真空常用名词术语
真空术语
1、真空的定义真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态2、真空度处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。
真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。
3、真空度单位通常用托（Torr）为单位，近年国际上取用帕（Pa）作为单位。
1托＝1/760大气压＝1毫米汞柱4、托与帕的转换1托＝133.322帕或1帕＝7.5×10-3托5、平均自由程作无规则热运动的气体粒子，相继两次碰撞所飞越的平均距离，用符号“λ”表示。
6、流量单位时间流过任意截面的气体量，符号用“Q”表示，单位为帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。
7、流导表示真空管道通过气体的能力。
单位为升/秒（L/s），在稳定状态下，管道流导等于管道流量除以管道两端压强差。
符号记作“U”。
U＝Q/(P2- P1)8、压力或压强气体分子作用于容器壁的单位面积上的力，用“P”表示。
9、标准大气压压强为每平方厘米101325达因的气压，符号：（Atm）。
10、极限真空真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空。
通常真空容器须经12小时炼气，再经12小时抽真空，最后一个小时每隔10分钟测量一次，取其10次的平均值为极限真空值。
11、抽气速率在一定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率，简称抽速。
即Sp＝Q/（P－P0）12、热偶真空计利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。
13、电离真空计（又收热阴极电离计）由筒状收集极，栅网和位于栅网中心的灯丝构成，筒状收集极在栅网外面。
热阴极发射电子电离气体分子，离子被收集极收集，根据收集的离子流大小来测量气体压强的真空计。
14、复合真空计由热偶真空计与热阴极电离真空计组成，测量范围从大气~10-5Pa。
15、冷阴极电离计阳极筒的两端有一对阴极板，在外加磁场作用，阳极筒内形成潘宁放电产生离子，根据阴极板收集的离子流的大小来测定气体压强的真空计。
真空专业术语
真空专业术语随着低碳经济的到来，真空泵在化工、能源、医药、冶金、食品、建筑、矿山等领域的应用越来越多，下面简要介绍一下与真空泵相关的一些知识，希望有可以帮助广大顾客了解这个行业。
1、真空的定义真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态2、真空度处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。
真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。
3、真空度单位通常用托（Torr）为单位，近年国际上取用帕（Pa）作为单位。
1托＝1/760大气压＝1毫米汞柱4、托与帕的转换1托＝133.322帕或1帕＝7.5×10-3托5、平均自由程作无规则热运动的气体粒子，相继两次碰撞所飞越的平均距离，用符号“λ”表示。
6、流量单位时间流过任意截面的气体量，符号用“Q”表示，单位为帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。
7、流导表示真空管道通过气体的能力。
单位为升/秒（L/s），在稳定状态下，管道流导等于管道流量除以管道两端压强差。
符号记作“U”。
U＝Q/(P2- P1)8、压力或压强气体分子作用于容器壁的单位面积上的力，用“P”表示。
9、标准大气压压强为每平方厘米101325达因的气压，符号：（Atm）。
10、极限真空真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空。
通常真空容器须经12小时炼气，再经12小时抽真空，最后一个小时每隔10分钟测量一次，取其10次的平均值为极限真空值。
11、抽气速率在一定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率，简称抽速。
