纳米多孔铜膜的制备及其表面增强拉曼效应
铜纳米线在表面增强拉曼光谱中的应用研究
铜纳米线在表面增强拉曼光谱中的应用研究近年来，随着人们对物质表面结构的研究不断深入，人们对表面增强拉曼光谱（Surface-Enhanced Raman Scattering, SERS）的研究也越来越深入。
SERS技术通过将待测物质吸附到银、金等金属纳米颗粒表面实现信号增强，从而提高了其检测灵敏度。
近年来，铜纳米线（CuNWs）因其稳定性、可控合成等优良性质在SERS 技术中得到了广泛应用，并在生命科学、环境监测等领域中显示出了广阔的应用前景。
一、铜纳米线的制备及表征铜纳米线的制备研究是SERS技术研究中的热点之一。
在过去的几十年里，人们已经发展了各种方法来合成铜纳米线，如模板法、水热法、电化学法等。
其中，模板法和水热法是比较常用的方法。
模板法制备铜纳米线需要选择合适的模板材料，如氧化铝、氧化硅等，然后将模板材料浸泡在含铜离子的溶液中，经过一系列处理后即可得到铜纳米线。
此方法的优点在于合成的铜纳米线形状、尺寸可控，但存在制备过程比较繁琐、周期较长等缺点。
水热法制备铜纳米线则更为简单，只需要将某些溶液（如硝酸铜）至于高温高压炉中，维持一定时间之后即可得到铜纳米线。
由于水热法制备的铜纳米线具有较高的比表面积、热稳定性等特点，因此近年来得到了广泛的应用。
在制备过程中，如何对铜纳米线进行表征是十分重要的。
人们一般使用一些常见的物理、化学手段，如透射电子显微镜（Transmission Electron Microscope, TEM）、紫外-可见吸收光谱等，对铜纳米线进行形貌、尺寸等方面的分析。
这些表征手段不仅能够为铜纳米线的制备提供实验依据，更有助于进一步理解其SERS 性能等方面的特性。
二、铜纳米线在SERS技术中的应用SERS技术已经成为一种广泛应用于生物、环境、安全检测等领域的分析技术。
近年来，利用铜纳米线作为SERS的增强基质已经得到了广泛的应用。
数据显示，铜纳米线的SERS效果比传统的SERS增强基质（如金、银纳米颗粒）更为显著。
纳米多孔薄膜的制备与性能分析
纳米多孔薄膜的制备与性能分析纳米技术的发展为许多领域带来了突破性的进展，其中之一就是纳米多孔薄膜。
纳米多孔薄膜具有特殊的结构和性能，被广泛应用于分离、催化、传感和能源等领域。
本文将从纳米多孔薄膜的制备方法、结构特性以及各个应用领域的性能分析等方面进行探讨。
一、制备方法纳米多孔薄膜的制备方法有很多种，如溶胶-凝胶法、原子层沉积法和模板法等。
其中，模板法是较为常见的一种制备方法。
模板法通过将聚合物或金属作为模板，将纳米颗粒或溶胶在其表面沉积，然后通过物理或化学方法去除掉模板，得到纳米多孔薄膜。
二、结构特性纳米多孔薄膜具有独特的结构特性。
首先，纳米多孔薄膜具有大比表面积。
由于其孔隙结构，纳米多孔薄膜的比表面积远大于常规材料，使其具有更好的吸附和催化性能。
其次，纳米多孔薄膜具有可调控的孔径和孔隙结构。
通过调整模板的形状和尺寸，可以获得不同大小和形状的孔洞，从而实现对纳米多孔薄膜的孔径和孔隙结构的控制。
此外，纳米多孔薄膜还具有高度有序的多孔结构，这种有序排列的孔洞结构有助于提高纳米多孔薄膜的分离和传导性能。
三、应用领域及性能分析1. 分离应用纳米多孔薄膜在分离领域有广泛的应用。
例如，在气体分离中，纳米多孔薄膜可以根据分子大小和形状进行选择性分离。
这种选择性分离性能可以通过调节孔径和孔隙结构来实现。
此外，纳米多孔薄膜还可以应用于液体分离，如水处理、离子交换等，通过不同孔径和孔隙结构的多孔薄膜，可以实现对特定溶质的高效分离。
2. 催化应用纳米多孔薄膜在催化领域中起到重要作用。
