我国电子级纯水质技术指标gb11446189(电子纯水制取用
电子级超纯水中国国家标准GBT11446
中华人民共和国国家标准GB/T 11446.1-1997电子级水代替GB 11446.1--89Electronic grade water1 范围本标准规定了电子级水的级别、要求、试验方法和检验规则.本标准适用于电子元器件生产和清洗用水．2 引用标准下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用丽构成为本标准的条文．本标准出版时，所示版本均为有效．所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性．GB/T 11446.3——1997 电子级水测试方法通则GB/T 11446.4——l997 电子级水电阻率的测试方法GB/T 11446.5——1997 电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法GB/T 11446.6——1997 电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法GB/T 11446.7——1997 电子级水中痕量氯离子、硝酸根离子、磷酸根离子、硫酸根离子的离子色谱测试方法GB/T 11446.8——1997 电子级水中总有机碳的测试方法GB/T 11446.9——1997 电子级水中微粒的仪器测试方法GB/T 11446.10——1997 电子级水细菌总数的滤膜培养测试方法3 定义本标准采用下列定义．3.1电子级水electronic grade water制造电子元器件工艺过程中所用的高纯水．3.2电阻率resistivity在规定温度下,1 cm²水溶液两相对面之间测得的电阻值．通常用符号P表示，单位为Ω﹒cm，纯水的理论电阻率为18.3 MΩ﹒cm (25℃)．3.3全硅total silicon水中可溶性硅和以二氧化硅胶体状态存在的硅的总量．3.4可溶性硅soluble silicon以单一分子状态存在于水中的溶解性硅酸盐．3.5微粒性物质granular matter除气体以外，以非液态分散在水中，并形成非均相混合物的物质．3.6总有机碳(TOC) total organic carbon水中以各种有机物形式存在的碳的总量．包括易被一般强氧化剂氧化的有机物和需用特殊方法氧化的有机物。
超纯水行业相关水质标准
50
美国半导体工业用纯水指标
项 目
Ⅰ级
Ⅱ级
Ⅲ级
Ⅳ级
残渣，mg/L
0.1
0.3
0.3
0.5
TOC，mg/L
0.02
0.05
0.10
0.40
颗粒，粒/L
500
1000
2500
5000
细菌数，个100mL
0
6
10
50
活性硅SiO2，μg/L
35Βιβλιοθήκη 1040电阻率MΩ·cm
18.3
17.9
17.5
17.0
阳离子，μg/L
1
1
10
500
硫酸根，最大值 ug/L
1
1
10
500
总有机碳，最大值 ug/L
20
100
200
1000
美国纯水水质标准
（美国计量测试学会ASTM纯水水质标准，1983）
序号
水质项目
单位
E-Ⅰ
E-Ⅱ
E-Ⅲ
E-Ⅳ
1
电阻率，25℃
MΩ.cm
18
15
2
0.5
2
二氧化硅（全）
µg/l
5
10
100
1000
3
微粒（粒径≥1μm）
个/ml
2
5
100
500
4
微生物
个/ml
1
10
50
100
5
有机物TOC
µg/l
50
200
1000
5000
6
铜Cu
µg/l
2
10
中国国家电子级超纯水标准.doc
