安川伺服驱动器软件使用
安川伺服参数操作器操作方法
安川伺服参数操作器操作方法
安川伺服参数操作器操作方法
通常参数设定
1MODE/SET切换选择设定方式[(= bb –状态显示)—（Cn-00—参数设定）--（Un—00--
监示方式）--（0—R99—报警显示）]
显示窗口为Cn--00
2 按up 或down选择目标参数例电子齿轮比分母—CN-25 调大伺服进给变小相反
3 按DATA键显示2步骤参数当前值
4 按up 或down变更要设的数据值
5 按DATA键，保存数据该数据将闪烁
6 再按DATA键，返回用户常数号码
内存开关设置例[Cn—02的0位0以ccw方向为正转1以cw方向为正转]
1 按MODE/SET切换选择设定方式[Cn—00]
2按up 或down选择目标参数[Cn—02]
3按DATA键显示（2步）存储器当前各位的开关的状态（位不亮是0 位亮是1）上表0 2 3 5位ON(1) 1 4 6 7 8 9 A B C D E F 位off (0)
4按up 或down选要设定的位
5 按MODE/SET反复设置当前位的[0 off 〈——〉1 on]值
6 再按DATA键，返回用户常数号码显示状态。
安川机器人toolon用法 -回复
安川机器人toolon用法-回复安川机器人是一种高级工业机器人，具有广泛的应用领域，而Toolon是一种用于安川机器人的工具软件。
本文将为您介绍安川机器人Toolon的用法，并从安装、设置、编程和操作等方面进行详细解说。
第一步：安装和配置安川机器人控制器和Toolon在使用安川机器人Toolon之前，首先需要安装和配置安川机器人控制器和Toolon软件。
安装和配置过程大致如下：1.下载并安装安川机器人控制器软件，并按照软件提供的指引设置控制器的网络连接和其他基本配置。
2.下载并安装Toolon软件，并按照软件提供的指引进行安装和配置。
第二步：设置机器人工具和工作对象在开始编程和操作机器人之前，您需要设置机器人的工具和工作对象。
设置工具和工作对象的过程如下：1.Toolon软件提供了一个图形化界面，可以方便地设置机器人的工具和工作对象。
首先，选择“工具设置”选项，然后根据实际情况设置工具的名称、重量、质心等参数。
2.接下来，选择“工作对象设置”选项，然后设置工作对象的名称、尺寸、坐标系等参数。
第三步：编程机器人动作编程是使用安川机器人Toolon的核心步骤之一。
您可以使用Toolon提供的图形化编程界面，也可以使用Python或其他编程语言进行编程。
1.如果您选择使用Toolon的图形化编程界面，首先选择“动作编辑”选项，然后在画布上拖动和连接各种动作模块，构建机器人的运动序列。
2.如果您选择使用Python进行编程，可以通过Toolon的API接口来控制机器人。
您需要编写相应的代码，来实现机器人的运动和操作。
第四步：导入和导出程序在编程完成后，您可以将程序导入到安川机器人控制器中进行执行，也可以将已有的程序导出到本地保存。
1.选择Toolon软件中的“程序管理”选项，然后选择“导入程序”或“导出程序”，按照提示进行操作。
2.根据实际需要，选择要导入或导出的程序，并进行相应的设置。
第五步：测试和运行程序在导入程序后，您可以使用Toolon软件进行程序的测试和调试。
Drive tools软件使用说明
YASKAW A驱动管理软件使用Drive Manager Application安川电机（上海）有限公司驱动系统控制事业部安川高压变频器安川Drive