由于其高比表面积和可调控的孔隙结构，纳米多孔薄膜可以作为催化剂载体，提高催化剂的活性和选择性。
此外，纳米多孔薄膜还可以通过调节孔洞结构和孔径来控制反应的速率和方向性，实现对特定反应的催化。
3. 传感应用纳米多孔薄膜在传感领域中也具有广泛应用。
纳米多孔薄膜可以用于制备传感器材料，通过对目标物质的吸附和传导行为的监测，实现对特定物质的检测和分析。
铜基纳米材料的合成及其表面增强拉曼光谱研究
铜基纳米材料的合成及其表面增强拉曼光谱研究近年来，纳米技术在材料科学领域得到了快速的发展。
纳米材料的特殊性质广泛应用于光电、生物医学、能源等领域。
铜是一种常见的金属元素，具有良好的导电性和导热性，在材料科学领域应用广泛。
本文将介绍铜基纳米材料的合成方法及其表面增强拉曼光谱研究。
一、铜基纳米材料的合成方法铜基纳米材料的合成方法有多种，如物理化学法、化学还原法、电化学法等。
下面介绍一种常用的化学还原法。
首先，将0.1mol/L的铜盐水溶液（如CuSO4）和0.1mol/L的还原剂（如NaOH）混合，得到混合溶液。
然后，在溶液中加入表面活性剂（如CTAB），并加热至60-80℃，使得表面活性剂形成一层膜覆盖在合成的铜基纳米颗粒表面，防止颗粒聚集。
最后，在搅拌过程中加入还原剂（如NaBH4），溶液中的铜离子被还原成为铜颗粒，即成功合成了铜基纳米材料。
二、铜基纳米材料的表面增强拉曼光谱研究拉曼光谱是一种非常有用的工具，可以用于表征材料的分子结构和化学键。
然而，对于一些低浓度的分子，其拉曼信号非常弱，难以检测。
为了解决这个问题，表面增强拉曼光谱技术被广泛应用于纳米材料的研究中。
表面增强拉曼光谱技术是一种改进的拉曼光谱技术，可以有效地增强样品的拉曼信号。
在此方法中，样品表面会吸附一层金属纳米颗粒，这些金属颗粒与激光光束共振，产生电磁场增强效应，导致样品拉曼信号的增强。
在铜基纳米材料的研究中，通过表面增强拉曼光谱技术，可以检测到样品表面的化学键信息，并探究铜基纳米材料的特殊性质和应用价值。
例如，在铜基纳米材料中，铜离子和表面活性剂分子通过化学键相互作用，形成一种交错排列结构，表面增强拉曼光谱可以有效地检测这种结构并分析其化学键。
总之，铜基纳米材料是一种重要的纳米材料，在光电、生物医学、能源等领域应用广泛。
通过化学还原法可成功制备铜基纳米材料，而表面增强拉曼光谱技术可用于对其表面化学结构的研究，为其进一步的应用和开发提供了有力支持。
金属材料表面纳米结构的制备及其表面增强拉曼光谱性能研究
金属材料表面纳米结构的制备及其表面增强拉曼光谱性能研究随着科技的进步，人们对材料表面性质的研究变得越来越深入。
金属材料表面的纳米结构制备已经引起了广泛的关注。
这种方法不仅可以调控金属材料表面的形貌和结构，还可以增强金属材料的光学性能。
本文将介绍金属材料表面纳米结构的制备及其表面增强拉曼光谱性能研究。
一、金属材料表面纳米结构的制备方法1. 溶剂热法溶剂热法是一种简单容易操作的方法，它通常使用溶剂来控制表面的形貌和结构。
在这种方法中，金属材料被溶解在有机溶剂中，然后加入适量的药剂。
随着温度的升高，药剂会与金属离子形成复合物，最终形成纳米结构。
2. 水热法水热法是一种使用高温高压水进行化学反应的方法。
在这种方法中，金属材料和药剂被放入反应釜中，在高温高压下进行反应。
通过调整溶液的pH值和反应的时间，可以获得不同形状和结构的金属纳米结构。
3. 光化学法光化学法是一种使用光化学反应制备纳米结构的方法。
在这种方法中，金属材料被溶解在溶液中，然后通过光化学反应来形成纳米结构。
这种方法通常需要使用光源和光敏剂来促进反应。
二、金属材料表面纳米结构的表面增强拉曼光谱性能研究表面增强拉曼光谱（Surface-Enhanced Raman Scattering，SERS）是一种利用金属纳米结构增强吸收光谱的技术。