即Sp＝Q/（P－P0）12、热偶真空计利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。
13、电离真空计（又收热阴极电离计）由筒状收集极，栅网和位于栅网中心的灯丝构成，筒状收集极在栅网外面。
真空术语
真空术语辨析
由于众多的原因，在日常使用过程中出现了一些含义相近、易混淆的术语，现加以辨析：
1. 真空度与极限压力
在本质上真空度与极限压力两者并没有差别，均为表示气体的稀薄程度的术语。
只是在表征真空的程度时真空度用百分数来表示，而极限压力用压强值（Pa）来表示。
在表述上，二者正好相反。
极限压力低，则真空度高；极限压力高，则真空度低。
2. 分压强与全压强
分压强是指气体中的不可凝结气体的压强。
全压强则指包括气体中的所有气体的压强。
在真空应用中，分压强与全压强各有其应用范围。
现行的真空泵的考核标准中，如果不指明为全压强，极限压力指标均为分压强。
3.储气罐与维持泵
由于扩散泵和油增压泵起动时间长，在周期性的操作的设备，当装料和卸料的时候，往往为了缩短工作周期而不停止主泵。
将高真空阀和前级管道阀门关闭，
使主泵仍处于工作状态。
由于阀门等总是有少量漏气和表面放气，使主泵的出口压力升高从而导致油蒸气氧化。
为了解决这个问题，一个办法是用前级泵继续抽除主泵内的气体，但此时系统的气体流量非常小，用前级泵浪费许多电能。
因此可以采用在主泵入口设置维持泵或者储气罐的方法，这样就可以保证既可以排出主泵内的气体，又可以减少能源消耗。
储气罐不能做的很大，它只能用
在以扩散泵为主泵的小型系统上。
而维持泵可以用在大型主泵上。
储气罐的优点是无振动，用在工艺过程中要求无振动的系统上具有突出的优点。
真空测量方法
一、前言本文涉及到的有关名词和术语：1.真空度：当以mmHg（Torr）或Kpa、Pa为单位时，指的是绝压，又称残压、压力，剩余压力或吸入压力。
当以Mpa为单位时，指的是弹簧真空表的表压，例：-0.078Mpa。
那么绝压应为0.1-0.078=0.022Mpa。
2.抽气量：单位时间通过泵入口处气体的质量流量，常以当量不凝气和当量可凝气标称，单位为kg/hr。
3.当量不凝气，对非20℃空气或其它不凝性气体,按其分子量和温度折算成20℃的空气质量流量，单位为kg/hr。
4.当量可凝性流量：对非20℃的水蒸汽或其它可凝性气体，按其分子量和温度折算成20℃的水蒸汽质量流量，单位为kg/hr。
5.工作蒸汽耗量：在额定工况下，单位时间内通过拉瓦尔喷嘴的工作蒸汽的质量流量，多级喷射泵则指通过全部拉瓦尔喷嘴的总质量流量，单位为kg/hr。
6.冷却水循环量：在额定工况下，单位时间冷却水的体积流量，多只冷凝器则指总体积流量，单位为M3/ hr。
7.冷却水耗量：在额定工况下，循环冷却水在冷却塔中降温时在单位时间内蒸发和损失的水量（估计值）。
单位为kg/hr。
二、真空度的测量测量真空度一般有五种方法：1. 与外界大气压力相比较。
在图一中，装有水银的U形管两端开口。
一端直通大气，另一端与真空系统连接（设压力为P A），两端的水银柱的差为△h，若设大气压为P大，有P大－P A=△h则P A=P大-△h mmHg但是，我们必须注意，大气压并非为760mmHg，气压计只有在海拔高度为零时，其读数才代表当地当时的大气压。
设若在某地区某一时，大气压计读数为P B，而海拔高度为H，则该地区实际大气压为：P大=P B－H/10 mmHg因此，真空系统的压力为：P A=P大－△h=P B－H/10－△h mmHg这一例子的实用形式即为了弹簧真空表。
弹簧真空表是按0.1Mpa这一压力作为基准而设计，制造的，因此，在实际使用中应根据本地区的实际气压情况进行修正。
真空技术名词术语
真空技术名词术语一、一般术语1．标准环境条件：温度为20℃，相对湿度为65%，大气压力为101325Pa。
2．气体的标准状态：温度为0℃，压力为101325Pa。
3．压力（压强）：气体分子从某一假想平面通过时，沿该平面的正法线方向的动量改变率，除以该平面面积或气体分子作用于其容器表面上的力的法向分量，除以该表面面积。
4．帕斯卡（符号：Pa）：国际单位制压力单位，1 Pa=1N/m2。
5．分压力：混合气体中某一组分的压力。
6．全压力：混合气体中所有组分压力的总和。
7．真空：在指定空间内，低于一个大气压力的气体状态。
