真空技术及应用系列讲座1真空科学的发展及应用.
真空技术的基本知识

例:2X一70 表示双级旋片式真空泵,抽气速率为70L/S。
利用真空与大气之间的压力差所产生的力可实现真空在下述 方面的力学应用。
具体应用: 1. 真空吸引和输运固体、液体、胶体和微粒; 2. 真空吸盘起重、真空医疗器械; 3. 真空成型,复制浮雕; 4. 真空过滤; 5. 真空浸渍。
中真空 1.33×102 ~1.33×10-1(Pa)
气体分子间,分子与器壁间的相互碰撞不相上下,气体分子 密度较小 。
1. 真空的含义及表征
1.1大气与真空 1.2真空度的表征及单位 1.3真空区域的划分
2. 真空的获得
2.1 真空获得设备 旋片泵 定片式真空泵 往复泵 罗茨泵 水环真空泵 分子泵 滑阀式真空泵 油扩散泵
2.2 真空泵的选型
第一章 真空技术的基本知识
3. 真空测量及其设备
3.1 什么是真空测量
高的压强;
1.3 真空区域的划分
划分依据:真空在技术上的应用特点、真空的物理特性、 真空获得设备和真空检测仪表的有效适用范围 (GB3163)
低真空 1.33×105 ~1.33×102(Pa)
低真空这种气体状态与常压状态相比较,只有分子数目由多 变少的变化,而无气体分子空间特性的变化,分子相互间碰撞频 繁。
2. 真空的获得
分子密度减小 分子数减少
抽走 化学反应
吸附 结晶 容积扩大
2.1 真 空 获 得 设 备
《高真空技术》课件

气体分子与表面之间的相互作 用是高真空技术中的重要环节 ,涉及到气体分子在表面的吸 附、脱附等过程。
气体分子与表面的相互作用与 表面材料的性质、温度、气体 分子的性质等因素密切相关。
了解气体分子与表面的相互作 用有助于优化表面处理技术, 提高高真空设备的性能和稳定 性。
气体分子之间的相互作用
气体分子之间的相互作用对高真 空技术的性能产生重要影响,如 气体的流动特性、传递特性等。
04
高真空技术的应用实例
电子束蒸发镀膜技术
总结词
电子束蒸发镀膜技术是一种利用高能 电子束将材料加热至熔融状态,并形 成薄膜的技术。
总结词
电子束蒸发镀膜技术具有高精度、高 纯度、高附着力等特点,可实现大面 积、均匀的薄膜制备,并且能够控制 薄膜的厚度和成分。
详细描述
该技术广泛应用于光学、电子、机械 、生物医学等领域,可制备出具有优 异性能的薄膜材料,如金属薄膜、绝 缘薄膜、半导体薄膜等。
高真空技术涉及的领域广泛,包括电子、光学、物理、化学、材料科学等,是现 代科学技术发展的重要支撑。
高真空技术的应用领域
电子学
高真空技术在电子学领域的应用主要涉及 到电子器件的制造和测试,如电子显微镜 、电子束曝光机等。
材料科学
高真空技术在材料科学领域的应用主要涉 及到材料的表面改性和新型材料的制备, 如金属薄膜和复合材料等。
详细描述
在制备过程中,高真空环境能够有效 地防止氧化和污染,提高薄膜的质量 和性能。
真空热处理技术
总结词
详细描述
真空热处理技术是一种在真空环境中进行 的热处理技术,可实现金属材料的真空退 火、淬火、回火等处理。
该技术能够提高金属材料的力学性能、耐 腐蚀性能和抗疲劳性能等,广泛应用于航 空航天、汽车、能源等领域。
真空技术基础知识1