附 1 中国国家电子级超纯水规格GB/电阻>1μ m率硅铜锌镍钠钾氯细菌磷酸根颗粒硝酸根硫酸根25℃≤μ≤μ≤μ≤μ≤μ≤μ≤μ≤个≤μTOC≤μ g/L≤个≤ g/L ≤μ g/L MΩg/L g/L g/L g/L g/L g/L g/L /ml g/L/ml*cmEW-I ≥ 18* 2 1 1 1 1 20≥1EW-II 10 0 0 1 2 2 1 5 1 1 1 100 **注* （ 95％时间不低于17）， ** （ 95％时间不低于13）中国国家电子级超纯水GB/－ 1997 标准指标级别EW－ⅠEW－ⅡEW－ⅢEW-Ⅳ18 以上，（95％时间）不低电阻率MΩ， cm(25℃ ) 15，（ 95％时间）不低于13于17全硅，最大值 , μ g/L 2 10 50 1000 ＞ 1μ m微粒数，最大值，个 /mL 5 10 500细菌个数，最大10 100 ，个 /mL铜，最大值，μ g/L 1 2 500 锌，最大值，μ g/L 1 5 500 镍，最大值，μ g/L 1 2 500 钠，最大值，μ g/L 2 5 1000 钾，最大值，μ g/L 2 5 500 氯，最大值，μ g/L 1 1 10 1000 硝酸根，最大值，μg/L 1 1 5 500 磷酸根，最大值，μg/L 1 1 5 500 硫酸根，最大值，μg/L 1 1 5 500总有机201002001000 ，最大值，μg/L电子级超纯水中国国家标准（GB/）>1μm微项目比电阻 MΩ.cm@25℃硅≤粒数 < 个细菌个数氧≤硝酸根≤磷酸根≤硫酸根总有机碳级别μg/L /ml < 个/ml 铜≤μ g/L 锌≤μ g/L 镍≤μ g/L 钠≤μ g/L 钾≤ g/L μg/L μg/L μg/L ≤μg/L ≤μg/L18（ 95%的时间不低于EW-Ⅰ 2 1 1 1 1 20 17）15（ 95%的时间不低于EW-Ⅱ10 5 1 1 1 2 2 1 1 1 1 100 13）。
通用的纯水标准
通用的纯水标准目前世界上比较通用的纯水标准主要有以下几个：国际标准化组织（ISO），美国临床病理学会（CAP）试药级用水标准，美国测试和材料实验社团组织（ASTM），临床试验标准国际委员会（NCCLS），美国药学会（USP）等。
同时，我国也有相应的纯水标准：中国国家电子级超纯水规格GB/T11446-1997和中国国家实验室用水规格GB6682-2008等。
中国国家实验室用水规格GB6682-2008标准专业整理分享中国国家电子级超纯水规格GB/T11446.1-1997注*(95％时间不低于17)，**(95％时间不低于13) 体外诊断试剂用水规格YYT 1244-2014专业整理分享消毒供应中心用水标准WS310.1/2/3-2016 口腔科清洗用水标准WS506-2016专业整理分享生活饮用水卫生标准GB5749—2006生活饮用水水质常规指标及限值专业整理分享专业整理分享专业整理分享软式内窥镜清洗用水标准WS507-2016 应有自来水、纯化水、无菌水。
专业整理分享自来水水质应符合GB5749的规定。
纯化水应符合GB5749的GB5749的规定，并应保证细菌总数≤10 CFU/100ml；生产纯化水所使用的滤膜孔径应≤0.2um，并定期更换。
无菌水为经过灭菌工艺处理的水。
必要时对纯化水或无菌水进行微生物学检测。
专业整理分享血液透析和相关治疗用水YY0572-2015专业整理分享美国临床病理学会CAP试药级用水标准/美国临床检查标准化委员会NCCLS用水标准专业整理分享美国材料试验学会ASTM水质标准专业整理分享2015版《中国药典》纯化水及注射用水标准及检验项目专业整理分享注：总有机碳和易氧化物两项可选做一项。
一、纯化水（Purified Water ）纯化水H2O 18.02本品为饮用水经蒸馏法、离子交换法、反渗透法或其他适宜的方法制得的供药用的水，不含任何添加剂。
专业整理分享二、2010年版药典检验项目1.性状本品为无色的澄清液体；无臭，无味。
