微惯性测量组合关键技术与应用

聚合物微纳制造技术现状及展望

聚合物微纳制造技术现状及展望 目录 聚合物微纳制造技术现状及展望 (1) 1、微纳系统的意义、应用前景 (1) 2、微纳机电系统国内外研究现状和发展趋势 (3) 3. 聚合物微纳制造技术研究现状 (9) 4. 展望 (11) 微/纳米科学与技术是当今集机械工程、仪器科学与技术、光学工程、生物医学工程与微电子工程所产生的新兴、边缘、交叉前沿学科技术。微/纳米系统技术是以微机电系统为研究核心,以纳米机电系统为深入发展方向,并涉及相关微型化技术的国家战略高新技术[1]。微机电系统(Micro Electro Mechani cal System, MEMS ) 和纳机电系统(Nano Electro Mechanical System, NEMS )是微米/纳米技术的重要组成部分,逐渐形成一个新的技术领域。MEMS已经在产业化道路上发展,NEMS还处于基础研究阶段[2]。 从微小化和集成化的角度,MEMS (或称微系统)指可批量制作的、集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路,直至接口、通讯和电源等于一体的微型器件或系统。而NEMS(或称纳系统) 是90 年代末提出来的一个新概念,是继MEMS 后在系统特征尺寸和效应上具有纳米技术特点的一类超小型机电一体的系统,一般指特征尺寸在亚纳米到数百纳米,以纳米级结构所产生的新效应(量子效应、接口效应和纳米尺度效应) 为工作特征的器件和系统。图1给出了MEMS 和NEMS 的特征尺度、机电系统的尺度与相应的理论问题[2]。 图1 MEMS 和NEMS 的特征尺度、机电系统的尺度与相应的理论问题 1、微纳系统的意义、应用前景 由于微/纳机电系统是一门新兴的交叉和边缘学科,学科还处于技术发展阶段,在国内外尚未形成绝对的学科和技术优势;微/纳米技术还是一项支撑技术,它对应用背景有较强的依赖性,目前它的主要应用领域在惯导器件、军事侦察、通信和生物医学领域,以及微型飞机和纳米卫星等产品上。 (1)重要的理论意义和深远的社会影响

微纳光学加工及应用

微纳光学加工及应用 孙奇 一、微纳光学结构 光是一种电磁波,是由同相相互垂直的电场与磁场在空间中以波的形式移动而形成的,其传播方向垂直于电场与磁场所构成的平面,电磁波能有效的传递能量和动量[1]。从低频到高频,电磁波可以分为:无线电波、微波、红外线、可见光、紫外光、X射线和γ射线等,人眼可见波长在380nm至780nm之间,如图1所示。 (a ) (b ) 图1. (a) 电磁波传播方式 (b) 电磁波按频率分段图(图片来自网络) 传统光学只研究可见光与物质的相互作用,而现代光学已扩展到对全波段电磁波的研究。随着微加工技术的日臻成熟,电磁波在微纳结构中的传播,散射和吸收等性质开始逐渐被人们研究。1987年,Yabnolovich和John 首次提出了光子晶

体的概念[2, 3];1998年,Ebbesen等人发现在打了周期性亚波长纳米空洞的厚金属膜上存在着超强的光投射峰,这一发现激起了对金属周期结构中表面等离激元的研究热潮[4]。从1987年至今,各领域对光学微纳结构的研究一直在迅猛发展。1.1光子晶体 从固体物理的概念中可以得知,当电子在周期性的势场中运动时,由于电子受到周期性势场的布拉格散射的作用形成了电子的能带结构,同时电子的能带与能带之间在一定的晶格条件下将存在带隙。在带隙能量范围内的电子其传播是被禁止的。运动的电子实际上也是一种物质波。无论何种波动形式,只要其受到相应周期性的调制,都将有类似于电子的能带结构同样也都可能出现禁止相应频率传播的带隙。 微纳光学结构技术是指通过在材料中引入微纳光学结构,实现新型光学功能器件。1987年,Yabnolovitch和 John在讨论如何抑制原子的自发辐射和光子局域的问题时,把电子的能带概念拓展到光学中,提出了光子晶体的概念。光子晶体就是规律性的三维微结构,其周期远小于波长,形成光子禁带,通过引入局部缺陷,控制光的传播与分束。同样的,固体物理晶格中的许多概念都可以类似的运用到光子晶体中,诸如倒格矢空间、布里渊区、色散关系、Bloch函数、Van Hove奇点等物理概念。由于周期性,对光子也可以定义有效质量。不过需要指出的是,光子晶体与固体晶格有相似处,也有本质的区别。如光子服从的是麦克斯韦方程,电子则服从薛定谔方程;光子是矢量波而电子是标量波;电子是自旋为1/2的费米子,而光子是自旋为1的波色子,等等。 根据空间的周期性分布的不同,光子晶体可以分为一维、二维和三维光子晶体,如图2所示。一维光子晶体的材料一般在一个方向上进行周期排列,例如传统的多层薄膜结构;二维光子晶体表现为材料在平面上进行周期性排列;三维光子