8．真空度：表示真空状态下气体的稀薄程度，通常用压力值来表示9．气体：不受分子间相互作用力的约束且能自由地占据任意空间的物质。
（注：在真空技术中，“气体”一词不严格地应用于非可凝性气体和蒸汽。
）10．非可凝性气体：在临界温度以上的气体，即单纯增加压力不能使其液化的气体。
11．蒸汽：在临界温度以下的气体，即单纯增加压力能使其液化的气体。
12．饱和蒸汽压：在给定温度下，某种物质的蒸汽与其凝聚相处于相平衡状态下的该种物质的蒸汽压力。
13．饱和度：蒸汽压对其饱和蒸汽压之比。
14．饱和蒸汽：在给定温度下，压力等于其饱和蒸汽压的蒸汽。
15．未饱和蒸汽：在给定温度下，压力小于其饱和蒸汽压的蒸汽。
16．分子数密度（单位：m-3）：在某瞬时，气体中某点周围体积内的分子数，除以该本积。
17．平均自由程：一个分子与其它气体分子每连续二次碰撞走过的路程，叫自由程。
相当多的不同自由程的平均值，叫平均自由程。
18．碰撞率：在给定时间间隔内，一个分子（或其他规定粒子）相对于其它气体分子（或其它规定粒子）运动，受到的平均碰撞次数，除以该时间。
这个平均碰撞次数是应在足够多的分子数和足够长的时间间隔下取得。
19．体积碰撞率：在给定时间间隔内，在围绕规定一点的空间范围内，气体分子间的平均碰撞次数除以该时间和该空间范围体积。
所取时间间隔和体积不应太小。
真空名词及术语解释
真空名词及术语解释一：阀门类1.粗抽阀：连接罗茨泵与真空室间的阀门，打开粗抽阀，则机械泵与罗茨泵可对真空室进行抽空，该阀一般为气动阀。
2.高阀：位于百叶窗后，连通分子泵（扩散泵），打开高阀则进入精抽，通常为气动。
3.节流阀：离子清洗及成膜阶段，为避免抽气过快，浪费太多Ar，所以设置节流阀来调节抽速，既有气动也有电动。
4.充气阀：真空炉内为副压，开门进出炉必须与大气压一致，才能把门打开，充气阀起到给炉内充气的作用。
5.球阀：分水器控制冷却水进出的水阀门，人工手动6.维持阀：连通维持泵与分子泵（扩散泵）的阀门，只要分子泵在旋转，维持泵与维持阀就要一直打开。
7.前置阀：用机械泵，罗茨泵给分子泵作尾抽时，需开启的阀门。
二：炉内零部件：1.热电偶：即热力传感器，将温度信号转换成电信号，用于测量真空室和扩散泵油的温度。
2.热偶规：用于测量低真空度的规管通常为金属外壳。
3.电离规：用于测量高真空度的规管，通常为玻璃外壳，工作钨丝发射出电子，会发光。
4.转架：我司为下转架，工件挂在转架上转动才能镀膜，通常由变频器、电机、皮带、齿轮、大盘、立柱、平面滚珠轴承等组成，PVD行业转架一般有公转、自转、拨叉三种。
5.视窗：为方便看清炉内状况面设置视窗。
6.靶：由靶座、铜板、靶材、磁铁等组成，是磁控溅射的核心。
7.靶座：是安装靶材的载体，上端有接线端子，接380V动力线，背面有两根铜水管，接冷却水，靶座底板有A3铁板一块，用以屏敝磁场，防止靶座背板启辉被溅射。
我司靶座上布置的是平衡磁场，磁铁间隔通冷却水，靶面磁场强度不低于350GS，靶座上压有铜板，以保证靶材能良好散热，磁铁一般为粉未冶金压制，我司使用铁氧体型弱磁。
8.磁铁：Ar气电离后加速靠磁铁完成，一般用钕铁硼或铁氧体、钐钴。
但钐钴价格昂贵，很少使用，我司磁铁是用的铁氧体。
9.加热管：给炉子加热用的加热管，里面有电炉丝埋在石英砂里面。
10百叶窗：让炉内气体更加均匀，百叶窗起流导的作用。
真空知识
基础知识1、真空的概念“真空”一词来自拉丁语“vacuum”，原意为“虚无”、“空的”。
真空是指在给定空间内低于环境大气压力的气体状态，即该空间内的气体分子密度低于该地区大气压力的气体分子密度，并不是没有物质的空间。
水环真空泵应用于低真空（105—103 Pa）领域2、真空的测量单位在真空技术中，表示处于真空状态下气体稀薄程度的量称为真空度，可用压力、分子数密度、平均自由程和形成一个单分子层的时间常数等来表征，但通常用气体的压力（剩余压力）值来表示。
气体压力越低，表示真空度越高；反之，压力越高，真空度越低。
法定的压力计量单位为帕［帕斯卡］，符号为Pa1Pa=1N.m-2 此外，还可用真空度的百分数作测量单位。