它可以在非常低的浓度下检测分子，而不需要添加标记或染料。
在金属表面上，有一种现象叫做局部表面等离子体共振（Local Surface Plasmon Resonance，LSPR）。
当光线遇到金属表面时，会激发表面等离子体共振，产生电磁场。
这个电磁场可以与分子相互作用，从而增强分子的光谱信号。
金属纳米结构的表面积非常大，因此可以提供强烈的局部表面等离子体共振效应。
近年来，研究者发现，不同形状和结构的金属纳米结构对SERS信号的增强效果是有差异的。
例如，三角形金纳米棒比球形金纳米颗粒更容易产生LSPR效应，因此对拉曼信号的增强效果更好。
纳米金属材料的制备与表面增强拉曼性能研究
纳米金属材料的制备与表面增强拉曼性能研究导语：纳米科技的快速发展使得纳米金属材料成为当今最热门的研究领域之一。
本文将介绍纳米金属材料的制备方法，并探讨其表面增强拉曼性能的研究进展，为相关研究提供一定的参考。
一、纳米金属材料的制备方法1. 物理方法物理方法主要包括球磨法、溅射法、热蒸发法等。
其中，球磨法是制备纳米金属材料中最常用的方法之一。
该方法通过使用高能球磨机将金属粉末与球磨介质一起球磨，使金属粉末在机械力的作用下不断细化，最终得到纳米粉末。
溅射法则是通过高能离子轰击固体金属样品，使金属粒子脱落并沉积到基底上，形成纳米金属薄膜。
2. 化学方法化学方法中最常用的制备纳米金属材料的方法是化学还原法和溶胶-凝胶法。
化学还原法通常是通过浓度适当的还原剂将金属离子还原成金属粒子，形成纳米金属材料。
溶胶-凝胶法则是将金属盐溶解在溶剂中形成胶体溶胶，经过凝胶后形成纳米金属材料。
二、纳米金属材料的表面增强拉曼性能研究进展纳米金属材料的表面增强拉曼性能是指当分子或其他化学物质吸附在纳米金属表面上时，其拉曼信号强度显著增强的现象。
这种表面增强效应使得纳米金属材料在化学传感、生物检测等领域具有广泛应用前景。
1. 表面增强拉曼效应理论表面增强拉曼效应的理论解释主要包括电子理论和电磁理论。
电子理论认为，纳米金属表面的等离子体共振能够增强吸附分子的极化率，使得拉曼信号得到增强。
电磁理论则认为，纳米金属表面产生的局域电磁场与吸附分子的极化振动相互作用，导致拉曼信号增强。
2. 表面增强拉曼材料设计与制备为了实现更好的表面增强拉曼效应，研究者们设计和制备了各种不同形式的纳米金属结构，如纳米颗粒、纳米棒、纳米壳等。
通过调控形貌、尺寸和结构等参数，可以实现对拉曼信号的增强效果。
3. 表面增强拉曼应用领域纳米金属材料的表面增强拉曼性能使得它在化学传感、生物检测、环境监测等领域具有广泛应用前景。
例如，在生物医学领域，通过将纳米金属材料修饰在生物传感器表面，可以实现对生物分子的高灵敏度检测。
纳米薄膜表面增强拉曼光谱研究报告
纳米薄膜表面增强拉曼光谱研究报告研究报告：纳米薄膜表面增强拉曼光谱摘要：本研究报告旨在探讨纳米薄膜表面增强拉曼光谱（Surface-Enhanced Raman Spectroscopy，SERS）的研究进展和应用前景。
通过对纳米薄膜表面增强拉曼光谱的原理、技术方法和应用领域的综述，本报告对于加深对该领域的理解和推动相关研究具有重要意义。
1. 引言纳米技术的迅速发展为纳米薄膜表面增强拉曼光谱的研究提供了广阔的应用前景。
SERS技术通过在纳米薄膜表面引入金属纳米颗粒，可实现对分子的高灵敏度检测，具有广泛的应用潜力。
2. 纳米薄膜表面增强拉曼光谱原理SERS技术的核心原理是表面等离子共振（Surface Plasmon Resonance，SPR）效应和电磁场增强效应。
当金属纳米颗粒与激光光源共振时，产生的局域电磁场可增强目标分子的拉曼散射信号，从而提高检测灵敏度。