通用的纯水标准
通用的纯水标准目前世界上比较通用的纯水标准主要有以下几个：国际标准化组织（ISO），美国临床病理学会（CAP）试药级用水标准，美国测试和材料实验社团组织（ASTM），临床试验标准国际委员会（NCCLS），美国药学会（USP）等。
同时，我国也有相应的纯水标准：中国国家电子级超纯水规格GB/T11446-1997和中国国家实验室用水规格GB6682-2008等。
中国国家实验室用水规格GB6682-2008标准中国国家电子级超纯水规格GB/T11446.1-1997注*(95％时间不低于17)，**(95％时间不低于13)体外诊断试剂用水规格 YYT 1244-2014消毒供应中心用水标准 WS310.1/2/3-2016 口腔科清洗用水标准 WS506-2016生活饮用水卫生标准GB5749—2006生活饮用水水质常规指标及限值软式内窥镜清洗用水标准 WS507-2016应有自来水、纯化水、无菌水。
自来水水质应符合GB5749的规定。
纯化水应符合GB5749的GB5749的规定，并应保证细菌总数≤10 CFU/100ml；生产纯化水所使用的滤膜孔径应≤0.2um，并定期更换。
无菌水为经过灭菌工艺处理的水。
必要时对纯化水或无菌水进行微生物学检测。
血液透析和相关治疗用水 YY0572-2015美国临床病理学会CAP试药级用水标准/美国临床检查标准化委员会NCCLS用水标准美国材料试验学会ASTM水质标准2015版《中国药典》纯化水及注射用水标准及检验项目注：总有机碳和易氧化物两项可选做一项。
一、纯化水（Purified Water ）纯化水H2O 18.02本品为饮用水经蒸馏法、离子交换法、反渗透法或其他适宜的方法制得的供药用的水，不含任何添加剂。
二、2010年版药典检验项目1.性状本品为无色的澄清液体；无臭，无味。
2..酸碱度取本品10ml，加甲基红指示液2滴，不得显红色；另取10ml，加溴麝香草酚蓝指示液5滴，不得显蓝色。
水质标准和电导率测定原理
2、电子级超纯水中国国家标准（GB/T11446.1-1997）、锅炉给水质量标准电导率概念及其测定原理电导率是物体传导电流的能力。
电导率测量仪的测量原理是将两块平行的极板，放到被测溶液中，在极板的两端加上一定的电势（通常为正弦波电压），然后测量极板间流过的电流。
根据欧姆定律，电导率(G)--电阻(R)的倒数，由导体本身决定的。
电导率的基本单位是西门子（S），原来被称为欧姆。
因为电导池的几何形状影响电导率值，标准的测量中用单位电导率S/cm来表示，以补偿各种电极尺寸造成的差别。
单位电导率（C）简单的说是所测电导率（G）与电导池常数(L/A)的乘积.这里的L为两块极板之间的液柱长度，A为极板的面积。
水溶液的电导率直接和溶解固体量浓度成正比，而且固体量浓度越高，电导率越大。
电导率和溶解固体量浓度的关系近似表示为：1.4μS/cm=1ppm或2μS/cm=1ppm（每百万单位CaCO3）。
利用电导率仪或总固体溶解量计可以间接得到水的总硬度值，如前述，为了近似换算方便，1μs/cm电导率= 0.5ppm硬度。
电导率是物质传送电流的能力，与电阻值相对，单位Siemens/cm (S/cm)，该单位的10-6以μS/cm表示，10-3时以mS/cm表示。
但是需要注意：（1）以电导率间接测算水的硬度，其理论误差约20-30ppm（2）溶液的电导率大小决定分子的运动，温度影响分子的运动，为了比较测量结果，测试温度一般定为20℃或25℃（3）采用试剂检测可以获取比较准确的水的硬度值。
水的电导率与其所含无机酸、碱、盐的量有一定关系。
当它们的浓度较低时，电导率随浓度的增大而增加，因此，该指标常用于推测水中离子的总浓度或含盐量。
不同类型的水有不同的电导率。