δ——真空度百分数（%）P——绝对压力（Pa）Pb-P 表示真空压力表读数，表压力（用Pe表示）真空度百分数δ（%）与压力P对照表3、单位换算1atm（标准大气压）=1013.25hPa（百帕）1mmHg（毫米汞柱）=1Torr（托）=1.333 hPa（百帕）1bar（巴）=1000 hPa（百帕）1mbar（毫巴）=1 hPa（百帕）１inHg（英寸汞柱）=25.4mmHg（毫米汞柱）=33.8 hPa （百帕）4、相关术语◇气量——水环真空泵的气量是指入口在给定真空度下，出口为大气压1013.25hPa时，单位时间通过泵人口的吸入状态下的气体容积，m3/min或m3/h 。
◇最大气量——水环真空泵的最大气量是指气量曲线上的气量最大值，m3/min或m3/h。
◇真空度（或称作压力）——水环真空泵的真空泵是指入口处在真空状态下气体的稀薄程度，以绝对压力表示，Pa、hPa、kPa。
◇极限真空度（或称作极限压力）——水环真空泵的极限真空度是指入口处气量为零时的真空度，Pa、hPa、kPa。
◇压缩比——吸入压力下气体容积与压缩后气体容积之比◇饱和蒸汽压——在给定温度下，某种物质的蒸汽与其凝聚相处于相平衡状态下的该种物质的蒸汽压力。
真空概念及真空常用计算公式
真空概念及真空常用计算公式1、真空的定义真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态2、真空度处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。
真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。
3、真空度单位通常用托（Torr）为单位，近年国际上取用帕（Pa）作为单位。
1托＝1/760大气压＝1毫米汞柱4、托与帕的转换1托＝133.322帕或1帕＝7.5×10-3托5、平均自由程作无规则热运动的气体粒子，相继两次碰撞所飞越的平均距离，用符号“λ”表示。
6、流量单位时间流过任意截面的气体量，符号用“Q”表示，单位为帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。
7、流导表示真空管道通过气体的能力。
单位为升/秒（L/s），在稳定状态下，管道流导等于管道流量除以管道两端压强差。
符号记作“U”。
U＝Q/(P2- P1)8、压力或压强气体分子作用于容器壁的单位面积上的力，用“P”表示。
9、标准大气压压强为每平方厘米101325达因的气压，符号：（Atm）。
10、极限真空真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空。
通常真空容器须经12小时炼气，再经12小时抽真空，最后一个小时每隔10分钟测量一次，取其10次的平均值为极限真空值。
11、抽气速率在一定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率，简称抽速。
即Sp＝Q/（P－P0）12、热偶真空计利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。
13、电离真空计（又收热阴极电离计）由筒状收集极，栅网和位于栅网中心的灯丝构成，筒状收集极在栅网外面。
热阴极发射电子电离气体分子，离子被收集极收集，根据收集的离子流大小来测量气体压强的真空计。
14、复合真空计由热偶真空计与热阴极电离真空计组成，测量范围从大气~10-5Pa。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
1、真空的定义
真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态
2、真空度
处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。
真空度高表示真空度“好”的意思，真空度低表示真空度“差”的意思。
3、真空度单位
通常用托（Torr）为单位，近年国际上取用帕（Pa）作为单位。
1托＝1/760大气压＝1毫米汞柱
4、托与帕的转换
1托＝133.322帕或1帕＝7.5×10-3托
5、平均自由程
作无规则热运动的气体粒子，相继两次碰撞所飞越的平均距离，用符号“λ”表示。
6、流量
单位时间流过任意截面的气体量，符号用“Q”表示，单位为帕·升/秒（Pa·L/s）或托·升/秒（Torr·L/s）。
7、流导
表示真空管道通过气体的能力。
单位为升/秒（L/s），在稳定状态下，管道流导等于管道流量除以管道两端压强差。