真空技术基础知识真空技术发展到今天已广泛的渗透到各项科学技术和生产领域,它日益成为许多尖端科学、经济建设和人民生活等方面不可缺少的技术基础.作为现代科学技术主要标志的电子技术、核技术、航天技术的发展都离不开真空,反过来它们飞跃前进正在推动真空技术的迅速发展,成为真空科学技术发展史上的三个飞跃阶段,从而使真空技术由原来主要应用领域电真空工业,扩展到低温超导技术、薄膜技术、表面科学、微电子学、航海工程和空间科学等近代尖端科学技术中来.至于在一般工业中应用实在种类繁多,不胜枚举.它涉及冶金、化工、.医药、制盐、制糖、食品等工业都广泛使用真空技术.例如有机物的真空蒸馏,某些溶液的浓缩、析晶、真空脱水、真空干燥等.人们还利用真空中的各种特点,研制生产出真空吊车、电子管、显像管、中子管.就连人们日常生活中使用的灯管、暖水瓶、真空除尘器等都离不开真空技术.1.真空与真空区域的划分“真空”是指在给定的空间内,气体分子密度低于该地区大气压下的气体分子密度的稀薄气体状态。
不同的真空状态有不同的气体分子密度。
在标准状态下,每立方厘米的分子数为2.6870×1019个,而在真空度为10-4帕时,每立方厘米的分子数为3.24×1010个,即使用最现代的抽气方法获得的最高真空度10-13帕时,每立方厘米中仍有3.24×10个分子。
所以真空是一相对概念,绝对真空是不存在的。
气体分子密度小、分子之间相互碰撞不那么频繁,单位时间内碰撞容器壁的分子数减少,从而使真空状态下热传导与对流小,绝热性能强,可降低物质的沸点和汽化点等。
真空的这些特点被广泛应用到生活、生产和科研的各个领域中。
真空度是对气体稀薄程度的一种客观量度。
它本应用单位体积中的分子数来量度,但由于历史的原因,真空度的高低仍通常用各向同性的物理量“气体压强”来表示。
气体压强越低,表示真空度越高;反之,压强越高,真空度就越低。
在真空技术领域中,过去常用的压强单位为托(torr),它与目前国际单位制中压强单位帕斯卡的换算关系为:1帕=1牛顿/米2=1千克/米.秒2=7.50062×10-3(托)1托=1/760(标准大气压)=101325.0/760(帕)=133.3224(帕)为使用方便,人们根据真空技术的应用特点、真空物理特性和真空机械泵、真空计的有效使用范围,将真空划分为不同区域及对应的物理特点和主要应用领域,如表1所示。
最新真空技术简介PPT课件

教学内容
真空基本知识和技能介绍:真空概述、真空单位、不同真 空区域的划分以及他们对应的物理现象等、真空的获得、 机械泵油扩散泵工作原理、真空的测量、热偶真空计和电 离真空计工作原理、几种不同的真空检漏的方法等。
低气压下高电压放电、定容法和静态升压法的原理介绍。 仪器结构的介绍:DM300型镀膜机的结构和各主要部分的功
•1)直线A平行于T轴,说明压强是恒量,它不随时间而变化,表明系统既无放气也 无漏气。 •2)曲线B开始上升较快而后渐渐变成平行于T轴的直线。这说明系统只有放气而 无漏气,气压较低时放气速率较大,达到某一气压值时,放气速率和吸气速率相 等,达到平衡,曲线即趋于水平直线。 •3)直线C是一斜率为 的直线。这说明系统只有漏气。 •4)曲线D开始上升较快,而后渐渐减慢,最后变成直线,这说明系统既有放气也 有漏气,曲线D是B和C的叠加。
检漏还有许多方法,最快捷、灵敏的是氦质谱检漏。把示踪气体(一般用氦 气)喷在真空容器外面,用仪器去检测容器内是否含有示踪气体。这种方法不 仅灵敏度高,而且可以确定漏气部位。
放电原理和现象
低压气体在高压电场中被电离而导电,并发生辉光放电现象,辉光的颜色、形 状,亮度将随着气压的不同而改变。将一封有金属电极的玻璃放电管接入真空 系统中,加上高压后就可以通过放电现象来粗略地估计真空度。
对于玻璃系统,在真空度低于0.1Pa时,可用高频电火花真空测定仪,打开电 源后,探头出现杂散的紫色火花,如遇漏孔,杂散火花变成一束明亮的光柱, 并在漏孔处出现亮点。
