； 3、接板时采用人手接板，并使用可调的框架插 架，不准使用排骨架插架； 4、接板时需检查板面如有胶迹、水迹，手印及 铜面氧化的问题。
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印刷工段
操作要求：
1、印刷工在印刷前必须先清洁机器及使用的 工具，如钉床、垫板，并复核生产资料； 2、调好机器加油墨后必须先印刷6张纸，并 确认无杂物后才可以印板调整首件参数； 3、首件检查必须确定板面外观品质无问题后 才可以批量生产；同时需特别留意独立线 路是否有发红，确保油墨的厚度。
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冲影工段
注意事项：
1 、接放板采用人手操作，避免机器故障造成 擦花； 2 、冲影后必须全检所有的外观问题，将可以 修理的板分开进行处理，同时必须将检查好 的板作检查员的工号标识；
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字符印刷工段
操作要求：
1、印刷工在印刷前必须先清洁机器及使用的工 具，如钉床，并复核生产资料； 2、调好机器加油墨后必须先采用对位膜印刷， 并确认字符位置无问题，然后可以印板调整首 件参数； 3、首件检查必须确定板面外观品质无问题后才 可以批量生产；同时需特别留意不过油及移位 上PAD的问题，每印完一块都需认真检查。
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培训内容
1、了解目前公司哪几类板属于高价板？ 2、规范高价板各岗位的生产操作要求。
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高价板种类
· 陶瓷料- -沉金板 · 8层及以上板 ·盲孔- -沉金板 · VOP塞孔板
. 铁弗龙 特点：生产流程复杂，品质要求高，使用 特殊材料。
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各工段介绍
1.磨板 3.预局 5.冲影及检查 7.后局 9.出货
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后局工段
外层干菲林讲解
D、洗去磨辘上的铜粉，冷却湿润磨辘，防止尼龙丝过 热而熔化。
要求：喷淋角度在板与磨辘之间45°处。
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外层干菲林工程培训教材
E、磨板后质量检查
※、目检板面是否有氧化、水迹、污物、板面清洁度。 ※、水膜测试
测试方法：取板面清洁处理后的板，用水浸湿板面并垂直放置， 用秒表测量水膜破裂的时间，一般在精磨时采用。
※、板面粗糙度：经磨板后的板面粗糙程度（2.0um左右)
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外层干菲林工程培训教材
F、影响磨板质量的主要因素
1、磨辘型号用材料 2、磨轮转速（线速度相对稳定，大约12M/SEC，转速与磨辘
的直径有关，125MM直径转速一般在1800-2000MIN-1） 3、输送速度 4、功率或磨痕 5、磨辘、钢辘及运输轮的水平。 6、摇摆（3-10MM，摇摆可以减少板面粗糙度的方向性改善板
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贴膜段
外层干菲林工程培训教材
预热：让贴膜板有足够热量以辅助干膜之流动，而 更好的压贴在粗糙铜面上.
