电子洁净厂房空调系统设计
洁净厂房暖通空调设计与施工
洁净厂房暖通空调设计与施工摘要：随着近年来工业生产的蓬勃发展，不论是电气、化学、食品、化妆品、生物、医药、农业、养殖业以及电子厂房（新能源、锂电）等，都对生产室内环境的要求日益严苛，由此促进了洁净厂房室内设计科技的迅速发展，也就对洁净厂房的产品设计提出了更高的需求。
暖通中央空调的设计和施工在洁净厂房工程设计中起到了作用，其对洁净度、温度、湿度等技术参数的选择优劣，影响到生产的成品率。
关键字：洁净厂房；暖通空调；设计；施工一、洁净厂房的对建筑选址和平面布置需要（一）洁净厂房选址洁净厂房和其他工业厂房的不同之处是制造环境要有相应的清洁级别。
所以，因为要合理调节洁净厂区净化空调系中新风的含尘量，对设置洁净厂房的厂址宜选择在低大气环境中含尘浓度、有害物质较低，且附近又无重大污染源的地方，如近郊等。
（二）总平面布置厂址选定后，要合理布局的平面，适当布置在生产区和生活区之间的位置，以及清洁与非洁净厂区的相对位置。
清洁厂区最宜布局在厂区周围，环境整洁、人流、货物可以不经过或少穿越工厂的地方；合理、适当布置所有可能的污染源地点；辅助厂区（动力站房）的位置，应当尽可能接近主厂区，这样可以降低管路和电力的消耗。
（三）平面布置洁净厂房平面布置要求：（1）必须符合生产工艺需要，并顺应产品工艺；（2）人流、物流短捷、通畅；（3）对主体工艺与附属工序的布置，要严者上风侧。
二、暖通空调系统设计（一）洁净厂房合理的通风设计洁净厂房的通风设计根据洁净厂房的工业类型、工厂的空间布局、工厂生产流程的变化等各种因素而进行。
通风方法不但包含了工厂的开启外窗室内通风的透气方法，也包括了采用全室透气的方法。
针对洁净工厂的不同的污染状况，如充电后对充电管中产生的储氢材料、酸雾和有害物质等进行不同的除尘通风管理，以减少由于通风不顺畅而造成的工厂污染。
对厂房内部进行适当的通风管理，还可以在环境温度过高的条件下帮助工厂散热并减少温差，起到了降低能耗的作用。
电子洁净厂房空调末端节能设计方案探讨
电子洁净厂房空调末端节能设计方案探讨摘要：针对工厂洁净厂房暖通空调的节能设计问题，设计工作中，需要围绕生产工艺、室内环境展开分析。
洁净厂房室内环境要求相对较高，导致空调系统能耗高。
本文结合某B工厂洁净厂房情况，分析了其暖通空调节能设计的相关问题，并提出具体的节能优化设计方法。
关键词：洁净厂房；MAU+FFU+DC；AHU+HEAP；节能设计；电子洁净厂房面积大、温湿度精度、洁净等级要求高；相比于普通空调系统，制冷负荷强度高，且生产工艺多样。
随着电子产品更迭，行业净化级别逐步提高，工厂产品的生产成本有增无减，节能成为各大厂商的迫切需求。
不同的空调设计方案对能耗的需求差异较大。
1.洁净厂房暖通空调设计的基本概述在工厂洁净厂房暖通空调设计时，应该提高设计标准，明确暖通设计角度，确保在工艺生产环境达标前提下，结合相关质量管理规范技术要求降低能耗。
所以说，结合相关行业技术要求，确保工厂洁净厂房建立暖通空调节能设计的方案机制，保证工程洁净厂房暖通空调设计工作实施到位[1]。
1.洁净厂房空调末端主体设计方案对比案例分析2.1、某洁净厂房暖通空调设计项目的基本概况该洁净厂房刮涂千级区工艺段房间面积1330㎡，室内负荷为283.3kw，工艺排风量63600CMM，考虑正压设计总新风量为73200CMM ，总送风量为280000CMM。
室内设计温度为22±2℃，相对湿度控制为50±5%。
2.2、洁净厂房暖通空调设计的技术要点及方案探讨实际运行该净化区室内冷负荷指标为213w/m2左右（仅包含室内维护结构、灯光、人员、工艺设备散热），再加上新风负荷指标达381w/m2。