tool实现PC与变频器完美连接PC机将需要安装的驱动管理软件安装到个人电脑里面选中需要安装的软件文件夹并打开选择中文版本分别打开两个安装目录文件夹，安装disk1文件夹下的setup文件，建议默认安装无需另外选择安装路径帮助文件安装前仔细阅读帮助文件，可有助您便捷快速安装安装完成后桌面会出现一个文件夹，选中并打开文件夹打开上步文件夹后会显示两个软件启动快捷方式驱动管理软件通信软件上图的两个快键方式一个是驱动管理，一个是建立通信连接，在进入驱动管理前，必须先建立通讯连接，当通讯连接成功驱动管理才能在线操作，如果通信连接不成功，只能作为本地读取数据文件双击通信设定打开通信连接软件，双击后将会在电脑右下角出现软件图标，如图所示双击图标双击图标后在电脑屏幕上会弹出下面窗口，在该视窗可进行通信连接设定建立通讯连接需要更改逻辑端口号、端口类型和物理端口，其他无需设置，最后会在状态栏显示连接状态，详细设置方法请参考下页说明双击逻辑端口1，会弹出如下对话框更改端口类型，点击下拉箭头选择串行口如右图所示设定逻辑端口为串行口之后，继续点击窗口下面详细按钮进行物理端口设定，设置方法请参考下页说明点击详细按钮，如右图所示设置物理端口必须和自己的计算机物理端口相匹配，如下图所示查出计算机物理端口后将默认的物理端口更改右键单击我的电脑，点击管理进入计算机管理页面，点击设备管理器在右侧端口下拉菜单里面可以查出计算机物理端口为COM5计算机不同物理端口定义也不相同。
注：必须将串口转USB的转接头插入电脑USB接口，才能显示计算机端口号在该栏更改物理端口，其他选项无需变更 点击保存后请退出软件，重新启动软件后设置才有效，具体操作请参考下一页面更改物理端口完成后点击确定再次确定后显示如下画面点击保存页面No Device 表示目前没有连接，如果数据线连接至变频器时将会出现Ready 提示您通信准备完成如果您更改计算机时，请更改物理端口点击保存后弹出对话框，确定保存，点击“是”关闭对话框将软件从任务栏中退出，然后在桌面安装文件夹内重新打开软件，设置成功。
安川程序操作指南
YASKAWA程序操作指南第一章联机的条件及配置第一节通讯协议的配置1．首先安装CP-717软件，提供系统操作平台.2．CP-717软件安装后，在程序一栏中会有YE APPLICATION菜单，在YE APPLICATION菜单下有COMMUNICATION MANAGER和TOTAL ENGINEERING TOOL两个菜单。
3．点击COMMUNICATION MANAGER菜单，会出现COMMUNICATION PROCESS 的对话框，在对话框中设定通讯协议。
4．双击COMMUNICATION PROCESS 的对话框中的“1”，会出现LOGICAL PORT SETTING对话框，在PORT KIND选项中选SERIAL项，其它为默认，点击OK，通讯协议设置完成。
第二节子程序路径的建立及配置1．点击YE APPLICATION 菜单中的TOTAL ENGINEERING TOOL菜单，出现FILE MANAGER对话框。
2．选中FILE MANAGER对话框中的“ROOT”后，单击鼠标右健，会出现“NEW”“RENAME”“DELETE”三个选项，选中“NEW”后会出现“GROUP FOLDER”“ORDER FOLDER”，点击“ORDER FOLDER”。
3．点击“ORDER FOLDER”后，出现“MAKE NEW FOLDER”对话框，在空白处输入“ORDER NAME”如12号岸桥可输入QC12，然后回车。
4．选中QC12单击鼠标右健，会弹出“CREATE NEW FOLDER”“RENAME”“DELETE”三个选项，选中“CREATE NEW FOLDER”后会弹出“CONTROLLER FOLDER”单击“CONTROLLER FOLDER”。
5．单击“CONTROLLER FOLDER”，弹出“CONTROLLER CONFIGARATION”对话框，在“INFORMATION”目录下第一个“CONTROLLER”框中一般根据此控制器所处的网络号和站号编名如“N01S01”即一号网络一号站；“COMMENT”可不填写；第二个“CONTROLLER”为控制器的类型如“CP-317”“CP-316H”“CP-916A”“RIO2000”等等，一般“N01S01”的控制器的类型QC选“CP-317”，RTG选“CP-316H”。
安川伺服电机使用说明
1. 伺服单元的资料 2. 伺服电机的资料 3. 接线和连接 4. 试运行
