真空退火炉工安全技术操作规程(新编版)

The prerequisite for vigorously developing our productivity is that we must be responsible for the safety of our company and our own lives.

（安全管理）

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真空退火炉工安全技术操作规程

(新编版)

真空退火炉工安全技术操作规程(新编版)导语：建立和健全我们的现代企业制度，是指引我们生产劳动的方向。而大力发展我们生产力的前提，是我们必须对我们企业和我们自己的生命安全负责。可用于实体印刷或电子存档（使用前请详细阅读条款）。

1.先送水源,检查水源是否畅通,水压р﹥0.lMPa,否则不准开炉。

2.合上总电源,再合上操作电源。

1.开机械泵,分别打开1号、2号闸门。

2.合上真空计总电源,接通热电偶电源,调整好加热电流(电流调为128A)测量真空度。

电流为22mA时真空度为10-1Torr(13.3Pa);

电流为84mA时真空度为10-2Torr(1.33Pa);

电流为98mA时真空度为10-3Torr(0.133Pa)；

电流为10OmA时真空度为10-4Torr(0.0133Pa)。

5.真空度高于1.33Pa以后,打开3号真空阀,使扩散泵内的真空度也达到1.33Pa以上。

6.扩散泵送电加热,约40min以后,泵油加热蒸发,这时关闭2号真空阀,然后再打开高真空阀。

7.真空度高于0.133Pa后关闭“热电偶电源”,打开“电离计电源”,

用电离计测量真空度。

8.把电子电位差计的定针调到要求的温度值,把“PID”调整到规定的比例带和积分、微分时间(比例带为40%～150%,积分时间为6～2.5min,微分时间为5～4min)

9.把电路电源“手动给定”旋钮调到最小,开关打到“自动”位置,把“PID”调节器的“手动”调到最小,开关打到“手动”位置,并接通“PID”电源。

10.电炉送电,调整“PID”的“手动”,使三相电流表的输出指示基本均衡在30～70A。

11.待炉温接近给定值时,把“PID”的炉温控制从“手动”打到“自动”以便进行自动控制。

12.保温时间满足要求后,如工艺要求随炉冷却,可关闭电炉电源。如工艺要求控制冷却,即把“PID”由“自动”打到“手动”,靠“手动”调节冷却。

13.350℃以上不准关闭水源和真空系统,关闭扩散泵时,必须首先关闭高真空阀,然后关闭3号真空阀,打开2号真空阀。

14.关闭机械泵时,先关闭2号真空阀,再关闭电源。

15.炉温高于150℃时,不准放气和打开炉盖。

16.工作过程中一定要严格遵守上述安全技术操作规程,不准脱离岗位,经常注意检查水源、仪器、真空度、电机、变压器、风扇、电表等运行是否正常,发现异常,及时报告处理。

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