符号记作“U”。
U＝Q/(P2- P1)
8、压力或压强
气体分子作用于容器壁的单位面积上的力，用“P”表示。
9、标准大气压
压强为每平方厘米101325达因的气压，符号：（Atm）。
10、极限真空
真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空。
通常真空容器须经12小时炼气，再经12小时抽真空，最后一个小时每隔10分钟测量一次，取其10次的平均值为极限真空值。
11、抽气速率
在一定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为抽气速率，简称抽速。
即Sp＝Q/（P－P0）
12、热偶真空计
利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。
13、电离真空计（又收热阴极电离计）
由筒状收集极，栅网和位于栅网中心的灯丝构成，筒状收集极在栅网外面。
热阴极发射电子电离气体分子，离子被收集极收集，根据收集的离子流大小来测量气体压强的真空计。
14、复合真空计
由热偶真空计与热阴极电离真空计组成，测量范围从大气~10-5Pa。
15、冷阴极电离计
阳极筒的两端有一对阴极板，在外加磁场作用，阳极筒内形成潘宁放电产生离子，根据阴极板收集的离子流的大小来测定气体压强的真空计。
16、电阻真空计
利用加热元件的电阻与温度有关，元件的温度又与气体传导有关的原理，通过电桥电路来测量真空度的真空计。
17、麦克劳真空计（压缩式真空计）
将待测的气体用汞（或油）压缩到一极小体积，然后比较开管和闭管的液柱差，利用玻义尔定律直接算出气体压强的一种绝对真空计。
18、B－A规
这是一种阴极与收集极倒置的热阴极电离规。
收集极是一根细丝，放在栅网中心，灯丝放在栅网外面，因而减少软X射线影响，延伸测量下限，可测超高真空。
19、水环真空泵
泵的叶轮转子旋转而产生水环。
由于转子偏心旋转而使水环与叶片间容积发生周期性改变而进行抽气的机械真空泵。
20、往复真空泵
利用活塞的往复运动而进行抽气的机械真空泵。
21、油封机械真空泵
用油来保持密封的机械真空泵，可分为定片式、旋片式、滑阀式、余摆线式等。
22、罗茨真空泵
具有一对同步高速旋转的鞋底形转子的机械真空泵，此泵不可以单独抽气，前级需配油封、水环等可直排大气的真空泵。
23、涡轮分子真空泵
有一高速旋转的叶轮，当气体分子与高速旋转的涡轮叶片相碰撞时就被驱向出气口再由前级泵抽除。
24、油扩散真空泵
扩散泵喷口中喷出高速蒸汽流。
在分子流条件下，气体分子不断地向蒸流中扩散，并被蒸汽带向泵出口处逐级被压缩后再由前级泵排除。
25、低温真空泵
利用20K以下的低温表面凝聚吸附气体的真空泵。
26、冷阱（水冷挡板）
置于真空容器和泵之间，用于吸附气体或捕集油蒸汽的装置。
27、气镇阀
油封机械真空泵的压缩室上开一小孔，并装上调节阀，当打开阀并调节入气量，转子转到某一位置，空气就通过此孔掺入压缩室以降低压缩比，从而使大部分蒸汽不致凝结而和掺入的气体一起被排除泵外起此作用的阀门称为气镇阀。
28、真空冷冻干燥
真空冷冻干燥，也称升华干燥。
其原理是将材料冷冻，使其含有的水份变成冰块，然后在真空下使冰升华而达到干燥目的。
29、真空蒸镀
在真空环境中，将材料加热并镀到基片上称为真空蒸镀，或叫真空镀膜。
30、真空干燥
利用真空环境下沸点低的特点来干燥物品的方法。
31、真空系统常用名称
(1)主泵：在真空系统中，用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。
(2)前级泵：用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。
如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。
(3)粗抽泵：从大气压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。
如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗油泵。
(4)维持泵：在真空系统中，气量很小时，不能有效地利用前级泵。
为此配置一种容量较小的辅助泵来维持主泵工作，此泵叫维持泵。
如扩散泵出口处配一台小型旋片泵，就是维持泵。