第1讲 传感器的输入输出特性
第一章 传感器的基本知识

第一章传感器的基本知识复习思考题1. 简述传感器的概念、作用及组成。
2. 传感器的分类有哪几种?各有什么优缺点?3. 传感器是如何命名的?其代号包括哪几部分?在各种文件中如何应用?4. 传感器的静态性能指标有哪些?其含义是什么?5. 传感器的动态特性主要从哪两方面来描述?采用什么样的激励信号?其含义是什么?1.1 传感器的作用与地位◆世界是由物质组成的,各种事物都是物质的不同形态。
人们为了从外界获得信息,必须借助于感觉器官。
◆人的“五官”——眼、耳、鼻、舌、皮肤分别具有视、听、嗅、味、触觉等直接感受周围事物变化的功能,人的大脑对“五官”感受到的信息进行加工、处理,从而调节人的行为活动。
◆人们在研究自然现象、规律以及生产活动中,有时需要对某一事物的存在与否作定性了解,有时需要进行大量的实验测量以确定对象的量值的确切数据,所以单靠人的自身感觉器官的功能是远远不够的,需要借助于某种仪器设备来完成,这种仪器设备就是传感器。
传感器是人类“五官”的延伸,是信息采集系统的首要部件。
电量和非电量◆表征物质特性及运动形式的参数很多,根据物质的电特性,可分为电量和非电量两类。
◆电量——一般是指物理学中的电学量,例如电压、电流、电阻、电容及电感等;◆非电量——则是指除电量之外的一些参数,例如压力、流量、尺寸、位移量、重量、力、速度、加速度、转速、温度、浓度及酸碱度等等。
◆人类为了认识物质及事物的本质,需要对物质特性进行测量,其中大多数是对非电量的测量。
传感器的作用◆非电量不能直接使用一般的电工仪表和电子仪器进行测量,因为一般的电工仪表和电子仪器只能测量电量,要求输入的信号为电信号。
◆非电量需要转化成与其有一定关系的电量,再进行测量,实现这种转换技术的器件就是传感器。
◆传感器是获取自然或生产中信息的关键器件,是现代信息系统和各种装备不可缺少的信息采集工具。
采用传感器技术的非电量电测方法,就是目前应用最广泛的测量技术。
传感器的地位◆随着科学技术的发展,传感器技术、通信技术和计算机技术构成了现代信息产业的三大支柱产业,分别充当信息系统的“感官”、“神经”和“大脑”,他们构成了一个完整的自动检测系统。
1传感器基本特性

2 2 y kx b 1 0 i i i b
2 x y x i i x i iy i b y k x 2 2 n x x i i
n x y x y xy x y i i i i k 2 2 2 2 n x x x ( x ) i i
③最小二乘线性度:
k xy x y x (x)
2 2
1.98
b y k x 0 . 09
③最小二乘线性度:
k xy x y x (x)
2 2
1.98
b y k x 0 . 09
所以,y kx b 1 . 98 * x 0 . 09
i y i ( kxi b )
衡量传感器特 性的主要技术 指标
误差因素
传感器输入输出作用图
2.1 传感器的静态特性
静态特性表示传感器在被测量各个值处于 稳定状态时的输入输出关系。也即当输入 量为常量,或变化极慢时的输入输出关系。
1.线性度 (Linearity)
传感器的输入输出成线性关系的程度。
1.线性度 (Linearity)
将k和b代入拟合直线方程,即可得到拟合直线,然后求出残差 的最大值Lmax即为非线性误差。
最小二乘法的拟合精度很高,但最大偏 差的绝对值不一定最小,最大正负偏差 的绝对值也不一定相等。
2.灵敏度
