半导体材料气体检测器XPS-7说明书
【做计算 找华算】【干货】XPS基本原理、仪器结构和使用方法、实验技术、实验实例
表面分析神器丨XPS基本原理、仪器结构和使用方法、实验技术、实验实例X-射线光电子谱仪（X-ray Photoelectron Spectroscopy，简称为XPS），经常又被称为化学分析用电子谱（Electron Spectroscopy for Chemical Analysis，简称为ESCA），是一种最主要的表面分析工具。
XPS作为当代谱学领域中最活跃的分支之一，它除了可以根据测得的电子结合能确定样品的化学成份外，XPS最重要的应用在于确定元素的化合状态。
XPS可以分析导体、半导体甚至绝缘体表面的价态，这也是XPS的一大特色，是区别于其它表面分析方法的主要特点。
此外，配合离子束剥离技术和变角XPS技术，还可以进行薄膜材料的深度分析和界面分析。
基本原理XPS方法的理论基础是爱因斯坦光电定律。
用一束具有一定能量的X射线照射固体样品，入射光子与样品相互作用，光子被吸收而将其能量转移给原子的某一壳层上被束缚的电子，此时电子把所得能量的一部分用来克服结合能和功函数，余下的能量作为它的动能而发射出来，成为光电子，这个过程就是光电效应。
该过程可用公式表示：hγ=E k+E b+E r（1）hγ：X光子的能量（h为普朗克常数，γ为光的频率）；E k：光电子的能量；E b：电子的结合能；E r：原子的反冲能量。
其中E r很小，可以忽略。
对于固体样品，计算结合能的参考点不是选真空中的静止电子，而是选用费米能级，由内层电子跃迁到费米能级消耗的能量为结合能E b，由费米能级进入真空成为自由电子所需的能量为功函数Φ，剩余的能量成为自由电子的动能Ek。
公式（1）还可表示为：E k= hγ- E b-ΦE b= hγ- E k-Φ仪器材料的功函数Φ是一个定值（谱仪的功函数），约为4eV，入射光子能量已知，这样，如果测出电子的动能Ek，便可得到固体样品电子的结合能。
原子能级中电子的结合能(Binding Energy，简称为B.E.)。
气体检测仪器操作说明书
气体检测仪器操作说明书操作说明书一、概述气体检测仪器是一种用于检测和监测环境中气体浓度的设备。
本操作说明书旨在向用户介绍如何正确操作气体检测仪器，以确保准确可靠的气体浓度测量结果。
二、安全注意事项在操作气体检测仪器之前，请务必遵守以下安全注意事项：1. 仪器应由熟悉操作方法的人员操作，提前了解仪器的使用说明。
2. 使用前确保仪器功能正常，并检查是否有损坏或松动的部件。
3. 避免将仪器暴露于高温、湿度过大、有腐蚀性气体的环境中。
4. 操作时应佩戴适当的防护装备，如手套、护目镜等。
5. 若使用中发现任何异常情况，应立即停止使用并联系售后服务。
三、仪器操作流程以下为气体检测仪器的基本操作流程：1. 开始操作前，确保仪器已正确连接电源，并处于工作状态。
2. 检查仪器上显示屏，确认其处于正常工作状态。
3. 根据实际需要选择合适的测量模式，并设置相关参数。
4. 打开待测区域的气阀，允许气体进入仪器。
5. 等待一段时间，直至仪器完成测量过程，并显示出测量结果。
6. 对测量结果进行分析和评估，判断是否达到预定标准或偏离正常范围。
7. 根据实际需要记录测量结果，并进行后续处理。
四、常见故障处理1. 仪器无法开机或无法正常显示- 检查电源连接是否松动或损坏，重新连接或更换电源。
- 如电源正常，可能是仪器内部故障，需联系售后服务。
2. 仪器无法测量气体浓度- 检查传感器是否干净，若有污垢需清洁。
- 检查传感器是否损坏，如有需要更换传感器。
3. 仪器测量结果异常或不稳定- 检查环境是否存在干扰物质，如有需要采取相应措施消除干扰。
- 检查仪器校准是否正确，如需校准，按照校准流程进行操作。
五、养护与维护1. 定期清洁仪器外壳和传感器，避免灰尘和污垢的积聚。
2. 避免将仪器暴露在湿度过大或有腐蚀性气体的环境中，以免损坏仪器。
3. 如长时间不使用仪器，请将其存放在干燥通风的环境中，避免长时间不使用导致零件老化。
六、技术支持与售后服务如在仪器使用过程中遇到任何问题，可随时联系我们的技术支持与售后服务团队。
气体检测专家使用说明书