新鲜蒸馏水的电导率为0.2-2μS／cm，但放置一段时间后，因吸收了CO2，增加到2—4μS/cm；超纯水的电导率小于0.10/μS/cm；天然水的电导率多在50—500μS/cm之间，矿化水可达500—1000μS/cm；含酸、碱、盐的工业废水电导率往往超过10 000μS/cm；海水的电导率约为30 000μS/cm。
中国国家电子级超纯水标准
10
500
细菌个数，最大
，个/mL
10
100
铜，最大值，μ1
5
500
镍，最大值，μg/L
1
2
500
钠，最大值，μg/L
2
5
1000
钾，最大值，μg/L
2
5
500
氯，最大值，μg/L
1
1
10
1000
硝酸根，最大值，μg/L
1
1
5
500
磷酸根，最大值，μg/L
1
1
5
2
1
5
1
1
1
100
注*（95％时间不低于17），**（95％ 时间不低于13）
中国国家电子级超纯水GB/－1997标准
指标\级别
EW－Ⅰ
EW－Ⅱ
EW－Ⅲ
EW-Ⅳ
电阻率 MΩ，cm(25℃)
18以上，（95％时间）不低于17
15，（95％时间）不低于13
全硅，最大值,μg/L
2
10
50
1000
＞1μm微粒数，最大值，个/mL
500
硫酸根，最大值，μg/L
1
1
5
500
总有机
，最大值，μg/L
20
100
200
1000
电子级超纯水中国国家标准（GB/）
项目
级别
比电阻 MΩ.cm@25℃
硅 ≤ μg/L
>1μm微粒数 < 个/ml
细菌个数< 个/ml
铜≤μg/L
锌≤μg/L
镍≤μg/L
钠≤μg/L
钾 ≤ g/L
氧≤ μg/L
半导体行业用水标准
电子行业水质标准1. 电子工业与超纯水在半导体制作工艺中，80% 以上的工序要经过化学处理，而每一道化学处理都离不开超纯水；在硅片的处理工序中，一半以上的工序经过超纯水清洗后便直接进入高温处理过程，此时如水中含有杂质便会进入硅片，造成器件性能下降成品率低。
电子工业提出的超纯水电阻率》18M Q.cm (25 C )，已极其接近理论纯水水质18.3 M Q.cm(25 C)。
对电解质、DO、TOC、SI02、颗粒及细菌等技术指标提出更高要求。
如256 兆位的动态随机储存器生产工艺，光刻线条宽已达0.1 微米，要保证这一指标，超纯水中颗粒径就得W 0.05阿,而且＞0.05 urn不得超过500 个/升超纯水。
2、水质标准超纯水水质标准大多数由中科院半导体所主要制定。
2.1 电子级水国家标准:详见表2.13、超纯水中杂质的污染源3.1制备超纯水的水源由于水是一种溶解能力很强的溶剂，因此天然水中含有各种盐类和化合物，溶有C02,还有胶体（包括硅胶和腐殖质胶体）,天然水中还存在大量的非溶解性质，包括粘土、砂石、细菌、微生物、藻类、浮游生物、热源等等。
3.2材料的影响：制备超纯水的材料设备的材质都是用金属和塑料制成的，金属在水中会有痕量溶解，造成金属离子污染。
一些高分子材料在合成时常常加入各种添加剂、增塑剂紫外吸光剂着色剂，引入大量的金属、非金属杂质、同时还会带来有机污染。
材质的污染主要以污染值来衡量，所谓污染值是指，单位面积的材料使单位体积的纯水电阻率的增加值。
表3.2分别列出了各种材料的污染值和TOC的溶出值。
表3.2各种材料的污染值（TOC的溶出值）4水的电阻值在测定水的导电性能时，与水的电阻值大小有关，电阻值大，导电性能差，电阻值小，导电性能就良好。
根据欧姆定律，在水温一定的情况下，水的电阻值R大小与电极的垂直截面积F成反比，与电极之间的距离L成正比。
水的电阻率的大小，与水中含盐量的多少，水中离子浓度、离子的电荷数以及离子的运动速度有关。
超纯水设备制取水质标准介绍资料
如泥沙、悬浮物等。
去除有机物
02
通过活性炭吸附、氧化等方法，去除原水中的有机物，如腐殖
质、农药等。
去除重金属
03