传感器输出的变化量Δy与引起该变化量的输入变化量 Δx之比 为静态灵敏度,其表达式为
K=Δy/Δx
线性传感器的灵敏度就是其静态特性曲线的斜率。它是一常数, 与输入量大小无关。 非线性传感器的灵敏度是一变量。 灵敏度实质上是一个放大倍数。 通常用拟合直线的斜率表示系统的平均灵敏度。
第一章 传感器的一般特性2zz

7、漂移
漂移是指传感器的被测量不变,而其输出 量却发生了不希望有的改变。
y 灵敏度漂移
零点漂移 灵敏度漂移 时间漂移(时漂) 温度漂移(温漂)
2 1 零点漂移 O x
8 分辨力和阈值
(1)阈值:当传感器的输入从零开始缓慢增加时, 只有在达到了某一值后,输出才发生可观测的变化,这 个值说明了传感器可测出的最小输入量,称为传感器的 阈值。 (2)分辨力:当传感器的输入从非零的任意值缓慢 增加时,只有在超过某一输入增量后,输出才发生可观 测的变化,这个输入增量称为传感器的分辨力。
取较大者为
RMax
ΔRmax2 ΔRmax1
R ( R Max yFS ) 100%
x
6.稳定性 稳定性表示传感器在较长时间内保持 其性能参数的能力,故又称长期稳定性。 稳定性可用相对误差或绝对误差表示。 表示方式如: 个月不超过 %满量程输 出。有时也采用给出标定的有效期来表示。
第一章 传感器的一般特性
在工程应用中,任何测量装置性能的优劣总要 以一系列的指标参数衡量,通过这些参数可以方便地 知道其性能。这些指标又称之为特性指标。 传感器可看作二端口网络,即有两个输入端和 两个输出端,输出输入特性是其基本特性,可用静态 特性和动态特性来描述。
输入
传感器
输出
1. 1 传感器的静特性
九、抗干扰能力
设计、选用、购买
1、量程和范围
传感器所能测量的最大被测量(输入量)的数值称为测量上
限,最小被测量称为测量下限,上限与下限之间的区间,则 称为测量范围。
量程---测量上限与下限的代数差。
测量范围为-20~+20℃,量程为40℃; 测量范围为-5~+10g,量程为15g; 测量范围为100~1000Pa,量程为900Pa;
1 传感器的基础知识-半导体传感器原理与应用-李新-清华大学出版社

线性模型: y=a0+a1x或y=ax ➢ 动态模型(输入信号随时间变化): 微分方程
and n y / dtn a1dy / dt a0 y bmd mx / dtm b1dx / dt b0x c
当传感器的数学模型初值为0时,对其进行拉氏变换,可得
1、传感器的基础知识
取决于传感器本身,可通过传感器本身的改善来加以抑制, 有时也可以对外界条件加以限制。
冲振
外界影响
温度
电磁场
电源
输入
输出
Sensor
线性 迟滞 重复性
温漂 稳定性(零漂) 灵敏度
衡量传感器特性的主要技术指标
传感器的输入-输出关系
1、传感器的基本特性
➢ 传感器的数学模型 指传感器的输入输出关系。 ➢ 传感器的静态模型(输入信号不随时间变化):
➢最小二乘法线性度
设拟合直线方程: y=kx+b
y
yi
若实际校准测试点有n个,则第i个校准
数据与拟合直线上响应值之间的残差为 0
Δi=yi-(kxi+b)
y=kx+b
xI
x
最小二乘拟合法
最小二乘法拟合直线的原理就是使 2i 为最小值,即
n
n
2
2i yi kxi b min
i 1
i 1
2i 对k和b一阶偏导数等于零,求出b和k的表达式
规定工作条件下,环境温度每变化1℃,零点输出变化(灵敏度变化) 与满量程输出(灵敏度)之比,称为零点温漂(灵敏度温漂)。