IMU-惯性测量单元

IMU-惯性测量单元 组合惯导产品是将陀螺,磁力计,加速度计,GPS等有机组合以提供更加丰富精确的导航信息。 IMU(惯性测量单元,可输出载体三轴的角速度,加速度值)。 主要应用在航空、陆地、海洋导航,跟踪控制,平台稳定,ROV/AGV控制,UAV/RPV控制,精准耕种等。 美国Crossbow系列产品: IMU700CB, IMU440CA, IMU321, ADIS16350/ADIS16355; ADIS16350/ADIS16355温度校准iSensor?提供完全的三轴惯性检测(角度运动与线性运动),它是一个小体积模块,适合系统集成。ADIS16355内核采用Analog Devices, Inc., (ADI公司)的iMEMS?传感器技术,内置嵌入式处理用于传感器校准与调谐。SPI接口允许简单的系统接口与编程。 特点: -三轴陀螺仪;动态范围: ±75°/s, ±150°/s, ±300°/s 14位分辨率 -集成三轴加速度计 ±10 g 测试范围 14位分辨率 -带宽:350 Hz -在温度范围内,工厂已校准灵敏度与偏移 ADIS16350: +25°C ADIS16355: −40°C 至+85°C -SPI?兼容串行接口 -承受冲击加速度:2000g(通电情况下) 应用: -飞行器的导航与控制 -平台稳定与控制 -运动控制与分析 -惯性测量单元 -GPS辅助导航 -摄像稳定 -机器人 ADIS16355系列惯性测量单元 参数 条件 典型值 单位 陀螺灵敏度 灵敏度25℃,动态范围:±300°/s 0.07326 °/s/LSB 25℃,动态范围:±150°/s 0.03663 °/s/LSB

基于惯性传感器的机器人姿态监测系统设计

基于惯性传感器的机器人姿态监测系统设计一、设计背景 空间飞行器的惯性测量系统、机器人的平衡姿态检测、机械臂伸展确定等许多方面都需要测量物体的倾斜和方向等姿态参数。机器人的运动过程中要不断的检测机器人的运动状态,以实现对机器人的精确控制。.本文研究的基于MEMS 惯性传感器姿态检测系统用于检测自平衡机器人运动时姿态,以控制机器人的平衡。 随着微机电系统(MEMS)技术的发展,采用传感器应用到姿态检测系统上的条件变得成熟。基于MEMS 技术的加速度传感器和陀螺仪具有抗冲击能力强、可靠性高、寿命长、成本低等优点,是适用于构建姿态检测系统的惯性传感器。利用MEMS 陀螺仪和加速度传感器等惯性传感器组成的姿态检测系统,能够通过对重力矢量夹角和系统转动角速度进行测量,从而实时、准确地检测系统的偏转角度。 由于惯性传感器随着时间、温度的外界变化,会产生不同程度的漂移。通过对陀螺仪和加速度计的采集数据进行数据融合,测量的角度与实际的角度相吻合,取得了良好的控制效果。同时该系统具有独立,易用的特点,其应用前景广泛。 二、基本原理 在地球上任何位置的物体都受到重力的作用而产生一个加速度,加速度传感器可以用来测定变化或恒定的加速度。把三轴加速度传感器固定在物体上,在相对静止状态下,当物体姿态改变时,加速度传感器的敏感轴相对于重力场发生变

化,加速度传感器的三个敏感轴分别输出重力在其相应方向产生的分量信号。 当系统处于变速运动状态时,由于加速度传感器同时受到重力加速度和系统自身加速度的影响,其返回值是重力加速度同系统自身加速度的矢量和。对加速度传感器温度漂移及系统振动和机械噪声等方面的考虑,加速度传感器不能独立运用测量系统的姿态。陀螺仪能够提供瞬间的动态角度变化,由于其本身的固有特性、温度及积分过程的影响,它会随着工作时间的延长产生漂移误差。因此对于姿态检测系统而言,单独使用陀螺仪或加速度计,都不能提供系统姿态的可靠估计。为了克服这些问题,数据融合算法需使用加速度传感器的测量值并使用陀螺仪测得的角速度数据对加速度传感器数据进行融合和矫正。 图1加速度传感器 系统依据上一时刻的重力矢量方向的估计值,结合陀螺仪测得的角度值计算出当前时刻的重力矢量方向,再与当前时刻加速度传感器返回的矢量方向进行加权平均,得到当前矢量方向的最优估计值。 三、系统框架 姿态平衡检测系统中,控制单元采用单片机来完成控制,数据采集与处理,数据通讯等功能。根据对资料的分析,同时对性能价格比的衡量,惯性测量单元

常用半导体器件

第4章常用半导体器件 本章要求了解PN结及其单向导电性,熟悉半导体二极管的伏安特性及其主要参数。理解稳压二极管的稳压特性。了解发光二极管、光电二极管、变容二极管。掌握半导体三极管的伏安特性及其主要参数。了解绝缘栅场效应晶体管的伏安特性及其主要参数。 本章内容目前使用得最广泛的是半导体器件——半导体二极管、稳压管、半导体三极管、绝缘栅场效应管等。本章介绍常用半导体器件的结构、工作原理、伏安特性、主要参数及简单应用。 本章学时6学时 4.1 PN结和半导体二极管 本节学时2学时 本节重点1、PN结的单向导电性; 2、半导体二极管的伏安特性; 3、半导体二极管的应用。 教学方法结合理论与实验,讲解PN结的单向导电性和半导体二极管的伏安特性,通过例题让学生掌握二半导体极管的应用。 4.1.1 PN结的单向导电性 1. N型半导体和P型半导体 在纯净的四价半导体晶体材料(主要是硅和锗)中掺入微量三价(例如硼)或五价(例如磷)元素,半导体的导电能力就会大大增强。掺入五价元素的半导体中的多数载流子是自由电子,称为电子半导体或N型半导体。而掺入三价元素的半导体中的多数载流子是空穴,称为空穴半导体或P型半导体。在掺杂半导体中多数载流子(称多子)数目由掺杂浓度确定,而少数载流子(称少子)数目与温度有关,并且温度升高时,少数载流子数目会增加。 2.PN结的单向导电性 当PN结加正向电压时,P端电位高于N端,PN结变窄,而当PN结加反向电压时,N端电位高于P端,PN结变宽,视为截止(不导通)。 4.1.2 半导体二极管 1.结构 半导体二极管就是由一个PN结加上相应的电极引线及管壳封装而成的。由P区引出的电极称为阳极,N区引出的电极称为阴极。因为PN结的单向导电性,二极管导通时电流方向是由阳极通过管子内部流向阴极。 2. 二极管的种类 按材料来分,最常用的有硅管和锗管两种;按用途来分,有普通二极管、整流二极管、稳压二极管等多种;按结构来分,有点接触型,面接触型和硅平面型几种,点接触型二极管(一般为锗管)其特点是结面积小,因此结电容小,允许通过的电流也小,适用高频电路的检波或小电流的整流,也可用作数字电路里的开关元件;面接触型二极管(一般为硅管)其特点是结面积大,结电容大,允许通过的电流较大,适用于低频整流;硅平面型二极管,结面积大的可用于大功率整流,结面积小的,适用于脉冲数字电路作开关管。