气体检测专家使用说明书目录注意事项仪器外观仪器包装显示开机倒计时屏幕快速操作指南设置基本流程正常操作气体检测屏幕自标定到现在的时间到达下次标定的时间零点标定(只对有毒气体传感器，氧气标定参见标定步骤)校零失败校零通过标定标定通过标定失败峰值读数TWA 读数STEL 读数生成文件数据记录关机关机密码设定模式简介密码标定启动打印低限报警设置高限报警设置TWA报警设置 1 2 2 3 4 4 4 5 7 7 8 8 9 9 9 10 12 12 13 13 14 14 15 16 16 17 17 18 18 18 19 20 21设定TWA间隔STEL警报设置设置标定气体浓度设置时钟设置日期设置密码设置采样间隔设置初始显示设置常开确认设置警报保持设置现场校零设置现场标定设置标定时间浏览设置标定过期警报设置标定过期设置连接DS2自动管理系统（选购件）数据下载（选购件）故障排除及维护常见问题警报显示电池失效传感器故障仪器故障更换部件更换传感器传感器参数仪器参数质量保证责任限制22 23 24 25 26 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 38 38 39 39 39 39 39 39 40 42 43 43 44 44警告及注意事项重要：某些错误操作和不当环境可能会对仪器性能有所损害，为了保证最大的安全操作，请详细阅读并遵循以下注意事项:重要：操作前仔细阅读和理解本操作手册.警告：使用非本公司替换件可能影响仪器的本安设计.警告：如果使用不当，本仪器使用的锂离子电池可能出现泄漏或爆炸危险，不要对电池进行拆卸或投入火中。
仅对欧洲客户：在30天或以内期间进行标定的条件下，GasBadge Pro已经获得下列认证：1) EN 45544-1 CO 在0-500ppm范围之内；H2S在 0-100 PPM范围之内2) EN 50104 O2 在缺氧和富氧条件下警告：为防止点燃可燃气体，不要在危险环境中对电池充电警告：为防止点燃可燃气体，严格阅读、理解和遵循制造商的维护规程.警告：为防止点燃可燃气体，必须使用经过验证的CR2锂电池GasBadge Pro认证使用的环境温度为-40℃到60℃。
XPA-7光催化反应仪使用说明——陈智琴
XPA-7光催化反应仪使用具体注意细节说明一、实验操作步骤：1. 连接好主体箱、光源控制器→接通冷阱的进、出水管→将选用的光源放入冷阱内直至底部，把灯插头插到主体箱左侧“灯输出”专用插座（20W低压汞灯用水泵插座，用此插座前必须先关水流量计，拔出水泵插座）→调节水流量，开启冷却水→开启光源控制器的总电源→选择对应“灯功率选择”旋钮→开启电机电源→开搅拌反应仪电源→开启灯电源，灯启动。
2. 试验完毕→关闭电源→5分钟后关冷却水。
二、注意事项：1. 石英冷阱1）用于循环冷却灯管发射出来的热量，直接接通自来水接口。
一般使用过程中需要一直开通自来水的开关，保持水的流量适中（转子流量计约为0.4 L/min）；在灯管停止工作后，自来水继续保持接通，10~20 min后方可关闭，以确保石英冷阱充分冷却。
2）冷阱进出水口不要触碰，在使用时间过长后，因实验需要要求取下冷阱时务必小心端头碎裂，一般采取剪掉橡胶管的方式取出。
2. 灯管如需特定波长的光进行实验，可按需要插入不同牌号（选取特定波长的光）和数量（决定光的强度）的滤光片（可插入0～6 块）。
1）300W汞灯（2支）、500W汞灯（1支）+ 紫外滤光片（6片，黑色钢化玻璃），可得到波长为365 nm的紫外光；2）350W氙灯（1支）、500W氙灯（2支）+ 可见光滤波片（6片，浅黄色透明玻璃），可得到波长≥420 nm的可见光（模拟日光灯）；3）500金卤灯（1支）+ 可见光滤波片（6片，浅黄色透明玻璃），可得到纯的可见光，用于测试可见光条件下材料的光催化性能；4）20W低压汞灯，无需滤光片，即可得到波长为254 nm的紫外光；5）灯管使用过程中避免频繁开关，打开之后尽量到实验结束后关闭灯电源开关；6）灯管的插头插在主体箱左侧内壁“灯输出”专用插座，务必保证插头插好，否则可能损坏光源控制器；更换不同灯管时，务必等灯管完全冷却之后取出，并务必轻拿轻放；7）更换灯管时，旋转光源控制器上的“灯功率选择”旋钮，选择对应的光源和功率，以保证灯管正常工作且不损坏光源控制器；8）反应器装有遮光装置，实验时将遮光套拉起，取样时将遮光套放下挡住光照。
气体分析仪器操作说明书
气体分析仪器操作说明书一、概述本操作说明书旨在向用户提供气体分析仪器的正确操作方法和使用注意事项，帮助用户科学合理地运用气体分析仪器从而获得准确可靠的结果。
二、仪器介绍1. 仪器外观及各部件功能气体分析仪器外观应整洁美观，各部件包括显示屏、按键、连接接口等，具体功能请参考仪器的用户手册。