➢ 精度 表征测试系统的测量结果与被测量真值的符合程度。
方和根表示法:
传感器的工作原理输出特性差动整流电路和相敏检波电路PPT课件

变隙差动变压器电感式传感器的等 效电路
第34页/共81页
当r1a<<ωL1a,r1b<<ωL1b时,如果不考虑铁芯与衔铁中
的磁阻影响,可得变隙式差动变压器输出电压Uo的表达
式,即
Uo
b a b a
N2 N1
Ui
分析:当衔铁处于初始平衡位置时,因δa=δb=δ0, 则Uo=0。但是 如果被测体带动衔铁移动,例如向上移动Δδ(假设向上移动为正) 时,则有δa=δ0-Δδ, δb=δ0+Δδ,代入上式可得
0 A0 2 A2
(4-4)
则式(4-3)可写为
Rm
2 0 A0
(4-5)
联立式(4-1)、 式(4-2)及式(4-5), 可得
L N 2 N 20 A0
Rm
2
(4-6)
第6页/共81页
L N 2 N 20 A0
Rm
2
上式表明:当线圈匝数为常数时,电感L仅仅是磁
路中磁阻Rm的函数,改变δ或A0均可导致电感变化,因 此变磁阻电感式传感器又可分为变气隙厚度δ的传感器
II
(4-1)
根据磁路欧姆定律: IN
Rm
(4-2)
式中, Rm为磁路总磁阻。
气隙很小,可以认为气隙中的磁场是均匀的。 若忽略磁 路磁损, 则磁路总磁阻为
Rm
L1
1 A1
L2
2 A2
2 0 A0
(4-3)
第5页/共81页
通常气隙磁阻远大于铁芯和衔铁的磁阻, 即
2 0 A0
l1
1 A1
2
l2
电感测微仪是用于测量微小尺寸变化很普遍的一种工具,常用于测量 位移、零件的尺寸等,也用于产品的分选和自动检测。
传感器的基本特性

a2,a3,…,an为非线性项待定常数。
传感器的静态特性
若a0 = 0,表示静态特性通过原点。此时静态特性是由线性项(X)和非线性项
(
)叠加而成,一般可分为以下四种典型情况:
a2X2,..a .,nXn
1)理想线性(图1-1a) :
Y a1X
(1-2)
2)具有X奇次项的非线性(图1-1b)
Ya1Xa3X3a5X5...
传感器的静态特性
1.1.2 灵敏度
热电偶温度传感器,在某一时刻温度变化了1℃时,其输出电压变化了5mV,那么其灵敏度应表 示为5mV/℃。
提高传感器的灵敏度,可得到较高的测量精度,但灵敏度愈高,测量范围愈窄,稳定性也往往愈 差。
传感器的静态特性
1.1.3 精度
传感器的精度表示传感器在规定条件下允许的最大引用误差相对于传感器满量程输出的百分比, 可表示为
传感器的静态特性
重复性 是指在同一工作条件下,输入量按同一方向在全测量范围内连续变动多次所得特性 曲线的不一致性。
1.1.6 重复性
传感器的静态特性
重复性:在数值上用正反行程中最大重复差值 计算。即
Lmax
(2~3)Lmax100%(1-11)
k
YFS
为k 重复性为最大 L 正m a 、x反行程重复性偏差。
a a a b b b , 0
,...,
1
n
及
, 均,.为.常.数, 。
01
m
只要对式(1-14)的微分方程求解,便可得到动态响应及动态性能指标。
绝大多数传感器输出与输入的关系均可用零阶、一阶或二阶微分方程来描述。
1.2.1 动态特性的一般数学模型
1.零阶传感器的数学模型
传感器技术应用

6.2.6 硅谐振式压力微传感器 差动输出的微结构谐振式压力传感器
梁谐振子1 梁谐振子2
环形膜 真空罩
边界结构
仪器科学与光电工程学院
School of Instru. Sci. & Opto-electro. Eng.
