半自动量测探针台
矽电半导体设备（深圳）股份有限公司_企业报告(供应商版)
公告时间 2022-03-31
2
PT-920B 全 自 动 探 针 台 故 障 维 修 (XJ023020600431)结果公告
华东光电集成器件研究所
2.0
2023-02-06
*按近 1 年项目金额排序，最多展示前 10 记录。
1.5 行业分布
近 1 年矽电半导体设备（深圳）股份有限公司的中标项目主要分布于企业采购系统、科研系统行业， 项目数量分别达到 7 个、1 个。其中企业采购系统、科研系统项目金额较高，分别达到 900.90 万元、 2.00 万元。
63.0
TOP6
FC380Pro 型传感微结构参数测试 系统研制平台组件材料外协加工 (XJ022113000064)结果公告
矽电半导体设备（深 圳）股份有限公司
25.9
TOP7 中测计数设备采购项目结果公示
15.0
2022-12-05 2022-11-30 2022-06-20
TOP8
PT-920B 全 自 动 探 针 台 故 障 维 修 华东光电集成器件研
3 / 12
1.4 地区分布
近 1 年矽电半导体设备（深圳）股份有限公司中标项目主要分布于河北、广东、未知等省份，项目数 量分布为 3 个、2 个、2 个，占比企业近 1 年项目总数的 70%。从中标金额来看，河北、江苏、广东 的中标总金额较高，表现出较高的地区集中度。
分地区主要项目
（1）河北（3）
63.0
公告时间 2022-12-29 2022-12-13 2022-12-05
*按近 1 年项目金额排序，最多展示前 10 记录。
（2）广东（2）
序号
项目名称
招标单位
1
eg-2001+探针台技术规格
2001+探针台技术规格一、产品概述2001+探针台是一款高精度、高稳定性的测试设备，广泛应用于半导体、电子、光电子等行业。
该产品在保持传统探针台功能的基础上，引入了先进的技术，提升了性能指标，为用户提供更加便捷、高效的测试解决方案。
二、主要技术指标1. 精度2001+探针台在位置控制精度上具有出色表现，其定位精度可达0.01um，能够满足对微小尺寸器件的测试需求。
在角度控制精度方面，该产品同样表现优异，角度定位精度可达0.01°，确保测试数据的准确性。
2. 稳定性2001+探针台采用了先进的控制技术，具有稳定性高、抗干扰能力强的特点。
在长时间测试过程中，不会出现位置漂移或者控制误差，保证测试数据的可靠性。
3. 载具2001+探针台提供了多种载具接口，可适配不同规格、形状的被测样品。
用户可以根据实际需求选择合适的载具，实现快速、灵活的样品切换。
4. 自动化2001+探针台支持自动化测试，可通过软件控制实现自动化运行、数据采集和分析。
用户可以根据测试任务的要求，编写测试流程，提升测试效率和一致性。
5. 接口2001+探针台提供了丰富的接口，包括USB、RS232、LAN等，方便与各类测试设备或者上位机进行连接，实现数据共享和联合测试。
三、应用领域2001+探针台适用于多种测试场景，主要包括但不限于以下领域：1. 半导体器件测试：可用于晶体管、二极管、集成电路等器件的参数测试和特性分析。
2. 光电子器件测试：可用于激光二极管、光电探测器等器件的光电特性测试。
3. MEMS器件测试：可用于微型加速度计、陀螺仪等MEMS器件的性能评估和可靠性测试。
4. 电子元器件测试：可用于电容、电阻、电感等被动元件的性能测量。
5. 其他领域：也可用于其他需要高精度、高稳定性测试的领域。
2001+探针台是一款高性能、多功能的测试设备，具有广泛的应用前景和市场需求。
随着半导体、电子等行业的不断发展，该产品的市场前景将会更加广阔。
HGMCSB0431C--OMP60说明书
4-1 MI12 接口设备（使用 OMM 时）........................................................................4-1