3. 纳米薄膜表面增强拉曼光谱技术方法常用的SERS技术方法包括化学还原法、溶胶凝胶法、电化学法和物理吸附法等。
这些方法可制备出具有高增强效果的纳米薄膜表面，并实现对目标分子的高灵敏度检测。
4. 纳米薄膜表面增强拉曼光谱应用领域纳米薄膜表面增强拉曼光谱在生物医学、环境监测、食品安全等领域具有广泛的应用前景。
例如，在生物医学领域，SERS技术可用于癌症早期诊断、药物分子检测和生物传感器等方面，提供了一种高灵敏度和高选择性的分析手段。
5. 纳米薄膜表面增强拉曼光谱的挑战与展望尽管纳米薄膜表面增强拉曼光谱在许多领域取得了显著的进展，但仍面临一些挑战。
例如，金属纳米颗粒的制备和稳定性、光学信号的均一性和可重复性等问题仍需进一步解决。
未来的研究应重点关注这些问题，并不断推动SERS技术的发展。
结论：纳米薄膜表面增强拉曼光谱作为一种高灵敏度和高选择性的分析技术，具有广泛的应用前景。
通过对其原理、技术方法和应用领域的研究，可以进一步推动该技术的发展，并在生物医学、环境监测和食品安全等领域发挥重要作用。
纳米金属粒子的制备及其表面增强拉曼效应的研究
纳米金属粒子的制备及其表面增强拉曼效应的研究纳米科技一直是众多研究领域中备受关注的方向，而纳米金属粒子制备和表面增强拉曼效应的研究更是一直备受瞩目。
那么，什么是纳米金属粒子制备和表面增强拉曼效应，又有哪些研究和应用呢？一、纳米金属粒子制备纳米金属粒子是指直径小于100纳米的金属粒子，通常由金属离子通过还原实现，如Ag+、Au+等离子通过还原可得到Ag、Au等金属粒子。
传统的化学还原法是制备纳米金属粒子的常用方法，该方法基于海绵金属的热降解过程，它们用NaBH4还原为金属。
然而，这种方法有危险，因为它需要使用高温和高压利用还原剂还原金属离子。
另外，还原后形成的纳米颗粒筛选困难，通常需要使用离心机进行沉淀和分离。
与传统方法相比，两相法是更为简单，安全且更具可控性的方法之一。
该方法建立在离子液滴和水滴接触交互作用，从而形成了厚膜的基础上。
该方法的优点是不需要高压和高温，生成的颗粒形状和尺寸也更为均匀。
此外，溶剂选择和控制还原剂的添加量还可影响颗粒形态和大小。
此外，脉冲激光沉积技术是目前最常用，最为成熟的制备纳米金属粒子的方法之一。
该方法特别适用于制备空气敏感或具有低熔点的金属领域，例如铝、锌、铜等。
利用脉冲激光加热金属靶并将金属离子反应，可以通过一系列参数优化调节来控制粒子形态和尺寸。
二、表面增强拉曼效应拉曼光谱是通过样品中被激光激发而发生的分子振动和转动所引起的散射光的光谱。
表面增强拉曼效应（SERS）是拉曼散射的一种增强方式，其散射强度远远高于传统的拉曼效应，可以进一步增强标记分子的相对浓度。
SERS是通过在金属纳米结构表面引起表面等离子共振而实现的，这种共振受到表面结构及大小，形状和组成之间的影响。
其基本原理是：当分子可与金属纳米材料所产生的强电磁场进行相互作用时，表面吸附的分子将导致表面电场密度分布的变化，从而引起分子的非弹性散射，从而促进了SERS。
SERS已广泛应用于许多领域，包括材料科学、化学、生物科学、医学、环境科学、图像分析等。
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文章编号：2096 − 2983(2019)01 − 0001 − 05DOI: 10.13258/ki.nmme.2019.01.001纳米多孔铜膜的制备及其表面增强拉曼效应刘力维， 李 强， 潘 登（上海理工大学 机械工程学院，上海 200093）摘要：通过磁控溅射方法制备Cu-Mg合金薄膜，随后进行去合金化得到纳米多孔铜膜。