用户在操作仪器前应仔细阅读用户手册以了解每个部件的具体作用。
2. 仪器安装与环境要求在安装气体分析仪器之前，要确保安装环境符合仪器要求。
具体要求包括电源、温度、湿度等，用户应根据仪器的要求准备好相应的环境，并按照仪器的安装说明进行安装。
三、操作步骤以下为气体分析仪器的操作步骤，供用户参考：1. 打开电源使用供应商提供的电源线将仪器连接到稳定的电源插座上，并将电源开关打开。
待仪器启动后，显示屏上会出现相关信息。
2. 设置参数根据需要进行相关参数的设置。
不同的仪器具有不同的参数设置方式，请参考用户手册进行正确设置。
3. 样品准备与输入根据实际需求，准备好待测样品并连接到仪器的样品输入接口。
注意，样品应该是干净、无污染且符合仪器的样品规格要求。
4. 开始分析确认仪器已连接到样品后，按照指示操作，开始进行气体分析。
在此过程中，用户应严格按照仪器要求进行操作，注意观察显示屏上的信息，避免操作错误导致数据不准确。
5. 结果处理与保存分析结束后，仪器通常会提供分析结果。
用户可以根据需要对结果进行处理，并将结果保存至 U 盘、计算机或打印机等储存设备上。
四、使用注意事项为了保证气体分析仪器的正常运行和操作人员的安全，以下是一些使用注意事项：1. 仪器使用前，请仔细阅读用户手册并了解仪器的性能和操作要求。
2. 请确保操作人员具备一定的仪器操作技能，以免操作不当影响分析结果。
3. 在连接样品进样管路和气源时，确保连接口密封可靠。
4. 样品应尽量避免过高温度或压力，以免引起仪器故障或样品质量变化。
5. 仪器使用完毕后，请将电源关闭，避免长时间不使用仪器时造成不必要的能源浪费。
半导体xps参数
半导体xps参数半导体XPS参数引言：半导体XPS（X射线光电子能谱）是一种表征材料表面化学成分和电子状态的分析技术。
它利用X射线照射样品表面，通过测量样品反射出的电子能谱，得到关于元素组成和化学状态的详细信息。
本文将介绍半导体XPS参数的相关内容。
一、能量分辨率（Energy Resolution）能量分辨率是指XPS仪器对于不同能量的电子能够分辨的能力。
通常用电子束缚能级（Binding Energy）的峰宽来表示，峰宽越窄，能量分辨率越高。
能量分辨率对于分析材料表面的化学状态非常重要，它能够提供元素之间的化学键信息。
二、峰形（Peak Shape）峰形是指XPS谱线的形状，通常用高斯分布或洛伦兹分布来拟合。
峰形的好坏直接影响峰面积的准确性和定量分析的可靠性。
较好的峰形能够提供更准确的峰面积信息，从而获得更可靠的定量结果。
三、光源（X-ray Source）XPS仪器中常用的光源是非单色X射线源，如Al Kα源或Mg Kα源。
光源的选择直接影响到测量结果的准确性和分辨率。
较好的光源能够提供更高的光子能量和更窄的能谱峰宽，从而提高分析的精确度。
四、取样方式（Sampling Mode）XPS分析中常用的取样方式有全谱（Survey）和高分辨（High Resolution）两种。
全谱模式能够同时获得所有元素的能谱信息，但分辨率较低；高分辨模式则针对某个元素或化学键进行更详细的分析，分辨率较高。
取样方式的选择应根据具体分析需求和样品特性来确定。
五、气氛（Atmosphere）XPS分析一般在真空环境下进行，以避免氧化和污染。
真空度的要求取决于样品的特性和分析目的。
对于某些特殊样品，如气敏材料，也可以在特定气氛下进行分析，如气体环境或高压气氛下。
六、基底效应（Substrate Effect）基底效应是指样品的基底对XPS信号的影响。
由于基底的存在，样品所在位置的信号会受到基底的衰减和散射，从而影响到信号的强度和形状。
XPS
主要内容
表面能谱技术简介及发展历史
XPS技术的定性及定量分析手段 XPS仪器介绍及催化应用实例 实际数据处理介绍
Hale Waihona Puke 表面能谱技术简介及发展历史
1887年，海因里希· 鲁道夫· 赫兹发现了光电效应, 1894年去世。 勒纳德系统研究了光电效应，1905年获得诺贝尔物理学奖 （阴极射线）。
质无损伤，电子和离子则不然； 表面灵敏 —— 分析除氢外所有元素，这些元 素的光电子能量范围50-1400 eV； 特别适合分析塑料和高分子聚合物；对半导 体和催化剂工业也有显著的作用； 有明确的化学位移 —— AES由于涉及三个能 级解释复杂。
XPS技术的定性及定量分析手段
定性分析
b
0k时固体能带中充 满电子的最高能级
hv E k E b
功函数