对于金属系统或真空度高于0.1Pa的玻璃系统,不能使用高频电火花真空测定 仪来检漏。这时可用酒精、丙酮、甲醇等挥发性液体涂在怀疑有漏孔处,遇 上漏孔时,挥发气体进入系统,系统的真空度会突然下降,这是漏孔相对较大 时的方法。对特别微小的漏隙,如在高真空系统,能达到高真空但达不到设计 要求,这时可采用静态升压法,但此法也只能判断是否漏气,不能确定漏气的 部位。Βιβλιοθήκη 高真空的获得和测量实验内容
《真空技术概论》幻灯片PPT

真空技术概论 真空技术的历史回忆与近代开展
主讲人:杨乃恒 教授
真
空
技 术
东北大学
概
论
东北大学首期?真空技术?培训班系列教程之一
真空技术的历史回忆与近代开展
一. 前言
二. 经典真空技术及其应用的历史 回忆
真 空 技
三、真空实用技术及其应用 四.真空技术的近代开展
的主要因素。因此,往往都要对这
术 些材料进展高温烘烤除气。
概 论
东北大学首期?真空技术?培训班系列教程之一
研究气体分子或原子在固体材料中
的扩散逸出和外表脱附、吸附过程
就成为进一步提高真空度的重要课
真 题。
空 技 术
在技术上取得真空环境之后,可以 产生大气中所没有的新现象,供人
概 们利用:
论
东北大学首期?真空技术?培训班系列教程之一
真 空 技 术 概 论
东北大学首期?真空技术?培训班系列教程之一
1何谓真空
所 谓 的 真 空 , 一 种 是 物 理 学 上 的
“真空〞,没有或者不计气体分子
和原子存在的物理空间,仅存在各
真 种能量粒子的场空间;另一种是应
空 技
用物理与技术所讨论的“真空〞,
术 指低于一个大气压力的稀薄气体的
概 论
东北大学首期?真空技术?培训班系列教程之一
2 真空技术的开展历史
最早的真空获得和应用,可追溯到
公元前六世纪,我国炼铁技术就相
真 当进步,为了熔化铁,在炼铁炉上
空 技
配有鼓风设备。最初使用的叫“ 〞
术 的皮囊鼓风、“风箱〞鼓风。
概 论
东北大学首期?真空技术?培训班系列教程之一
1真空科学技术

平均自由程的影响
4 103 0.4 (m) (cm) p p
薄膜技术中最常用的真空度为10-4Pa,自由程大约是40米。即使 再差,10-3Pa,自由程大约是4米。而一般的膜基距为10 cm 左 右,所以不需要考虑飞行中的薄膜原子和残存气体碰撞所产生 的影响。如果真空度太低,薄膜原子的碰撞增加,难于沉积到
求解: 假设每一个向清洁表面运动过来的气体分子都
是杂质,并均被表面所俘获。则可以求出表面完全被一 层杂质气体分子覆盖所需要的时间
N N 2MRT J NA p
式中,N 为基板表面单位面积上能容 纳的单分子层内的气体分子数。
10
1.2 稀薄气体的基本性质
估算:单位面积上单分子层的气体分子数目N。气体分子的
dN f ( v ) dv N
m 32 f ( v) 4π( ) e 2πkT
mv 2 2 kT
f (v)
v2
o
v
6
1.2 稀薄气体的基本性质
☞ 三种统计速率 1)最概然速率
vp
vp v v
2
2kT m 8kT πm 3kT m
2 RT M 8RT πM 3RT M
溅射镀膜,真空蒸发镀膜
超高真空 : < 1x10-6 Pa 表面物理,表面分析,MBE
4
1.2 稀薄气体的基本性质
☞ 稀薄气体的状态方程
在真空技术中所接触的是稀薄气体,这种稀薄气体在性质上与理想气 体的差异很小。因此,在研究稀薄气体的性质时,可不加修正地直接应用 理想气体的状态方程。
理想气体状态方程:
尺寸在0.1-1 nm 之间,则一个分子覆盖的面积为0.01-1 nm2之间。则:
真空技术与应用
各种气流状态的特性: 1. 黏滞流包括:a. Re(雷诺数)>2200,气流中有涡流产生。
b. Re(雷诺数)<2200,气流中无涡流存在。 ∵ λ << d ∴气体分子与气体分子间碰撞频繁,其次数远大于气体分子与管壁之 碰撞次数。 气体分子间因黏滞力之作用,使气体运动有方向性,并与抽气方向相 同,此特性可防止机械帮浦的油气回流至真空系统;一般管路直径 5cm,压力0.2torr 之气流为黏滞流,故使用机械帮浦与扩散帮浦组 合之抽气系统,机械帮浦只抽气至0.2torr。
在一大气压下,一立方公尺体积之气体在室温22℃下含有2.5x10E25 个分子。
若将气体分子视为个别置放在含有等距的格子内,则气体分子与气体 分子间的距离为3.4x10-9m,该距离为分子大小的6-15倍,因此气体分 子可视为各自独立之个体,其运动保持直线运动,相互之间没有作用 力。
气体分子之间的碰撞视为弹性碰撞。
气体流域:是以气体本身的性质以及其在管中流动时的相对量为其特点。 管路的气导(Conductance) 影响气导值的参数,除了传输气体的种类及压力外,还有管路的截面
形状(如圆形、方形或椭圆形等)。其他的因素有长度或管件为直线或 具弯角。 其他如挡板、冷凝阱、吸收阱、阀件及其他管配件之气导 系数均会在个别技术参数中描述。 以下两点可视为管件选用时的一般性原则: 管路的长度越短越好,且须具有足够的内径! 管径大小至少须和帮浦进气端口径相等。 管路作用对有效抽速Seffective的影响 所有介于帮浦及腔体(如;高温真空炉) 间的管件及接头均会产生节 流效应( throttle effect) 并使所装置的帮浦抽气速率降至有效抽 速Seffective ! 此一经管损后的抽气速率可以管件气导的函数表示: 连续方程式pVessel x Seff = pPump x Spump 管件的选用须注意越短越好,且须具有正确的内径大小。
超高真空技术原理及其应用研究
超高真空技术原理及其应用研究超高真空技术(Ultra-High Vacuum,简称UHV)是指在10的负10次方帕(Pa)以下的高真空范围内进行科学研究和工程应用的一项重要技术。
该技术具有广泛的应用领域,包括材料科学、能源、电子器件、航空航天等。
本文将详细探讨超高真空技术的原理以及其在各领域中的应用研究。
一、超高真空技术原理超高真空技术的实现主要依赖于以下原理:1. 捕集技术超高真空系统中常用的捕集技术主要包括冷阱捕集、化学捕集和物理捕集。
其中,冷阱捕集是指通过降低温度使气体冷凝在表面上,实现气体分离的技术。
化学捕集则是利用化学反应将气体转化为易于捕集的化合物,而物理捕集则是通过吸附、扩散等方式进行。
这些捕集技术的结合使用有效地降低了系统中的气体压力。
2. 泵技术超高真空系统中常用的泵技术主要有机械泵、扩散泵和离子泵。
机械泵是通过机械运动将气体抽出的设备,扩散泵利用分子的扩散作用将气体抽出,而离子泵则是通过电场和磁场的作用将气体离子抽出。
这些泵技术的协同工作能够将气体压力进一步降低,达到超高真空条件。
3. 无气漂移无气漂移是指在超高真空系统中通过远离气体来源,减少气体扩散和漂移到研究对象的方式。
常用的措施有密封、隔离和屏蔽等。
二、超高真空技术的应用研究超高真空技术在各领域的应用研究具有重要意义。
1. 材料科学在材料科学领域,超高真空技术可用于材料的成分分析、表面形貌研究以及材料的生长和薄膜沉积等方面。
通过使用超高真空系统,可以减少外界杂质对材料性质的干扰,研究材料的内禀性质,实现高质量材料的制备。