研究了Ar流量和溅射功率对合金膜表面质量和厚度的影响，分析了盐酸浓度对纳米孔形成的影响。
利用结晶紫分子来表征纳米多孔铜的表面增强拉曼散射性能。
结果表明，磁控溅射参数设置Ar流量为45 mL/min，且功率为70 W时，能够得到表面平整的Cu28Mg72合金薄膜。
经1.00 M(mol/L)HCl腐蚀得到的多孔铜的孔最均匀，同时具有最好的拉曼信号增强效果。
关键词：Cu-Mg合金；磁控溅射；纳米多孔铜；表面增强拉曼中图分类号：O 484.4 文献标志码：APreparation of Nanoporous Copper Film and ItsSurface-enhanced Raman ScatteringLIU Liwei， LI Qiang， PAN Deng(School of Mechanical Engineering, University of Shanghai for Science and Technology, Shanghai 200093, China)Abstract: Cu-Mg alloy films were prepared by magnetron sputtering method and then subjected to dealloying to obtain nano-porous copper films. The effects of Ar flow and sputtering power on the surface quality and thickness of alloy films were studied. The influence of hydrochloric acid concentration on the formation of nano-pores was analyzed. Crystal violet was used to characterize the surface-enhanced Raman scattering of nano-porous copper. The results show that Cu28Mg72 alloy film with smooth surface can be obtained by the magnetron sputtering under Ar flow of 45 mL/min and power of 70 W. The most uniform pore of porous copper is obtained by 1.00 M(mol/L) HCl etching, and shows the best SERS effect.Keywords: Cu-Mg alloy; magnetron sputtering; non-porous copper; surface-enhanced Raman scattering纳米多孔金属在表面增强拉曼领域具有重要的应用[1]。
纳米多孔金属是指孔径为纳米量级的多孔金属材料，具有双连续的内部结构、高比表面积和良好的导电性能等特点，从而具有特殊的物理和化学性能。
Kowalska等[2]提出，由于纳米孔隙的存在使得材料局部电磁场增强，以及材料表面等离子体振子的激发与捕捉，使得纳米多孔金属材料有着较强的表面增强拉曼散射（surface-enhanced Raman有 色 金 属 材 料 与 工 程第 40 卷 第 1 期NONFERROUS METAL MATERIALS AND ENGINEERING Vol. 40 No. 1 2019收稿日期：2018−08−10基金项目：上海市科技支撑计划（16060502400）作者简介：刘力维（1991—），男，硕士研究生。