为防止样品上正电荷积累，固体样品必须保持 和谱仪的良好电接触，两者费米能级一致。
实际测到的电子动能为：
E k E k (sp s )
'
hv E b sp
E b hv E k sp
'
仪器功函数
hv E k E b
功函数
特征：
XPS采用能量为 1000～ 1500eV的射线源，能激 发内层电子。各种元素内层电子的结合能是有 特征性的，因此可以用来鉴别化学元素。 UPS采用 He I(21.2eV) 或 He II(40.8eV) 作激发 源。 与X射线相比能量较低，只能使原子的 价电子电离，用于研究价电子和能带结构的 特征。 AES大都用电子作激发源，因为电子激发得到 的俄歇电子谱强度较大。 光电子或俄歇电子，在逸出的路径上自由程很 短，实际能探测的信息深度只有表面几个至十 几个原子层，光电子能谱通常用来作为表面分 析的方法。
气体色谱仪操作说明书
气体色谱仪操作说明书操作说明书一、导言气体色谱仪是一种用于分离和分析气体混合物的仪器。
本操作说明书旨在为用户提供关于气体色谱仪的详细操作指南，帮助用户正确、高效地操作该仪器。
在使用本仪器之前，请仔细阅读本说明书，并按照指南进行操作。
二、安全注意事项在操作气体色谱仪之前，请务必注意以下安全事项：1. 在操作仪器时，确保身体和手部干燥，并戴上适当的防护手套和眼镜。
2. 在连接气体源和气体色谱仪之前，确保气路畅通，避免气体泄漏。
3. 使用气体色谱仪时，请勿将带电的金属物体靠近仪器或触摸仪器内部的电子元件。
4. 在使用气体色谱仪期间，严禁吸烟、饮食或饮水。
5. 请勿随意更改仪器的设置或参数，如需修改，请在专业人员的指导下进行。
三、仪器部件及功能1. 气路系统：气体色谱仪的气路系统包括进样口、进样器、色谱柱和检测器。
进样口用于引入待分析的气体混合物，进样器用于控制进样量，色谱柱用于分离混合物中的组分，检测器用于检测分离后的化合物。
2. 控制面板：控制面板上设有各种按钮和控制开关，用于控制仪器的开关机、温度设定、流速调节等功能。
3. 数据处理系统：气体色谱仪配备了数据处理系统，可用于数据采集、数据分析和结果输出。
四、操作步骤1. 打开电源开关，启动气体色谱仪。
根据需要，将仪器预热至设定的温度。
2. 设定进样量和流速。
根据待分析样品的性质和实验要求，在仪器控制面板上设定进样量和流速。
3. 准备样品。
将待分析的气体混合物注入进样器，并确保进样器密封良好，避免泄漏。
4. 进行分析。
将样品注入色谱柱，启动气体流动，并设置检测器进行检测。
记录所得数据。
5. 结果分析与输出。
通过数据处理系统对所得数据进行分析，并将结果输出到打印机或电脑等设备上。
6. 关闭仪器。
在分析结束后，按照操作顺序的逆序关闭仪器，关闭电源开关，并注意及时清洁和维护仪器。
五、维护与保养为保持气体色谱仪的正常运行和延长使用寿命，请定期进行以下维护与保养：1. 清洁色谱柱和检测器，避免污染和堵塞。
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̏
按键开关
ᶃᶄ ᶅ ᶇ
ᶆ
ᶉ
ᶈ
编号
ᶃ
ᶄ
ᶅ ᶆ ᶇ ᶈ
ᶉ
名称
108&3(电源)开关
报警设定值确认开关
蜂鸣器停止开关 零位调整开关 $/ 插口 特殊开关 UP、DOWN(升降)开 关
功能
较长时间按下,接通后断开电源。 是确认报警设定值的开关。每按一次即从第一段报警设定值ˠ第二 段报警设定值ˠ气体浓度,进行切换变化。
较长时间按下,能自动调整零位。 在收集自动记录数据时,连接通信转接器「$"」(选择件)的插头。 使用自动记录功能时使用。
使用自动记录功能时用于设定开始时刻等。
显示部ʢӷথը໘ʣ
˔流量低下 流量低下时点亮
˔气体浓度报警 检测气体浓度超过气体浓度报警设定值时点亮
˔自动记录表示 自动记录功能发挥作用时点亮
̏ɽ传感器组件
型号
̨̭̙ʵ̣̝̓ ̨̭̙ʵ̨̝̓ ̨̭̙ʵ̙̘̓ ̨̭̙ʵ̖̝̓ ̨̭̙ʵ̥̝̓ ̨̭̙ʵ̗̝̓ ̨̭̙ʵ̨̓̚ ̨̭̙ʵ̜̝̓ ̨̭̙ʵ̡̘̓ ̨̭̙ʵ̛̘̓ ̨̭̙ʵ̝̘̓ ̨̭̙ʵ̛̝̓ ̨̭̙ʵ̝̗̓ ̨̭̙ʵ̣̤̓ ̨̭̙ʵ̨̝̓ ̨̭̙ʵ̘̤̓ ̨̭̙ʵ̨̙̓ ̨̭̙ʵ̛̓̎ ̨̭̙ʵ̤̯̓
˘过虑器........................................................̎ ˘5 号碱性干电池.........................................̐ ˘检查成绩书................................................̍ ˘登记卡以及售后保证书............................̍