TAKAYAMA（高山）自动化科技有限公司
1 Σ-Ⅴ系列驱动器
2
Σ-Ⅴ系列主要用于需要“高速、高频度、高定位精度” 的场合，该伺服单元可以在最短的时间内最大限度地发 挥机械性能，有助于提高生产效率。
2. 控制电源接线端子 T
L1C与L2C接200V 电源；
FG
3. 供电电源允许偏差 ±10%
R
驱动器端
L1 L2
L3 外壳接地 端子 L1C
T
L2C
3.2 伺服电机与驱动器连接
37
编码器线
电机侧
驱动器
≥750 850≤ 侧CN2 （W）（W） 接口
1
4
1
2
9
2
5
1
5
6
2
6
注意：
动力线
1.编码器线需带屏 电机侧
47
4.2.1 输入信号回路的连接和状态确认
48
4.2.1 输入信号回路的连接和状态确认
49
4.2.1 输入信号回路的连接和状态确认
50
4.2.1 输入信号回路的连接和状态确认
51
4.3 速度控制时的试运行
52
4.4 以上位机进行位置控制、以伺服单元进行速度 控制时的试运行
53
4.5 位置控制时的试运行
33
2.2.2 SGMGV型额定值和规格
34
3 接线与连接
35
3.1 电源线连接
36
单相200V电源接线
电源端 L N
FG L N
驱动器端
L1 L2 L3 外壳接地端 子 L1C
安川伺服驱动器软件使用
重要
滤波器 作为由机械共振而引起振动时的对策是◎ 作为由控制不稳定而引起振动时的对策是×
安川伺服驱动器软件使用
２．关于控制（4）
关于发生振动的结构
发生的振动是
重要
提高增益 → 机械共振，控制体自身不稳定的振动
加入滤波器 → 控制不稳定的振动
伺服调整的基本是
①为了加快响应而提高增益
②由于增益的提高而产生了机械共振
③通过加入陷波滤波器；延长转矩滤波器的时间常数来应对
④为了加快响应而提高增益
⑤产生控制体自身的振动（增益已不能再提高）
按照以上的步骤执行。
由于根据产生的振动，采取的对策有很大的不同，因此对发生振动的辨别能力是很重要的。
ベルト
ゲイン
位相 100
安川伺服驱动器软件使用
1000
[Hz］
４．关于振动的对策（１）
由伺服调整引起的振动有3种类型。关于此振动的特征和对策在此进行说明。 4‐1．机械共振 4‐2．由控制不稳定引起的振动 4‐3．因惯性力引起的装置的摇摆
安川伺服驱动器软件使用
４．关于振动的对策（２）
4‐1．机械共振
安川伺服驱动器软件使用
２．关于控制（１）
前馈控制和反馈控制
前馈的流向
前馈控制器
目标指令
＋ －
反馈控制器
＋ ＋
反馈回路
输出 控制对象
前馈控制 反馈控制
：预测输出。不参考实际的输出。 若控制对象有正确的模型，仅前馈控制已经足够了。 →模型中存在误差，还包含参数的变动、外乱等。 →反馈控制的必要性。
：为了使追踪偏差趋于0，必须使反馈增益无限大。 →无法实现。
安川伺服驱动器使用说明书.
资料编号SICP S800000 45C用户手册设计²维护篇模拟量电压²脉冲序列指令型/旋转型©-V系列伺服单元SGDV伺服电机SGMJV/SGMAV/SGMPS/SGMGV/SGMSV/SGMCSAC伺服驱动器概要面板操作器接线和连接试运行运行调整辅助功能(Fn□□□监视显示(Un□□□全闭环控制故障诊断附录版权所有© 2007 株式会社安川电机未经本公司的书面许可,禁止转载或复制本书的部分或全部内容。
iii请事先务必阅读本手册是对©-V 系列伺服单元的设计、维护所需的信息进行说明的手册。
进行设计、维护时,请务必参照本手册,正确进行作业。
请妥善保管本手册,以便在需要时可以随时查阅。
除本手册外,请根据使用目的阅读下页所示的相关资料。
本手册使用的基本术语如无特别说明,本手册使用以下术语。
关于重要说明对于需要特别注意的说明,标示了以下符号。
本手册的书写规则在本手册中,反信号名(L 电平时有效的信号通过在信号名前加(/来表示。
<例>S-ON 书写为/S-ON。