在实际运转时必须装好。 4. 本说明书根据最新材料编写，然而因为不断的技术革新而万一在所购买的机械与本说明书内
容有所不同，请与本公司联系。本公司将会提供正确的资料。 5. 请将本使用说明书保管在机械附近，以便随时查阅。 6. 要重新订购说明书时，请与说明书编号（或机械名称、机械编号、说明书名称）一并与就近
4-1-1 接口设备 ................................................................................................................. 4-1 4-1-2 手动为探针 OMP60 输入启动信号 .......................................................................... 4-1 4-1-3 OMM 发光二极管的操作 ......................................................................................... 4-2
1-1 规定 ....................................................................................................................1-1 1-2 仅与本书说明对象相关的安全注意事项...............................................................1-1
低温探针台用途
低温探针台用途
低温探针台是一种实验仪器，主要用于研究低温物理学领域中的材料性质，如电导率、热电效应、磁电效应、热容量等。
低温探针台通常由低温制冷单位、针状探针、实验样品夹持器等组成。
它非常适用于研究低温下物质的电学性质
和热学性质，可以被广泛应用于材料科学、物理学、化学、电子学等领域。
低温探针台的用途：
1. 电学测量：
低温探针台可以用于测量低温下材料的电学性质，如导电性、电阻率、电
导率等。
通过在低温下进行测量，研究人员可以更准确地了解材料的电学性质，并深入探究材料的电学行为。
2. 热学测量：
低温探针台也可以用于测量低温下材料的热学性质，如热传导性、热容量、热电效应等。
通过测量这些性质，研究人员可以更深入地了解低温材料的热学
行为，并进一步探究材料的热学性质。
3. 磁学测量：
低温探针台还可以用于测量低温下材料的磁学性质，如磁矩、磁导率等。
通过测量这些性质，研究人员可以更加深入地了解低温材料的磁学行为，并进
一步探究材料的磁学性质。
4. 光学测量：
低温探针台还可以用于测量低温下材料的光学性质，如光学吸收、光导率、荧光等。
通过测量这些性质，研究人员可以更加深入地了解低温材料的光学行为，并进一步探究材料的光学性质。
总之，低温探针台是一款非常实用的实验仪器，可以广泛应用于各种学科
研究中。
在材料研究、物理学、化学、电子学等领域发挥着非常重要的作用，
拥有着不可替代的地位。
WestBond4546E半自动键合机
WestBond4546E半⾃动键合机MMIC单⽚混合集成电路⼯艺线----微组装⼯艺流程该⼯艺适⽤于微波模块/混合电路组装⼀.⼀般组装⼯艺流程Known Good Die Testing(外购芯⽚测试) 等离⼦清洗管芯贴⽚(共晶/环氧) 管芯剪切⼒测试等离⼦清洗引线键合(楔压和球楔) 返修等离⼦清洗⽓密性封帽可靠性测试⼆.关键设备及应⽤1.West Bond 键合机与贴⽚机美国West Bond是全世界做T/R组件，微波器件，混合电路，光电产品最具优势的公司。
它是专业研制与⽣产键合机、粘⽚机的专⽤⼯⼚。
⽤户覆盖全世界。
West Bond的⼿动粘⽚机是微波/混合电路领域世界上最好的供应商，在微波/混合电路领域没有有⼒的竞争对⼿。