˔传感器故障 传感器异常时点亮
˔采样流量 通常时∶运行／ 异常时∶停止
˔气体浓度条形图 以全刻度(满量程)的 5%为 1 分度。当条形延至 右端为止就变为全刻度(满量程)
˔气体浓度 带单位显示气体浓度。
˔显示电池剩余量 显示电池量 满量 ɾ ɾ ɾ 无剩余亮(闪烁)
̐
导入管̨̖ɽ
˔过虑器壳体 内有过虑片(FE－12)
是气体吸引口,可在此处连接导入管。外径П6。 是气体排气口,外径П6。 连接 "$7%$7 专用转接器 选择件
。 要放入电池时,提起弹簧锁即打开盖。 要装入传感器组件时,提起弹簧锁即打开。 可从该窗口检查确认装载的传感器组件情况。 电源 OFF 时,若打开操作部外罩则 LED(发光二极管)发出红光。放 入电池后该 LED 点亮,而当电池剩余量变少时该 LED 显示变亮。
̎ɽ包装内物品的说明
• 当打开包装箱时,下列物品已放在包装箱内。
˘气体检测器本体...........................................̍ ˘肩背带...........................................................̍ ˘气体导入管...................................................̍ ˘使用说明书...................................................̍
用方法。
˔特殊标记的说明
为了安全的使用本仪器,本使用说明书中采用了下列特殊标记。
ʂ ݥة ʂ ࠂܯ ʂ ҙ
该标记表示如果不回避的话,就会立即发生导致死亡或身受重伤等紧迫的危 险情况。
该标记表示如果不回避的话,就可能会发生导致死亡或身受重伤等危险情 况。
该标记表示如果不回避的话,就可能会发生身受轻伤或物质遭受损坏等危险 情况。
行正常的检测 而且会损害仪器的性能。
ʂ ҙ ɿ本传感器组件的有效期为 个月 请在使用前确认传感器组件的有效期。使用了有效期
已过的传感器组件时 往往不能进行正常的气体检测工作。
̍
˔对于保管时的环境及处理方法 务必遵守下列事项。 ʂ ࠂܯɿ 不得放置在高温、潮湿的场所，否则可能使仪器性能受损。 ʂ ҙ ɿ避免温度和湿度发生急剧变化 否则可能使仪器受损。 ʂ ҙ ɿ 长期不使用本仪器时 请在将电池取出的状态下保管。
备注 表示在使用处理时的劝告。
˔为了安全使用本仪器 请遵守下列事项。
ʂ ࠂܯɿ本仪器不是防爆结构 所以请安装在没有危险的场所。 ʂ ҙ ɿ本仪器不是防滴构造 所以请不要让其碰到水滴之类。 ʂ ҙ ɿ请避免跌、碰、撞等对仪器有较大的冲击。 ʂ ҙ ɿ本仪器电源的接通务必在洁净的空气中进行，如果在检测气体氛围中进行通电就不能进
˔请将本使用说明书尽量贴身慎重保管，以便在需要时能立即取出阅读 ˔请认真仔细阅读本使用说明书,理解后正确使用。
目录
̍前言.............................................................................................................................̍ ̎ɽ包装内物品的说明....................................................................................................̎ ̏ɽ传感器组件...............................................................................................................̎ ̐ɽ各部的名称及说明....................................................................................................̏ ̑ɽ使用方法...................................................................................................................̒
̍ɽ前言