基本术语意义伺服电机©-V 系列的SGMJV、SGMAV、SGMPS、SGMGV、SGMSV、SGMCS (直接驱动型伺服电机伺服单元©-V 系列的SGDV 型伺服放大器伺服驱动器伺服电机与伺服放大器的配套伺服系统由伺服驱动器和上位装置以及外围装置配套而成的一套完整的伺服控制系统模拟量²脉冲型伺服单元的接口规格为模拟量电压²脉冲序列指令型M-ⅠⅠ型伺服单元的接口规格为MECHATROLINK-II 通信指令型²表示说明中特别重要的事项。
也表示可能会引起警报等,但还不至于造成装置损坏的轻度注意事项。
iv©-V 系列的相关资料请根据使用目的,阅读所需的资料。
资料名称机型和外围设备的选型想了解额定值与特性进行系统设计进行柜内安装与接线进行试运行进行试运行²伺服调整进行维护和检查©-V 系列用户手册设定篇旋转型(资料编号∶ SICPS80000043AC 伺服驱动器©-V 系列综合样本(资料编号∶ KACPS80000042©-V 系列用户手册数字操作器操作篇(日文版(资料编号∶ SIJPS80000055©-V 系列AC 伺服单元SGDV安全注意事项(资料编号∶ TOBPC71080010© 系列数字操作器安全注意事项(资料编号∶ TOBPC73080000AC 伺服电机安全注意事项(资料编号∶ TOBPC23020000v与安全有关的标记说明本手册根据与安全有关的内容,使用了下列标记。
伺服软件使用
自动调谐模式1、2
振动抑制控制调谐模式流程:
振动抑制控制调谐调节 操作 振动抑制控制手动模式： 运用机械分析器或外部的分析工具来测定工作结束时的振动或器件振动，同时设定振动抑制控 制的振动频率（参数PB19）和振动抑制控制响应频率（参数PB20）来手动设定振动抑 制控制。
YES
是目标响应？ (a) 增加响应设定 当一个振动顶点可以使用MR-CONFIGURATOR，或机械分析器或外部的FFT装置设定
增益参数可以在这个窗口下手动设定 参数PA09 相应水平设定 参数PB06 GD2 (可以在模式2下设定) 下面是调谐的基本操作顺序 1. 模式转换 每次按<Load inertia moment estimation start>按钮，可以在模式1、2 之间切换。
上面的按钮状态表示自动调谐模式1
上面的按钮状态表示自动调谐模式2
NO
部件结束时 是否有振动？
NO
YES
停止操作 执行或再次执行 振动抑制控制调谐 （设定参数PB02为“0001”） 继续操作 在预定时间内调谐结束 （参数PB01变为 0002或0000）
有振动或不寻常 的噪音被解决？
YES
NO
使用机械分析器或从 机械运动结束时的波形 手动设定振动抑制控制
降低反馈直到噪音消除
自动调谐模式1、2
6、振动抑制控制设定
按 <振动抑制控制> , 振动抑制控制调谐窗口显示如下：. 当自动调谐1设定, 选择自动调谐模式2. 振动抑制控制频率和反馈频率可以被设定.
高级振动抑制控制: 振动抑制控制是用来加强机器结束时的抑制, 如加工件结束振动 和底部振动. 电机方面的操作时为位置的调节以便机械不振动.
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１．前言
伺服调整的基本是配合机械特性进行滤波器的设定以及针对此滤波器的设定 提高增益直至控制达到稳定状态。 因此，多少也需要掌握有关机械方面的知识和控制方面的知识。 只有单方面的知识是不能使其有效的发挥性能的。 为此，本讲习是对必须掌握的最低限度的有关控制和机械方面的知识做初步的说明。
YASKAWA
陷波滤波器
由于机械共振在SigmaWin机械分析的 增益线图中呈现山状，所以在进行伺服调整 之前如果先实行机械分析的话可以讨论出适 合装置的辨别方法＞ 减小转矩滤波器（Pn401等）的时间常数→振动（声音）恶化
YASKAWA
４．关于振动的对策（３）
4‐2．由控制不稳定引起的振动
伺服 慢 缓慢动作 装置和伺服一同 动作 装置的固有振动数 反共振频率 伺服的机械共振 共振频率 快
动作
YASKAWA
3．关于装置（３）
3‐1－1．装置的固有振动数，反共振频率
若动作变快，装置因固有振动数而变得摇摆不定。