YES公司等离⼦清洗机在微波/混合电路组装中，通常考虑等离⼦清洗机.因为等离⼦清洗，⽆需有机物清洗剂，⽆需化学清洗，不会在产品表⾯残留杂质。
Polaris电⼦公司封帽机Polaris平⾏封帽机1) 技术成熟，性价⽐好2) 焊接时⽆打⽕现象3) 焊接时的热聚效应⼩; 产品在焊接⼯序时的电性能稳定;4) 设备的性能稳定.可靠5) 程序设定简洁，操作简便三.奥泰公司推荐设备与设备主要技术指标1. Semiprobe⼿动微波探针台1)⽤途：与微波⽹络分析仪配套，测量芯⽚的电性能参数；或与直流测试仪连接，测试I-V/C-V参数。
2)主要技术性能指标(以微波芯⽚为例)a. 适⽤⾼于40Ghz频段信号测试b. 主要⽤于半导体晶园及芯⽚的参数测试，模型建⽴，产品设计及功能检测。
c. 具备设备升级功能：可升级配备⾼温承⽚台等推荐型号：M6 HF ⼿动微波探针台2. 管芯粘接1) ⽤途：⽤于芯⽚与电路基板的功能粘接. 有共晶与环氧树脂粘接两种⽅式共晶粘⽚:7367E: 镊⼦型共晶粘接---------如果芯⽚表⾯不能触碰。
//有此特殊应⽤需求时再沟通7374E: 梁式引线共晶粘接---主要⽤于微波⼆极管带梁式引线的粘接。
中国探针台行业市场现状技术背景产业链发展趋势
中国探针台行业市场现状技术背景产业链发展趋势一、技术背景探针台是一种用于表面形貌和材料性质分析的科学仪器。
它主要应用于材料科学、纳米科学、生物科学等领域，能够提供样品的表面形貌信息、结构成分、电子状态等多种数据。
目前，国内探针台行业市场主要以扫描隧道显微镜（STM）和原子力显微镜（AFM）为主。
STM是最早发展起来的探针台技术，它利用尖端的探针通过隧道电流来扫描样品表面，实现原子级的表面形貌观察。
AFM则是在STM基础上发展起来的技术，它通过测量探针与样品之间的相互作用力，实现对样品表面形貌以及力学、电学等性质的研究。
二、产业链国内探针台行业的产业链包括仪器制造商、配套零部件供应商、样品制备与处理厂商以及使用方等环节。
仪器制造商是整个产业链的核心，他们负责研发、生产和销售探针台设备。
配套零部件供应商则提供仪器所需的关键零部件，如探针、电子元件等。
样品制备与处理厂商则提供样品的制备加工服务，确保样品能够适配探针台的观测要求。
使用方包括科研机构、大学实验室、企业研发中心等，他们是探针台的终端用户，通过使用探针台开展科研和生产活动。
三、市场现状中国的探针台行业市场自上世纪80年代开始发展，目前已经形成了一定规模。
据调查数据显示，2024年我国探针台市场规模达到了30亿人民币。
然而，与国外先进水平相比，我国探针台行业在核心技术、产品性能等方面还有一定差距。
目前，我国仪器制造商主要集中在一些大型科研院所和高校中，企业规模相对较小，技术研发能力和市场开拓能力有待提升。
在市场需求方面，随着材料科学、纳米科学等领域的发展，对探针台的需求逐渐增加。
同时，生物医学、新能源等领域对于探针台的需求也在不断增加。
尤其是新能源领域，比如太阳能电池、锂离子电池等，对于材料的表面形貌和性能要求极高，这为探针台的应用提供了新的市场机遇。
未来，中国探针台行业将面临以下发展趋势：1.技术创新方向。
探针台行业的技术发展方向主要包括提高分辨率、扩展应用领域、提高工作效率等。
原创!介质经时击穿评估流程-essun
深圳市易商仪器有限公司介质经时击穿（TDDB）评估自动测试操作流程目录1、目的 (4)2、适用范围 (4)3、职责 (4)4、定义缩写 (4)5、程序及说明 (5)5.1准备测试 (6)5.2Stress条件的确定 (8)5.3TDDB测试 (10)5.4结束测试 (11)6、流程图 (12)7、相关文件 (12)8、记录表单 (12)1、目的本文档详细描述了使用Agilent 4156C、探针台12000B-M或E300以及“可靠性测试系统”，自动完成介质膜经时击穿（TDDB）测试的流程，方便了ESSUN各技术人员顺利进行介质可靠性的评估。
2、适用范围本程序适用于ESSUN技术人员对于可靠性测试中氧化膜经时击穿评估的规范操作。