制冷水采用7~12℃，制热水用40~45℃，加湿方式采用等焓加湿。
本文主要就净化区空调末端方案的主要选择方式来做探讨：•AHU+HEAP空调方案常规项目中多采用AHU+HEAP（高效风口）最终计算送风量为248710CMH，新风量为74910CMH，采用4台AHU新回风混合机组，选型如下：台数单台参数风量CMH制冷kw制热kw再热kw加湿kg/h风机功率kw全压pa465000507158135112451650不考虑冰机等冷热源，经计算水泵选型如下：水泵(AHU)处理量m3/h台数额定流量m3/h扬程/h电功率制冷34941203015.0制热109350267. 5•MAU+FFU+DC方案若改为MAU+FFU+DC方案，采用3℃温差计算送风量，消除负荷风量为280500CMH，略大于净化风量,新风量不变。
电子厂房净化空调方式选择
电子厂房净化空调方式选择引言当前的电子厂房洁净室洁净等级大部分在1000级（ISO6级）—10000级（ISO7级）之间，其相当的换气次数平均在25—60次/H,要求的洁净室环境参数比较严格，大部份要求为室内温度22±2℃，相对湿度55±5%，洁净室内工艺设备发热量大，部份工艺设备排除热量所需的排风量也很大。
由于要求高，发热量大，导致电子厂房洁净室空调系统的能耗是很惊人的，所以在设计之初对于洁净室空调系统的方式选择就需要认真考虑。
目前大多数已建成的电子厂房中，洁净室的空调系统一般都会使用常规净化空调方式---新风机组+混风机组+高效过滤器（HEPA），而另一种净化空调方式---新风机组+干盘管+FFU（FFU为英文缩写，全称为Fan Filter Unit, 中文意思为风机过滤器单元）比较少见，原因有：（1）常规净化方式一直沿用，不愿更新改变；（2）部分企业认为新风机组+干盘管+FFU方式的洁净空调系统是用于高洁净度(≥100级)要求的项目中，担心用于1000级—10000级项目时造价会偏高。
为此，本文着重从两种空调方式的特点及能耗方面进行分析探讨，说明新风机组+干盘管+FFU方式的洁净空调系统在电子厂房是确实可行的，并总结此净化空调方式在设计过程中需要注意的一些问题。
一、两种净化空调方式的分析比较1.1 新风机组+混风机组+高效过滤器（HEPA）空调方式介绍该空调方式指的是室外新风经过新风机组处理后送入混风机组，混风机组把回风与新风混合并处理至所要求的空气参数后直接用风管送风到各终端高效过滤器（HEPA）,通常新风机组将新风处理到室内焓值，不承担室内负荷，只承担新风负荷，由混风机组承担室内的湿负荷和显热负荷，空调方式示意图见图1。
1.2 新风机组+干盘管+FFU空调方式介绍所谓干盘管，是因为在这种系统中冷冻盘管仅承担显热负荷，其冷冻水进水温度一般在13℃以上，也就是说在室内空气的露点温度以上，盘管一般不可能产生冷凝水,属于干工况运行,所以其叫干盘管，而13℃的冷冻水常用的制取方法为利用水--水板式换热器把冷水机组的7℃/12℃冷冻水转换过来。
电子厂房洁净工程方案
电子厂房洁净工程方案引言随着科技的不断发展，电子产品在我们生活中所占的比重越来越大。
而电子产品的生产离不开一个洁净的生产环境。
因此，洁净工程对于电子厂房来说是非常重要的一部分。
本文将围绕电子厂房洁净工程展开详细的方案设计和实施计划。
一、洁净工程概述洁净工程是指通过不同的技术手段，将环境中的污染物尽量降低到较低水平的工程。
在电子厂房中，洁净工程的主要目的是防止外部污染物的进入，保证生产环境的洁净度，提高生产效率和产品质量。
在实际应用中，洁净工程主要包括空调系统、洁净室、过滤器、洁净设备等。
二、洁净工程设计原则1.符合相关标准规定：洁净工程的设计应符合国家相关标准和规定，保证生产环境的洁净度和安全性。