在即将要发生摇摆动作的时候让伺服停止，有时伺服虽到达停止位置，但此时弹簧仍弯曲。
YASKAWA
0．安川调试软件SigmaWin+的使用
安川伺服连接 1.1 运行 sigmawin＋选择伺服驱动器 sigmawin＋软件开始运行时，会看到选择连接的对话框，根据实际使用的通信端口来选择 伺服驱动器和PC的连接。 sigmawin＋ 软 件打开界面
YASKAWA
0．安川调试软件SigmaWin+的使用
5‐1．关于调整支持的功能
5-1-1．惯性力矩推定・质量推定（ SigmaWin+）
在Pn103中设定正确的惯性力矩比 （质量比）后即考虑了环增益的增益 平衡性，则可实现伺服调整。
伺服调整的 短时间化・稳定化
YASKAWA
５．伺服调整的方法 Step２
5‐1．关于调整支持的功能
5-1-3．陷波滤波器的设定（SigmaWin+机械分析）
YASKAWA
0．安川调试软件SigmaWin+的使用
安川伺服连接 1 .3运行 sigmawin＋，自动调谐运行/测量
YASKAWA
0．安川调试软件SigmaWin+的使用
安川伺服连接 1.3 运行 sigmawin＋，自动调谐运行/测量
YASKAWA
0．安川调试软件SigmaWin+的使用
此种振动的对策一般是降低增益，缩短滤波器的时间常数。 对于此种振动严禁使用滤波器。
重要
＜由控制不稳定引起的振动的辨别方法＞ 减小转矩滤波器（Pn401等）的时间常数→振动（声音）改善
YASKAWA
４．关于振动的对策（４）
4‐3．因惯性力引起的装置的摇摆
因惯性力引起的装置的摇摆是因为加快装置的动作引起的。 在伺服调整中有时是因为提高响应（例如增大位置环增益，使用前馈等）而产生的。 此类振动随着时间的推移而逐渐改善，伺服方面没有发生振动。
此类振动的对策是改善指令。改善指令的方法有
・使用指令滤波器 ・降低指令的加速度（需要向用户建议。） 等。
若发生此类振动，不管实施怎样的伺服调整，都不能在此基础上更快了。
能够达到怎样的快速水平依赖于装置的摇摆频率。频率越高就越快。
重要
＜因惯性力引起的装置的摇摆的辨别方法＞ 增大指令滤波器的时间常数→摇动变小
ベルト
ゲイン
位相
100
1000
[Hz］
YASKAWA
４．关于振动的对策（１）
由伺服调整引起的振动有3种类型。关于此振动的特征和对策在此进行说明。
4‐1．机械共振
4‐2．由控制不稳定引起的振动
4‐3．因惯性力引起的装置的摇摆
YASKAWA
４．关于振动的对策（２）
4‐1．机械共振
机械共振是在伺服调整中提高速度比例增益时，缩短转矩滤波器的情况下发生的比较多。 一般的机械共振的对策就是使用各种滤波器。经常使用的滤波器有 ◇转矩滤波器（Pn401等） ◇陷波滤波器
3‐2． SigmaWin的机械分析和振动的关系
机械共振（共振频率）是指“变得像无负载的状态＝伺服轻快动作＝增益提高”，
在SigmaWin的机械分析的增益线图上呈山状。
装置的固有振动数（反共振频率）是指“伺服受到反作用力＝伺服的动作被抑制＝增益下降”， 在SigmaWin的机械分析的增益线图上呈谷状。
（ａ）在滚珠丝杠的螺母部的 刚性体（旋转）运动 （频率较低的峰值）
（ｂ）滚珠丝杠・联轴器的扭转共振 （频率较高的峰值）
ゲイン
位相
100
1000
[Hz］
YASKAWA
3．关于装置（７）
3‐3．具有代表性构造的机械特性 3－3－2．皮带构造
皮带构造的场合， 机械分析的结果产生1个峰值。 其特点是峰顶和峰谷之间的频率差以 及增益・相位的变化比较大。
相反的也会引起振动。为掌握怎样的使用方法才是正确的，必须要了解加入滤波器后会引发哪些情况。 使用滤波器后（增大时间常数）会引起如下现象。 ＜优点＞
・能够抑制机械共振。
＜缺点＞ ・延迟要素增加而变得不稳定，控制体自身产生振动。
重要
滤波器 作为由机械共振而引起振动时的对策是◎
作为由控制不稳定而引起振动时的对策是×
YASKAWA
２．关于控制（4）
关于发生振动的结构
重要
发生的振动是 提高增益 → 机械共振，控制体自身不稳定的振动 控制不稳定的振动