通过化学沉淀、离子交换等方法，去除原水中的重金属离子，
如铅、汞等。
反渗透技术
01
02
03
原理
利用半透膜，使水在压力 作用下通过膜过滤，从而 去除盐分、微生物、有机 物等杂质。
优点
高效去除杂质，可大幅提 高水质纯度。
超纯水设备通常采用高品质的304或316不锈钢、ABS工程 塑料等优质材料制造，以确保设备的稳定性和耐久性。
要点二
设备寿命
超纯水设备的寿命取决于设备的质量和日常维护情况。在 理想条件下，设备的寿命可长达10年以上。此外，为了确 保设备的长期稳定运行，建议定期进行设备维护和保养。
05
超纯水设备操作与维护
竞争格局
市场参与者众多，既有大型跨国公司，也有专业的小 型制造商，竞争激烈。
技术发展趋势与挑战
技术发展趋势
高效能、低能耗、环保型的超纯水设备成为技术发展的 主流方向。
技术挑战
如何提高设备的产水质量、降低制造成本、缩短制水时 间等是当前面临的主要技术挑战。
未来市场前景与展望
市场前景
随着科技的不断进步和产业的发展，超纯水设备市场 需求将持续增长，未来市场前景广阔。
指水质极高的水，其杂质和污染物的 含量极低，接近于理论上的纯水，通 常用于高精度实验、电子工业、医疗 制药等领域。
水质指标与检测方法
水质指标
包括物理指标、化学指标和微生物指标等，如电导率、电阻率、pH值、溶解氧、浊度、总有机碳、细菌总数等。
检测方法
包括电导率计、电阻率计、pH计、溶解氧仪、浊度仪、总有机碳分析仪、细菌培养计数等。
水处理设备
3.4 反渗透装臵—工作原理 当纯水和盐水被理想半 透膜隔开，理想半透膜只 允许水通过而阻止盐通过， 此时膜纯水侧的水会自发 地通过半透膜流入盐水一 侧，这种现象称为渗透， 若在膜的盐水侧施加压力， 那么水的自发流动将受到 抑制而减慢，当施加的压 力达到某一数值时，水通 过膜的净流量等于零，这 个压力称为渗透压力，当 施加在膜盐水侧的压力大 于渗透压力时，水的流向 就会逆转，此时，盐水中 的水将流入纯水侧，上述 现象就是水的反渗透 （RO）处理的基本原理。
采用成型的滤材，在压力的作用下，使原液通过滤材， 滤渣留在管壁上，滤液透过滤材流出，从而达到过滤的 目的。 为防止水中颗粒状杂质进入高压泵，并且保证膜不被 损伤，确保其优良的脱盐性能，特在RO装臵前设臵保安 滤器。 精密过滤器经常作为电渗析、离子交换、反渗透、超 滤等装臵的保安过滤器使用。
3.3 精密过滤器— —滤芯： 溶喷式ＰＰ 滤芯是由聚丙 烯材料经高温 熔融，喷射成 纤维丝到特殊 的滤芯成形机 上而形成的一 种连续式滤芯。
1 纯净水的标准与用途 1.2 瓶装饮用纯净水 以符合生活饮用水水质标准的水为原料， 通过电渗析法、离子交换法、反渗透法、 蒸馏法及其他适当的加工方法，去除水中 的矿物质、有机成分、有害物质及微生物 等加工制得的密封在容器中，并且不含任 何添加物，可直接饮用的水。 《瓶装饮用纯净水》标准GB17323-1998 《瓶装饮用纯净水卫生标准》, GB17324-1998
3.3 精密过滤器——安装
（1）彻底清洗过滤器壳体。
（2）外壳进出口与过滤系统管路相连，连接时注意方 向，确保滤芯为外侧进水、内侧出水状态. （3）将滤芯开口一端的塑料袋打开，检查O形圈是否完 好、就位。 （4）用合适的的湿润剂(例如水)湿润O形圈和滤芯座插 孔。 （5）手握滤芯靠近O形圈的一端，垂直将滤芯插口完全 插入滤芯座插孔。 （6）将所有的滤芯插好后，去掉滤芯包装袋，再扣上压 板固定，然后将金属罩壳安装好。 （7）打开外壳顶部的放气阀。 （8）稍微打开入口阀，使液体进入壳体，直到液体从 壳体顶部的放气阀益出，此时关闭放气阀。 （9）缓慢调节打开下游出口阀，直至完全打开。 （10）缓慢调节打开入口阀，直至完全打开此时过滤器 上、下游之间的压力降为0.02Mpa(确定流量下的初始 压降)。