2.合理布局：根据生产流程和工艺要求，合理布局洁净室和洁净设备，保证生产流畅不受影响。
3.选材节能：选择符合洁净环境要求的建筑材料和设备，提高能源利用效率。
4.可维护性：洁净设备应容易维护和清洁，保证设备正常运转。
5.系统集成：各洁净设备之间应根据工艺要求进行集成，保证整个洁净工程系统的协调运行。
三、洁净工程方案设计1.洁净室设计（1）洁净室分类：根据生产需求和洁净度要求，电子厂房的洁净室可以分为一级、二级、三级和其他级别。
（2）洁净室布局：根据生产流程和工艺要求，合理设置洁净室的位置和大小，保证生产流畅。
（3）洁净室装修：使用符合洁净环境标准的建筑材料，进行合理的装修设计，保证洁净室的洁净度和安全性。
2.空调系统设计（1）空调系统选型：根据洁净室的面积和洁净度要求，选择适合的空调设备，保证室内空气的洁净度和温湿度稳定。
（2）空调系统布局：合理设置空调设备的位置和数量，进行合理布局，保证整个厂房内的空气流通和循环。
（3）空调系统调节：对空调系统进行定期调节和维护，保持系统的高效运行，保证洁净室内空气的洁净度和稳定性。
3.过滤器设计（1）过滤器选择：根据生产环境和洁净度要求，选择适合的过滤器类型和规格，保证室内空气中的微粒物质得到有效过滤。
电子工程供暖通风空调与空气净化节能设计要求
电子工程供暖通风空调与空气净化节能设计要求1 一般规定1.1设计阶段应进行冷、热负荷计算，并应核算产品生产过程的冷、热负荷及其变化。
1.2严寒地区、寒冷地区设置集中供暖系统的电子工程生产车间，宜采用散热器供暖、辐射供暖等形式，不宜单独采用热风系统进行冬季供暖。
1.3根据产品生产过程中产生的各种类型的排风有害物成分和浓度，确定有害气体的处理方式、处理设备的级数以及处理设备填料的厚度。
1.4一般空调系统、净化空调系统空气过滤器，应符合下列要求：1 粗效过滤器的初阻力应小于等于50Pa，终阻力应小于等于100Pa；2 中效过滤器的初阻力应小于等于100Pa，终阻力应小于等于200Pa；3 高效过滤器的初阻力应小于等于250Pa，终阻力应小于等于400Pa。
1.5生产工艺对控制区温度、相对湿度全年有较大的允许波动范围时，宜在技术可行的基础上适当改变空调控制设定值：1 当温度允许波动范围大于等于2℃时，在降温工况下，宜将温度基数提高1℃～2℃；在加热工况下，宜将温度基数降低1℃～2℃；2 当相对湿度允许波动范围大于或等于10%时，在除湿工况下，宜将相对湿度基数提高5%～10%；在加湿工况下，宜将相对湿度基数降低5%～10%。
1.6洁净室相关的通风、空调系统宜采用整体型电机直接驱动的风机。
1.7通风空调系统的风管不应采用土建风管。
2 供暖2.1当厂区只有供暖用热或以供暖用热为主时，应采用热水作为热媒。
2.2电子工程的生产车间等需设集中供暖时，应符合下列要求：1 非三班运行的单层或多层厂房，宜按5℃设置散热器和热风相结合的供热方式，并应按工作区的室温控制送风机组加热器的供热量。
2 对严寒和寒冷地区的生产车间，在非工作时间或中断使用的时段内，室内温度应保持在0℃以上。
当利用房间的散热不能满足要求时，应按5℃设置值班供暖。
3 当产品生产工艺对室内温度无特殊要求，且每一操作人员占用建筑面积超过100㎡时，不应设置全面供暖系统，宜设置局部或岗位供暖。
电子洁净厂房中暖通空调的设计
电子洁净厂房中暖通空调的设计摘要：随着社会的发展，人们在此过程中需要得到更好的工作和居住环境，针对暖通空调的设计与建设，在实际的发展中暖通系统应当完成合理的调整，使其可以符合人们的具体使用要求，完成多种平面操作与管理安排，在工厂工作过程中，合理的完成洁净厂房选择以及平面设计。
使其可以符合整体的发展要求，更好地完成洁净厂房的暖通空调设计，推动行业的快速发展，使得净化车间空调系统得到设计与提高，综合地符合全面发展要求。