7
外层干菲林工程培训教材
化学成份作用
1、粘 合剂 将干膜各组份粘结成膜，是光阻层的骨架，主要影
响膜层的物理性能，在光聚合过程中不参与化学反应， 但其决定光阻剂是属于溶性、半水溶性和溶剂性干膜， 粘结剂决定干膜的Tg点。 2、光聚合反应单体
聚合反应主体，单体吸收自由基后进行聚合反应形 成高分 子聚合体。
度1mil
4
外层干菲林工程培训教材
干膜各层作用
聚酯保护膜：
1、保护作用，防止擦花药膜，尤其是贴 膜到冲影前的保护。
外层DF工序操作指引(WI-ME-5-1)新
文件更改申请单WHOLLYEXCEL INT’L HOLDINGS LTD目录一:工序概序------------------------------------------------------------------------------- 2 二:设备操作指引--------------------------------------------------------------------- 3-19 三:黄菲林复、使用及检查操作指引---------------------------------------------20-21 四:设备保养--------------------------------------------------------------------------- 22-23 五:一般问题处理-------------------------------------------------------------------------24 六:净化房规定及环境要求-------------------------------------------------------------25 七:特别工艺--------------------------------------------------------------------------26-28一．工艺流程及原理1.1工艺流程1.2 流程原理磨板: 均匀粗化板表面及清除板表面杂物,提高干膜与铜面之结合力.贴膜: 在一定温度压力下将干膜贴附在经过清洁粗化后的板面上. 对位: 通过工作底片与板面相对应孔拍合,为完成线路图形之转移作准备.曝光: 利用一定UV 紫外光能量对干膜进行感光聚合,将工作底片上的图形转移到贴好干膜的板面上.显影:利用一定浓度的Na 2CO 3(K 2CO 3)溶液将未感光部分干膜除去,得到所需要的线路图形.（一）前处理操作指引1.1工艺流程:针辘磨板机工艺流程入板→酸洗→循环水洗三→磨板→二级循环水洗及清水洗→吸干→强风吹干→烘干→出板 1.2 操作方法1针辘磨板操作方法1.2.1.1 操作前检查工作≥20min1>输送是否平衡，行辘有无窜动现象；2>2>各压力表显示的压力是否在正常范围内；3>检查喷嘴及过滤网有无堵塞现象；4>各液缸中液位高度是否适宜；5>磨辘空转时，电流是否正常；6>磨辘摇摆是否正常。
干菲林培训教材
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3.ACP 610SCT自动曝光机主要工作原理及工作参数 主要工作原理： ACP 610SCT自动曝光机是自动进板， 通过CCD监控两定位孔与菲林对位，合格后自动曝光、自 动出板的全自动曝光，所用光源是仿平行光源（POK）。 主要工作参数：曝光真空度：-0.50— -0.65bar 菲林真空度:-0.8— -1.0bar 抽真空时间:62Sec 曝光灯工作时间:1000hr
7).热风吹干
烘干板面，防止氧化，温度范围为70C-90C
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4.磨板效果检查 1).磨痕试验
做法：开动磨板机（除磨辘）直放入一长度为18”或
以上的板,待板到3对火山灰磨辘位置,停止运
输,开动磨辘,约5秒钟后停止磨辘. 开动运输