研究方向：纳米多孔金属。
E-mail：1182834537@通信作者：李 强(1984—)，男，讲师。
研究方向：金属功能材料。
E-mail：jxli@scattering，SERS）效果。
有着特殊表征性能和较高灵敏度的SERS基底，在水、空气和土壤的污染检测以及生物检测、毒品检测中有着广泛的应用前景[3]。
目前已经成功制备许多具有良好SERS性能的纳米多孔金属，例如：Cu-Zn，Au-Ag和Cu-Mn等，并研究了磁控溅射工艺参数对薄膜表面质量和厚度的影响[4]。
Tuan等[5]采用化学腐蚀或电化学腐蚀方法去合金，得到孔径可调的纳米多孔金。
最新纳米多孔Cu的SERS性能研究表明，纳米多孔Cu基底能够替代传统的Au、Ag基底，研究Cu基底的SERS性能，优化其结构，具有重要的实际应用意义。
利用去合金方法得到纳米多孔Cu，要求其金属之间存在较大的标准电极电位差。
当合金间的电极电位相差较大时，合金中电化学活性较高的成分在电解质的作用下会发生选择性溶解，而留下电化学活性较低的成分[6]。
Mg和Cu的标准电极电位分别为−2.372 V和0.342 V，两种金属的标准电位差为2.714 V，满足去合金要求。
依据Cu-Mg二元合金相图，选用Cu28Mg72合金开展试验和研究工作。
在腐蚀过程中，活泼金属Mg被选择性地腐蚀，而Cu在腐蚀过程中进行重组，最终形成具有电磁场增强“热点”的纳米多孔Cu。
1 试验材料与方法1.1 Cu-Mg合金前驱薄膜制备Cu28Mg72合金靶由中诺新材（北京）科技有限公司提供。
磁控溅射法是一种物理气相沉积技术，通过调整设备参数调整沉积过程，进而优化薄膜性能[7]。
本文采用沈阳科学院生产的单靶磁控溅射仪，基底选用半径为5 cm的圆形Cu箔，经过稀盐酸预处理Cu箔表面氧化物，然后用去离子水清洗干净。
为了更好地测试其所溅射薄膜的成分，本试验同时处理了1 cm×1 cm的Si基底，将Si基底首先用丙酮浸泡5～10 min去除表面有机物，然后用无水乙醇超声处理5～10 min，最后用去离子水反复清洗3遍，用氮气吹干Si片表面[8]。
将靶材、基底分别安装到磁控溅射设备上，通过恒定的转盘转速，控制不同溅射参数Ar流量（单位：mL/min）、功率（单位：W），溅射40 min，得到合金薄膜。
1.2 去合金化去合金化，又称脱合金化法，是指通过化学或电化学腐蚀过程将合金中的一种或多种组元有选择性地去除的一种方法[9]。
本试验选择化学腐蚀去合金方法，化学试剂为HCl溶液，分别配制0.25，0.50，1.00和1.25 M（mol/L）的HCl溶液，剪取1 cm×1 cm 表面平整的合金薄膜。
由于所溅射的薄膜较薄，采用浸泡法腐蚀样品容易使合金薄膜脱落破碎，所以采用滴定腐蚀法对样品进行腐蚀。
待样品表面没有气泡产生时，用去离子水反复清洗，然后放入干燥箱中真空干燥，以避免样品氧化。
1.3 SERS测试SERS效应是指在特殊制备的金属表面或金属溶胶中，吸附分子的拉曼散射信号比普通拉曼散射信号大大增强的现象，SERS能够高度专一地检测单个分子[10]。
结晶紫（crystal violet，CV）是一种酸碱指示剂，它能够较好地吸附在多孔金属表面，从而产生较强的SERS效应。
Hidebrandt的研究表明，结晶紫的SERS增强效果与其浓度之间有着良好的线性关系，当CV浓度为10−5～10−6 M时，具有最佳增强效果。
本文选择浓度为10−5 M的CV溶液作为测试溶液，分别将腐蚀后的多孔Cu样品放入CV溶液中进行浸泡，浸泡时间为4 h，使检测因子充分吸附在多孔Cu的表面。
本试验选择的测试仪器为拉曼光谱仪，选择测试光谱波长为633 nm，激光功率选择Level 8档（约6 mW）。