关键词：洁净厂房；暖通空调；洁净度；温度；湿度；自控控制引言：近些年来，随着人民生活水平的不断提高，对于电子产品的需求越来越大，这直接推动了电子工业的飞速发展，生产电子产品的厂房往往对空气的洁净度有着很高的要求，这导致了洁净室设计技术的快速发展，也对于洁净室的设计提出了更高的要求。
暖通设计在电子洁净厂房设计中起到了至关重要的作用，往往洁净室设计的好坏很大程度上取决于暖通设计是否合理。
针对温湿度、洁净度等参数的设定直接影响了整个产品的成品率，鉴于此，在实际的发展过程中需要对洁净厂的总体设计完成合理地安排，更好地让其能够满足当前的洁净厂发展要求，根据生产工艺和生产特点完成合理的功能区规划，确定各个工序的洁净度等级和温度范围、湿度范围等进行设计，对于洁净厂房平面布置与空间布置等要完成合理的设计，充分考虑人流和物流的布置特点，同时需要符合现行国家规范中的安全、消防、环保和职业卫生方面要求。
1电子厂房暖通空调节能设计的重要意义在我国城市化不断发展过程中，科学不断进步的今天，温室效应在不断地不断地加快，所以人们更多的开始关注节能环保这一主题，当前人口的数量在不断的上升，资源的短缺问题需要得到合理的解决，所以通过多种方式来完成对于资源的有效节约，在关注节能环保的前提条件之下，而在环保节能的前提条件之下，应当进一步地发展电子厂房，但是由于电子厂房整体面积较大，高度高的特殊性。
这样将会意味着对各种能耗的消耗也巨大，为此在实际的电子厂房节能设计过程中，应当进一步完成对不合理设计方案的处理，为后续工作的开展奠定坚实的基础，有效地完成厂房的综合工作的建设与管理规划，使其得到更好的提升，完成合理的节能设计。
电子洁净厂房的空调系统设计
２ ． ２ ． ２空调 形 式
１ ） １ ０ ０ 级净 化 间 采用 Ｆ Ｆ Ｕ 送 风 单 元送 风 垂 直 层 流 ，穿 孔 高 架 地 板 回 风 。 Ｆ Ｆ Ｕ 送风 单元 额 定风 量 为８ ４ ８ ． ５ ｍ Ｖ ｈ ， 超 高效 过 滤器 效 率 为９ ９ ． ９ ９ ９ ％（ ＼ ０ ． １ “ｍ） ， 满 布 率 为９ ０ ％， 净 化 间的 总送 风 量 为３ ７ ２ ０ ０ ｍ ３ ／ ｈ ， 折 合换 气 次数 为 ３ ７ ０ ０ Ｕｄ ＂ 时，
布高效送风 口１ ６ １ 个， 每只风 口额定风量为１ ４ ０ ０ ｍ Ｖ ｈ ， 净化间换气次数为３ ０ 次／
小时 ， 总送 风量 为 ２ ２ ５ ４ ０ ０ ｍ３ ／ ｈ ， 回风 ｔ ￣４ ｏ ５ － ， 共设 空 调机 组 ｌ ５ 台。
２ ． ２ ． ３空 气处理 过 程
２ 系统 设计
２ ） 循 环风 处理
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净 化 问 内人员 的 操作 是产 尘 的主 要原 因 ， 除一 部 分尘 粒 由真 空 吸尘 系 统
２ １室 内主要 功 能 区域的 分布 及设 计 参数 功 能 区域分 布 如 图１ 所示 ， 室内 主要 设计 参数 见 表 １ 。
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１ ） 新 风 的处 理
净 化间 新风 由净 化 新风 机组 集 中处 理 ， 夏 季首 先 室 外新 风 通过 新 风 入 口 处 的无 纺 布初 效 过滤 器 滤 除大 颗 粒尘 粒 ， 经 纯净 水 喷 淋 室 除尘 ， 由离 心 式通
洁净厂房空调系统的设计及特点论文
洁净厂房空调系统的设计及特点论文洁净厂房空调系统的设计及特点论文摘、要：我国在改革开放初期的加工产业主要是以代加工和低端加工为主，随着我国科技水平的不断提升和科技技术人员数量的增加，我国的制造业也在逐渐向高端制造业发展。