6.3 智能化传感器
6.3.1 6.3.2 6.3.3 6.3.4 6.3.5 传感器技术智能化的含义 基本传感器 智能化传感器中的软件 典型应用 发展前景
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6.3.4 典型应用 智能化流量传感器系统
批控罐装 流体入 科氏效应 解算 谐振特性 解算 f
闭环 放大器
f
ห้องสมุดไป่ตู้
基本传感器 流体出 设定双组分 密度 信息处理单元 双组份流 体解算 双组分信息
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传感器技术及应用
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主讲教师: 主讲教师:樊尚春 教授 北京航空航天大学
6.2 微机械传感器
6.2.1 6.2.2 6.2.3 6.2.4 6.2.5 6.2.6 概 述 硅电容式集成压力传感器 硅电容式微机械加速度传感器 硅电容式表面微机械陀螺 微机械科氏质量流量传感器 硅谐振式压力微传感器
仪器科学与光电工程学院
第1章 传感器的特性

3.重复性(Repeatability) 传感器在同一工 作条件下输入量 按同一方向(同为 正行程或同为反 行程)作全量程连 续多次变动时所 得特性曲线的不 一致程度。
重复性误差:
Rmax R 100% YFS
△Rmax:正(反)行程中的最大重复偏差
特性曲线一致性好, 重复性就好,误差就小。
3
传感器的特性:传感器所有性质的总称。 传感器的基本特性:输出/输入特性。
概述
静态特性 : 被测参量基本不随时间变化或变化很缓慢时,传 感器的输出/输入特性。
动态特性 :
被测参量随时间变化时 ,传感器的输出/输入特 性。
5
传感器的特性
1.1 传感器静态特性方程与特性曲线 1.2 传感器的静态特性 1.3 传感器的动态特性
取2σ或3σ值即为传感器静态误差。静态误差也 可用相对误差表示,即:
3 100% y FS
静态误差是一项综合性指标,基本上包含了前面 叙述的非线性误差、迟滞误差、重复性误差、灵敏度 误差等。所以也可以把这几个单项误差综合而得,即:
L H R S
2 2 2
(3-3)
32
1.2 传感器静态特性的主要指标
• 由于受很多因素的影响,会引起灵敏度变化从而产生灵敏 度误差,习惯上用相对误差表示
s
k k
100%
• 灵敏度的量纲: 输出的量纲/输入的量纲。V/℃、mv/g、A/g、mv/mm
• 能量控制型传感器,灵敏度与供给sensor的电源电压有关。 例如:100(mv/mm.V) 某位移传感器,当电源电压为1V时,每1mm位移的变化量 引起输出电压变化100mv。
|
温度稳定性(温漂):传感器在外界温度变化情况下输 出量发生的变化,又称为温度漂移。 抗干扰能力稳定性:传感器对各种外界干扰的抵抗能力。
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2.2.2 静态灵敏度
灵敏度:传感器输出变化量与输入变化量之比为静态灵 敏度,其表达式为
S
y x
输出量的变化量 输入量的变化量
2.2 传感器的主要静态性能指标及其计算
2.2.3 分辨率
分辨率:指传感器能够检测到的最小输入增量。对于输 出为数字量的传感器,分辨率可以定义为一个量化单位或 二分之一个量化单位所对应的输入增量,如图所示。使传 感器产生输出变化的最小输入值称为传感器的阈值。
2.2.8.重复性
重复性是指传感器输入按同一方向作全量程连 续多次变动时所得特性曲线不一致的程度。
y YFS
Rmax2
o
Rmax1
R
R max YFS
100%
衡量测量结果分散性 的指标,即随机误差大 小的指标。
x
2.2 传感器的主要静态性能指标及其计算
2.2.9.准确度