及水洗将板送出,观察板面磨痕造否均匀,测
量全部磨痕的宽度,正确磨痕宽度为1.0-1.5cm。
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2). 缺陷：干膜碎 主要原因：1）贴膜压力过大 2）干膜超出板边，到撕Mylar时带起菲林碎 3）自动撕Mylar机滑刀不够锐利
4）显影压力过大
改善措施：1）将贴膜压力调至合适范围 2）干膜尺寸不得大于板尺寸 3）更换滑刀 4）将显影压力调至合适范围
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3).缺陷：崩孔 主要原因：自动曝光机参数不合适，对歪孔
若不在此范围需调较磨辘浓度平轮。
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2).水破试验 将磨过的板放入水缸（或用水喉水冲），使板面全部 浸水，然后双手将板拿离水缸，使板面垂直，板面水 膜应维技30秒（或以上）不破为合格。 5.生产中须注意事项 1).每班开工前检查喷咀正确才能生产，每天清洗
高压水 洗箱
2).每周清洁一次风刀和烘干段运输辘
循环水洗
2. IS磨板机机器规格
板料宽：6.7“ - 24.5” 板料厚: 0.004“ - 0.160”
干菲林培训讲义
电镀后出现夹菲林。
三、流程简介
⑤、光致抗蚀剂膜的主要成分及作用： A、粘结剂：作为光致抗蚀剂的成膜剂，使感光胶各组 分粘结成膜，在光致聚合过程中不参与化学反应。 B、光聚合单体：它是光致抗蚀剂膜的主要成分，在光 印发剂的存在下，经紫外线照射，发生聚合反映，生 成聚合物，感光部分不溶于显影液，而未曝光部分可 通过显影除去，从而形成抗时图像。 C、光引剂：在紫外线的照射下，光引发剂吸收紫外线 的能量产生游离基，而游离基进一步印发聚合单体交 联。
解决方法：F：电镀的存放环境；
G：电镀的前处理温度过高。
上述有不妥之处，敬请指正！ 谢谢！
三、流程简介
④、火山灰磨板示意图：
火山灰 喷射 尼龙刷 基板
三、流程简介
2、贴膜 ①、目的：在加热的条件下将干膜抗镀溶剂粘贴在基
板上，为后续转移图象提供材料。 ②、原理：贴膜时先将聚苯乙烯保护膜剥离下，光致 抗蚀剂层受热后变软，流动性增加，借助热压辘的压 力和抗蚀剂中的粘结剂的作用将光致抗蚀剂层与基板 铜面粘合。 ③、干膜的结构：干膜由聚酯膜、光致抗蚀剂膜和聚 苯乙烯保护膜三部分组成。
四、常见问题及处理方法
1、干膜破孔（冲穿孔） 解决方法：A、降低贴膜压力、贴膜温度； B、提高曝光能量，使干膜完全聚合； C、降低显影、水洗压力，减小药水对干膜 的攻击； D、用更厚的干膜代替； E、减少孔边披锋。
四、常见问题及处理方法
2、曝光不良导致幼线或Open 解决方法：A：检查抽真空压力是否达到690mmHg； B：曝光员擦气操作是否符合要求（要求抽 真空完成后赶气四个来回）；
线路外层DF前处理线操作指引
《WI》作业文件封面
1、目的：
本指示目的在于为外层干菲林前处理线建立一个标准操作指示。
页次共6页/第6页出料水膜测试≥15S 一次/班实验测试/
7.9测试项目及方法
7.9.1磨痕均匀性判定方法
用直尺测量磨痕宽度，检查磨痕是否在控制范围内，同时保持磨痕宽度最宽处与最窄处
相差不超过2mm。
否则须重新调刷或整刷处理。
如下图
OK X1-X2 ≤2MM NG X1-X2 ＞2MM
7.9.2水膜实验方法
取处理好的板，放入水中浸泡10秒左右，取出后将板倾斜45°角(由水平算起)若在15
秒内板面上之水膜有破裂现象，则表明板面处理不到位，有氧化物、油脂或板而粗化不
足，需对各酸洗浓度、吸水辘、水洗缸清洁度及喷砂液浓度、压力作调整处理。
7.10配槽用量
缸名缸体积药品名浓度用量
酸洗90L H2SO43+/-1% 2.7 L
火山灰磨板200L 火山灰15+/-1% 25Kg
8、表格:
8.1《外层DF前处理参数点检表》表单编号：FM03-ME03-01