近年来，世界上的集成电路产业也在逐渐向我国转移，因此洁净厂房空调系统成为了当前的研究热点。
航天类的设备装备等都需要洁净厂房进行安装和调配，所以洁净厂房具有面积大、高度高、换气次数高，厂房内需要庞大的空调系统等特点。
关键词：洁净厂房；空调系统；设计特点随着我国科技水平和经济增长速度的飞速发展，我国现在拥有自主知识的先进技术数量已经相当可观，我国的市场结构和制造业发展方向也发生了巨大的变化，尤其是制造业正逐渐向技术含量较高的高端制造方向发展。
如医药生产、集成电路将、航天设备生产等高端制造业都需要洁净度较高的厂房，对我国洁净厂房的发展有一个推动和促进的作用。
洁净厂房最基本和最重要的要求就是洁净度，洁净度直接影响着高端产品的生产质量，而空调系统是洁净厂房保持洁净度的基础和必备设施，洁净厂房空调系统的设计和特点也引来了国内许多企业的注意。
1、国内外洁净厂房空调系统的研究现状及分析1.1、洁净厂房空调系统国外研究现状洁净技术在国外发展的较早，在二十世纪初英、美和日本等国家就已经在部分加工生产行业开始使用洁净技术，在二十世纪中期洁净技术已经得到了大规模的应用和发展，尤其是在高端工业和科学研发等方向。
在这个过程中洁净技术得到了快速的发展，技术水平也逐渐趋于成熟，慢慢的被应用到了各个生产和制造行业上。
在生产加工环境中第一次提出洁净度这一概念是在第一次世界大战后的美国航空仪表的加工生产中，之后英国等国家也将这一技术引入应用到航空配件的生产加工中，同时日本首先将该技术应用在半导体的生产加工上。
而世界上第一个洁净厂房的前身是二十世纪初期美国建立的.一个洁净室。
洁净厂房的飞速发展是由于高效粒子空气过滤器的研发，前苏联首颗人造卫星的成功发射也推动了美国在洁净厂房建设标准制定方面的发展。
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电子洁净厂房空调系统设计摘要：通过介绍某电子洁净厂房净化空调系统设计，阐述了电子洁净厂房空调设计的主要系统，介绍了洁净室新风空调箱的控制原理，并总结出实际工程设计中应注意的问题，并提出此类设计对日后施工、运行和管理的要求。
关键词：电子洁净厂房净化空调新风空调机组干盘管1.工程概况本电子洁净厂房净化空调系统设计为某光工厂研发生产项目，工程建设地点位于湖北省武汉市，丙类，77905.86m2，层数：-1/3，建筑高度29.75m，地面建筑共分三层：地下一层为水泵提升站，一层为辅助动力区、下夹层区，二层为洁净生产区、MOCVD区、辅助动力区+辅助办公区，三层为洁净钢屋架层、洁净预留区。
本文主要介绍二层洁净生产区的净化车间的空调系统设计。
具体平面布置图详见以下附图1：图1 二层洁净生产区平面布置图2.工程设计参数按工艺生产要求及工艺专业提供的设计条件，并按照GB50073-2013《洁净厂房设计规范》及GB50472-2008《电子工业洁净厂房设计规范》的要求，净化车间室内设计参数如下表1：表1 通风设备设计参数表3.净化空调系统设计3.1 冷热源系统本项目生产区净化空调冷源采用6℃/12℃低温冷冻水及13℃/19℃中温冷冻水，由动力站房供给；热源采用38℃/28℃中温热水及80℃/60℃高温热水，接自动力站房。
3.2 洁净室空气循环系统电子洁净厂房中，工艺设备散热量大，造成空调冷负荷较大，并且按照设计规范要求，洁净等级较高的区域或房间换气次数高达50~60 次[1]。
为满足负荷和换气次数的要求，必须保证足够的送风量，而送风量的加大又使净化空调机组、风机及风管的尺寸的偏大，加之吊顶上空间的限制，给设计和施工带来了很多困难。