准确度(精度):表征测试系统的测量结果与被测量真值 的符合程度,反映了系统误差和随机误差对测试系统的综合 影响。
环境影响——环境温度、湿度、大气压、电源 电压、振动等外界因素变化对测量系统或仪器 示值的影响。
2.2 传感器的主要静态性能指标及其计算
2.2.11 可靠性:装置在规定时期内,及在保持其运行
指标不超限的情况下执行其功能的性能。包括: a) 平均无故障时间(Mean Time Between Failure,
❖ 示值——由测量仪器(设备)给出的量值,也 称测量值或测量结果。
2.2 传感器的主要静态性能指标及其计算
2.2.5 测量误差基本概念 ❖ 测量误差——测量结果与被测量真值之间的差 值。
❖ 误差公理——一切测量都具有误差,误差自始至 终存在于所有科学试验的过程之中。研究误差的 目的是找出适当的方法减小误差,使测量结果更 接近真值。
用测量误差表示:规定了精度等级指数α的产品,α值
越小,精度越高。精度等级由最大引用误差确定,最大引 用误差是绝对误差最大绝对值与满量程之比:
n max
max yFS
100%
2.2 传感器的主要静态性能指标及其计算
2.2.9.准确度
2.2 传感器的主要静态性能指标及其计算
2.2.9.准确度
2 n
n i n 1
xi
2
2n n i n 1 yi
2
(x1, y1) 和 (x2 , y2 )的直线斜率为
k y2 y1 x2 x1
直线在y轴上的截距为
a y1 kx1 或 a y2 kx2
把斜率和截距代入பைடு நூலகம்y = a + kx 中即得到平均选点法拟合直线方程。
x
A ×100%
Ax
3)引用误差——绝对误差与测量仪表量程之比。按最大引用误差将
电测量仪表的准确度等级分为7级,指数a 分别为:0.1,0.2,0.5,
1.0,1.5,2.5,5.0。
n
A ×100% Am
A
nm
m ×100% a% Am
2.2 传感器的主要静态性能指标及其计算
量程选择应使测量值尽可能接近仪表的满刻度值,并尽 量避免让测量仪表在小于1/3量程范围内工作。
2.2 传感器的主要静态性能指标及其计算
2.2.10 稳定性和环境影响
稳定性——在规定工作条件范围内和规定时间 内,保持输入信号不变时,系统或仪器性能保 持不变的能力。通常用测试系统示值的变化量 与时间之比来表示。如一测试仪器输出电压在8 小时内的变化量为1.3mV,则系统的稳定度为 1.3mV/8h;
ymax
ΔLmax
1 2
L
Lmax YFS
100%
0
xmax
式中:YFS=ymax-ymin —— 满量程输出电压
2.2 传感器的主要静态性能指标及其计算
2.2.6 线性度
• 对于非理想直线特性的传感器,需要进行非线
性校正,常采用以下方法。
2.2 传感器的主要静态性能指标及其计算
2.2.6 线性度-端点法
i 1
i 1
拟合直线
( y1 a kx1)2 ( y2 a kx2 )2 L ( yn a kxn )2
2.2 传感器的主要静态性能指标及其计算
2.2.6 线性度-最小二乘法
( a
xi yi )g xi yi g xi2 ( xi)2 ng xi2
a0
y0 T yFS
100%
b)灵敏度温度系数:当温度升高时,系统的灵敏 度变化,温度每升高1℃,灵敏度系数变化的百分比, 称为灵敏度温度系数。
S
y x
输出量的变化量 输入量的变化量
aS
S(T2 ) S(T1) 100% S(T1) T
2.2 传感器的主要静态性能指标及其计算
2.1 传感器静态特性
静态特性:输入量为常量,或变化极慢
n
y f x ai xi i0
y a0 a1 x
y a1 x
y x
0
2 传感器的输入输出特性
2.1 传感器的静态特性 2.2 传感器的主要静态性能指标及其计算 2.3 非线性传感器静态性能指标 2.4 传感器的静态标定 2.5 传感器的动态特性 2.6 一阶传感器的动态特性 2.7 二阶传感器的动态特性