8.2《外层DF前处理线保养记录表》表单编号：FM03-ME03-02
8.3《外层DF前处理线首件/生产记录表》表单编号：FM03-ME03-03。
DF培训讲义
D/F培训讲义一．D/F目的：将线路图形转移到铜面上二．D/F流程：磨板→贴膜→曝光→显影三．各工序特点1．前处理：a.目的：除氧化，粗化铜b.主要参数：磨痕宽度，磨刷速度，酸液浓度，水膜试验c.常见问题：（1）板面星点氧化：风刀堵塞或风管破损漏风或鼓风机故障（2）板面光泽差：砂粉浓度低（3）板面有砂粉：砂粉粒径过大，水流压力偏小2．贴膜：a.目的：贴覆干膜，在板上形成抗蚀剂层b.主要参数：贴膜压力，贴膜速度，贴膜温度c.常见问题：（1）粘贴不牢：干膜储存时间过久，覆铜箔板清洁处理不良，环境湿度太低, 贴膜温度过低或传送速度太快。
（2）气泡：贴膜温度过高，热压辊表面不平有凹坑或划伤, 压辊压力太小, 板面不平有划痕或凹坑。
（3）干膜起皱：两个热压辊轴向不平行，贴膜温度太高, 贴膜前板子太热。
3．曝光：a.目的：对干膜进行光固化b.主要参数：曝光尺，真空度c.常见问题：（1）曝光垃圾：清洁度不够。
（2）曝光不良：真空度不足，菲林光密度不足，未擦气或曝光时菲林药膜贴反4．冲板a.目的：将曝光之干膜留于板面，未曝光之干膜去除b.主要参数：显影速度，显影温度，显影压力，药水浓度c.常见问题：（1）显影不净：显影速度过快，药水温度偏低，压力偏低，浓度偏低（2）显影过度：显影速度过慢，药水温度偏高，压力偏大，浓度偏高（3）菲林碎：显影液过滤不好，水洗压力偏大。
四．常见问题及解决方法：在使用干膜进行图像转移时，由于干膜本身的缺陷或操作工艺不当，可能会出现各种质量问题。
下面列举在生产过程中可能产生的故障，并分析原因，提出排除故障的方法。
2＞干膜与铜箔表面之间出现气泡5＞显影后干膜图像模糊，抗蚀剂发暗发毛。
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分 a. 感光增色：曝光后颜色加深。 类 b. 感光褪色：曝光后颜色变浅。
化学成分作用
6.热阻聚剂 干膜在生产及应用过程中很多步骤需接受高温，为 阻止热能使干膜发生聚合作用而加入热阻聚剂
7.溶剂 将各有效成份溶解，丙酮、酒精。
干膜反应过程
启始剂吸收UV光的能量后，先自行分裂产生自由 基，自由基引发光聚反应，形成交联聚合物，不溶 于显影液，而未曝光的光阻膜被显影液剥去，聚合 成像部分，保留在铜面上。
光阻膜层(药膜层) 光聚反应的主体
干膜化学组成
1.粘合剂 2.光聚合反应单体
3.感光启动剂(光引发剂) 4.促化剂与附着力促进剂 5.染料 6.热阻聚剂 7.溶剂
化学成分作用
1.粘合剂 *将干膜各组份粘结成膜，是光阻层的骨架，主要 影响膜层的物理性能， 在光聚合过程中不参与化学反应，但其决定光阻剂 是属于溶性、半水溶 性和溶剂性干膜，粘洁剂决定干膜的Tg点。 2.光聚合反应单体 *聚合反应主体，单体吸收自由基后进行聚合反应 形成商分小聚合体。
保护. 2.防止氧气进入阻剂层,由于曝光后聚合反应将继续进
行,氧气进入会与自由基发生反应形成非活性的过氧 化物，阻止聚合反应的进行，使聚合过程停止造成 曝光聚合不足。
干膜各层作用
聚乙烯隔膜 避免卷膜、运输、储存时，干膜药膜与保护膜
之间相互粘贴，(厚度25µ m-30µ m，测本公司 干膜隔膜27µ m)磨钢板钢磨磨
钢
钢
磨
磨板的控制
磨辘的安装-要求
磨辘的转动方向应与磨辘上标识方向一致。
磨辘与钢辘的接触点应与其它运输保持在一条水 平线上。 安装磨辘人员应戴手套，避免油污污染磨板机。 磨辘安装完成之后清洁磨板机。 磨辘安装完成应作磨痕测试，检查钢辘与磨辘是 否水平。
磨板的控制
C、磨痕测试 磨痕测试结果可以直接反映磨板机工作情况，由此可以 分析到钢辘与磨辘是否平行，磨辘是否到使用寿命，功率 表数据是否有太大偏差，避免磨板过度或磨板不良。
流程图
紫外光照射
单体吸收自由基 出现自由基 启始剂裂解