“新风处理机组（MAU）+ 风机过滤单元（FFU）+ 干盘管（DCC）” [2]的空调形式是电子净化厂房空调设计中经常采用的一种空调系统。
在该系统中，MAU 处理新风负荷：夏季冷却新风并除湿，冬季加热新风并加湿；DCC 处理室内负荷，一般为全年供冷；FFU 用来循环空气从而达到洁净度要求的换气量。
室内冷负荷由干盘管处理，循环空气量由FFU保证，空调机组只处理新风，从而大大减小了空调机组的处理风量，不仅减少了风系统运行能耗，也减小了空调机房面积、送回风管的尺寸及建筑空间。
在本工程中，厂房中工艺设备散热量较大，而湿负荷主要来自人员散湿，因此，对于洁净等级为5 级、6 级的净化区域，采用了上述新风处理机组（MAU）+ 风机过滤单元（FFU）+ 干盘管（DCC）的空调形式，新风处理机组设置在屋顶中间的空调机房内，干盘管（DCC）设置在一层洁净下夹层的回风夹道下方。
FFU 断面风速0.45m/s[3]，5 级正压控制在25Pa，6 级正压控制在15Pa。
具体系统原理详见以下附图2。
图2 洁净空调系统原理图3.3 洁净室新风系统本次系统设计架构采用MAU+DCC+FFU，MAU按照要求考虑冗余设计（N+1)。
洁净生产区域一期MAU共设置4台，3用1备，二期共设置7台，6用1备，单台风量70000CMH。
净化空调机组设进风段、初效过滤段、中效过滤段、预热段、加热段、预冷段、水洗喷淋段、再冷段、再热段、风机段、化学过滤段（预留）、中效过滤段、高效过滤段、出风段再热段、蒸汽加湿段、风机段、均流段、消声段、中效过滤段、出风段。
具体可见以下附图3。
洁净室的新风机组为洁净室区域提供温湿度合适的洁净空气以满足以下目的：（1）补充被排风系统带走的空气；（2）保持室内正压；（3）控制室内湿度与供风露点温度；（4）提供高洁净新风至洁净室循环风系统, 并去除室外新风的化学污染物质；（5）为室内人员补充新风。
图3 新风空调机组原理图3.4 干盘管冷冻水系统本次干冷盘管冷冻水主要用于供给洁净厂房内的生产区干冷盘管使用。
洁净室内温度是通过控制干冷盘管出风温度以维持其服务区域的恒定干球温度干冷盘管冷冻水采用独立中温冷冻机供水方式，冷冻水引自13/19℃的中温冷冻水系统，干冷盘管冷冻水系统的供回水水温亦为13/19℃。
干盘管的中温水直接由动力站供给。
FAB1厂房一期的干盘管布置面积为646m2，二期干盘管布置面积1034m2。
3.5 新风空调箱控制原理本次新风空调箱控制原理详见以下描述，空气处理焓湿图详见以下附图4。
（1）整个空调系统采用DDC/PLC控制系统，其中洁净生产区3用1备，单台风量70000CMH。
（2）新风空调系统主要对新风进处理以保证生产区内湿度要求。
在空调器新风入口及出口均设有温度、湿度传感器，DDC/PLC根据室外新风温湿度信号，计算其绝对含湿量，并根据设定露点状态将室外空气在焓湿图上分成3个区域（如图中I、II、III区）。
室外空气在不同区域采用不同的空气处理过程，详见空气处理流程图。
DDC/PLC分别控制冷、热盘管及加湿器按照分区处理程序运行。
（3）温度控制：处理后空气露点L设定为9.5℃，95%，全年恒定。
DDC/PLC可根据生产区内湿度信号修正设定值。
业主在使用中也可根据生产要求调整设定露点。
设定露点改变后，则焓湿图上确定新风分区的参数也需相应调整。
夏季分两段冷盘管处理，预冷盘管处理到20℃，95%，根据预冷段后焓值传感器调节水阀开度；再冷盘管处理到（9.5℃，95%），根据再冷段后露点传感器调节水阀开度；再热盘管处理到（18℃），以再热盘管后温度信号来控制再热盘管水阀开度，调节送至回风夹道的新风温度满足要求。