将腐蚀后的样品分别进行测试。
2 试验结果与分析2.1 Cu28Mg72薄膜的溅射本试验根据标准电位差选择合金组合，设定合金相应的原子比，得到相应的合金靶材。
然后通过设定不同的磁控溅射工艺参数，将合金溅射在Cu箔、Si基底上，用扫描电子显微镜(scanning electron microscope，SEM)在相同放大倍数下观察合金薄膜表面，选出表面平整的合金薄膜[11]。
不同工艺参数得到薄膜的内应力不同[12]。
利用SEM 观察样品表面形貌。
图1为不同磁控溅射工艺参数下获得的Cu28Mg72合金薄膜的SEM图像。
从图1中可以看出，图1（a）溅射工艺参数下所得薄膜表面有明显的毛刺，表面不平整；图1（b）溅射工艺参数下所得薄膜表面平整，没有毛刺；图1（c）溅射工艺参数下所得薄膜表面有毛刺，且有明显缺陷。
所以当磁控溅射参数设置为Ar流量45 mL/min，功率70 W时，能够得到表面平整的Cu28Mg72合金薄膜。
2有 色 金 属 材 料 与 工 程2019 年 第 40 卷通过磁控溅射技术在处理过的Cu 箔上溅射Cu 28Mg 72合金薄膜，通过SEM 可以观察所溅射合金薄膜的表面平整度。
图2中，在Si 片上溅射的Cu 28Mg 72合金薄膜截面图显示，当设定溅射Ar 流量45 mL/min 、功率50 W 、时间为40 min 时，得到厚度大约为2.5 μm 的合金薄膜；当设定溅射Ar 流量45 mL/min 、功率70 W 、时间为40 min 时，得到厚度大约为2.6 μm 的合金薄膜；当设定溅射Ar 流量65 mL/min 、功率70 W 、时间为40 min 时，得到厚度约为4.0 μm 的合金薄膜。
由此可以得出，溅射合金薄膜的厚度随溅射工艺参数的变化而变化，当设定一定的溅射工艺参数时，可以实现对薄膜厚度的控制。
(a) Ar 流量45 mL/min, 功率50 W(c) Ar 流量65 mL/min, 功率70 W(b) Ar 流量45 mL/min, 功率70 W50 μm50 μm50 μm图 1 不同磁控溅射工艺参数下获得的Cu 28Mg 72合金薄膜的SEM 图像Fig. 1 SEM images of Cu 28Mg 72 alloy thin film surfaceunder different magnetron sputtering parameters(a) Ar 流量45 mL/min, 功率50 W(b) Ar 流量45 mL/min, 功率70W(c) Ar 流量65 mL/min, 功率70 W2.5 μm1 μm2.6 μm4.0 μm1 μm1 μm图 2 不同磁控溅射工艺参数下获得的Cu 28Mg 72合金薄膜截面的SEM 图像Fig. 2 SEM section images of Cu 28Mg 72 alloy thin filmsurface under different magnetronsputtering parameters400350300250200150100500CuMg Cu246810121416能量/keV图 3 磁控溅射所得Cu 28Mg 72合金薄膜的EDS 图谱Fig. 3 EDS pattern of the Cu 28Mg 72 alloy thin film第 1 期刘力维，等：纳米多孔铜膜的制备及其表面增强拉曼效应3将溅射在Si基底上的Cu28Mg72合金薄膜进行能谱 (energy disperse spectroscopy，EDS) 测试，分析其磁控溅射所得合金薄膜的化学元素成分，所溅射得到的合金薄膜成分中均含有Cu和Mg，如图3所示。