奥宝LDI曝光机简介

LDI曝光機設備說明

---奧寶Xpress-9i

LDI曝光制程介紹大綱

1.曝光製程定義

2.HDI曝光製程流程說明

3. LDI技術說明

4.LDI曝光機設備介紹

1. 曝光製程定義

曝光(Exposure)

利用UV or 鐳射光將客戶需要之影像轉移到基

板干膜上,搭配後段處理工序,以完成客戶所需

之圖形形成.

影像轉移前影像轉移后

整板電鍍灌孔整平

2.HDI曝光製程流程說明

前處理貼膜

曝光

顯影

蝕刻

去膜

AOI

黑化

2.1.1 N層Process

2.1HDI曝光製程前後流程

2.1.3Q/L Process

Conformal Mask

蝕刻去膠渣雷射鑽孔AOI 黑化

整板電鍍貼膜曝光顯影

去膜

2.1.4 A/L Process

Conformal Mask

蝕刻去膠渣雷射鑽孔整板電鍍貼膜

曝光顯影去膜

鑽孔

2.2 HDI曝光製程品質關聯圖

Input品質特性HDI曝光品質項目Output生產影響

1.曝光雜質

2.對位不良

3.真空密著不良

4.曝光能量異常

5.底片異常1.線細、斷路、

缺口

2.層間對位不良

3.破孔

4.顯影不良,吸氣不良

5.線粗、短路

1.板面異物

無塵室異物

2.貼膜SPACE不當

3.貼膜皺紋

4.板彎板翹

5.干膜附著力不足

3.1LDI定義

LDI是Laser Director Imaging (鐳射直接成像)的縮寫,指的是利用新型技術直接將客戶所需之影像資料通過光的方式掃描到板面上,較之前傳統曝光機(需要將影像資料事先畫在D/F)在技術上進步;

直接成像技術

L D I

傳統曝光機

利用UV 光將底片上固定圖案轉移到乾膜上

LDI 不需底片,可節省底片成本及底片繪製時間

Dry film

3.2 LDI 之優點說明

Laｓer

Polygon Mirror

Panel

Feed direction

Scan direction Wave Length：355nm

快速打樣生產時間縮短POR

DOE

3.3 LDI 技術類型說明

Laｓer

Polygon Mirror

Panel

Feed direction

Scan direction Wave Length：355nm

•

Polygon Mirror System

DMD

Panel

Feed direction

Laｓer or Lamp 405nm •DMD (Digital Micro Mirror) System

Fuji INPREX

Hitachi via

DE series

•DMD 405nm

•

Orbotech Paragon

•

Polygon Mirror 355nm

350-420nm

3.4.1

對位能力佳

3.4 LDI 之技術運用在板面上之實例

30um L/S with 40um thickness 20um L/S with 25um thickness

3.4.2 LDI 之解析能力

4.奧寶LDI 曝光機設備介紹

除塵機放板機

LDI 主體LDI 主體除塵機翻板機收板機LDI 曝光機連線部位介紹

奧寶

初定位區對位系統曝光系統周邊系統

電腦系統

入口

CM WS

出口

OK Paragon

Laｓer

也用作

板面识别

CAM

数据

4.LDI曝光機設備介紹

4.1 前置定位介紹

4.2 對位系統介紹

4.3 曝光系統說明

4.4 電腦控制系統說明

4.5 周邊設備說明

4.1 前置定位區簡介

4.1.1 定位區作用

通過Y 向拍板,X 向感應器感應定位將基板定位,以利於將板子放在LDI 床臺上時,CCD 能通過電腦設定位置找到生產板的對位孔,從而完成對位曝光作業

4.1.2 動作過程

入料檢知Y-Pin 拍板定位

X 軸感應器感應位

移

移載手臂吸板

移至LDI 床台

基板達Y-Pin X 軸自身感應器從外向內感

應基板邊緣，感應到時滑塊停止移動。（伺服馬達控制滑塊移動）

4.2 對位系統說明

4.2.1對位過程定義

4.2.2對位原理說明

4.2.3對位區結構介紹

A.臺面工作結構及原理介紹

B. CCD介紹及設定資料

4.2.2 對位原理

A.對位過程

基板對位孔基板移入

對位台吸著基板

CCD 讀對位孔(Align)

臺面Y 向移動，CCD X 向移動

靶點與CCD 中心重合

4.2.1 對位過程定義

CCD 對基板上之靶點定位,並通過Y 向線性馬達運動后產生的各靶點間間距，并通過與原始資料比對計算，補償出現在基板在X ，Y 項間距的過程

NO.1靶孔

NO.2靶孔

奧寶CCD 可以X 向移動，但臺面只能Y 向移動與日立CCD 不動臺面X,Y 向移動方式不同