冬季分三段热盘管处理，第一道预热盘管处理到2℃，根据热盘管后温度传感器调节水阀开度；第二道加热盘管处理到26℃，根据热盘管后温度传感器调节水阀开度；再经过水洗喷淋加湿段处理到室内露点（9.5℃，95%），根据再冷盘管段后露点传感器调节加湿器阀门开度，再热盘管处理到18℃，以再热盘管段后温度传感器来控制热水阀开度，调节送至回风夹道的新风温度满足要求。
（4）湿度控制：水洗喷淋全年运行，分为去湿工况和加湿工况。
去湿工况：根据预冷盘管出风温度调节补水调节阀的开度，使出风湿度维持在控制范围内；根据送风管露点传感器控制再冷盘管控制阀开度，使送风含湿量维持在控制范围内。
当送风含湿量低于控制下限且再冷盘管冷冻水控制阀完全关闭，自动转入加湿工况。
加湿工况：根据预热盘管出风温度，湿度计算焓值，控制预热盘管控制阀开度，满足送风状态点相对湿度要求。
（5）送风机控制：通过房间内压力传感器信号控制相应房间区域新风支管上气动调节阀开度，使室内压力满足设计要求。
通过设置于送风主管的压力传感器控制风机电机变频，以维持送风主管压力恒定。
同时接收送风机前后压差信号以监测风机运行状态，故障时自动关闭风机并报警。
（6）各级过滤器压差报警: 各级过滤器设压差显示报警装置，自动显示压差，当其超过设定值时，自动报警。
过滤效率[4] 初阻力（Pa）终阻力（Pa）初效过滤器 G4 50 100中效过滤器 F8 100 200化学过滤器 100 200化学过滤器 100 200中效过滤器 F9 100 200高效过滤器 H14 250 500（7）防冻保护：接收新风空调加热盘管后温度信号，当温度低于2℃（可调）时，关闭送风机，并发出报警信号。
（8）接收消防控制中心报警信号，自动关闭风机。
（9）每台新风空调箱出口处设置流量变送器，当流量波动范围＞10%[5]，发出报警信号。
图4 新风空调机组原理图4.设计总结本工程设计中，对洁净生产的区域采用MAU+FFU+DCC的空调系统形式，使得空调风系统得到简化，但同时也带来一些新的问题，需要在工程施工、管理过程中尤为注意。
（1）在电子洁净厂房的负荷计算中，工艺设备散热量大使得空调冷负荷巨大，甚至经常出现冬天仍需供冷的情况。
但在多数情况下，甲方或工艺专业人员不能准确地提供各个工艺设备的散热量，从而造成负荷计算存在不准确之处，算得负荷偏大或偏小都会影响空调系统的设计，从而影响空调效果。
这便要求空调设计人员要认真学习电子工艺的生产流程，努力搜集各个工艺设备的参数，才能使设计更为准确、合理。
另外，为消除室内余热或满足换气次数的要求，加之厂房空间大，使得空调系统送风量大，这就要求空调设计人员对空调机组、送风设备的选择及风管布置需精确合理。
（2）为避免干盘管产生冷凝水，需对中温冷冻水温度进行精确计算。
理论上讲，只要干盘管空气侧的表面温度高于空气露点温度便不会产生冷凝水，但由于干盘管的换热过程的复杂性，通过计算干盘管空气侧表面温度，从而确定中温冷冻水温度的方法较为困难。
工程设计中，设计人员常采取保守方法，让中温冷冻水温度高于空气露点温度。
也有部分实际项目，干盘管会配置冷凝水积水盘，通过设置冷凝水管接至地漏排放。
（3）电子洁净厂房湿度控制尤为重要，通过洁净MAU空调箱精确控制新风出口含湿量，确保洁净厂房内全年保证湿度波动范围在较小范围内，确保半导体芯片厂室内相对湿度全年控制在稳定范围内，达到工艺生产要求。
参考文献[1] GB50073-2013 洁净厂房设计规范[S].[2] GB50472-2008 电子工业洁净厂房设计规范[S].[3] 许钟磷.空气洁净技术原理[M].上海：同济大学出版社，1998.[4] 严登通.洁净室设计与管理[M].台北：全华科技图书股份有限.公司，1997.[5]陆耀庆．实用供热空调设计手册[z]．北京：中国建筑工业出版社，2007:77．。