常用半导体器件

《模拟电子技术基础》 (教案与讲稿) 任课教师:谭华 院系:桂林电子科技大学信息科技学院电子工程系 授课班级:2008电子信息专业本科1、2班 授课时间:2009年9月21日------2009年12月23日每周学时:4学时 授课教材:《模拟电子技术基础》(第4版) 清华大学电子学教研组童诗白华成英主编 高教出版社 2009

第一章常用半导体器件 本章内容简介 半导体二极管是由一个PN结构成的半导体器件,在电子电路有广泛的应用。本章在简要地介绍半导体的基本知识后,主要讨论了半导体器件的核心环节——PN 结。在此基础上,还将介绍半导体二极管的结构、工作原理,特性曲线、主要参数以及二极管基本电路及其分析方法与应用。最后对齐纳二极管、变容二极管和光电子器件的特性与应用也给予简要的介绍。 (一)主要内容: ?半导体的基本知识 ?PN结的形成及特点,半导体二极管的结构、特性、参数、模型及应用电 路 (二)基本要求: ?了解半导体材料的基本结构及PN结的形成 ?掌握PN结的单向导电工作原理 ?了解二极管(包括稳压管)的V-I特性及主要性能指标 (三)教学要点: ?从半导体材料的基本结构及PN结的形成入手,重点介绍PN结的单向导 电工作原理、 ?二极管的V-I特性及主要性能指标 1.1 半导体的基本知识 1.1.1 半导体材料 根据物体导电能力(电阻率)的不同,来划分导体、绝缘体和半导体。导电性能介于导体与绝缘体之间材料,我们称之为半导体。在电子器件中,常用的半导体材料有:元素半导体,如硅(Si)、锗(Ge)等;化合物半导体,如砷化镓(GaAs)等;以及掺杂或制成其它化合物半导体材料,如硼(B)、磷(P)、锢(In)和锑(Sb)等。其中硅是最常用的一种半导体材料。 半导体有以下特点: 1.半导体的导电能力介于导体与绝缘体之间 2.半导体受外界光和热的刺激时,其导电能力将会有显著变化。 3.在纯净半导体中,加入微量的杂质,其导电能力会急剧增强。

IMU惯性测量单元

IMU惯性测量单元 【IMU惯性测量单元简单介绍】 (英文:Inertial measurement unit,简称IMU)是测量物体三轴姿态角(或角速率)以及加速度的装置。 一般的,一个IMU包含了三个单轴的加速度计和三个单轴的陀螺,加速度计检测物体在载体坐标系统独立三轴的加速度信号,而陀螺检测载体相对于导航坐标系的角速度信号,测量物体在三维空间中的角速度和加速度,并以此解算出物体的姿态。在导航中用着很重要的应用价值。 为了提高可靠性,还可以为每个轴配备更多的传感器。一般而言IMU要安装在被测物体的重心上。 【IMU惯性测量装置的工作原理】 IMU惯性测量装置属于捷联式惯导,该系统有两个加速度传感器与三个方向的角速率传感器(陀螺)组成。 以当地水平指北系统为例,惯性平台始终保持地平坐标系,安装在平台上的3个互相正交的加速度计分别测出沿东西、南北和垂直方向的加速度分量,并输入计算机。在消除加速度计误差、重力加速度和由于地球自转产生的科里奥利加速度影响后,得出运载体相对地平坐标系的位移加速度分量,再就t(从起始点到待测点的时间)进行两次积分,并考虑初始速度值,就可解算出相对前一起始点的坐标变化量,同相应起始点的经度λ0、纬度0和高程h0累加,就得到待定点的坐标。 电子计算机除了用观测数据计算点位坐标外,还根据一次积分后的速度分量和已知地球参数(仪器所在点的地球子午圈和卯酉圈曲率半径M和N,地球自转角速度ω),连续计算控制惯性平台的力矩信号W、W 和W,以便实时跟踪所选定的地平坐标系。

垂直加速度计的输出信号,实际是运载体垂直加速度与当地的重力加速度之和。当运载体停止时,它的垂直加速度为零,这时从中消除非重力加速度之后,就得到当地的重力加速度。 运载体在运动过程中,由计算机通过陀螺仪控制惯性平台,不断地按参考椭球面的曲率进动。由于加速度计误差、陀螺仪漂移和垂线偏差变化等因素的影响,运载体到达待测点停止时,平台将不平行于当地水平面,两个水平加速度计的输出不等于零。消除加速度计误差和陀螺仪漂移后,就得到相对于前一点的垂线偏差变化分量Δ和Δη的输出,加上前一点已知的垂线偏差分量0 和η0,便得出待测点的垂线偏差分量和η。 惯性平台的指北方位基准由方位传感器传递,经计算机可随时显示平台外壳光学镜面法线的方位角Q,需要时可用自准直光学经纬仪引出。 【IMU惯性测量单元测量精度】 惯性测量的精度主要受加速度计和陀螺仪的影响,在行进过程中,采用运载体每隔相等时间停下来的方法,以提高测量精度。当运载体停止时,其运动加速度和速度应精确为零,利用这一信息,可以检核和改正前段随时间积累的误差,这一操作称为“零速更新”。 【IMU惯性测量单元特点】 安装在运载体上的惯性测量系统,不依赖外界的其他辅助设备,能快速而独立地测量多种定位和地球重力场参数,使作业效率大大提高。该系统可以全天候工作,不受大气折射的影响,不要求相邻待测点之间通视,克服了传统大地测量所受的自然条件的限制。因此,惯性测量系统为大地控制网的加密和快速定位开辟了新的途径。惯性测量系统的缺点是仪器结构复杂,造价较高,维护工作繁重。但它仍是一种能满足军事测绘要求的全天候快速测量仪器。