2.2 传感器的主要静态性能指标及其计算
2.2.6 线性度
线性度是指系统标准输入输出特性与拟合直 线的不一致程度,也称非线性误差。传感器的 理想输入—输出特性应是线性的。
2.2 传感器的主要静态性能指标及其计算
2.2.6 线性度
线性度是以一定的拟合直线作基准与校准曲线 作比较,其不一致的最大偏差与理论满量程输出值 的百分比来进行计算:
100%
o x
图3.4 迟滞特性
2.2 传感器的主要静态性能指标及其计算
2.2.7 迟滞
例:一电子秤 增加砝码 10g —— 50g —— 100g —— 200g 电桥输出 0.5mv —— 2mv —— 4mv —— 10mv 减砝码输出 1mv —— 3mv —— 6mv —— 10mv
2.2 传感器的主要静态性能指标及其计算
k
xi g yi n xi yi ( xi )2 n xi2
特点:拟合精度高,计算复杂。
2.2 传感器的主要静态性能指标及其计算
2.2.7 迟滞
迟滞特性说明传感器加载(输入量增大)和卸 载(输入量减小)输入—输出特性曲线不重合的程 度。
y
YFS Hmax
H
=
H max 2yFS
Ux2 Ux2 /Ux2 100% 3/ 200100% 1.5%
2.2 传感器的主要静态性能指标及其计算
2.2.6 线性度
传感器的输入输出关系可以用多项式表示:
Y a0 a1x1 a2x2 ......an xn
其中: X — 输入量, Y — 输出量; a0 — x = 0 时的输出值 a1 — 理想灵敏度 a2, a3…..an —— 非线性项系数
2.2.5 测量误差基本概念
❖ 真值——指被测量在一定条件下客观存在的、 实际具备的量值。真值是不可确切获知的,实 际测量中常用“约定真值”和“相对真值”。 约定真值是用约定的办法确定的真值,如砝码 的质量。相对真值是指具有更高精度等级的计 量器的测量值。
❖ 标称值——计量或测量器具上标注的量值。如标 准砝码上标注的质量数。
2.2 传感器的主要静态性能指标及其计算
2.2.1 测量范围和量程 y
测量上限:传感器所能测 A 量的最大被测 量
测量下限:传感器所能测
量的最小被测
量
a0
范围:用测量上限和测量
下限表示的测 0
量区间
y1FS
y2FS
x xFS
量程:测量上限和测量下限的代数差 E:-3N-+10N
2.2 传感器的主要静态性能指标及其计算
2.2.5 测量误差的表示
所以电测量仪表在使用中的最大可能误差为:
Am Ama%
【例】某1.0级电压表,量程为300V,求测量值Ux分别为
100V和200V时的最大绝对误差ΔUm和示值相对误差
γUx 。
Um 3001.0% 3V
Ux1 Ux1 /Ux1 100% 3/100100% 3%
MTBF):表示相邻两次故障间隔时间的平均值 b) 可信任概率P:表示在给定时间内误差保持在规定
限度内的概率。概率P越大,系统可靠性越高,但是会增 加成本。P的最佳值为0.8~0.9。
c) 故障率或失效率(1/MTBF):平均无故障时间的 倒数。
d) 有效度或可用度A:用MTTR代表平均修复时间 (Mean Time to Repair),若修复时间长,则有效使用 时间短,A表示为 A= MTBF
MTBF+MTTR
2.2 传感器的主要静态性能指标及其计算
2.2.12 符合度
传感器的输入输出特性符合或接近某一参考 曲线的性能。
常常用于描述非线性传感器,参考曲线的形 式较多,针对不同的传感器有不同的选择
2.2 传感器的主要静态性能指标及其计算
2.2.13 总精度
反映的是传感器实际输出在一定的置信概率下 对其理论特性或工作特性的偏离皆不超过一 个范围,是综合评价传感器性能优劣的性能 综合指标
2.2 传感器的主要静态性能指标及其计算
2.2.1 测量范围和量程 2.2.2 静态灵敏度 2.2.3 分辨力与分辨率 2.2.4 零漂及温漂 2.2.5 传感器的测量误差