3、职责可靠性工程师负责执行可靠性相关测试。
4、定义缩写无。
5、程序及说明5.1准备测试5.1.1开启软件双击桌面上“可靠性测试系统.exe”图标，出现测试程序主界面，在主界面上点击“TDDB”按钮，出现连接Agilent4156C GPIB界面，可根据实际情况修改GPIB地址。
点击确定后，进入TDDB测试界面。
5.1.2选择测试文件保存路径点击软件界面上的“保存路径”按钮，选择您需要将测试数据保存的文件夹的位置，也可以直接在文本框中输入路径。
5.1.3设定SMU通道根据4156C SMU对应DUT的实际位置进行设定。
其中“H”对应高电压加载管脚，“L”对应低电压加载管脚。
5.1.4设定测试结构基本信息填入测试结构信息，包括Wafer ID, Tox, Area, Vbd, Vdd。
这些信息仅作为测试结构识别用，会保存在测试数据文件中，与测试结果无关。
5.2Stress条件的确定5.2.1 Vramp测试选一个未测过的DUT做Vramp测试。
在“Vramp”栏中，输入Vramp测试条件，包括Vgstart, Sweep step和Vgstop。
然后点击“开始测试”，4156即开始测试。
summit12000半自动探针台操作手册
主要功能和特点
半自动探针 台：实现自 动对焦、自 动定位等功
能
高精度：探 针台精度高， 可满足高精 度测量需求
操作简单： 探针台操作 简单，易于
上手
兼容性强： 探针台兼容 多种测量仪 器，如显微 镜、扫描电
镜等
安全性高： 探针台具有 安全保护功 能，防止误 操作造成设
备损坏
稳定性好： 探针台稳定 性好，长时 间使用不易
设备维护的安全规范
定期检查设备， 确保设备运行
正常
操作过程中， 注意安全防护， 避免触电、烫
伤等事故
设备维修时， 必须关闭电源， 并悬挂警示标
志
设备维修人员 必须具备相关 资质，并按照 操作规程进行
操作
设备维修完成 后，必须进行 安全检查，确 保设备运行正
常
THANK YOU
汇报人：
汇报时间：20XX/XX/XX
记录调试结果：记录调试过程和结果， 便于后续维护和维修
操作步骤
开机操作
打开电源开关，等待设备启动
检查设备是否正常工作，如无异常，可以进行下一步操作
打开软件，选择相应的操作模式
根据需要，设置参数和操作条件，如温度、压力等
确认设置无误后，开始进行探针台操作
探针校准
打开探针台电源，等待系统自检完成
运行情况
安全操作： 在安装和调 试过程中， 注意安全操 作，避免意
外伤害
调试过程及标准
设备安装：按照说明书进行设备安装， 确保设备稳固、安全
标准设定：设定设备参数，确保设备 性能符合标准要求
电源连接：确保电源连接正确，电压 稳定
测试验证：进行设备测试，确保设备 性能符合标准要求
设备调试：按照说明书进行设备调试， 确保设备性能稳定
半自动探针台在集成电路自动测试的应用
半自动探针台在集成电路自动测试的应用随着科技的飞速发展，集成电路在各行各业的应用越来越广泛，而集成电路的质量和性能测试也变得越来越重要。
为了满足不断增长的测试需求，半自动探针台已经成为集成电路自动测试中不可或缺的重要设备。
在本文中，我们将探讨半自动探针台在集成电路自动测试中的应用及其优势。
一、半自动探针台的原理及结构半自动探针台是一种用于测试集成电路的自动测试设备，它可以自动检测和记录芯片的性能参数，从而实现对集成电路的快速、准确的测试。
半自动探针台的结构主要包括机械部分、控制系统和测试软件。
机械部分主要包括探针架、探针卡和测试座，控制系统主要包括运动控制系统和信号采集系统，测试软件主要用于控制测试过程和分析测试数据。
半自动探针台主要用于集成电路的功能测试、性能测试和可靠性测试。
在功能测试中，半自动探针台可以快速地对集成电路的功能进行验证，包括数字电路测试、模拟电路测试和混合信号电路测试。
在性能测试中，半自动探针台可以对集成电路的性能参数进行自动化测试，包括时序参数测试、功耗测试和噪声测试。