【免费下载】常用半导体器件及应用单元测验附答案

项目六 常用半导体器件及应用 班级 姓名 成绩 一、填空题:(35分) 1.制作半导体器件时,使用最多的半导体材料是 硅 和 锗 。 2.根据载流子数目的不同,可以将半导体分为 本征半导体 、 P 型半导体 和 N 型半导体 三种。 3.PN 结的单向导电性是指:加正向电压 导通 ,加反向电压 截止 。PN 结正偏是指P 区接电源 正 极,N 区接电源 负 极。 4.半导体二极管由一个 PN 结构成,它具有 单向导电 特性。 5.硅二极管的门坎电压是 0.5V ,正向导通压降是 0.7V ;锗二极管的门坎电压是 0.2V ,正向导通压降是 0.3V 。 6.半导体稳压二极管都是 硅 材料制成的。它工作在 反向击穿 状态时,才呈现稳压状态。 7.晶体三极管是由三层半导体、两个PN 结构成的一种半导体器件,两个PN 结分别为 发射结 和 集电结 ;对应的三个极分别是 发射极e 、 基极b 、 集电极c 。 8.半导体三极管中,PNP 的符号是 ,NPN 的符号是 。9.若晶体三极管集电极输出电流I C =9 mA ,该管的电流放大系数为β=50,则其输入电流I B =_0.18_mA 。10.三极管具有电流放大作用的实际是:利用 基极 电流实现对 集电极 电流的控制。因此三极管是 电流 控制型器件。11.三极管的输出特性曲线可分为三个区域,即_放大_区,__饱和_区和_截止_区。12.放大电路静态工作点随 温度 变化而变化, 分压式 偏置电路可较好解决此问题。13.对于一个晶体管放大器来说,一般希望其输入电阻要 大 些,以减轻信号源的负担,提高抗干扰能力;输出电阻要 小 些,以增大带动负载的能力。二、判断题:(10分,将答案填在下面的表格内) 题号12345678910答案××√××√√×√× 1.P 型半导体带正电,N 型半导体带负电。( ) 2.半导体器件一经击穿便即失效,因为击穿是不可逆的。( ) 3.桥式整流电路中,若有一只二极管开路,则输出电压为原先的一半。( ) 4.用两个PN 结就能构成三极管,它就具有放大作用。( ) 5.β越大的三极管,放大电流的能力越强,管子的性能越好。 6.三极管和二极管都是非线性器件。( ) 7.三极管每一个基极电流都有一条输出特性曲线与之对应。( )等多项对全系统启备高中免不

坝体地震惯性力计算

坝体地震惯性力计算 采用拟静力法计算,由《水工建筑物抗震设计规范》知,一般情况下,水工建筑物可只考虑水平向地震作用。沿水平面的地震惯性力代表值: g a G a F i Ei h i ξ= (1) 式中:i F ——作用在质点i 的水平向地震惯性力代表值,KN ; h a ——水平向设计地震加速度代表值,m/s 2; ξ——地震作用的效应折减系数; Ei G ——集中在质点i 的重力作用标准值,KN ; i a ——质点i 的动态分布系数,由下式计算: ∑=++=n j j E Ej i i H h G G H h a 14 4 )/(41)/(414.1 (2) 式中:n ——坝体计算质点总数; H ——坝高,m ; i h 、j h ——分别为质点i 、j 相对坝基面的高度,m ; E G ——产生地震惯性力的建筑物总重力作用标准值,KN 由《水工建筑物抗震设计规范,DL5073-2000》知,一般情况下,水工建筑物可只考虑水平向地震作用。根据设计资料,本设计可取设计烈度等于基本烈度,即为7度,由《水工建筑物抗震设计规范,DL5073-2000》表4.3.1查得:水平向设计地震加速度代表值h a =0.1g ,地震作用的效应折减系数ξ=0.25,则i Ei i a G F 025.0= 关于分块,可以参照下图分成3块,n=3,H=坝高, 第一块:坝顶至1-1剖面为矩形;GE1,h1为第一块矩形形心至坝基面(3-3)的高度。 第二块:1-1剖面至2-2剖面为梯形;GE2, h2为第二块梯形形心至坝基面(3-3)的高度。 第三块:2-2剖面至3-3剖面为梯形;GE3, h3为第三块梯形形心至坝基面(3-3)的高度。 i a ——质点i 的动态分布系数,由下式计算: 43134 114(/)1.414(/)Ej j j E h H a G h H G =+=+∑

