半导体封装工艺介绍共44页
半导体制造之封装技术 ppt课件
3D晶片堆叠技术
堆叠式存储模块
目前，以全球半导体封装的主流正处在第三阶段的成熟期，PQFN和BGA等主要封装技 术进行大规模生产，部分产品已开始在向第四阶段发展。 微机电系统（MEMS）芯片就是采用堆叠式的三维封装。
ppt课件 3
封装的性能要求
封装
电源分配
信号分配
散热通道
机械支撑
环境保护
ppt课件
4
封装的技术层次
三级封装 母板 第四层次：将数个子系统组装成为一个完整电子产品的工艺过程。
二级封装
PWB或卡
第三层次：将数个第二层次完成的封装组成的电路卡组合成在一个主电路版上使之成为一个部 件或子系统的工艺。
一级封装
多芯片组件
第二层次：将数个第一层次完成的封装与其他电子元器件组成一个电子卡的工艺。
零级封装
芯片互连
第一层次：芯片层次的封装，是指把集成电路芯片与封装基板或引脚架之间的粘贴固定电路连 线与封装保护的工艺，使之成为易于取放输送，并可与下一层次的组装进行连接的模块元件。
ppt课件
5
封装的分类
1、按照封装中组合集成电路芯片的数目，芯片封装可分为：单芯片封装与多芯片封装两大类； 2、按照密封的材料区分，可分为：高分子材料和陶瓷为主的种类； 3、按照器件与电路板互连方式，封装可区分为：引脚插入型和表面贴装型两大类； 4、按照引脚分布形态区分，封装元器件有：单边引脚，双边引脚，四边引脚，底部引脚四种。 5、常见的单边引脚有：单列式封装与交叉引脚式封装； 6、双边引脚元器件有：双列式封装小型化封装； 7、四边引脚有四边扁平封装； 8、底部引脚有金属罐式与点阵列式封装。
半导体封装流程精品PPT资料
Mold Cycle-2
空模
放入L/F
合模
开模
开模
注胶
切脚成型 (Trim/Form)
目的：将导线架上已封装完成的晶粒， 剪切分离并将不需要的连接用材料切除。
封胶完成之导线架需先将导线架上多余 之残胶去除(Deflash)，并且经过电镀 (Plating)以增加外引脚之导电性及抗氧 化性，而后再进行切脚成型。成型后的 每一颗IC便送入塑料管(Tube)或载带 (Carrier)，以方便输送。
Forming anvil
去纬 (Trimming)
去框（Singulation）的目的：將已完成盖印（Mark）制程的Lead Frame，以沖模的方式将Tie Bar切除，使Package与Lead Frame分开，方
便下一个制程作业。
成型（Forming)的目的：
导线架是提供晶粒一个黏着的位置(称作晶粒座，Die Pad)，并预设有可延伸IC晶粒电路的延伸脚。
脚成型。
目的：将晶粒上的接点用金线或者铝线铜线连接到导线架上之内引脚，从而将IC晶粒之电路讯号传输到外界。
3、有效地将内部产生之热排
出于外部；
封胶的过程为将导线架预热，再将框架置于压铸机上的封装模具上，再以半溶化后之树脂(Compound)挤入模中，待树脂硬化后便可开
模取出成品。
目的：将导线架上已封装完成的晶粒，剪切分离并将不需要的连接用材料切除。
去框（Singulation）的目的：將已完成盖印（Mark）制程的Lead Frame，以沖模的方式将Tie Bar切除，使Package与Lead Frame分开，方
便下一个制程作业。
接着依设计好之路径拉金线，将金线压焊在第二点上完成一条金线之焊线动作。
半导体封装制程与设备材料知识介绍讲课文档
封裝型式
Shape
Typical Features
Material Lead Pitch No of I/O
Plastic
2.54 mm (100miles) 1 direction
lead
16~24
Plastic
1.778 mm (70miles)
20 ~64
Through Hole Mount
第4页，共120页。
製造完成
第5页，共120页。
封装型式概述
IC封装型式可以分为两大类，一为引脚插入型，另一为表面黏着型
构装型态
构装名称
常见应用产品
Single In-Line Package (SIP）
Dual In-Line Package (DIP）
Zigzag In-Line Package (ZIP）
Detaping
(Optional)
Wafer
Mount
UV Cure (Optional)
Die Saw
Die Bond
Die Cure
(Optional)
Plasma
Wire Bond
Molding
Post Mold Cure
Laser mark
Laser Cut
Package Saw
Cleaner
8 ~64
SIP Single In-line
Package
第6页，共120页。
Plastic
2.54 mm (100miles) 1 direction
lead
3~25
Through Hole Mount
ZIP Zigzag In-line Package
半导体封装工艺讲解——芯片制造流程课件PPT
的Pad上，具体位置可控； 4、Bond Head Resolution：
X-0.2um；Y-0.5um；Z-1.25um； 5、Bond Head Speed：1.3m/s；
FOL– Die Attach 芯片粘接
Thickness Size
FOL– 3rd Optical Inspection三 光检查
检查Die Attach和Wire Bond之后有无各种废品
EOL– End of Line后段工艺
EOL
Annealing 电镀退火
Trim/Form 切筋/成型
Molding 注塑
Laser Mark 激光打字
• QFN—Quad Flat No-lead Package 四方无引脚扁平封装 • SOIC—Small Outline IC 小外形IC封装 • TSSOP—Thin Small Shrink Outline Package 薄小外形封装 • QFP—Quad Flat Package 四方引脚扁平式封装 • BGA—Ball Grid Array Package 球栅阵列式封装 • CSP—Chip Scale Package 芯片尺寸级封装
IC Package Structure（IC结构 图）
Lead Frame 引线框架
Die Pad 芯片焊盘
Gold Wire 金线
Epo
TOP VIEW
银浆
Mold pound 环氧树脂