2. 能源在能源领域,超高真空技术可以用于核聚变等相关研究。
核聚变是一种清洁高效的能源形式,而超高真空技术则能够提供理想的条件来研究和实现核聚变反应。
通过控制超高真空系统中的压力和温度等参数,科学家们可以更好地理解和掌握核聚变的原理和机制。
3. 电子器件在电子器件领域,超高真空技术可用于半导体器件的制造和表征等方面。
真空技术发展简史
真空技术发展简史真空技术是指在一定条件下,将物质之间的气体、液体和固体分子之间的距离增大到一定程度,使之呈现出低压状态的技术。
它是现代工业生产中不可或缺的一环,应用广泛,包括电子、航空、石油、医疗、化工等各个领域。
早在17世纪,德国科学家奥托·冯·瓦尔莱把空气抽出容器后发现,容器内部呈现出一种特殊的状态,即真空状态。
此后,真空技术的研究逐渐深入。
18世纪,法国科学家皮埃尔·西蒙·拉普拉斯将真空技术应用于蒸馏和烧结领域,开创了真空技术在实践中的应用。
19世纪,瑞士科学家尤利乌斯·冯·梅尔发明了气体扩散泵,为真空技术的发展奠定了基础。
此后,德国科学家卡尔·布莱斯特率先提出了真空度的概念,并在实验中成功地达到了10^-6 torr的真空度,开创了高真空技术的研究。
20世纪初,美国科学家欧文·朗缪尔发明了真空管,使得电子技术有了大规模发展的可能。
随着科技的进步,真空技术越来越成熟。
20世纪50年代,德国科学家J·戈达德发明了离子泵,使得高真空技术的上限达到了10^-12 torr。
70年代,美国科学家W·鲁昂提出了分子束技术,为开发新材料和制造工艺提供了新途径。
90年代,欧洲科学家发明了多径电子和中性原子碰撞电离质谱技术,为生物医学和环境分析领域提供了新的手段。
21世纪,随着纳米技术的发展,真空技术的应用范围不断扩大,例如纳米制造、纳米材料等领域,真空技术的重要性日益凸显。
总之,真空技术在过去几个世纪中不断发展,应用范围不断扩大,成为现代工业生产的不可或缺的一环。
随着科技的不断进步,真空技术也将不断创新发展,为人类社会的发展做出更大的贡献。
真空技术在物理实验中的应用与注意事项
真空技术在物理实验中的应用与注意事项在物理实验中,真空技术是不可或缺的一部分,它广泛应用于各个领域,包括粒子物理、材料科学、电子工程等。
本文将探讨真空技术在物理实验中的应用以及需要注意的事项。
一、真空技术在实验中的应用1. 真空室真空室是实验中最基本的组成部分之一。
通过将实验环境置于真空室中,可以排除气体分子的干扰,提供一个更加纯净的实验环境。
真空室常用于电子器件的测试和研究中,例如半导体材料的研究、电子器件的退火处理等。
2. 真空泵真空泵是实验中用来产生和维持真空环境的关键设备。
常见的真空泵包括机械泵、扩散泵和离子泵等。
机械泵通过机械运动将气体排出真空室,扩散泵通过碰撞分子的方式增大气体流量,而离子泵则通过电离气体分子并加速运动来达到抽气的目的。
根据实验需要,可以选择不同类型的真空泵来满足要求。
3. 真空度测量与控制在物理实验中,准确地测量和控制真空度是非常重要的。
常用的真空度测量设备包括热电偶、霍尔传感器和毛细管真空计等。
通过这些设备,可以实时监测实验环境中的气体压强,确保真空度符合实验要求。
此外,还需要采取相应的措施,如使用密封材料、使用真空阀门等,来维持稳定的真空环境。
4. 真空干燥与转移在物理实验中,有时需要在真空条件下进行物质的干燥和转移。
例如,对于一些易于氧化或吸湿的材料,可以将其置于真空室中进行干燥,以提高实验的精确度。
此外,真空条件下的物质转移也常见,如通过真空系统将实验样品从一个实验室转移到另一个实验室。