惯性组合测量方法

惯性组合测量方法 无陀螺惯性测量组合是指惯性测量组合中不使用陀螺测量角速度,而是利用线加速度计测量线加速度的同时,根据线加速度计的空间位置组合解算出角速度,从而得到惯性测量的全部参数,达到惯性导航的目的。 加速度计是无陀螺惯性测量组合的核心元件,然而加速度计在实际使用中不可避免的存在多种误差,其中有器件本身误差项刻度因子误差、偏置、噪声以及安装误差,包括位置误差和方位误差,仿真结果表明,它们是加速度计输出误差的主要来源。 本设计在12加速度计惯性测量组合实物模型及硬件采集电路的基础上,主要对加速度计的刻度因子,固定偏置,噪声以及加速度计的方位误差和安装误差进行分析并进行补偿。 该系统通过硬件采集电路将原始加速度计阵列输出的模拟信号转换成数字信号,并存储到FLASH存储器中,然后将数据通过USB接口传回计算机。通过软件进行数据的分析和处理。 实验系统采用4个三轴加速度计ADXL330构成的加速度计阵列来敏感加速度信号,按照上述配置方案进行配置。信号采集部分主要采用FPGA-XC2S30作为中心控制单元,运用高精度运算放大器OPA4340构建信号调理电路,以两片16位、六通道同步A/D转换器ADS8365完成十二路模拟信号的转换,最大同步转换速率可以达到250kSPS。整个系统由FPGA控制控制FLASH存储器将转换后数据进行存储,并完成包括电源管理、数据采集、存储及读数操作。另外,通过VC++6.0编制的上位机软件实现数据采集处理。 该方案中应用了四片三轴加速度计传感器ADXL330,其三个敏感轴互相垂直,分别安装在惯组质心、X轴、Y轴和Z轴正向,其位置和敏感方向如图所示。 在图中,A1~A12代表加速度计1~12的敏感方向。加速度计1~12的安装位置向量表达式分别为:[0;0;0]、[r;0;0]、[0;r;0]、[0;0;0]、[0;0;r]、[0;r;0]、[0;0;0]、[0;0;r]、[r;0;0]、[0;0;r]、[r;0;0]、[0;r;0],r为距离质心的距离,其值为0.041米。加速度计1~12的安装方

有关惯性力的论述

20406080一月 二月 三月四月 亚洲区欧洲区北美区

20406080一月 二月 三月四月 亚洲区欧洲区北美区 有关惯性力以及科里奥利力的论述 【摘要】: 惯性力是指当物体加速时,惯性会使物体有保持原有运动状态的倾向,若是以该物体为坐标原点,看起来就仿佛有一股方向相反的力作用在该物体上,因此称之为惯性力,而科里奥利力也不存在,是惯性的结果。 【关键词】: 惯性,惯性力,科里奥利力,惯性参考系,非惯性参考性。 【引言】: 惯性力实际上并不存在,实际存在的只有原本将该物体加速的力,因此惯性力又称为假想力。它概念的提出是因为非惯性系中,牛顿运动定律并不适用。但是为了思维上的方便,可以假象在这个非惯性系中,除了相互作用所引起的力之外还受到一种由于非惯性系而引起的力——惯性力。 如果物体相对于匀角速度转动的参考系而言,不是静止的,而是在做相对运动,那么在该转动参考系中的观测者看来,物体除了受到惯性离心力的作用外,还将受到另外一种附加的力——科里奥利力的作用。 【内容】: 一、首先论述一下惯性力 1、 举个例子,当我们乘坐汽车时,如果汽车急刹车,我们会不自主的向前倾,感觉仿佛有一个力把你向前推,但是这个力并不真正存在,人们把这个力认为是惯性力。

20406080一月 二月 三月四月 亚洲区欧洲区北美区 事实是:汽车刹车时轮胎与地面摩擦而使汽车减速,实际上并没有力推乘 客,这只是惯性在不同坐标系统下的现象。 2、 假如这里脱离了任何天体的引力,飞船在靠惯性飞行。那么飞船里的人和一切物体都处于“失重”状态,可以飘在空中,从手里松开的任何东西也不会往下落。如果飞船又开动了火箭,以一定的加速度 向前飞行,那么飞船里的人又感到有了“重量”,原来在空中漂浮的东西又纷纷加速下落,这说的是物体受到惯性力加速下落的情形。 3、 惯性力的引入是牛顿力学的一大耻辱,它是为了弥补在非惯性参考系中物体的运动不满足牛顿运动定律而引入的假想力。 4、 设想有一静止的火车,车厢内一光滑桌子上放有一个小球,小球本来是静止的;现在火车开始加速启动,在地面上的人(显然他选用了一个惯性参考系——地面)看来,小球并没有运动,但是在火车上的人看

基于MEMS技术的惯性测量器件及系统的发展现状和应用_文炜

控制与制导 本文2006-04-12收到,作者文炜系中国航天科工集团三院三部助理工程师 基于ME M S 技术的惯性测量器件 及系统的发展现状和应用 文  炜 ▲ M E M S 系统示意图 摘 要 简要描述了M E M S 系 统的特点,介绍了基于M E M S 技术的惯性测量器件及系统在国外的发展现状及应用情况,从武器系统低成本、小型化、高可靠性的发展趋势说明了武器系统中使用M E M S 技术的必要性,同时根据武器系统对惯性测量器件的要求,通过国外武器系统中的成功应用说明了M E M S 技术在飞航导弹或无人机的控制系统中使用的可行性,最后针对国内M E M S 技术的发展情况,对M E M S 惯性测量器件及系统在武器系统中的应用提出了相关要求。 关键词 M E M S 惯性传感器 惯性测量系统 武器系统 概 述 M E MS (M icro -E l e ctro -M e -chanical Syste m s )即微机电系统,它属于多学科交叉的新领域,是融合微电子与精密机械加工的技 术,集微型机构、传感器信号处理、控制等功能于一体的、具有信息获取、处理和执行等多功能的系统。完整的ME M S 是由微传感器、微执行器、信号处理和控制电路、通讯接口和电源等部件组成的一体化的微型器件系统。 其目标是把信息的获取、处理和执行集成在一起,组成具有多功 能的微型系统,集成于大尺寸系统中,从而大幅度地提高系统的自动化、智能化和可靠性水平。基于ME M S 技术生产的M E M S 器件具有体积小、质量轻、成本低、抗冲击、可靠性高等优点,在汽车、电子、家电、机电等行业以及军事领域有着极为广阔的应用前景。 飞航导弹或无人机的控制系统一般采用自动驾驶仪或惯性导航系统两种形式,而这两种系统均大量采用惯性传感器,其中自动驾驶仪的惯性传感器为陀螺仪,惯性导航系统的惯性传感器 为加速度计和陀螺仪。采用ME M S 惯性传感器或惯性测量系统可以在一定程度上降低成本、减小体积、提高性能并降低功耗。 1 ME M S 传感器的发展及应用 ME M S 技术自从20世纪80年代出现以来引起了世界各国的高度重视,西方国家尤其是美国投入了大量的资金及研究人员进入这一领域。美国德雷泊实验室、喷气推进实验室、利顿公司,德国LI T EF 公司、法国SA -GE M 公司、模拟器件公司及俄罗斯维克托公司等都在ME M S 惯性器件、ME MS -I M U 和低成本 DOI 牶牨牥牣牨牰牫牫牳牤j 牣issn 牣牨牥牥牴牠牨牫牨牴牣牪牥牥牰牣牥牴牣牥牨牴