单体发生光聚反应形成聚合体
显影
二、干膜工序的职能
将菲林上的外层线路图像，转移到已 完成沉铜或板电镀工艺的覆铜板上，形 成抗电镀干膜图像。
三、工序流程-附图
磨板
贴膜
曝光
菲林制作
检查
冲影
四、磨板段
磨板作用
a.除去板面的氧化，油污，手指印，及其 它污物。 b.在板面上形成微观粗糙表面，增大干膜 与板面积，使干膜有更好的附着力。 c.提供烘干后的干燥板面。
外层干菲林工程培训内容
一、干膜知识 二、干膜工序的职能 三、工序流程 四、磨板段 五、无尘房的控制 六、贴膜段 七、曝光段 八、菲林制作 九、显影段 十、问题原因分析及改善措施
一、干膜知识
1968年由杜邦公司研制并用于线路板行业(非水溶性 干膜，溶剂型；显影用三氯乙烷，退膜用二氯甲烷)。( 缺点：需消耗大量有机溶剂，污染大，成本高)
F、影响磨板质量的主要因素 a.磨辘型号及材料 b.磨轮转速(线速度相对稳定，大约12m/Sec,转速与磨辘 的直径有关，125mm直径转速一般在1800-2000min-1。) c.输送速度 d.功率或磨痕 e.磨辘、钢辘及运输轮的水平。 f.摇摆(3-10mm)摇摆可以减少板面粗糙度的方向性改善 板面质量，延长磨辘的使用寿命。)
五、无尘房的控制
无尘房需控制的条件
温度 湿度 压力 空气中尘粒含量 光线
温度控制
a. 温度过高，干膜容易融边，而且干膜 溶剂挥发影响贴膜效果。
化学成分作用
3.感光启动剂 感光启始剂吸收特定波长紫外光(一般320-400nm), 启动剂自行裂解而产生自由基，为聚合反应提供条 件。 4.促化剂与附着力促进剂 增进光阻层与铜面之间的附着力，防止粘结不牢而 引起的渗 镀与甩膜。
化学成分作用
5.染料
目 的
a. 干膜本身制造时，方便进行检查。 b. 曝光前后有明显颜色变化，便于已曝光 板与未曝光的区分及目检。
B Part: 光阻膜层 Photopdlymer Film Resist C Part:聚乙烯隔膜、贴膜时撕去Polyettylenc
Separator Sheet 厚度1mil 附图于下一页
干膜结构-附图
聚醋盖膜(保护膜) 光阻膜层
聚乙烯隔膜
干膜各层作用
聚酯保护膜： 1. 保护作用，防止擦花药膜，尤其是贴膜到冲影前的
* 行业界人员定义一些参数衡量粗糙度如 Ra;表面取样长度内基准线上所有距离绝对值 的算术平均值;一般0.2-0.4µ m.Rt;表面取样长度内最高峰顶和最低谷度之间的距离 1.5-3.0µ m一般用目视法估计，较少用科学仪器检测。粗糙度由：磨刷材料，磨料粒度， 磨板时的功率等共同决定。
磨板的控制
D、用水喷淋磨辘作用 洗去磨辘上的铜粉，冷却湿润磨辘，防止尼龙丝过热而 熔化。要求：喷淋角度在板与磨辘之间45O处。
磨板的控制
E、磨板后质量检查 a.目检板面是否有氧化、水迹、污物． 板面清洁度 。 b.水膜测试 测试方法：取板面清洁处理后的板，用水浸湿板面并垂直 放置，用秒表测量水腊膜破裂的时间,一般在精磨时采用 处。 c.板面粗糙度：经磨板后的板面粗糙程度(2.0µ m左右).
磨板效果图附后
磨板效果图 板面氧化.油污.手指印等
磨板前板
磨板
磨板后板
磨板的控制
A、磨辘的选择：根据磨料粒度的大小区分 *沉铜粗磨一般选择180-320#刷 *外层干菲林精磨一般选择380-600#刷子 *磨辘主体是尼龙丝，磨料有：Sic、AI2O3
磨板的控制
B、磨辘的安装 磨辘的转动方向应与磨辘上标识方向一致，安装磨辘人员 应戴手套，避免油污污染磨板机。磨辘安装完成之后清洁 磨板机，作磨痕测试，检查钢辘与磨辘是否水平。 附图：
1970年研制出一种半水溶性干膜，显影.退膜用水溶 液(添加2-15%有机溶剂.BCS)，成本.污染有很大改善。
1978年改进为全水溶性干膜，显影用K2CO3.Na2CO3, 退膜用KOH.NaOH，其成本更低，污染更小，品质更好。
干膜结构
A Part: 聚醋盖膜(保护膜)冲影时撕去 1milPolyester Cover Sheet