在可靠性测试中，半自动探针台可以对集成电路的稳定性和可靠性进行长时间的测试，以确保电路在各种环境条件下都能正常工作。
1. 高效性：半自动探针台采用自动化测试技术，可以实现对集成电路的快速、高效的测试，大大提高了测试效率和生产效率。
2. 灵活性：半自动探针台具有很高的灵活性，可以适应不同类型和规格的集成电路的测试需求，同时也可以根据用户的需求进行定制。
3. 准确性：半自动探针台具有很高的测试精度和重复性，可以对集成电路的性能参数进行精确的测量和记录，保证测试数据的准确性。
4. 可靠性：半自动探针台具有很高的稳定性和可靠性，可以长时间连续工作，满足各种测试条件下的需求。
5. 易操作性：半自动探针台具有友好的用户界面和操作系统，操作简便，易于上手，减少了用户对设备的操作和维护成本。
随着集成电路技术的不断发展和应用的广泛，半自动探针台在集成电路自动测试中的应用也将不断深化和拓展。
Cascade探针台介绍
光电子工程测试。
应用：
MEMS/MOEMS 加速传感器 偏航率感测器/陀 仪传感器 RF-MEMS 开关，谐 振器
微型热辐射仪 微镜/光开关 下一代技术 有机发光二极管
气体加速器
Cascade Summit 12K 探针台
ESSUN
Cascade 12K—直流测试中的应用
可以作为芯片的直流偏执使用 由于配置4个直流探针，可满足多
Wafer的吸附 提供一个低噪声且全方面保护的封闭
的测试环境 拥有功率控制能力
最大电压 最大电流 功率损耗
1,100V (Triax); 3,000V (Coax) 60A (Pulsed); 10A (DC) 100 W/cm²
包含一个安全轻便的激光幕布系统
集成了Summit 12000半自动探针台
中国区市场占有>>85%+
中心区： UESTC Xi-an JTU Xi-an EU Lanzhou Univ. Inst. 24, 29 SMIC ….etc.
南方区: Sunplus BYD Supertex HK ….etc.
北方区:
SMIC
RFMD
PKU
Tsinghua Univ.
Freescale
华东区: SMIC
Inst. 13th ….etc.
GSMC
HeJian
TSMC
Fudan Univ.
SEU
AUO
Inst. 55th
Microsystem Inst.
Inst. Tech. Physics
Fairchild
NS
….etc.
Cascade客户分布
ESSUN
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可兼容 DC 测试、射频、高频、微波测试 直流到高频 结合多年的探针量测设备经验所开发出更方便更有效率的量测系统，高完整性广 泛应用于 Semiconductor、LED/MEMS 等各领域… 产品特点： 自动 XYZ 移动平台 搭配 R 轴手动校正 精确配合打点器操作 可输入移动座标及移动间距 6”真空吸附卡盘(4“、8“等其它尺寸选) 产品规格： XY 平台行程：150mm*150mm 速度：50mm/sec 分辨率：0.5μm 精度：<10μm 重复定位精度：<5μm Z 轴行程：5mm
速度：10mm/sec。 分辨率：1.5μm 精度：<10μm 重复定位精度：<5μm
外形尺寸： 宽度：700mm 高度：700mm 长度：800mm 重量：65kg
配置可选项：
* 体式显微镜/高倍率超长工作距离视频显微镜/高分辨金相显微镜 * 真空吸附加热卡盘（温度：200℃/300℃或其它） * 可选低温制冷卡盘 * 客户定制化移动平台 * 气压式显微镜升降调节 * 各类 DC 探针、高频探针、主动式探针、电缆线等… * 低电容、电流探测装置 * 高电压探测装置 * 雷射切割装置 * CCD 或 C-MOS 视频成像装置 * 各类探针夹具 * 静音真空泵 * 屏蔽箱 * 防振桌 * 适配器 * 转接头 * 电学测试设备 * 其它外围组件