2章 常用半导体器件及应用题解

第二章常用半导体器件及应用 一、习题 2.1填空 1. 半导材料有三个特性,它们是、、。 2. 在本征半导体中加入元素可形成N型半导体,加入元素可形成P型半导体。 3. 二极管的主要特性是。 4.在常温下,硅二极管的门限电压约为V,导通后的正向压降约为V;锗二极管的门限电压约为V,导通后的正向压降约为V。 5.在常温下,发光二极管的正向导通电压约为V,考虑发光二极管的发光亮度和寿命,其工作电流一般控制在mA。 6. 晶体管(BJT)是一种控制器件;场效应管是一种控制器件。 7. 晶体管按结构分有和两种类型。 8. 晶体管按材料分有和两种类型。 9. NPN和PNP晶体管的主要区别是电压和电流的不同。 10. 晶体管实现放大作用的外部条件是发射结、集电结。 11. 从晶体管的输出特性曲线来看,它的三个工作区域分别是、、。 12. 晶体管放大电路有三种组态、、。 13. 有两个放大倍数相同,输入电阻和输出电阻不同的放大电路A和B,对同一个具有内阻的信号源电压进行放大。在负载开路的条件下,测得A放大器的输出电压小,这说明A 的输入电阻。 14.三极管的交流等效输入电阻随变化。 15.共集电极放大电路的输入电阻很,输出电阻很。 16.射极跟随器的三个主要特点是、、。 17.放大器的静态工作点由它的决定,而放大器的增益、输入电阻、输出电阻等由它的决定。 18.图解法适合于,而等效电路法则适合于。 19.在单级共射极放大电路中,如果输入为正弦波,用示波器观察u o和u i的波形的相位关系为;当为共集电极电路时,则u o和u i的相位关系为。 20. 在NPN共射极放大电路中,其输出电压的波形底部被削掉,称为失真,原因是Q点(太高或太低),若输出电压的波形顶部被削掉,称为失真,原因是Q 点(太高或太低)。如果其输出电压的波形顶部底都被削掉,原因是。 21.某三极管处于放大状态,三个电极A、B、C的电位分别为9V、2V和1.4V,则该三极管属于型,由半导体材料制成。 22.在题图P2.1电路中,某一元件参数变化时,将U CEQ的变化情况(增加;减小;不变)填入相应的空格内。 (1) R b增加时,U CEQ将。 (2) R c减小时,U CEQ将。 (3) R c增加时,U CEQ将。 (4) R s增加时,U CEQ将。 (5) β增加时(换管子),U CEQ将。