SIDE VIEW
Raw Material in Assembly(封装 原材料)
【Wafer】晶圆
……
Raw Material in Assembly(封装 原材料)
半导体封装流程完整PPT课件
使用之前回温，除 去气泡；
23
Epoxy Writing： 点银浆于L/F的Pad 上，Pattern可选；
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FOL– Die Attach 芯片粘接
第一步：顶针从蓝膜下面将芯片往上顶、同时 真空吸嘴将芯片往上吸，将芯片与膜蓝脱离。
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FOL– Die Attach 芯片粘接
➢存放条件：零下5°保存，常温下需回温24小时；
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Raw Material in Assembly(封装原材料)
【Epoxy】银浆---环氧树脂
➢成分为环氧树脂填充金属粉末（Ag）； ➢有三个作用：将Die固定在Die Pad上；
散热作用，导电作用； ➢-50°以下存放，使用之前回温24小时；
其中，CSP由于采用了Flip Chip技术和裸片封装，达到了 芯片面积/封装面积=1:1，为目前最高级的技术；
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IC Package （IC的封装形式）
• QFN—Quad Flat No-lead Package 四方无引脚扁平封装 • SOIC—Small Outline IC 小外形IC封装 • TSSOP—Thin Small Shrink Outline Package 薄小外形封装 • QFP—Quad Flat Package 四方引脚扁平式封装 • BGA—Ball Grid Array Package 球栅阵列式封装 • CSP—Chip Scale Package 芯片尺寸级封装
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Cap上提，完成一次 动作
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FOL– Wire Bonding 引线焊接
半导体封装工艺相关介绍
市场发展趋势
持续增长
随着电子设备市场的不断扩大和技术的不断进步， 半导体封装市场将持续保持增长态势。
竞争加剧
随着技术的不断进步和市场需求的多样化，半导体 封装市场的竞争将越来越激烈。
产业链整合
为了提高竞争力，半导体封装企业将通过并购、合 作等方式进行产业链整合，形成更加完善和高效的 产业生态。
THANK YOU
详细描述
引脚插入式封装采用金属引脚将芯片与外部电路连接，引脚插入 到电路板上的孔洞中，然后用焊接或胶水固定。这种封装技术具 有较高的可靠性，但制造成本较高，且不适合小型化和高密度集 成。
表面贴装技术封装
总结词
表面贴装技术封装是一种先进的封装技术，通过将半导体芯片直接贴装在电路板表面实现。
详细描述
表面贴装技术封装的芯片没有引脚，而是通过焊盘与电路板连接。这种封装技术可以实现小型化、轻量化、高密 度集成，并且制造成本较低。常见的表面贴装技术封装有SMT（表面贴装技术）和BGA（球栅阵列）等。
晶片级封装
总结词
晶片级封装是一种将整个芯片封装在晶片中的技术，实现了芯片与外部电路的 无缝连接。
详细描述
晶片级封装的芯片在晶片上直接进行封装，整个晶片可以被切割成独立的芯片。 这种封装技术具有极高的集成度和可靠性，适用于高性能、高可靠性的应用领 域。
3D封装
总结词
3D封装是一种将多个芯片垂直堆叠、通过内部连接实现高速数据传输的封装技 术。
常用的切割方法有激光切割和刀片切割，根据不同材 料和工艺要求选择合适的切割方式。
芯片贴装
芯片贴装是将芯片固定在封装 基板上的过程，通过导电胶或 焊料将芯片与基板相连。
贴装过程中需确保芯片位置准 确、贴装平整，以减小应力并 提高散热性能。
半导体封装主要工艺流程
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在进行半导体封装之前，需要进行充分的准备。
半导体封装工艺.pdf
半导体制造工艺Zhang.2008.6.4 Tel: 622131 / 49半导体发展史1. 60年前，第一只晶体管在贝尔实验室诞生，从此人类步入了飞速发展的电子时代。
2. 50年前，第一块集成电路在TI公司诞生，从此我们进入了微电子时代。
3. 40年前，仙童公司出走的“8叛逆”中的诺依斯、摩尔和葛罗夫创立了Intel公司，来自仙童公司的另一位员工C.Sporck 则创立了AMD。
他们的创业引发了自硅谷席卷全球的高科技创业热潮！4. 30年前（1978年2月16日），芝加哥的Ward Christiansen和Randy Seuss开发出第一个计算机的公告牌系统，成为普及Internet的启明星，人类从此进入互联网时代。
5. 现在，3G、移动视频、GPS、高清电视、RFID… 数不清的高科技梦想要实现，所依靠的都是半导体技术的发展！“世界上没有哪一个工业，像半导体产业一样充满创新和变革。
”2 / 49半导体制造过程分类− 前段（Front End）制程晶圆处理制程（Wafer Fabrication；简称 Wafer Fab）、晶圆针测制程（Wafer Probe）；− 后段（Back End）封装（Packaging）、测试制程（Final Test）3 / 49晶圆制造过程−晶棒成长−晶棒裁切与检测−外径研磨−切片−圆边−表层研磨−蚀刻−抛光−清洗−检验−包装4 / 495 / 49封装测试过程6 / 49半导体器件封装概述1. 半导体组装技术(Assembly technology)的提高主要体现在它的封装型式(Package)不断发展。
2. 通常所指的组装(Assembly)可定义为：利用膜技术及微细连接技术将半导体芯片(Chip)和框架(Leadframe)或基板(Sulbstrate)或塑料薄片(Film)或印刷线路板中的导体部分连接以便引出接线引脚，并通过可塑性绝缘介质灌封固定，构成整体立体结构的工艺技术。