二、真空技术应用中的注意事项1. 安全性在使用真空技术时,必须遵守相关安全操作规程,确保操作人员的安全。
例如,应佩戴适当的防护眼镜和手套,操作真空泵时要注意防止泵油溅出造成的伤害。
此外,对于高真空系统,要注意防止压力突然降低引起的爆炸危险。
2. 泄漏检测与处理在真空系统中,泄漏是一个常见问题。
泄漏会导致真空环境的失效,影响实验的准确性。
因此,检测和处理泄漏问题非常重要。
常用的泄漏检测方法包括泄漏检漏仪和质谱仪等。
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(2)真空状态下由于气体稀薄,单位体积内的气体分子数,即气体的分子密度小于大气压力的气体分子密度。因此,分子之间、分子与其他质点(如电子、离子等)之间以及分子与各种表面(如器壁)之间相互碰撞次数相对减少,使气体的分子自由程增大。表2给出了常温下大气分子平均自由程与大气压力的关系。
真空技术及应用系列讲座第一讲:真空科学的发展及应用李云奇(东北大学
一、真空科学发展的历史回顾
人们或许是受翻译国外书刊的影响,通常在回顾真空科学发展史时,常常误认为1643年托里析利的压力实验和1650年葛利克发明抽气机是对真空这一现象的最早发现,其实早在公元前六世纪我国在冶铁技术中即采用了风箱鼓风法,那时称风箱为“鞲鞴”。战国时期“老子道德经”一书说“鞲鞴”是虏而不屈、动而愈出”,这是利用真空吸气原理的有记载的描述。而欧州到十六世纪才发明这种设备。中国晋朝炼丹家和医生葛洪(公元218~3l6年在“肘后备急方”中所介绍的利用气体的热胀冷缩、创造的“拔火罐”医疗法、正是真空技术在医学上应用的具体例证。因为发生在火罐里的现象正是一个获得真空和应用真空的完好过程。这种获得真空的方法比托里析利用水银赶走玻璃管中的大气而获得的真空方法还要高明。因为在罐内燃纸加热大气、不但能赶走罐内的部分大气,而且还可以把罐中的氧气烧掉、这至少可以使罐中产生五分之四个大气压力的真空。即相当于在罐中获得6 × 104Pa的低压。至于葛利克的抽气机与我国古代所采用的风箱抽气比较,在抽气原理上是相同的。不过在我国“天工开物”一书中记载的利用“风箱鼓风炼铁”要比葛利克抽出他的“金属半球”中的气体,在时间上至少早几百年,因此在我们回顾真空科学发展历程时,是不应当忘记我们的祖先、对人类在早期发展真空技术所做出的贡献。二、真空及其应用1、真空的含义及特点
真空造型也是利用压差力的一个重要方面,近年来在立体军用地图、盲人书籍、示数摸型、高级陶瓷、混凝土予制件、电冰箱洗衣机板件、玩具、复制浮雕和文物、行波管和返波管中的细旋支柱成形、质谱仪中分析室以及微波系统的波导制作方面、都广泛的采用了这一技术。真空力学应用的另一个领域是真空过滤和真空浸渍。目前化工,制糖,水泥等工业部门已开始大量采用的连续真空过滤、很容易将粘度大的悬浮液利用压差力的作用、通过微细筛孔而将其悬浮液中的液体与固体分离。在染料工业中利用真空过滤法可以大量节省棉布。真空浸渍是把片状或纤维状的疏松物质,进行先抽真空,再在液体中浸渍充填一些新的物质的一种新型工艺。这种工艺用在含油轴承、鱼网纤维、皮革、非电解电容,变压器、电动机定子线圈等产品上已经显著的提高了产品质量。此外这种工艺对疏松劣质木材进行聚脂树脂浸,对铅笔木进行蜡类浸渍使其改变原有的天然性能达到化劣质为优质的目的、并已达到了予期的效果。
在真空科学中,真空的含义是指在给定的空间内低于一个大气压力的气体状态。人们通常把这种稀薄的气体状态称为真空状况。这种特定的真空状态与人类赖以生存的大气在状态相比较,主要有如下几个基本特点:
(1)真空状态下的气体压力低于一个大气压,因此,处于地球表面上的各种真空容器中,必将受到大气压力的作用,其压强差的大小由容器内外的压差值而定。由于作用在地球表面上的一个大气压约为10135N/m2,因此当容器内压力很小时,则容器所承受的大气压
2、不同真空状态下的真空工艺技术
随着气态空间中气体分子密度的减小,气体的物理性质发生了明显的变化,人们就是基于气体性质的这一变化,在不同的真空状态下、应用各种不同的真空工艺、达到为生产及科学研究服务的目的。目前,可以说,从每平方厘米表面上有上百个电子元件的超大规模集成电路的制造,到几公里长的大型加速器的运转,从民用装饰品的生产到受控核聚变、人造卫星、航天飞机的问世,都与真空工艺技术密切相关。不同真空状态下所引发出来的各种真空工艺技术的应用概况如表4所示。
表4不同真空状态下各种真空工艺技术的应用概况
三、真空科学的应用领域
真空科学的应用领域很广,目前已经渗透到车辆、土木建筑工程、机械、包装、环境保护、医药及医疗器械、石油、化工、食品、光学、电气、电子、原子能、半导体、航空航天、低温、专用机械、纺织、造纸、农业以及民用工业等工业部门和科学研究工作中。现就其主要的几个部门简述如下:
(泵弧整流管、引燃管、计数管、闸流管、噪音管、雷达电线开关等;各种电子束管(示波管、摄象管、显象管、x光管、变象管等;各种电光源管(照明灯,光谱灯、仪器用灯等以及中子管、电子衍射仪、电子显微镜、x光显微镜,各种粒子加速器、质谱仪、核辐射谱仪、气体激光器以及利用真空中电子束进行除气、熔炼、区域提纯、难熔金属和介质的熔化和钻孔,开槽切割、放射性同位素的蒸发,难熔金属的焊接等许多方面。这些电子器件及工艺,在近代科学和近代大工业生产中所起的作用是不言而喻的。这里不再赘述。3.直空在冶金工业中的应用
1.真空在输运、吸引、起吊及真空造型等设备中的应用
真空输运、吸引及起吊设备、都是利用真空与大气间存在压力差所产生的力来做功的。由于这种机械能存在着压强处处均匀的特点,因此可绝对密接地施加到任何形状的平面上。目前、这些真空设备大多用在吸鱼、粮食、面粉、煤粉、烟草、水泥、泥浆、纸浆、粉状矿物粉状化工产品,水泥地板,预制板、机场及公路水泥跑的快速吸干、车间起吊、机床夹具,玻璃装运,吸乳、吸尘。人工流产吸引胎儿:吸痰、吸胸膜积水、脓液、吸肠以及吸引原子弹爆炸所产生的辐射尘埃等生产作业中。这些设备均具有结构简单,易于操作维护、运输、起吊吸引过程中无震动、生产效率高、运送易损坏物件安全可靠、对环境无污染等特点。因此具有广阔的应用范围和前景。
2.真空在电真空器件中的应用
由于各种电真空器件的工作原理是基于电场、磁场来控制电子在空间的运动借以达到放大、振荡、显示图象等目的。因此避免电子与气体分子间的碰撞,保证电子在空间的运动规律,防止发射热电子的阴极氧化中毒,把电子器件内抽成不同电真空器件所要求的不同真空度、保证电子器件的正常工作,是绝对必要的。目前电真空工业中所生产的电真空器件主要有各种电子管(整流管、发射管、收信管、速调管、行波管、磁控管、光电管等;各种离子管
表1不同压力下单位面积上的作用力
表2常温下大气分子平均自由程与大气压力的关系
(3真空状态下由于分子密度的减小,因此做为组成大气组分的氧、氢等气体含量(也包括水分的含量也将相对减少。表3给出了标准大气的成份。
表1标准大气的成分
*Байду номын сангаас示随时间、地点而变化的值
真空的这些特点、已被人们在丰富的生产与科学实验中加以利用,这一点我们将在下节中详述。