微纳系统中的可持续自供型电源能源研究中的新兴领域

2010年第55卷第25期:2472~2475 https://www.360docs.net/doc/f017540413.html, https://www.360docs.net/doc/f017540413.html, 英文引用格式: Wang Z L. Sustainable self-sufficient power source for micro/nano-systems: A new field in energy research (in Chinese). Chinese Sci Bull (Chinese Ver), 2010, 55: 2472—2475, doi: 10.1360/972010-1295 进展 《中国科学》杂志社 SCIENCE CHINA PRESS 微纳系统中的可持续自供型电源:能源研究中的 新兴领域 王中林①② ①Georgia Institute of Technology, Atlanta, GA 30332-0245, USA; ②华中科技大学武汉光电国家实验室(筹), 武汉 430074 E-mail: zlwang@https://www.360docs.net/doc/f017540413.html, 2010-07-09收稿, 2010-07-19接受 国家自然科学基金(40830636, 40671034)和中国科学院资源环境领域野外台站研究基金资助项目 摘要自从手提电脑和手机等个人可移动电子产品普及以后, 解决小范围的用电显得格 外重要. 我们目前主要靠的是蓄电池. 在未来不久, 由于微纳系统的发展以及它们在原位 人体健康的实时监测、基础设施的监测、环境监测、物联网以及军事技术上的应用, 传统 的利用蓄电池来提供电源的方法将不能满足或不能适应传感器网络的工作环境和要求. 在2005年, 作者提出了自驱动的概念, 其根本是利用从环境中收集的能量, 通过能量转换 来驱动这些微纳系统, 实现功率自给. 本文介绍作为微纳系统中可持续自供型电源的一种 ——纳米发电机的研究和未来应用. 关键词 自驱动的纳米技术 纳米发电机 微纳系统中可持续 自供型电源 传感器网络 物联网 传统的能源研究和开发主要可以分为五大方面: 大范围能源的产生和转换; 可持续绿色能源的开发; 电力的有效传输和智能电网; 电能的高密度储存; 有效节能技术和能源回收. 我们对电能的需求绝大 部分集中在工业用电、交通运输、建筑、家庭和办公 用能. 这些对能源的需求可以靠大范围的电网来满 足. 然而, 自从手提电脑和手机等个人可移动电子产 品普及以后, 解决小范围的用电显得格外重要. 我们 目前主要靠的是蓄电池. 在未来不久, 由于微纳系统 的发展以及它们在原位人体健康的实时监测、基础设 施的监测、环境监测、物联网以及军事技术上的应用, 传统的利用蓄电池来提供电源的方法就有可能不能 满足或不能适应具体的工作环境和要求, 原因如下: 其一, 微纳系统的尺寸越来越小, 将来限制整个系统 大小的是电源而不是其他器件; 其二, 将来实现全方 位的监测所用到的微纳系统的数目和密度相当之浩 大, 而且这些系统是可移动的, 利用更换电池的方案 可能是不实际的或者不可取的; 其三, 驱动微纳系统 的功率源的功率非常之小, 一般都在毫瓦到微瓦级. 例如心脏起搏器的运转功率是大约5毫瓦, 蓝牙发射 器的工作功率也是微瓦级. 如果我们把所有的驱动 微纳系统的电源的总功率加在一起, 所需总电量也 较小, 但这种特殊的能源是传统供电方法所不能满 足的. 因此, 作者在2005年就提出了自驱动的概念 (self-powered nanotechnology)[1,2], 其根本是利用从 环境中收集的能量, 通过能量转换来驱动这些微纳 系统, 实现功率自给. 纳米技术是把系统和器件做得 小, 例如纳米探测器、纳米电动机, 而自驱动是解决 它们的能源需求. 我们称这种能源是一种微纳系统 中可持续自供型电源(sustainable self-sufficient power source for micro/nano-systems). 而今自驱动的概念已 经成为世界非常活跃的研究领域. 1 自驱动微纳系统的运转模式和可行性 自驱动的微纳系统将在生物传感、环境和基础设 施监测、传感器网络和物联网中扮演重要的角色. 这

常用半导体器件习题考答案

第7章 常用半导体器件 习题参考答案 7-1 计算图所示电路的电位U Y (设D 为理想二极管)。 (1)U A =U B =0时; (2)U A =E ,U B =0时; (3)U A =U B =E 时。 解:此题所考查的是电位的概念以及二极管应用的有关知识。从图中可以看出A 、B 两点电位的相对高低影响了D A 和D B 两个二极管的导通与关断。 当A 、B 两点的电位同时为0时,D A 和D B 两个二极管的阳极和阴极(U Y )两端电位同时为0,因此均不能导通;当U A =E ,U B =0时,D A 的阳极电位为E ,阴极电位为0(接地),根据二极管的导通条件,D A 此时承受正压而导通,一旦D A 导通,则U Y >0,从而使D B 承受反压(U B =0)而截止;当U A =U B =E 时,即D A 和D B 的阳极电位为大小相同的高电位,所以两管同时导通,两个1k Ω的电阻为并联关系。本题解答如下: (1)由于U A =U B =0,D A 和D B 均处于截止状态,所以U Y =0; (2)由U A =E ,U B =0可知,D A 导通,D B 截止,所以U Y =E ? +9 19=109E ; (3)由于U A =U B =E ,D A 和D B 同时导通,因此U Y =E ?+5.099=1918E 。 7-2 在图所示电路中,设D 为理想二极管,已知输入电压u i 的波形。试画出输出电压u o 的波形图。 解:此题的考查点为二极管的伏安特性以及电路的基本知识。 首先从(b )图可以看出,当二极管D 导通时,电阻为零,所以u o =u i ;当D 截止时,电阻为无穷大,相当 于断路,因此u o =5V ,即是说,只要判断出D 导通与否, 就可以判断出输出电压的波形。要判断D 是否导通,可 以以接地为参考点(电位零点),判断出D 两端电位的高 低,从而得知是否导通。 u o 与u i 的波形对比如右图所示: 7-3 试比较硅稳压管与普通二极管在结构和运用上有 何异同 (参考答案:见教材) 7-4 某人检修电子设备时,用测电位的办法,测出管脚①对地电位为-;管脚②对地电位

MEMS惯性测量单元测试标定方法研究

MEMS惯性测量单元测试标定方法研究 随着微机械系统的发展和集成电路制造工艺的快速进步,微惯性技术在导航学科中占据了越来越重要的地位。微惯性测量单元借助于自身成本低、体积小、自主性强等优势,在军民用导航领域都发挥着越来越重要的作用。因此,国内外许多科研和教育单位都更加重视微惯性系统的开发与应用。然而,目前常见的MEMS 惯性测量单元的测量精度都相对比较低,现今着重研究如何合理利用科学方法来提升MEMS惯性测量单元的精度有着极其重大的意义。 设计制造测试标定设备,建立MEMS惯性测量单元正确的数学模型,设计更加简捷快速的标定测试方法,是提高MEMS惯性测量单元精度的重要途径,本文主要针对实验室自制的MEMS惯性测量单元展开误差建模和标定技术研究。首先,根据MEMS惯性测量单元的标定测试需求从机械结构、软硬件设计等各方面详细介绍了实验室自制的标定测试设备。其次,分析了MEMS惯性测量单元的误差特性,详细介绍了各个误差参数对MEMS惯性测量单元的影响。针对随机噪声对MEMS惯性测量单元精度影响较大的实际情况,采用Allan方差法定量分析了MEMS陀螺仪的五种主要噪声。 然后,根据MEMS惯性测量单元的特点,分别建立了MEMS陀螺仪和加速度计的误差模型,对MEMS惯性测量单元的分立标定方法进行了详实介绍,并推导了数据处理公式。基于实验室自制的三轴测试标定实验设备,设计了MEMS陀螺的速率实验和加速度计的静态多位置实验,并进行了分立标定实验验证了所用方法的实用性。最后,根据捷联导航误差方程和Kalman滤波器模型建立了合适的状态方程和量测方程,选择合适的MEMS惯性测量单元系统级标定位置编排。根据设计的转停路径进行了MEMS陀螺惯性测量单元的系统级标定实验。 通过测试实验证明了所提出标定方法的有效性。