加入滤波器 → 伺服调整的基本是
①为了加快响应而提高增益 ②由于增益的提高而产生了机械共振 ③通过加入陷波滤波器；延长转矩滤波器的时间常数来应对 ④为了加快响应而提高增益 ⑤产生控制体自身的振动（增益已不能再提高） 按照以上的步骤执行。 由于根据产生的振动，采取的对策有很大的不同，因此对发生振动的辨别能力是很重要的。
YASKAWA
0．安川调试软件SigmaWin+的使用
安川伺服连接 1 .3运行 sigmawin＋，自动调谐条件设定
YASKAWA
0．安川调试软件SigmaWin+的使用
安川伺服连接 1.3 运行 sigmawin＋，自动调谐指令传送
YASKAWA
0．安川调试软件SigmaWin+的使用
安川伺服连接 1.3 运行 sigmawin＋，自动调谐指令传送
２．关于控制（１）
前馈控制和反馈控制
前馈的流向 前馈控制器 目标指令 ＋ ＋ － 反馈控制器 控制对象
输出 ＋
反馈回路
前馈控制 ：预测输出。不参考实际的输出。 若控制对象有正确的模型，仅前馈控制已经足够了。 →模型中存在误差，还包含参数的变动、外乱等。 →反馈控制的必要性。 反馈控制 ：为了使追踪偏差趋于0，必须使反馈增益无限大。 →无法实现。
直至此弯曲的弹簧变直之前装置都是边摇边停的。此时伺服只受到制止装置摇动的反作用力。
装置比伺服更大幅度 的摇摆
装置边摇边停
装置
伺服
伺 服 停 止
伺服受到反作用力
YASKAWA
3．关于装置（４）
3‐1－2．伺服的机械共振，共振频率
在本公司的伺服中有负载惯性力矩比（线性电机时叫作质量比）这个用户参数。
此参数考虑到装置整体，设定比较一般。
若伺服的响应速度变快而装置处于几乎不动的状态的话，则会变为“装置几乎不动≒未连接装置” ， 达到负载惯性力矩比的设定过大的状态。 实质上，会变为和速度比例增益大相同的状态然后发生振动。
装置几乎不动 装置
无装置
负载惯性力矩设定大 ↓
速度比例增益大 ↓
产 生 振 动
伺服
YASKAWA
3．关于装置（５）
YASKAWA
５．伺服调整的方法
伺服调整基本是按照
１．通过调整支持功能进行调整 ２．手动调整 的顺序对响应性进行改善的。 此时、负载惯性力矩比的设定是非常重要的。 进行调整之前请务必设定。 下面，对如何能够进行正常的设定进行说明。
5‐1．关于调整支持功能
5‐2．关于手动调整
YASKAWA
５．伺服调整的方法 Step1
安川伺服连接 1 运行 sigmawin＋ 1.菜单工具
YASKAWA
0．安川调试软件SigmaWin+的使用
安川伺服连接 1 .2运行 sigmawin＋，在参数编辑界面修改相关的参数 sigmawin＋ 软 件参数界面
YASKAWA
0．安川调试软件SigmaWin+的使用
安川伺服连接 1 .2运行 sigmawin＋，在参数编辑界面修改相关的参数
5-2-1．个别装置的手动调整
安川伺服连接 1 .3运行 sigmawin＋，自动调谐运行/测量
YASKAWA
0．安川调试软件SigmaWin+的使用
安川伺服连接 1.3 运行 sigmawin＋，自动调谐结果写入
YASKAWA
0．安川调试软件SigmaWin+的使用
安川伺服连接 1 .3运行 sigmawin＋，重新上电
YASKAWA
YASKAWA
３．关于装置（１）
说明关于组合伺服和装置时发生的振动。另外介绍具有代表性构造的机械特性 。
3‐1．装置的振动，伺服的振动
3‐2． SigmaWin的机械分析和振动的关系
3‐3．具有代表性构造的机械特性
YASKAWA
3．关于装置（２）
3‐1．装置的振动，伺服的振动
用1个弹簧将伺服和装置简单的连接起来。 此时若让伺服缓缓提高速度做往复动作，就会呈现“装置比伺服更大幅度摇摆的状态”和“ 装置几乎不动的状态”。 装置比伺服更大幅度摇摆时的往复间隔称之为“装置的固有振动数，反共振频率”， 装置几乎不动时的往复间隔称之为“共振频率”。 装置的移动量 ＝伺服的移动量 装置 装置比伺服更大幅度 的摇摆 装置几乎不动