• 承蒙购买 XPS-7 型半导体工厂用气体检测器，在此表示衷心感谢。为了让用户正确使用本仪器, 请用户在安装及使用前务必认真仔细阅读本使用说明书。
• 本仪器是为了对半导体工厂的气体泄漏进行检测的气体检测器。另外,通过更换传感器组件(另外 出售)可检测各种气体。
• 不管是否已使用过气体检测器,敬请仔细阅读本使用说明书,理解其内容。 • 请不要将本仪器用于本仪器的使用范围以外范围。而且也不要采用本使用说明书上没有记载的使
对象气体
̛ɽ̨
报警设定值
第1段
第2段
̣̝̏ ̸̨̝̐ ̸̨̝̘̻̎̎ ̖̝͂̏ ̥̝̏ ̗̝̎̒ ̴̨̝̎ ̴̜̝̐ ̘̻̎ ̛̘̻̏ ̝̘̻
氨
硅烷
二氯硅烷
二氢化砷 三氢化磷 乙硼烷
硒化氢
氢化锗 氯气
三氟化氯
氯化氢
QQN QQN QQN QQC QQN QQC QQC QQN QQN QQN QQN
5306#-&(故障)灯
"-"3.(报警)灯
液晶画面
操作部外罩
蜂鸣器孔
吸引口
排气口
连接器连接口
电池盖
传感器盖
传感器窗口
̡̙̚
(用于确认电池的插入)
功
能
电源接通时进行热机运行过程中,绿灯进行闪烁,之后绿灯点亮。
出现故障时黄色灯进行闪烁。
检测气体浓度超过气体警报设定值时红灯进行闪烁。
显示气体浓度等。
在操作按键开关时,把该外罩轻轻拉到面前(自己身前)打开。
̑ʵ̍ 干电池的组装.................................................................................................̒ ̑ʵ̎ 传感器组件的组装.........................................................................................̓ ̑ʵ̏ 电源的接通.....................................................................................................̔ ̑ʵ̐ 检测................................................................................................................̔ ̑ʵ̑ 检测结束.........................................................................................................̔ ̒ɽ自动记录功能 ...........................................................................................................̕ ̓ɽ过虑器的更换方法................................................................................................. ̍̌ ̔ɽ日常检查和定期检查............................................................................................. ̍̍ ̕ɽ在考虑为仪器故障之前......................................................................................... ̍̍ ̍̌ɽ消耗品和选择品.................................................................................................. ̍̍ ̍̍ɽ售后保证书和登记卡.......................................................................................... ̍̎ ̍̎ɽ规格..................................................................................................................... ̍̎