基于惯性传感器的机器人姿态监测系统设计说明

基于惯性传感器的机器人姿态监测系统设计 一、设计背景 空间飞行器的惯性测量系统、机器人的平衡姿态检测、机械臂伸展确定等许多方面都需要测量物体的倾斜和方向等姿态参数。机器人的运动过程中要不断的检测机器人的运动状态,以实现对机器人的精确控制。.本文研究的基于MEMS 惯性传感器姿态检测系统用于检测自平衡机器人运动时姿态,以控制机器人的平衡。 随着微机电系统(MEMS)技术的发展,采用传感器应用到姿态检测系统上的条件变得成熟。基于 MEMS 技术的加速度传感器和陀螺仪具有抗冲击能力强、可靠性高、寿命长、成本低等优点,是适用于构建姿态检测系统的惯性传感器。利用MEMS 陀螺仪和加速度传感器等惯性传感器组成的姿态检测系统,能够通过对重力矢量夹角和系统转动角速度进行测量,从而实时、准确地检测系统的偏转角度。 由于惯性传感器随着时间、温度的外界变化,会产生不同程度的漂移。通过对陀螺仪和加速度计的采集数据进行数据融合,测量的角度与实际的角度相吻合,取得了良好的控制效果。同时该系统具有独立,易用的特点,其应用前景广泛。 二、基本原理 在地球上任何位置的物体都受到重力的作用而产生一个加速度,加速度传感器可以用来测定变化或恒定的加速度。把三轴加速度传感器固定在物体上,在相对静止状态下,当物体姿态改变时,加速度传感器的敏感轴相对于重力场发生变化,加速度传感器的三个敏感轴分别输出重力在其相应方向产生的分量信号。 当系统处于变速运动状态时,由于加速度传感器同时受到重力加速度和系统自身加速度的影响,其返回值是重力加速度同系统自身加速度的矢量和。对加速度传感器温度漂移及系统振动和机械噪声等方面的考虑,加速度传感器不能独立运用测量系统的姿态。陀螺仪能够提供瞬间的动态角度变化,由于其本身的固有特性、温度及积分过程的影响,它会随着工作时间的延长产生漂移误差。因此对

微纳系统及其最新应用

MEMS系统及其封装技术的研究报告 微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)是以微细加工技术为基础,将微传感器、微执行器和电子线路、微能源等有机组合在一起的微机电器件、装置、或系统。微机电既可以根据电路信号的指令控制执行元件,实现机械驱动,也可以利用传感器探测或接受外部信号。传感器将转换后的信号经电路处理后,再由执行器转换为机械信号,完成命令的执行。可以说,MEMS技术是一种获取、处理和执行操作的集成技术,它是一种多学科交叉的前沿性领域,几乎涉及到自然及工程科学的所有领域,例如电子、机械、材料和能源。但是,由于对MEMS封装的认识一直落后于MEMS器件的研究,封装已成为妨碍MEMS商业化的主要技术瓶颈。 一、MEMS系统的特点、存在的问题 与常规机电系统相比,MEMS系统的主要优点包括:系统微型化,MEMS器件体积小,精度高、重量轻,尺寸精度可达到纳米量级;制造材料性能稳定,MEMS的主要材料是硅;批量生产成本低;能耗低,灵敏度和工作效率高;集成化程度高等。 但是,按照摩尔定律的预测,在不断追求电子元器件的高集成度、高密度的同时,MEMS 系统也存在一些问题,例如尺寸效应;材料性能主要是对于MEMS硅衬底上的薄膜的机械性能和电性能的分析;黏附问题;静电力问题;摩擦问题;检测问题;薄膜应力以及表面粗糙度问题。 二、MEMS封装 MEMS封装的分类方式有两种:一种是按封装材料分,可分为金属封装、陶瓷封装和塑料封装;另一种是按密封特性分,可分为气密封装和非气密性封装。通常金属封装和陶瓷封装为气密封装,而塑料封装为非气密封装。 1.MEMS封装的自身特性包括以下几点: 1)专用性 MEMS中通常都有一些可动部分或悬空结构,如硅等空腔、梁、沟、槽、膜片甚至是流体部件。 2)复杂性 由于多数MEMS封装外壳的负责性,对芯片纯化、封装保护提出了特殊要求。某些MEMS 的封装及其技术比MEMS还新颖,不仅技术难度大,而且对封装环境的洁净度要求更高。 3)空间性 为给MEMS可活动部分提供足够的可动空间,需在外壳上进行刻蚀,或留有一定的槽型及其他形状的空间。 4)保护性 在晶片上制成的MEMS,在完成封装之前,始终对环境的影响极其敏感。MEMS封装的各操作工序(划片、烧结、互联、密封等),需要采用特殊的处理方法,提供相应的保护措施。 5)可靠性 6)经济性 2.几种重要的 MEMS封装技术 MEMS封装经过多年的发展,出现了一些比较完善的封装技术和封装形式,比如键合技术、倒装芯片技术、多芯片封装技术以及3D封装等。 1)键和技术 键合技术是MEMS中最为关键、最具挑战性的技术,由于MEMS器件包含多种立体结构和多种材料层,MEMS元件的键合要比微电子元件困难得多。键合技术分为引线键合和表面键合两种。其中引线键合的作用是从核心元件引人和导出电连接。根据键合时所用能量

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